JP3521801B2 - クリーンルーム設備 - Google Patents
クリーンルーム設備Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム設備
に係り、特に連続運転する必要のない研究開発用のクリ
ーンルーム設備に関する。
に係り、特に連続運転する必要のない研究開発用のクリ
ーンルーム設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、天井面に多数のファ
ンフィルタユニットが設置され、このファンフィルタユ
ニットによって天井裏空間のエアが除塵されてクリーン
ルーム内に吹き出される。そして、吹き出されたエア
は、クリーンルーム下面のグレーチング床を介して床下
空間に吸い込まれ、その一部が排気ダクトを介して外部
に排気される。また、床下空間に吸い込まれた残りのエ
アは、クリーンルーム側壁に沿って形成された還気路
と、空調機が配設された還気ダクトを介して天井裏空間
に還気される。天井裏空間に還気されたエアは、再びフ
ァンフィルタユニットによって除塵されてクリーンルー
ム内に吹き出される。
ンフィルタユニットが設置され、このファンフィルタユ
ニットによって天井裏空間のエアが除塵されてクリーン
ルーム内に吹き出される。そして、吹き出されたエア
は、クリーンルーム下面のグレーチング床を介して床下
空間に吸い込まれ、その一部が排気ダクトを介して外部
に排気される。また、床下空間に吸い込まれた残りのエ
アは、クリーンルーム側壁に沿って形成された還気路
と、空調機が配設された還気ダクトを介して天井裏空間
に還気される。天井裏空間に還気されたエアは、再びフ
ァンフィルタユニットによって除塵されてクリーンルー
ム内に吹き出される。
【０００３】ところで、クリーンルーム設備は、前記フ
ァンフィルタユニットや空調機等の空調系機器を連続運
転することによってクリーンルームが常に高い清浄度に
維持され、空調系機器を停止すると清浄度が低下する。
したがって、例えば夜間にクリーンルームを使用しない
研究開発用のクリーンルーム設備の場合であっても空調
系機器を連続運転する必要がある。しかし、クリーンル
ームの未使用時に空調系機器を連続運転すると、クリー
ンルーム設備のランニングコストがかさむという問題が
ある。
ァンフィルタユニットや空調機等の空調系機器を連続運
転することによってクリーンルームが常に高い清浄度に
維持され、空調系機器を停止すると清浄度が低下する。
したがって、例えば夜間にクリーンルームを使用しない
研究開発用のクリーンルーム設備の場合であっても空調
系機器を連続運転する必要がある。しかし、クリーンル
ームの未使用時に空調系機器を連続運転すると、クリー
ンルーム設備のランニングコストがかさむという問題が
ある。
【０００４】そこで、従来のクリーンルーム設備は、ク
リーンルームの未使用時に空調系機器の一部を停止する
ことでランニングコストの削減を図っていた。例えば、
多数のファンフィルタユニットのうち複数台を停止して
間引き運転したり、ファンフィルタユニットを駆動しな
がら空調機の駆動を停止したりしていた。
リーンルームの未使用時に空調系機器の一部を停止する
ことでランニングコストの削減を図っていた。例えば、
多数のファンフィルタユニットのうち複数台を停止して
間引き運転したり、ファンフィルタユニットを駆動しな
がら空調機の駆動を停止したりしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ファン
フィルタユニットを間引き運転すると、クリーンルーム
内のエアが、停止中のファンフィルタユニットを介して
天井裏空間へ逆流し、その際フィルタに付着した塵埃が
ファンフィルタユニットの再駆動時にクリーンルーム内
に再飛散するという欠点がある。また、空調機を停止し
た場合には、還気ダクトの内圧が大きく低下し、外部の
塵埃が還気ダクトを介してクリーンルーム設備内に入り
込むため、塵埃を捕集するフィルタの寿命が低下すると
いう欠点がある。このように、従来のクリーンルーム設
備は、空調系機器の一部を停止した際にクリーンルーム
の清浄度が悪化するため、クリーンルームの清浄度の維
持とコスト削減の両方を実現することができなかった。
フィルタユニットを間引き運転すると、クリーンルーム
内のエアが、停止中のファンフィルタユニットを介して
天井裏空間へ逆流し、その際フィルタに付着した塵埃が
ファンフィルタユニットの再駆動時にクリーンルーム内
