JP2582867B2 - 危険薬品使用工場等用クリーンルーム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、危険薬品を使用する工場等に用いられるク
リーンルームに関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第９
図に示すものが知られていた。

図に於て、１は作業空間で、所定の間隔を置いて作業
機器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４
を設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダン
パ４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業
空間１内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５に
よって排気している。６は作業空間１の上方に位置する
天井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。
このフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循
環空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、
これに限らず、作業空間１の上方を天井によって仕切
り、その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そし
て、この天井空間６では、循環空気を収容し、作業空間
１側に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作
業空間１に吹き出すように形成されている。８は作業空
間１の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕
切られている。この床板９は、作業空間１に吹き出され
た循環空気を通過することが出来る多孔板等で形成され
ている。10は天井空間６と床下空間８とを連結する循環
空気用ダクトで、循環用フィン11によって床下空間８内
の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるように
している。この循環空気用ダクト10は、天井空間６と床
下空間８とを連通することが出来る廊下或いはメンテナ
ンスゾーンがある場合には、これらが代わって用いられ
ることもあるが、本例では説明の都合上、循環空気用ダ
クト10について説明する。12は床下空間８に取り付けら
れた外気導入用ダクトで、途中に温度，湿度をコントロ
ールすると共に、外気を濾過するフィルタ等の調整器13
が設けられている。この外気導入用ダクト12は、クリー
ンルームの稼働に見合った外気を導入して室圧を保つよ
うにしている。尚、外気導入用ダクト12は、床下空間８
に限らず、循環空気用ダクト10に取り付けられる場合も
あるし、或いは、循環空気用ダクト10に代わって廊下又
はメンテナンスゾーンが用いられる場合には、これらに
取り付けられることもあるが、本例では説明の都合上、
床下空間８に取り付けられている場合について説明す
る。

斯して構成されたクリーンルームによれば、所定の温
度，湿度等に保たれた空気が、循環用ファン11によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間１に供給され、作業空間１に配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入す
る。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環
用ファン11によって循環空気用ダクト10を介して天井空
間６に送られる。この循環は、その用途によって異なる
が、通常は100〜400回／時間である。そして、外気導入
用ダクト12から外気が導入された後に所定の温度，湿度
等にされて床下空間８内に供給される。

上述したクリーンルームでは、作業機器２が事故を起
こし、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガスが出たり、
或いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たりすると、ファン
５を停止するシステムが一般的である。

そこで、上述のガスを緊急に排気するために、例えば
第９図に示す如く、クリーンルーム内に設けた排気口14
から排気ダクト16を介してファン15によって外部に緊急
排気によって多量の空気を排出する方法、又は、その事
故域と外部と繋がる窓口とをフレキシブルなジャバラに
よって連結して排気するという方法が提案されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

然し、前者では、排気口14が固定的であるため、排気
口から離れた箇所での事故に対する応答性に難があっ
た。又、後者では、人手によってジャバラを操作するた
め、手間暇を要旨、緊急性を要するこの種の排気には適
していない。而も、ガスが人体に悪影響を与えるため、
排気処理のために特別な機器が必要であった。更に、こ
れらは、何れも事故箇所から緊急排気を行なうだけであ
るから、ガスの拡散を積極的に防止することは困難であ
った。更に、斯かる緊急排気方式では、排気された空気
量に見合った空気が周囲から自然に回って来るだけであ
るから、危険ガス又は窒息性ガスの濃度を或る一定濃度
に希釈するだけの空気量を確保することが困難であっ
た。

尚、半導体工場等に使用するクリーンルームに於て
は、事後時に避難するスペースをクリーンルーム内に確
保することは不経済であるため、通常のクリーンルーム
には、特別な避難場所が形成されていない。

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為され
たもので、その目的は、外気を一次的に導入する廊下を
設け、この廊下を利用して作業空間の各空気循環系へ供
給出来るようにした危険薬品使用工場等用クリーンルー
ムを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
は、作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天井
とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにする
と共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容する
空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻し
て循環出来るように循環用ファンを設けた空気循環系を
備えたクリーンルームに於て、作業空間とは仕切られた
廊下を設け、この廊下に外気を導入する手段を設けると
共に、この廊下の空気を床下において作業空間の各空気
循環系へ供給する手段を設けたことを特徴とするもので
ある。

