JPH0221147A - 危険薬品使用工場等用クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、危険薬品使用を使用する工場等に用いられる
クリーンルームに関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第９図
に示すものが知られていた。

図に於て、１は作業空間で、所定の間隔を置いて作業機
器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４を
設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダンパ
４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業空
間ｌ内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５によ
って排気している、６は作業空間１の上方に位置する天
井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。こ
のフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循環
空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、こ
れに限らず、作業空間１の上方を天井によって仕切り、
その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そして、
この天井空間６では、循環空気を収容し、作業空間１側
に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作業空
間１に吹き出すように形成されている。８は作業空間１
の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕切ら
れている。この床板９は、作業空間１に吹き出された循
環空気を通過することが出来る多孔板等で形成されてい
る。１０は天井空間６と床下空間８とを連結する循環空
気用ダクトで、循環用ファン１１によって床下空間８内
の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるように
している。

この循環空気用ダクトｌＯは、天井空間６と床下空間８
とを連通ずることが出来る廊下或いはメンテナンスゾー
ンがある場合には、これらが代わって用いられることも
あるが、本例では説明の都合上、循環空気用ダクト１０
について説明する。１２は床下空間８に取り付けられた
外気導入用ダクトで、途中に温度、湿度をコントロール
すると共に、外気を濾過するフィルタ等の調整器１３が
設けられている。この外気導入用ダクト１２は、クリー
ンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を保つよ
うにしている。尚、外気導入用ダクト１２は、床下空間
８に限らず、循環空気用ダクト１０に取り付けられる場
合もあるし、或いは、循環空気用ダクト１０に代わって
廊下又はメンテナンスゾーンが用いられる場合には、こ
れらに取り付けられることもあるが、本例では説明の都
合上、床下空間８に取り付けられている場合について説
明する。

斯して構成されたクリーンルームによれば、所定の温度
、湿度等に保たれた空気が、循環用ファン１１によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間ｌに供給され、作業空間ｌに配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入する
。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環用
ファン１１によって循環空気用ダクトｌＯを介して天井
空間６に送られる。この循環は、その用途によって異な
るが、通常は１００〜４００回／時間である。そして、
外気導入用ダクト１２から外気が導入された後に所定の
温度、湿度等にされて床下空間６内に供給される。

上述したクリーンルームでは、作業機器２が事故を起こ
し、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガスが出たり、或
いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たりすると、全てのフ
ァン５．１１．１２を停止するシステムが一般的である
。

そこで、上述のガスを緊急に排気するために、例えば第
９図に示す如く、クリーンルーム内に設けた排気口１４
から排気ダクト１６を介してファン１５によって外部に
緊象、排気によって多量の空気を排出する方法、又は、
その事故域と外部と繋がる窓口とをフレキシブルなジャ
バラによって連結して排気するという方法が提案されて
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

然し、前者では、排気口１４が固定的であるため、排気
口から離れた箇所での事故に対する応答性に難があった
。又、後者では、人手によってジャバラを操作するため
、手間暇を要旨、緊急性を要するこの種の排気には適し
ていない。而も、ガスが人体に悪影響を与えるため、排
気処理のために特別な機器が必要であった。更に、これ
らは、何れも事故箇所から緊象、排気を行なうだけであ
るから、ガスの拡散を積極的に防止することは困難であ
った。更に、斯かる緊急排気方式では、排気された空気
量に見合った空気が周囲から自然に回って来るだけであ
るから、危険ガス又は窒息性ガスの濃度を成る一定濃度
に希釈するだけの空気量を確保することが困難であった
。

尚、半導体工場等に使用するクリーンルームに於ては、
事故時に避難するスペースをクリーンルーム内に確保す
ることは不経済であるため、通常のクリーンルームには
、特別な避難場所が形成されていない。

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、外気を一次的に導入する空間を設
け、この空間を利用して作業空間の各空気循環系へ供給
出来るようにした危険薬品使用工場等用クリーンルーム
を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームは、
作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天井とし
、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにすると共
に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容する空間
を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻して循
環出来るように循環用ファンを設けた空気循環系を備え
たクリーンルームに於て、作業空間とは仕切られた一次
外気導入空間を設け、この一次外気導入空間に外気を導
入する手段を設けると共に、この一次外気導入空間の空
気を作業空間の各空気循環系へ供給する手段を設けたも
のである。此処で、一次外気導入空間としては、循環用
ダクト、廊下、メンテナンスゾーン、倉庫等が好適であ
る。又、この一次外気導入空間には、天井、床、壁等か
ら外気が導入されるように構成されていることが望まし
い。