に再飛散するという欠点がある。また、空調機を停止し
た場合には、還気ダクトの内圧が大きく低下し、外部の
塵埃が還気ダクトを介してクリーンルーム設備内に入り
込むため、塵埃を捕集するフィルタの寿命が低下すると
いう欠点がある。このように、従来のクリーンルーム設
備は、空調系機器の一部を停止した際にクリーンルーム
の清浄度が悪化するため、クリーンルームの清浄度の維
持とコスト削減の両方を実現することができなかった。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、クリーンルームの未使用時において高い清浄度
を維持しながらコストを削減することができるクリーン
ルーム設備を提供することを目的とする。また、本発明
は、火災等の非常時にその排煙等がファンフィルタユニ
ットのフィルタに付着することのないクリーンルーム設
備を提供することを目的とする。
もので、クリーンルームの未使用時において高い清浄度
を維持しながらコストを削減することができるクリーン
ルーム設備を提供することを目的とする。また、本発明
は、火災等の非常時にその排煙等がファンフィルタユニ
ットのフィルタに付着することのないクリーンルーム設
備を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、空調機の給気側とクリーンルームの天井裏
空間との間が給気ダクトで連結されると共に前記空調機
の吸気側と前記クリーンルームの床下空間との間が還気
ダクトで連結されて前記空調機と前記クリーンルームと
の間にエアの第１循環路が形成される一方、前記クリー
ンルームの天井面に前記天井裏空間に給気されたエアを
クリーンルーム内に吹き出すファンフィルタユニットが
複数配設されると共に、前記天井面の天井裏空間と前記
クリーンルームの床下空間との間がクリーンルーム側壁
に沿って形成された還気路で連結されて前記天井裏空間
と前記床下空間との間にエアの第２循環路が形成された
クリーンルーム設備において、前記還気路には、前記第
２循環路を開閉する開閉手段が設けられると共に、前記
ファンフィルタユニットのファンを駆動した際に前記開
閉手段を開放し、前記ファンを停止した際に前記開閉手
段を閉成する前記開閉手段の制御装置を備えることを特
徴とする。
するために、空調機の給気側とクリーンルームの天井裏
空間との間が給気ダクトで連結されると共に前記空調機
の吸気側と前記クリーンルームの床下空間との間が還気
ダクトで連結されて前記空調機と前記クリーンルームと
の間にエアの第１循環路が形成される一方、前記クリー
ンルームの天井面に前記天井裏空間に給気されたエアを
クリーンルーム内に吹き出すファンフィルタユニットが
複数配設されると共に、前記天井面の天井裏空間と前記
クリーンルームの床下空間との間がクリーンルーム側壁
に沿って形成された還気路で連結されて前記天井裏空間
と前記床下空間との間にエアの第２循環路が形成された
クリーンルーム設備において、前記還気路には、前記第
２循環路を開閉する開閉手段が設けられると共に、前記
ファンフィルタユニットのファンを駆動した際に前記開
閉手段を開放し、前記ファンを停止した際に前記開閉手
段を閉成する前記開閉手段の制御装置を備えることを特
徴とする。
【０００８】請求項１記載の発明によれば、前記開閉手
段を閉じて第２循環路を遮断すると共にファンフィルタ
ユニットを停止し、空調機のみを運転することにより、
空調機から天井裏空間に給気されたエアによって天井裏
空間の圧力がクリーンルーム内の圧力よりも高くなり、
ファンフィルタユニットを運転しなくても、天井裏空間
のエアがファンフィルタユニットのフィルタを介してク
リーンルーム内に吹き出される。したがって、クリーン
ルーム内の適切な空調や清浄度を維持しながら、ファン
フィルタユニットを停止した分の電力費を削減すること
ができる。
段を閉じて第２循環路を遮断すると共にファンフィルタ
ユニットを停止し、空調機のみを運転することにより、
空調機から天井裏空間に給気されたエアによって天井裏
空間の圧力がクリーンルーム内の圧力よりも高くなり、
ファンフィルタユニットを運転しなくても、天井裏空間
のエアがファンフィルタユニットのフィルタを介してク
リーンルーム内に吹き出される。したがって、クリーン
ルーム内の適切な空調や清浄度を維持しながら、ファン
フィルタユニットを停止した分の電力費を削減すること
ができる。
【０００９】
