JPH06257813A - クリーンルーム内の気流調整装置及び運転停止後の清浄度維持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルーム内の気流分布を調整でき、ま
た送風ファンの停止後でもクリーンルームの清浄度を維
持できることを可能とする。 【構成】 クリーンルーム１の上部にフィルター３を介
して給気チャンバー４を設け、クリーンルーム１の下部
に、床面となる多数のグレーチング５を設けると共にそ
の下方に還気チャンバー６を形成し、上記給気チャンバ
ー４からフィルター３を介してクリーンルーム１に流入
し、グレーチング５を介して還気チャンバー６に流れる
クリーンルーム１内の気流を調整するクリーンルーム内
の気流調整装置において、各グレーチング５の下方に設
けられそのグレーチング５の開口の開度を調整する可動
シャッター１６と、各グレーチング５の開口に臨んで設
けられた風速計１８と、その風速計１８の検出値に応じ
て開度を調節すべく可動シャッターを駆動する駆動手段
１７とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内の清
浄空気の流れを調整すると共にクリーンルーム運転停止
後のクリーンルーム内の清浄度を保つためのクリーンル
ーム内の気流調整装置及び運転停止後の清浄度維持装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般にクリーンルームは、その上部にフ
ィルターを介して清浄空気を吹き出す給気チャンバーが
配置され、下部にグレーチングなどを介して清浄空気を
吸い込む還気チャンバーが配置されて形成され、給気チ
ャンバーからフィルターを介してクリーンルームに吹き
出された清浄空気がクリーンルームを降下して還気チャ
ンバーに吸い込まれ、適宜換気用の外気が混入されて再
度クリーンルームに循環されるようになっている。

【０００３】従来、このクリーンルームへの清浄空気の
循環は、種々のものが提案されている。図４は、クリー
ンルームｆとは別置きの空気調和機ａで清浄空気を循環
するものである。図において、部屋ｌの上部がフイルタ
ーｅで仕切られ、その上方に給気チャンバーｄが形成さ
れ、その下方にクリーンルームｆが形成されると共に部
屋ｌの下部に床面となるクレーチングｇが設けられ、そ
の下方に還気チャンバーｈが形成される。この還気チャ
ンバーｈと給気チャンバーｄとは空気循環通路ｊで接続
される。すなわち還気チャンバーｈには、還気ダクトｉ
を介して空気調和機ａの吸込み側が接続され、その空気
調和機ａの吹出し側が給気ダクトｃを介して給気チャン
バーｄに接続される。空気調和機ａの送風ファンｂより
供給空気は、給気ダクトｃを経て給気チャンバーｄに流
れ、フイルターｅを通して清浄空気とされてクリーンル
ームｆに吹出される。クリーンルームｆに吹出された清
浄空気は図示の矢印のように降下してクリーンルームｆ
からグレーチングｇを介して還気チャンバーｈに流れ、
還気ダクトｉを通して空気調和機ａに戻る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、これら従来
例においては、クリーンルームｆ内を降下する気流は、
５ｍ／ｓ前後にされるが、必ずしも面全体で均一に降下
しているとはいいがたく、各箇所で気流の分布にムラが
あっても運転中これを調整することはできない問題があ
る。

【０００５】またクリーンルームｆに空気を循環する送
風ファンｂが停止した時、例えば電気検査時，クリーン
ルームの補修点検，送風ファンの点検，停電時など、比
較的短時間でクリーンルームｆの清浄度が低下する問題
がある。すなわち送風ファンｂの停止により空気の循環
がなくなり、サプライ側やレターン側から外気が侵入し
たり、壁面や通路や還気チャンバーｈの粒子が再飛散し
て清浄度を悪くする。