〔作　用〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームに於
ては、一次外気導入空間に空気が導入されると、この一
次外気導入空間内の圧力は作業空間内よりもプラス側に
維持され、その後にこの一次外気導入空間内の空気は、
作業空間の各空気循環系へ供給される。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図乃至第３図は本発明の一実施例に係る危険薬品使
用工場等用クリーンルームを示し、図に於て、Ｍは一次
外気導入空間として機能するメイン廊下である。

このメイン廊下Ｍの上方は、後述する作業空間２１と同
様にフィルタ天井２３となっている。このメイン廊下Ｍ
の天井空間５０内には、所定の温度、湿度、クリーン度
に調整された外気が供給されており、その外気はフィル
タ天井２３を介して吹き出している。そして、その床部
５１の下には床下空間部５２が形成されている。この床
下空間部５２内に外気導入用ダクト５３が配設されてい
る。

メイン廊下Ｍと隣接して作業エリアＷが形成されている
。この作業エリアＷには、メイン廊下Ｍと連通ずるサブ
廊下Ｓが形成されている。このサブ廊下Ｓの下には、メ
イン廊下Ｍの床下天井空間５２内に配設されている外気
導入用ダクト５３と外気量調整用ダンパ５４を介して連
通ずる外気導入用ダクト３９が配設されている。又、外
気導入用ダクト５３には、途中に温度、湿度をコントロ
ールすると共に、外気を濾過するフィルタ等の調整器４
０と、ダンパ４１が設けられている。

作業エリアＷは、作業空間２１と、天井空間２６と、床
下空間３３とによって構成されている。

作業空間２１には、所定の間隔で産業機器２２が配設さ
れている（本例では、便宜上１つにして示しである）。

この生産機器２２には、排気用ダクト３６が設けられ、
外部に設置した排気用ファン３７によって排気できるよ
うになっている。排気用ダクト３６には、ダンパ３８が
設けられている。

作業空間２１の上方には、フィルタ天井２３が設けられ
、作業空間２１と隔離した天井側の空間２４を形成して
いる。この天井側の空間２４は、各生産機器２２の配置
スペースに応じた間隔又は一定モジュール間隔で仕切板
２５で仕切ることによって、各別に天井空間２６を形成
している。

これらの天井空間２６には、各別に循環空気用ダクト２
８が流入口２７を介して取り付けられている。各循環空
気用ダクト２８には、循環用ファン２９が設けられてい
る。

作業空間２１の下方には、無数の通気孔３１を穿設した
床部３０が設けられ、作業空間２１と隔離した床下側の
空間３２を形成している。この天井側の空間３２は、各
生産機器２２の配置スペースに応じた間隔又は一定モジ
ュール間隔で仕切板３４で仕切ることによって、各別に
床下空間３３を形成している。

これらの床下空間３３には、各別に循環空気用ダクト２
８が流入口３５を介して取り付けられている。従って、
各床下空間３３は、各循環空気用ダクト２日を介して各
天井空間２６と各別に連通し、循環用ファン２８によっ
て循環空気を各天井空間２６に供給する。

各床下空間３３には、各別にサブ廊下Ｓ内に配設された
外気導入用ダクト３９と連通ずる導入管４２が設けられ
、この導入管４２には各別にダンパ４１が設けられてい
る。この外気導入用ダクト３９は、クリーンルームの稼
働に見合った外気を導入して室圧を保つようにしている
。

又、各床下空間３３には、各別に排気用ダクト４３が流
入口４６を介して取り付けられている。

この排気用ダクト４３には、緊象、排気用ファン４４が
取り付けられ、産業機器２２が事故を起こした時に床下
空間３３から強制的に排気するようになっている。従っ
て、排気用ダクト４３に設けたダンパ４５は、コントロ
ーラ等の指令によって常時は閉で、事故時に開となるよ
うに作動されるようになっている。

次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。

本実施例に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームは
、常態では、外気導入用ダクト３９に設けた外気量調整
用ダンパ４１を絞って、クリーンルームの稼働に見合っ
た外気を導入している。又、メイン廊下Ｍには、フィル
タ天井２３から新鮮な外気が供給されている。