【００１０】請求項５記載の発明によれば、火災等の非
常時に、前記開閉バルブを閉じて第１循環路を遮断する
とともに前記開閉手段を閉じて第２循環路を閉塞するこ
とにより、クリーンルーム内の排煙が天井裏空間に還気
されることを防止できる。したがって、排煙がファンフ
ィルタユニットのフィルタに付着しないので、クリーン
ルーム設備の被害を最小限に抑えることができる。
常時に、前記開閉バルブを閉じて第１循環路を遮断する
とともに前記開閉手段を閉じて第２循環路を閉塞するこ
とにより、クリーンルーム内の排煙が天井裏空間に還気
されることを防止できる。したがって、排煙がファンフ
ィルタユニットのフィルタに付着しないので、クリーン
ルーム設備の被害を最小限に抑えることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態について
説明する。
係るクリーンルーム設備の好ましい実施の形態について
説明する。
【００１２】第１の実施の形態に係るクリーンルーム設
備１０は、図１に示すように、主としてクリーンルーム
１２、天井裏空間１４及び床下空間１６からなり、クリ
ーンルーム１２の天井面には、複数台のファンフィルタ
ユニット１８、１８…が配設されている。ファンフィル
タユニット１８は、フィルタ２０とファン２２を備え、
該ファン２２を駆動することにより天井裏空間１４のエ
アがファルタ２０で除塵されてクリーンルーム１２内に
吹き出される。また、クリーンルーム１２の床面には、
多数の開口を有するグレーチング床２４が配設され、ク
リーンルーム１２内に吹き出されたエアは、このグレー
チング床２４の開口を介して床下空間１６に吸い込まれ
る。
備１０は、図１に示すように、主としてクリーンルーム
１２、天井裏空間１４及び床下空間１６からなり、クリ
ーンルーム１２の天井面には、複数台のファンフィルタ
ユニット１８、１８…が配設されている。ファンフィル
タユニット１８は、フィルタ２０とファン２２を備え、
該ファン２２を駆動することにより天井裏空間１４のエ
アがファルタ２０で除塵されてクリーンルーム１２内に
吹き出される。また、クリーンルーム１２の床面には、
多数の開口を有するグレーチング床２４が配設され、ク
リーンルーム１２内に吹き出されたエアは、このグレー
チング床２４の開口を介して床下空間１６に吸い込まれ
る。
【００１３】床下空間１６は、還気ダクト２８を介して
空調機３０の吸気側に連結され、この空調機３０の給気
側は、給気ダクト２９を介して天井裏空間１４に連結さ
れ、これにより、空調機３０とクリーンルーム１２との
間に、給気ダクト２９及び還気ダクト２８を用いた第１
循環路が形成されている。空調機３０は、還気ダクト２
８を介して送気されたエアを外気と混合して温湿度調節
し、この温湿度調節したエアを、給気ダクト２９を介し
て天井裏空間１４に送気する。
空調機３０の吸気側に連結され、この空調機３０の給気
側は、給気ダクト２９を介して天井裏空間１４に連結さ
れ、これにより、空調機３０とクリーンルーム１２との
間に、給気ダクト２９及び還気ダクト２８を用いた第１
循環路が形成されている。空調機３０は、還気ダクト２
８を介して送気されたエアを外気と混合して温湿度調節
し、この温湿度調節したエアを、給気ダクト２９を介し
て天井裏空間１４に送気する。
【００１４】また、床下空間１６は、排気ダクト２６を
介してクーンルーム設備１０の外部に連通され、これに
より、床下空間１６内のエアの一部がクリーンルーム設
備１０外に排気される。
介してクーンルーム設備１０の外部に連通され、これに
より、床下空間１６内のエアの一部がクリーンルーム設
備１０外に排気される。
【００１５】クリーンルーム１２の側壁の外側には、床
下空間１６と天井裏空間１４とを連通する還気路３２が
形成され、この還気路３２により天井裏空間１４と床下
空間１６との間で第２循環路が形成されている。還気路
３２の上部には、開閉ダンパ（開閉手段に相当）３４が
配設されている。開閉ダンパ３４は、図２に示すように
回動自在に取り付けられた羽根３６によって構成され、
この羽根３６をモータ等のアクチュエータ（図示せず）
によって回動させることにより還気路３２を開閉するよ
うに構成される。羽根３６の両端部には、弾性体３７、
３７が取り付けられ、還気路３２を完全に遮断できるよ
うになっている。この開閉ダンパ３４は、図示しない制
御装置によって制御され、ファンフィルタユニット１８
のファン２２を駆動した際に開放し、ファン２２を停止