〔作 用〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームに
於ては、作業空間とは仕切られた廊下に空気が導入され
ると、この廊下内の圧力は作業空間内よりプラス側に維
持され、その後この廊下内の空気は、作業空間の各空気
循環系へ供給される。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図乃至第３図は本発明の一実施例に係る危険薬品
使用工場等用クリーンルームを示し、図に於て、Ｍは廊
下として機能するメイン廊下である。

このメイン廊下Ｍの上方は、後述する作業空間21と同
様にフィルタ天井23となっている。このメイン廊下Ｍの
天井空間50内には、所定の温度，湿度，クリーン度に調
整された外気が供給されており、その外気はフィルタ天
井23を介して吹き出している。そして、その床部51の下
には床下空間部52が形成されている。この床下空間部52
内に外気導入用ダクト53が配設されている。

メイン廊下Ｍと隣接して作業エリアＷが形成されてい
る。この作業エリアＷには、メイン廊下Ｍと連通するサ
ブ廊下Ｓが形成されている。このサブ廊下Ｓの下には、
メイン廊下Ｍの床下天井空間52内に配設されている外気
導入用ダクト53と外気量調整用ダンパ54を介して連通す
る外気導入用ダクト39が配設されている。又、外気導入
用ダクト53には、途中に温度，湿度をコントロールする
と共に、外気を濾過するフィルタ等の調整器40と、ダン
パ41が設けられている。

作業エリアＷは、作業空間21と、天井空間26と、床下
空間33とによって構成されている。

作業空間21には、所定の間隔で産業機器22が配設され
ている（本例では、便宜上１つにして示してある）。こ
の生産機器22には、排気用ダクト36が設けられ、外部に
設置した排気用ファン37によって排気できるようになっ
ている。排気用ダクト36には、ダンパ38が設けられてい
る。

作業空間21の上方には、フィルタ天井23が設けられ、
作業空間21と隔離した天井側の空間24を形成している。
この天井側の空間24は、各生産機器22の配置スペースに
応じた間隔又は一定モジュール間隔で仕切板25で仕切る
ことによって、各別に天井空間26を形成している。

これらの天井空間26には、各別に循環空気用ダクト28
が流入口27を介して取り付けられている。各循環空気用
ダクト28には、循環用ファン29が設けられている。

作業空間21の下方には、無数の通気孔31を穿設した床
部30が設けられ、作業空間21と隔離した床下側の空間32
を形成している。この床下側の空間32は、各生産機器22
の配置スペースに応じた間隔又は一定モジュール間隔で
仕切板34で仕切ることによって、各別に床下空間33を形
成している。

これらの床下空間33には、各別に循環空気用ダクト28
が流入口35を介して取り付けられている。従って、各床
下空間33は、各循環空気用ダクト28を介して各天井空間
26と各別に連通し、循環用ファン29によって循環空気を
各天井空間26に供給する。

各床下空間33には、各別にサブ廊下Ｓ内に配設された
外気導入用ダクト39と連通する導入管42が設けられ、こ
の導入管42には各別にダンパ41が設けられている。この
外気導入用ダクト39は、クリーンルームの稼働に見合っ
た外気を導入して室圧を保つようにしている。

又、各床下空間33には、各別に排気用ダクト43が流入
口46を介して取り付けられている。この排気用ダクト43
には、緊急排気用ファン44が取り付けられ、生産機器22
が事故を起こした時に床下空間33から強制的に排気する
ようになっている。従って、排気用ダクト43に設けたダ
ンパ45は、コントローラ等の指令によって常時は閉で、
事故時に開となるように作動されるようになっている。

次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。

本実施例に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
は、常態では、外気導入用ダクト39に設けた外気量調整
用ダンパ41を絞って、クリーンルームの稼働に見合った
外気を導入している。又、メイン廊下Ｍには、フィルタ
天井23から新鮮な外気が供給されている。