そして、生産機器２２が事故を起こしてガスが漏洩した
時に、次の如くして緊急排気を行なう。

先ず、生産機器２２から毒性或いは可燃性ガスが漏洩し
た場合について、第４図に基づいて説明する。

生産機器２２の真上の天井空間２６に連通ずる循環用フ
ァン２９を停止し、この天井空間２６からの循環空気の
供給を停止すると共に、外気導入用ダクト３９に設けた
外気量調整用ダンパ４１を閉じ、生産機器２２の下の床
下空間３３への外気供給を停止し、この生産機器２２の
下に位置する排気用ダンパ４５を開き、排気用ダクト３
７を駆動し、且つ、排気用ダクト４３のダンパ４５を開
き、緊急排気用ファン４４を駆動する。更に同時に、こ
の生産機器２２の隣接ブロックの床下空間３３と連結す
る各外気導入用ダクト３９の外気量調整用ダンパ４１を
開き、この外気を各循環空気用ダクト２８を介して各天
井空間２６へ送り、矢印で示す如く、生産機器２２周辺
への外気供給量を多くして、事故領域周辺を積極的に加
圧し、有毒ガス又は可燃性ガスをその事故領域から床下
空間３３へ押し出し、その床下空間３３から排気用ダク
ト４３を介して外部に排気する。

斯かる排気処理によっても、生産機器２２の事故が止ま
らず、避難を要する事態になった場合には、天井から多
量の外気が作業空間２１内に供給されているから、作業
者は殆ど毒性或いは可燃性ガスに触れることなく、サブ
廊下Ｓからメイン廊下Ｍへ一時的に避難することが出来
る。この間でも排気用ファン３７及び緊急用排気ファン
４４は駆動し、フィルタ天井２３からは多量の外気が吹
き出しているので、漏洩した毒性或いは可燃性ガスは、
作業空間２１内に滞留することなく、外部に排出されて
いる。而も、メイン廊下Ｍでは、フィルタ天井２３から
多量の新鮮な外気が吹き出しているので、作業空間２１
から毒性或いは可燃性ガスが漏れ出て来る虞は殆どない
。

従って、作業者はメイン廊下Ｍを伝わって安全な場所に
避難することが可能となる。

尚、この際の外気供給は、他の生産機器２２の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト３９の外気量調整
用ダンパ４１を全開又はそれに近い開度で開き、積極的
に外気を供給する。

このように、事故を起こした生産機器２２が設置されて
いる漏洩領域は、周囲の天井空間２６から多量の外気を
供給することによって、その周囲を加圧状態にし、ガス
の拡散が積極的に防止し、且つ、排気用ダクト４３を介
して外部へ排出することが出来る。而も、作業エリアＷ
は、サブ廊下Ｓとメイン廊下Ｍとに新鮮な外気を吹き出
しているゾーンによって連結されているので、そのゾー
ンに沿って安全に避難することが出来る。而も、メイン
廊下Ｍは、通常の通路として使用されている場所である
から、避難時に迷う等の虞がない。

次に、生産機器２２から窒素ガス等の窒息性ガスが漏洩
した場合について、第５図に基づいて説明する。

メイン廊下Ｍの床下空間部５２内に配設された外気導入
用ダクト５３とサブ廊下Ｓの床下空間に配設された外気
導入用ダクト３９との連通部に設けた外気導入量調整用
ダンパ５４を全開にすると共に、事故を起こした生産機
器２２の真下の床下空間３３に連通ずる外気導入用ダク
ト３９に設けたダンパ４１を全開にし、生産機器２２の
真下の床下空間３３への外気供給を増量し、この生産機
器２２の真下に位置する排気用ダンパ４５を開き、排気
用ダクト３７を駆動し、且つ、排気用ダクト４３のダン
パ４５を開き、緊急排気用ファン４４を駆動することに
よって窒息性ガスをその事故領域から床下空間３３へ押
し出し、その床下空間３３から排気用ダクト４３を介し
て外部に排気する。

尚、この際の外気供給は、他の生産機器２２の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト３９のダンパ４１
を全開に近い開度で開き、積極的に外気を供給すること
も可能である。

このように、事故を起こした生産機器２２が設置されて
いる漏洩領域は、窒息性ガスを積極的に床下空間３３へ
押し出すと共に、排気用ダクト４３を介して外部へ排出
することが出来る。

勿論、この場合にも、上述した如く、サブ廊下Ｓ及びメ
イン廊下Ｍを使って避難出来る。

尚、上記実施例では、天井空間２６と床下空間３３とを
各別に循環空気用ダクト２８を介して連結し、且つ、各
床下空間３３内に外気導入用ダクト３９から直に外気を
導入する場合について説明したが、循環空気用ダクト２
８を用いずに、各天井空間２６と床下空間３３とを廊下
、メンテナンスゾーン等の空間を使用しても良く、又、
各床下空間３３には外気導入用ダクト３９に連通ずるダ
クトを設けても良い。その−例を、第６図乃至第８図に
基づいて説明する。