した際に閉成するように構成される。
下空間１６と天井裏空間１４とを連通する還気路３２が
形成され、この還気路３２により天井裏空間１４と床下
空間１６との間で第２循環路が形成されている。還気路
３２の上部には、開閉ダンパ（開閉手段に相当）３４が
配設されている。開閉ダンパ３４は、図２に示すように
回動自在に取り付けられた羽根３６によって構成され、
この羽根３６をモータ等のアクチュエータ（図示せず）
によって回動させることにより還気路３２を開閉するよ
うに構成される。羽根３６の両端部には、弾性体３７、
３７が取り付けられ、還気路３２を完全に遮断できるよ
うになっている。この開閉ダンパ３４は、図示しない制
御装置によって制御され、ファンフィルタユニット１８
のファン２２を駆動した際に開放し、ファン２２を停止
した際に閉成するように構成される。
【００１６】次に上記の如く構成されたクリーンルーム
設備１０の好ましい実施の形態について詳説する。
設備１０の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１７】昼間のように、クリーンルーム１２内に作
業者がいたり、クリーンルーム１２内の装置等が稼働し
たりしてクリーンルーム１２内に発生する塵埃量が多い
ときには、開閉ダンパ３４を開にして第１循環路と第２
循環路を生かした状態で空調機３０とファンフィルタユ
ニット１８の両方を運転する。これにより、空調機３０
から給気ダクト２９を介して天井裏空間１４に給気され
たエアは、ファンフィルタユニット１８によりクリーン
ルーム１２内に吹き出され、塵埃を同伴して床下空間１
６に排出される。床下空間１６に排出されたエアの一部
は、還気路３２を通って天井裏空間１４に戻され、残り
のエアは還気ダクト２８を介して空調機３０にもどされ
る。これにより、クリーンルーム１２内の適切な空調と
高い清浄度を維持することができる。しかし、夜間のよ
うに、クリーンルーム１２内に作業者がおらず、クリー
ンルーム１２内の装置等も稼働しておらずクリーンルー
ム１２内に発生する塵埃量が少ないときには、開閉ダン
パ３４を閉じることにより第２循環路を遮断すると共に
ファンフィルタユニット１８を停止し、空調機３０のみ
を運転する。これにより、空調機３０から天井裏空間１
４に給気されたエアにより天井裏空間１４の圧力が上昇
してクリーンルーム１２内の圧力よりも高くなるので、
ファンフィルタユニット１８を運転しなくても、天井裏
空間１４のエアがファンフィルタユニット１８のフィル
タ２０を介してクリーンルーム１２内に吹き出される。
吹き出されたエアは、床下空間１６から還気ダクト２８
を通って空調機３０に戻される。この場合、クリーンル
ーム１２内に吹き出されるエア量はファンフィルタユニ
ット１８を運転した場合よりも少ないが、発生する塵埃
量が少ないので問題ない。従って、クリーンルーム１２
内の適切な空調や清浄度を維持しながら、ファンフィル
タユニット１８を停止した分の電力費を削減することが
できる。
業者がいたり、クリーンルーム１２内の装置等が稼働し
たりしてクリーンルーム１２内に発生する塵埃量が多い
ときには、開閉ダンパ３４を開にして第１循環路と第２
循環路を生かした状態で空調機３０とファンフィルタユ
ニット１８の両方を運転する。これにより、空調機３０
から給気ダクト２９を介して天井裏空間１４に給気され
たエアは、ファンフィルタユニット１８によりクリーン
ルーム１２内に吹き出され、塵埃を同伴して床下空間１
６に排出される。床下空間１６に排出されたエアの一部
は、還気路３２を通って天井裏空間１４に戻され、残り
のエアは還気ダクト２８を介して空調機３０にもどされ
る。これにより、クリーンルーム１２内の適切な空調と
高い清浄度を維持することができる。しかし、夜間のよ
うに、クリーンルーム１２内に作業者がおらず、クリー
ンルーム１２内の装置等も稼働しておらずクリーンルー
ム１２内に発生する塵埃量が少ないときには、開閉ダン
パ３４を閉じることにより第２循環路を遮断すると共に
ファンフィルタユニット１８を停止し、空調機３０のみ
を運転する。これにより、空調機３０から天井裏空間１
４に給気されたエアにより天井裏空間１４の圧力が上昇
してクリーンルーム１２内の圧力よりも高くなるので、
ファンフィルタユニット１８を運転しなくても、天井裏
空間１４のエアがファンフィルタユニット１８のフィル
タ２０を介してクリーンルーム１２内に吹き出される。
吹き出されたエアは、床下空間１６から還気ダクト２８