【０００６】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
で、クリーンルーム内の気流分布を調整でき、また送風
ファンの停止後でもクリーンルームの清浄度を維持でき
るクリーンルーム内の気流調整装置及び運転停止後の清
浄度維持装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、クリーンルームの上部にフィルターを
介して給気チャンバーを設け、クリーンルームの下部
に、床面となる多数のグレーチングを設けると共にその
下方に還気チャンバーを形成し、上記給気チャンバーか
らフィルターを介してクリーンルームに流入し、グレー
チングを介して還気チャンバーに流れるクリーンルーム
内の気流を調整するクリーンルーム内の気流調整装置に
おいて、各グレーチングの下方に設けられそのグレーチ
ングの開口の開度を調整する可動シャッターと、各グレ
ーチングの開口に臨んで設けられた風速計と、その風速
計の検出値に応じて開度を調節すべく可動シャッターを
駆動する駆動手段とを備えたクリーンルーム内の気流調
整装置であり、またクリーンルームの上部にフィルター
を介して給気チャンバーを設け、クリーンルームの下部
に、床面となる多数のグレーチングを設けると共にその
下方に還気チャンバーを形成し、上記給気チャンバーか
らフィルターを介してクリーンルームに流入し、グレー
チングを介して還気チャンバーに流れるクリーンルーム
内の気流が停止した際のクリーンルーム運転停止後の清
浄度維持装置において、各グレーチングの下方に、運転
停止後グレーチングの開口を全閉する可動シャッターを
設けたクリーンルーム運転停止後の清浄度維持装置であ
る。

【０００８】

【作用】上記の構成によれば、グレーチングの下方に可
動シャッターを設けておき、各グレーチングの開口を通
る気流の風速を風速計で検出し、各グレーチングの開口
を通る降下流が均一になるよう可動シャッターで開度を
調整することで気流分布が均一になる。また送風ファン
が停止した後は、可動シャッターで開口を全閉とするこ
とで、還気チャンバー内の粒子がクリーンルーム内に再
飛散することを防止でき、クリーンルームの清浄度を維
持できる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の好適実施例を添付図面に基づ
いて説明する。

【００１０】図１において、１は工場や研究室などの部
屋２内に形成されるクリーンルームで、その上部にフィ
ルター３を介して給気チャンバー４が形成され、また下
部に床面となるグレーチング５が多数設けられ、その下
方に還気チャンバー６が形成される。

【００１１】この還気チャンバー６と給気チャンバー４
とは空気循環通路７で接続される。すなわち還気チャン
バー６には、還気ダクト８を介して空気調和機９の吸込
み側が接続され、その空気調和機９の吹出し側が給気ダ
クト１０を介して給気チャンバー４に接続される。空気
調和機９には、熱交換器１１と送風ファン１２が設けら
れる。クリーンルーム１の運転時は、空気調和機９の送
風ファン１２の駆動により還気チャンバー６内の空気を
吸引し、熱交換器１１で空調した後、給気ダクト１０を
介して給気チャンバー４に送風され、さらに給気チャン
バー４からフィルター３を通して清浄化された空気がク
リーンルーム１内で矢印１３に示すような降下流とな
り、グレーチング５の開口１４を通って還気チャンバー
６に流れ、再度空気調和機９で循環される。また空気調
和機９には適宜外気導入ダクト１５が接続される。

【００１２】さて本発明においては、各グレーチング５
の下方に可動シャッター１６が設けられ、その可動シャ
ッター１６が電動モータなどの駆動手段１７で、グレー
チング５の開口１４の開度を調整できるようになってい
る。また開口１４の下方には、開口１４を通る空気の風
速を検出する風速計１８が設けられ、この風速計１８の
検出値が制御装置１９に入力され、その検出値に基づい
て制御装置１９が駆動手段１７に出力して可動シャッタ
ー１６を移動して開口１４の開度を調整するようになっ
ている。

【００１３】このグレーチング５と可動シャッター１６
とを図２によりさらに詳しく説明する。

【００１４】先ず、図２（ａ）に示すようにグレーチン
グ５は、部屋２の底部に縦横に設けた根太ビーム２０上
に敷設されて設けられる。このグレーチング５の下方に
は円盤上の可動シャッター１６が回転自在に設けられ
る。グレーチング５に設けられる開口１４は、図２
（ｂ）に示すよう、その下方の可動シャッター１６内で
放射状に多数設けられ、かつ可動シャッター１６にも、
グレーチング５の開口１４と対応した開口２１が設けら
れる。