サブ廊下Ｓの床下空間内に配設された外気導入用ダクト
３９には、各床下空間３３毎に導入管４２が取り付けら
れている。そして、各導入管４２には、各床下空間３３
内に配設されるダクト４７と連通し、導入側にダンパ４
１が設けられている。

各ダンパ４１は、メンテナンスゾーンＲと開口４日が連
通している。このメンテナンスゾーンＲが、上述の循環
空気用ダクトに代わって用いられるもので、上部には、
ファン４９が設けられ、メンテナンスゾーンＲに送られ
て来る外気を積極的に各天井空間２６内に送るようにな
っている。

尚、上記実施例では、サブ廊下Ｓの下に外気導入用ダク
ト３９を設けたが、サブ廊下Ｓの下に直に空洞を設け、
この空洞をダクトとして使用出来るようにしても良い。

又、メイン廊下Ｍと作業エリアＷに於ける上方をフィル
タ天井２３としたが、フィルタ天井２３に代えて吹出口
を設けた天井を配設しても良い。この場合には、各天井
空間２６毎及び天井空間５０に吹出口を設置する。

又、ガス漏洩量が少ない時には、′５Ｍ急排気用ファン
４４を用いず、生産機器２２と連絡する排気用ダクト３
６を用い、排気用ファン３７によって排気するようにし
ても良い。或いは、逆に外気供給量が足りない時には、
外気導入用ダクト３９にブースターファンを設け、送風
力を高めても良い。

更に又、外気導入用ダクト３９を、床下空間３３に連通
した場合について説明したが、各天井空間２６に設けて
も良い。

又、一次外気導入空間としては、メイン廊下に限らず、
サブ廊下、倉庫等の如く、外気を溜めることが可能な領
域であれば、特に限定するものではない。更に、この一
次外気導入空間への外気の供給手段としては、天井、床
、壁等に適宜の導入口を設け、この導入口から吹き出さ
せる等の手段によって達成される。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリー
ンルームによれば、作業空間とは仕切られた一次外気導
入空間を設け、この一次外気導入空間に外気を導入する
手段を設けると共に、この一次外気導入空間の空気を作
業空間の各空気循環系へ供給する手段を設けたものであ
るから、外気を一次外気導入空間内に供給して、この一
次外気導入空間内を加圧状態に保ち乍ら一次外気導入空
間から空気を作業空間の空気循環系に供給することが可
能となり、導入された外気を二つの目的に使用すること
が出来る。このため、限られた空間スペースしかないク
リーンルームに特別な配管系等を設けることなく外気を
導入することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを平面側から示す説明図である。 第２図は）本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用
クリーンルームを正面側から示す説明図である。 第３図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを側面側から示す説明図である。 第４図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルムで、毒性、可燃性ガスの漏洩時に作動してい
る状態を示す正面側から見た説明図である。 第５図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームで、窒息性ガスの漏洩時に作動している状
態を示す正面側から見た説明図である。 第６図は本発明の別の実施例に係る危険薬品使用工場等
用クリーンルームを平面的に見た説明図である。 第７図は第６図に於ける床下部を示す横断面図である。 第８図は第６図に於ける縦断面図である。 第９図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気シス
テムを示す正面側から見た説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 Ｍ・・・メイン廊下 Ｓ・・・サブ廊下 Ｗ・・・作業エリア Ｒ・・・メンテナンスゾーン ２１・・・作業空間 ２２・・・生産機器 ２３・・・フィルタ天井。。 第１図 第 図 ３７（羽Ｐ気、用ファン） 第 図 ｊ／ 第 図 第５ 図 第 図 第 第 図 図 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天
   井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにす
   ると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容す
   る空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻
   して循環出来るように循環用ファンを設けた空気循環系
   を備えたクリーンルームに於て、作業空間とは仕切られ
   た一次外気導入空間を設け、この一次外気導入空間に外
   気を導入する手段を設けると共に、この一次外気導入空
   間の空気を作業空間の各空気循環系へ供給する手段を設
   けたことを特徴とする危険薬品使用工場等用クリーンル
   ーム。
2. （２）一次外気導入空間が、循環用ダクト、廊下、メン
   テナンスゾーン、倉庫等であることを特徴とする請求項
   １記載の危険薬品使用工場等用クリーンルーム。
3. （３）一次外気導入空間には、天井、床、壁等から外気
   が導入されるように構成されていることを特徴とする請
   求項１記載の危険薬品使用工場等用クリーンルーム。