を通って空調機３０に戻される。この場合、クリーンル
ーム１２内に吹き出されるエア量はファンフィルタユニ
ット１８を運転した場合よりも少ないが、発生する塵埃
量が少ないので問題ない。従って、クリーンルーム１２
内の適切な空調や清浄度を維持しながら、ファンフィル
タユニット１８を停止した分の電力費を削減することが
できる。
【００１８】このように第１の実施の形態のクリーンル
ーム設備１０によれば、還気路３２に開閉ダンパ３４を
設け、この開閉ダンパ３４をファンフィルタユニット１
８の停止時に閉じたので、ファンフィルタユニット１８
を停止してもエアが第１循環路を介して空調機３０とク
リーンルーム１２との間で循環し、クリーンルーム１２
の清浄度が保たれる。これにより、クリーンルーム１２
の清浄度を保ちながら、ファンフィルタユニット１８を
停止した分の電力を削減することができる。
ーム設備１０によれば、還気路３２に開閉ダンパ３４を
設け、この開閉ダンパ３４をファンフィルタユニット１
８の停止時に閉じたので、ファンフィルタユニット１８
を停止してもエアが第１循環路を介して空調機３０とク
リーンルーム１２との間で循環し、クリーンルーム１２
の清浄度が保たれる。これにより、クリーンルーム１２
の清浄度を保ちながら、ファンフィルタユニット１８を
停止した分の電力を削減することができる。
【００１９】また、第１の実施の形態によれば、空調機
３０を連続運転しているので、クリーンルーム１２には
常に温湿度調節されたエアが供給され、クリーンルーム
１２内を一定の環境に保つことができる。
３０を連続運転しているので、クリーンルーム１２には
常に温湿度調節されたエアが供給され、クリーンルーム
１２内を一定の環境に保つことができる。
【００２０】また、第１の実施の形態において、空調機
３０をインバータ等で制御し、ファンフィルタユニット
１８の停止時に回転数を低下させると、さらにコストを
削減することができる。この場合、クリーンルーム１２
内で発生する塵埃の発生量に応じて空調機３０の回転数
を制御するとよい。
３０をインバータ等で制御し、ファンフィルタユニット
１８の停止時に回転数を低下させると、さらにコストを
削減することができる。この場合、クリーンルーム１２
内で発生する塵埃の発生量に応じて空調機３０の回転数
を制御するとよい。
【００２１】なお、第１の実施の形態では、遮断手段と
して開閉ダンパ３４を還気路３２の上部に取り付けたが
これに限定するものではなく、還気路３２を開閉できる
のであればよい。例えば図１の還気路３２の床面３８
を、図３に示すように、摺動自在に取り付けた２枚の多
孔板４０、４２によって構成し、一方の多孔板４２をモ
ータ等のアクチュエータ（図示せず）によって矢印４４
方向に摺動させる。これにより、多孔板４２の摺動量に
よって床面３８の開口率を調節できるので、クリーンル
ーム１２内外の差圧を間接的に調節することができる。
して開閉ダンパ３４を還気路３２の上部に取り付けたが
これに限定するものではなく、還気路３２を開閉できる
のであればよい。例えば図１の還気路３２の床面３８
を、図３に示すように、摺動自在に取り付けた２枚の多
孔板４０、４２によって構成し、一方の多孔板４２をモ
ータ等のアクチュエータ（図示せず）によって矢印４４
方向に摺動させる。これにより、多孔板４２の摺動量に
よって床面３８の開口率を調節できるので、クリーンル
ーム１２内外の差圧を間接的に調節することができる。
【００２２】また、遮断手段として、図４に示すような
遮蔽板４６を設けても良い。遮蔽板４６は、還気路３２
の床面を形成するグレーチング床３８上にスライド自在
に設けられ、図４（ａ）の開放状態から図４（ｂ）の状
態を介して図４（ｃ）の閉成状態にスライドされる。
遮蔽板４６を設けても良い。遮蔽板４６は、還気路３２
の床面を形成するグレーチング床３８上にスライド自在
に設けられ、図４（ａ）の開放状態から図４（ｂ）の状
態を介して図４（ｃ）の閉成状態にスライドされる。
【００２３】第２の実施の形態のクリーンルーム設備５
０は、図５に示すように還気ダクト２８にダンパ（開閉
バルブに相当）５２が配設され、このダンパ５２が非常
時に閉じるように構成される。なお、図１で示した第１
の実施の形態と同一若しくは類似の部材については、同
一の符号を付してその説明を省略する。
０は、図５に示すように還気ダクト２８にダンパ（開閉
バルブに相当）５２が配設され、このダンパ５２が非常