【００１５】次に上記実施例の作用を説明する。

【００１６】先ずクリーンルーム運転時、空気調和機９
の送風ファン１２が駆動されると、ファン１２から吹き
出された空気は、給気チャンバー４に流入し、フィルタ
ー３を通して清浄空気としてクリーンルーム１に流れ込
み、その後グレーチング５の各開口１４を通して還気チ
ャンバー６へ流れ、再度空気調和機９の送風ファン１２
で循環される。

【００１７】このクリーンルーム運転中に、制御装置１
９は各グレーチング５の開口１４を通る降下流を風速計
１８で検出し、それぞれの風速計１８での検出風速が同
じになるように可動シャッター１６の開口２１の回転位
置を調整して開口１４の開度を所定開度に調整する。

【００１８】このように各グレーチング５の開口１４を
通る清浄空気の風速を同じにすることでクリーンルーム
１内の面方向での降下流にムラがなく、風速分布の均一
な降下流とすることができる。

【００１９】また、このクリーンルーム運転中に送風フ
ァン１２が停止した時、例えば電気検査時，クリーンル
ームの補修点検，送風ファンの点検時など、ファン１２
による空気の循環が停止されるため、停止後はクリーン
ルーム１内の清浄度が低下してくる。

【００２０】そこで、可動シャッター１６でグレーチン
グ５の開口１４を全閉にすることで、クリーンルーム１
内は、完全に閉じた空間となり、その清浄度を維持でき
る。

【００２１】図３は、図２に示したグレーチング５と可
動シャッター１６の変形例を示したものである。

【００２２】この図３において、グレーチング５の開口
１４を格子状に形成し、可動シャッター１６にもその格
子状の開口２１を形成し、その可動シャッター１６を、
駆動手段１７で、図示の矢印で示すようにスライドして
開口１４の開度を調整するようにしたものである。

【００２３】なお本発明は上述した実施例に限定される
ものでなく、グレーチング５の開口１４と可動シャッタ
ー１６の形状は、種々のものがあり、要はグレーチング
５を通る空気量を調整できるものであれば、いかなるも
のでもよい。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば次のごとき優れた効果を発揮する。

【００２５】(1) 請求項１によれば、各グレーチングの
開口の開度を調整することでクリーンルーム内の降下流
を均一なものとすることができる。

【００２６】(2) 請求項２によれば、送風ファンが停止
した後に、各グレーチングの開口を可動シャッターで全
閉にすることで、クリーンルーム内を密閉した状態にで
き、クリーンルーム内の清浄度を維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す図である。

【図２】図１の要部を示す図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す図である。

【図４】従来例を示す図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ３ フィルター ４ 給気チャンバー ５ グレーチング ６ 還気チャンバー １４ 開口 １６ 可動シャッター １７ 駆動手段 １８ 風速計

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯野 一智 東京都港区浜松町１−25−７ 株式会社朝 日工業社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの上部にフィルターを介
   して給気チャンバーを設け、クリーンルームの下部に、
   床面となる多数のグレーチングを設けると共にその下方
   に還気チャンバーを形成し、上記給気チャンバーからフ
   ィルターを介してクリーンルームに流入し、グレーチン
   グを介して還気チャンバーに流れるクリーンルーム内の
   気流を調整するクリーンルーム内の気流調整装置におい
   て、各グレーチングの下方に設けられそのグレーチング
   の開口の開度を調整する可動シャッターと、各グレーチ
   ングの開口に臨んで設けられた風速計と、その風速計の
   検出値に応じて開度を調節すべく可動シャッターを駆動
   する駆動手段とを備えたことを特徴とするクリーンルー
   ム内の気流調整装置。
2. 【請求項２】 クリーンルームの上部にフィルターを介
   して給気チャンバーを設け、クリーンルームの下部に、
   床面となる多数のグレーチングを設けると共にその下方
   に還気チャンバーを形成し、上記給気チャンバーからフ
   ィルターを介してクリーンルームに流入し、グレーチン
   グを介して還気チャンバーに流れるクリーンルーム内の
   気流が停止した際のクリーンルーム運転停止後の清浄度
   維持装置において、各グレーチングの下方に、運転停止
   後グレーチングの開口を全閉する可動シャッターを設け
   たことを特徴とする運転停止後の清浄度維持装置。