そして、生産機器22が事故を起こしてガスが漏洩した
時に、次の如くして緊急排気を行なう。

先ず、生産機器22から毒性或いは可燃性ガスが漏洩し
た場合について、第４図に基づいて説明する。

生産機器22の真上の天井空間26に連通する循環用ファ
ン29を停止し、この天井空間26からの循環空気の供給を
停止すると共に、外気導入用ダクト39に設けた外気量調
整用ダンパ41を閉じ、生産機器22の下の床下空間33への
外気供給を停止し、この生産機器22の下に位置する排気
用ダンパ39を開き、排気用ファン37を駆動し、且つ、排
気用ダクト43のダンパ45を開き、緊急排気用ファン44を
駆動する。更に同時に、この生産機器22の隣接ブロック
の床下空間33と連結する各外気導入用ダクト39の外気量
調整用ダンパ41を開き、この外気を各循環空気用ダクト
28を介して各天井空間26へ送り、矢印で示す如く、生産
機器22周辺への外気供給量を多くして、事故領域周辺を
積極的に加圧し、有毒ガス又は可燃性ガスをその事故領
域から床下空間33へ押し出し、その床下空間33から排気
用ダクト43を介して外部に排気する。

斯かる排気処理によっても、生産機器22の事故が止ま
らず、避難を要する事態になった場合には、天井から多
量の外気が作業空間21内に供給されているから、作業者
は殆ど毒性或いは可燃性ガスに触れることなく、サブ廊
下Ｓからメイン廊下Ｍへ一時的に避難することが出来
る。この間でも排気用ファン37及び緊急用排気ファン44
は駆動し、フィルタ天井23からは多量の外気が吹き出し
ているので、漏洩した毒性或いは可燃性ガスは、作業空
間21内に滞留することなく、外部に排出されている。而
も、メイン廊下Ｍでは、フィルタ天井23から多量の新鮮
な外気が吹き出しているので、作業空間21から毒性或い
は可燃性ガスが漏れ出て来る虞は殆どない。

従って、作業者はメイン廊下Ｍを伝わって安全な場所
に避難することが可能となる。

尚、この際の外気供給は、他の生産機器22の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト39の外気量調整用
ダンパ41を全開又はそれに近い開度で開き、積極的に外
気を供給する。

このように、事故を起こした生産機器22が設置されて
いる漏洩領域は、周囲の天井空間26から多量の外気を供
給することによって、その周囲を加圧常態にし、ガスの
拡散が積極的に防止し、且つ、排気用ダクト43を介して
外部へ排出することが出来る。而も、作業エリアＷは、
サブ廊下Ｓとメイン廊下Ｍとに新鮮な外気を吹き出して
いるゾーンによって連結されているので、そのゾーンに
沿って安全に避難することが出来る。而も、メイン廊下
Ｍは、通常の通路として使用されている場所であるか
ら、避難時に迷う等の虞がない。

次に、生産機器22から窒素ガス等の窒息性ガスが漏洩
した場合について、第５図に基づいて説明する。

メイン廊下Ｍの床下空間部52内に配設された外気導入
用ダクト53とサブ廊下Ｓの床下空間に配設された外気導
入用ダクト39との連通部に設けた外気導入量調整用ダン
パ54を全開にすると共に、事故を起こした生産機器22の
真下の床下空間33に連通する外気導入用ダクト39に設け
たダンパ41を全開にし、生産機器22の真下の床下空間33
への外気供給を増量し、この生産機器22の真下に位置す
る排気用ダンパ38を開き、排気用ファン37を駆動し、且
つ、排気用ダクト43のダンパ45を開き、緊急排気用ファ
ン44を駆動することによって窒息性ガスをその事故領域
から床下空間33へ押し出し、その床下空間33から排気用
ダクト43を介して外部に排気する。

尚、この際の外気供給は、他の生産機器22の稼働を低
下させない範囲で、外気導入用ダクト39のダンパ41を全
開に近い開度で開き、積極的に外気を供給することも可
能である。

このように、事故を起こした生産機器22が設置されて
いる漏洩領域は、窒息性ガスを積極的に床下空間33へ押
し出すと共に、排気用ダクト43を介して外部へ排出する
ことが出来る。