時に閉じるように構成される。なお、図１で示した第１
の実施の形態と同一若しくは類似の部材については、同
一の符号を付してその説明を省略する。
【００２４】上記の如く構成されたクリーンルーム設備
５０では、クリーンルーム１２内や床下空間１６で非常
事態、例えば火災や危険薬品の飛散等が発生した場合
に、ダンパ５２と開閉ダンパ３４を閉じて、第１循環路
（還気ダクト２８）及び第２循環路（還気路３２）を遮
断する。これにより、クリーンルーム１２内のエアは、
床下空間１６に吸い込まれた後、第１循環路及び第２循
環路を介して天井裏空間１４に還気されることがなく、
全て排気ダクト２６からクリーンルーム設備５０外に排
気される。
５０では、クリーンルーム１２内や床下空間１６で非常
事態、例えば火災や危険薬品の飛散等が発生した場合
に、ダンパ５２と開閉ダンパ３４を閉じて、第１循環路
（還気ダクト２８）及び第２循環路（還気路３２）を遮
断する。これにより、クリーンルーム１２内のエアは、
床下空間１６に吸い込まれた後、第１循環路及び第２循
環路を介して天井裏空間１４に還気されることがなく、
全て排気ダクト２６からクリーンルーム設備５０外に排
気される。
【００２５】このように第２の実施の形態のクリーンル
ーム設備５０によれば、ダンパ５２と開閉ダンパ３４に
よって第１循環路及び第２循環路を遮断するので、クリ
ーンルーム１２内や床下空間１６内の排煙や危険薬品等
が天井裏空間１４に還気されることがない。したがっ
て、排煙や危険薬品がファンフィルタユニット１８のフ
ィルタ２０に付着してフィルタ２０の寿命を低下させる
のを防止することができ、非常事態におけるクリーンル
ーム設備１０の被害を最小限に抑えることができる。
ーム設備５０によれば、ダンパ５２と開閉ダンパ３４に
よって第１循環路及び第２循環路を遮断するので、クリ
ーンルーム１２内や床下空間１６内の排煙や危険薬品等
が天井裏空間１４に還気されることがない。したがっ
て、排煙や危険薬品がファンフィルタユニット１８のフ
ィルタ２０に付着してフィルタ２０の寿命を低下させる
のを防止することができ、非常事態におけるクリーンル
ーム設備１０の被害を最小限に抑えることができる。
【００２６】なお、第２の実施の形態において、排気ダ
クト２６に風量調整ダンパを配設し、この風量調整ダン
パによって排気時の排気量を調節してもよい。
クト２６に風量調整ダンパを配設し、この風量調整ダン
パによって排気時の排気量を調節してもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のクリーンル
ーム設備によれば、還気路に開閉手段を設け、この開閉
手段を閉じて第２循環路を遮断すると共にファンフィル
タユニットを停止し、空調機のみを運転するようにした
ので、ファンフィルタユニットを運転しなくても、天井
裏空間のエアがファンフィルタユニットのフィルタを介
してクリーンルーム内に吹き出され、クリーンルーム内
の適切な空調や清浄度を維持することができる。これに
より、クリーンルームの清浄度を維持しながら、ファン
フィルタユニットを停止した分の電力費を削減すること
ができる。さらに、本発明によれば、還気ダクトに開閉
バルブを設けることにより、火災等の非常時に排煙等が
ファンフィルタユニットのフィルタに付着しないように
することができる。
ーム設備によれば、還気路に開閉手段を設け、この開閉
手段を閉じて第２循環路を遮断すると共にファンフィル
タユニットを停止し、空調機のみを運転するようにした
ので、ファンフィルタユニットを運転しなくても、天井
裏空間のエアがファンフィルタユニットのフィルタを介
してクリーンルーム内に吹き出され、クリーンルーム内
の適切な空調や清浄度を維持することができる。これに
より、クリーンルームの清浄度を維持しながら、ファン
フィルタユニットを停止した分の電力費を削減すること
ができる。さらに、本発明によれば、還気ダクトに開閉
バルブを設けることにより、火災等の非常時に排煙等が
ファンフィルタユニットのフィルタに付着しないように
することができる。
【図１】第１の実施の形態に係るクリーンルーム設備を
示す概略構成図
示す概略構成図
【図２】図１に示したダンパの構造を示す説明図
【図３】図２と別構造の開閉手段を説明する説明図
【図４】図２と別構造の遮断手段を説明する説明図
【図５】第２の実施の形態に係るクリーンルーム設備を
示す概略構成図
示す概略構成図
１０…クリーンルーム設備、１２…クリーンルーム、１