勿論、この場合にも、上述した如く、サブ廊下Ｓ及び
メイン廊下Ｍを使って避難出来る。

尚、上記実施例では、天井空間26と床下空間33とを各
別に循環空気用ダクト28を介して連結し、且つ、各床下
空間33内に外気導入用ダクト39から直に外気を導入する
場合について説明したが、循環空気用ダクト28を用いず
に、各天井空間26と床下空間33とを廊下，メンテナンス
ゾーン等の空間を使用しても良く、又、各床下空間33に
は外気導入用ダクト39に連通するダクトを設けても良
い。その一例を、第６図乃至第８図に基づいて説明す
る。

サブ廊下Ｓの床下空間内に配設された外気導入用ダク
ト39には、各床下空間33毎に導入管42が取り付けられて
いる。そして、各導入管42には、各床下空間33内に配設
されるダクト47と連通し、導入側にダンパ41が設けられ
ている。各ダンパ41は、メンテナンスゾーンＲと開口48
が連通している。このメンテナンスゾーンＲが、上述の
循環空気用ダクトに代わって用いられるもので、上部に
は、ファン49が設けられ、メンテナンスゾーンＲに送ら
れて来る外気を積極的に各天井空間26内に送るようにな
っている。

尚、上記実施例では、サブ廊下Ｓの下に外気導入用ダ
クト39を設けたが、サブ廊下Ｓの下に直に空洞を設け、
この空洞をダクトとして使用出来るようにしても良い。
又、メイン廊下Ｍと作業エリアＷに於ける上方をフィル
タ天井23としたが、フィルタ天井23に代えて吹出口を設
けた天井を配設しても良い。この場合には、各天井空間
26毎及び天井空間50に吹出口を設置する。

又、ガス漏洩量が少ない時には、緊急排気用ファン44
を用いず、生産機器22と連絡する排気用ダクト36を用
い、排気用ファン37によって排気するようにしても良
い。或いは、逆に外気供給量が足りない時には、外気導
入用ダクト39にブースターファンを設け、送風力を高め
ても良い。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリ
ーンルームによれば、作業空問とは仕切られた廊下を設
け、この廊下に外気を導入する手段を設けると共に、こ
の廊下の空気を床下において作業空問の各空気循環系へ
供給する手段を設けたものであるから、外気を廊下内に
供給して、この廊下内を加圧状態に保ち乍ら廊下から空
気を作業空間の空気循環系に供給することが可能とな
り、導入された外気を二つの目的に使用することが出来
る。このため、限られた空間スペースしかないクリーン
ルームに特別な配管系等を設けることなく外気を導入す
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを平面側から示す説明図である。 第２図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを正面側から示す説明図である。 第３図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを側面側から示す説明図である。 第４図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルムで、毒性，可燃性ガスの漏洩時に作動してい
る状態を示す正面側から見た説明図である。 第５図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームで、窒息性ガスの漏洩時に作動している状
態を示す正面側から見た説明図である。 第６図は本発明の別の実施例に係る危険薬品使用工場等
用クリーンルームを平面的に見た説明図である。 第７図は第６図に於ける床下部を示す横断面図である。 第８図は第６図に於ける縦断面図である。 第９図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気シス
テムを示す正面側から見た説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 Ｍ……メイン廊下 Ｓ……サブ廊下 Ｗ……作業エリア Ｒ……メンテナンスゾーン 21……作業空間 22……生産機器 23……フィルタ天井。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白鳥 泰宏 東京都中央区銀座８丁目21番１号 株式 会社竹中工務店東京本店内 (56)参考文献 特開 昭61−76837（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−63742（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口
   付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるよ
   うにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を
   収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再び天
   井に戻して循環出来るように循環用ファンを設けた空気
   循環系を備えたクリーンルームに於て、作業空間とは仕
   切られた廊下を設け、この廊下に外気を導入する手段を
   設けると共に、この廊下の空気を床下において作業空間
   の各空気循環系へ供給する手段を設けたことを特徴とす
   る危険薬品使用工場等用クリーンルーム。