４…天井裏空間、１６…床下空間、１８…ファンフィル
タユニット、２４…グレーチング床、２８…還気ダク
ト、２９…給気ダクト、３０…空調機、３２…還気路、
３４…開閉ダンパ
４…天井裏空間、１６…床下空間、１８…ファンフィル
タユニット、２４…グレーチング床、２８…還気ダク
ト、２９…給気ダクト、３０…空調機、３２…還気路、
３４…開閉ダンパ
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (5)
- 【請求項１】空調機の給気側とクリーンルームの天井裏
空間との間が給気ダクトで連結されると共に前記空調機
の吸気側と前記クリーンルームの床下空間との間が還気
ダクトで連結されて前記空調機と前記クリーンルームと
の間にエアの第１循環路が形成される一方、前記クリー
ンルームの天井面に前記天井裏空間に給気されたエアを
クリーンルーム内に吹き出すファンフィルタユニットが
複数配設されると共に、前記天井面の天井裏空間と前記
クリーンルームの床下空間との間がクリーンルーム側壁
に沿って形成された還気路で連結されて前記天井裏空間
と前記床下空間との間にエアの第２循環路が形成された
クリーンルーム設備において、 前記還気路には、前記第２循環路を開閉する開閉手段が
設けられると共に、 前記ファンフィルタユニットのファンを駆動した際に前
記開閉手段を開放し、前記ファンを停止した際に前記開
閉手段を閉成する前記開閉手段の制御装置を備える こと
を特徴とするクリーンルーム設備。 - 【請求項２】前記開閉手段は、回動自在に取り付けられ
るとともに両端部に弾性体が取り付けられた羽根によっ
て構成され、該開閉手段によって前記還気路を完全に遮
断することを特徴とする請求項１のクリーンルーム設
備。 - 【請求項３】前記開閉手段は、摺動自在に取り付けられ
た二枚の多孔板から成ることを特徴とする請求項１のク
リーンルーム設備。 - 【請求項４】前記開閉手段は、前記クリーンルームの床
面を形成するグレーチング床にスライド自在に設けられ
た遮蔽板によって構成されることを特徴とする請求項１
のクリーンルーム設備。 - 【請求項５】前記還気ダクトには、前記第１循環路を遮
断する開閉バルブ又はダンパを設けたことを特徴とする
請求項１〜４のいずれか１のクリーンルーム設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16952399A JP3521801B2 (ja) | 1999-06-16 | 1999-06-16 | クリーンルーム設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16952399A JP3521801B2 (ja) | 1999-06-16 | 1999-06-16 | クリーンルーム設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000356379A JP2000356379A (ja) | 2000-12-26 |
| JP3521801B2 true JP3521801B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=15888092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16952399A Expired - Fee Related JP3521801B2 (ja) | 1999-06-16 | 1999-06-16 | クリーンルーム設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3521801B2 (ja) |
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| KR102308237B1 (ko) * | 2021-04-06 | 2021-10-01 | 에스지생활안전 주식회사 | 환기 시스템 및 이의 제어 방법 |
-
1999
- 1999-06-16 JP JP16952399A patent/JP3521801B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JP2000356379A (ja) | 2000-12-26 |
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