JP2537269B2 - 危険薬品使用工場等用クリ―ンル―ム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体工場等の危険薬品使用を使用する工
場等に用いられるクリーンルームに関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第３
図に示すものが知られていた。

図に於て、１は作業空間で、所定の間隔を置いて作業
機器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４
を設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダン
パ４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業
空間１内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５に
よって排気している。６は作業空間１の上方に位置する
天井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。
このフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循
環空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、
これに限らず、作業空間１の上方を天井によって仕切
り、その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そし
て、この天井空間６では、循環空気を収容し、作業空間
１側に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作
業空間１に吹き出すように形成されている。８は作業空
間１の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕
切られている。この床板９は、作業空間１に吹き出され
た循環空気を通過することが出来る多孔板等で形成され
ている。10は天井空間６と床下空間８とを連結する循環
空気用ダクトで、循環用ファン11によって床下空間８内
の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるように
している。又、この循環空気用ダクト10には、冷却コイ
ル12が取り付けられ、循環する空気を所望温度に冷却し
ている。13は床下空間８に取り付けられた外気導入用ダ
クトで、途中に温度，湿度をコントロールすると共に、
外気を濾過するフィルタ等の外気処理空調機14が設けら
れている。この外気導入用ダクト13は、排気ダンパ４で
排気された空気量及び作業者等が出入りした時に洩れた
空気量等に見合った外気を導入して室圧を保つようにし
ている。

斯して構成されたクリーンルームによれば、所定の温
度，湿度等に保たれた空気が、循環用ファン11によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間１に供給され、作業空間１に配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入す
る。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環
用ファン11によって循環空気用ダクト10を介して天井空
間６に送られる。この循環は、その用途によって異なる
が、通常は100〜400回／時間である。そして、外気導入
用ダクト13から外気が導入された後に所定の温度，湿度
等にされて床下空間８内に供給される。

〔発明が解決しようとする課題〕

然し、上述したクリーンルームでは、外気をなるべく
均一に混合して部屋内に分散させることが出来るように
構成されているため、例えば第４図の如く、作業機器２
が事故を起こし、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガス
が出たり、或いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たり、或
いは、煙が出たりすると、これらも速やかに分散し、部
屋全体に行き渡り易い。

そのため、通常、事故時には、システムを停止して分
散防止を図っているが、作業者の安全避難ゾーンが確保
されていないという問題がある。

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為され
たもので、その目的は、外気処理調整機によって処理さ
れた空気を常に供給する新鮮空気ゾーンを作業空間内に
形成し、この新鮮空気ゾーンを緊急時に安全避難ゾーン
とすることが出来るようにした危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
は、作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天井
とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにする
と共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容する
空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻し
て循環出来るように循環用ファンを設けた空気循環系を
備えたクリーンルームに於て、天井空間内に外気処理空
調機と連通する外気専用空間を設け、この外気専用空間
から作業室内に空気を提供するよに構成したものであ
る。

〔作 用〕

本発明に於ては、外気処理空調機によって処理された
空気は、常に外気専用空間に供給され、この外気供給空
間から作業空間内に流入し、この部位に新鮮空気ゾーン
を形成する。従って、この新鮮空気ゾーンの中央部分で
は、空気循環系の空気とは異なって新鮮な空気が常に充
満した状態が形成される。従って、万一、事故が発生し
た時でも、この新鮮空気ゾーンでは空気循環系を循環す
る空気が流入しないので、危険ガス，可燃ガス又は煙を
パージすることができる。更に、事故時には、外気処理
空調機のみを運転することによって、上記新鮮空気ゾー
ンに於ける危険ガス，可燃ガス又は煙のパージ機能を充
分に発揮することが出来る。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る危険薬品使用工場等
用クリーンルームを示し、図に於て、21は作業空間であ
る。

この作業空間21には、所定の間隔で産業機器22が配設
されている（本例では、便宜上２つにして示してあ
る。）この生産機器22には、排気用ダクト36が設けら
れ、外部に設置した排気用ファン37によって排気できる
ようになっている。排気用ダクト36には、ダンパ38が設
けられている。

作業空間21の上方には、フィルタ天井23が設けられ、
作業空間21と隔離した天井空間24を形成している。

この天井空間24内には、生産機器22の配置場所から離
れた位置に相当する箇所に、外気専用空間25が設けてあ
る。この外気専用空間25の開口部26は、天井空間24を区
画するフィルタ天井23と連通している。

この外気専用空間25には、外気導入ダクト27が連通し
ている。この外気導入ダクト27には、途中に温度，湿度
をコントロールすると共に、外気を濾過するフィルタ等
の外気処理空調機28が設けられている。

作業空間21の下方には、無数の通気孔30を穿設した床
部29が設けられ、作業空間21と隔離した床下空間31を形
成している。

この床下空間31と天井空間24とは、循環空気用ダクト
32によって連通している。この循環空気用ダクト32に
は、循環用ファン33と冷却コイル34が設けられている。

次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。

本実施例に係る危険薬品使用工場等用クリーンルーム
は、常態では、循環用ファン33によって空気が床下空間
31から天井空間24に送られ、その空気はフィルタ天井23
を通して作業空間21内に供給され、更に床下空間31内に
流入するという循環系を形成すると共に、外気処理空調
機28を介して処理された空気が、外気専用空間25に供給
され、フィルタ天井23から層流として作業空間21内に送
られている。

従って、空気は、通常のクリーンルームと同様に、床
下空間31→天井空間24→作業空間21→床下空間31という
空気循環系を介して供給され、作業空間21での要求を満
足している。そして、各生産機器22に取り付けられた排
気ダクト36から空気が運転状況に応じて排気され、外気
専用空間25から供給された新鮮な空気が空気循環系に混
入し、室圧をプラス側に保つようにしている。又、この
空気循環系とは別に、生産機器22とは離れた位置で、常
に外気専用空間25から作業空間21に向かって処理された
新鮮な空気が供給され、循環する空気が混入していない
新鮮な空気のみから成る新鮮空気ゾーン40が形成されて
いる。

この運転状態で生産機器22が事故を起こし、生産機器
22から毒性或いは可燃性ガス又は窒息性ガスが漏洩する
とか、或いは煙が出る等の事態が生ずると、これらのガ
ス又は煙は、第２図に示す如く、空気循環系を停止しな
い限り、循環用ファン33によって循環する空気と共に部
屋中に行き渡る。

然し、外気専用空間25からはこの空気循環系とは別系
統の外気導入ダクト27を介して新鮮な空気が常に供給さ
れているので、この下方の新鮮空気ゾーン40では上述し
た如きガス又は煙が分散しておらず、新鮮な空気による
領域を形成することが出来る。而も、層流に近い型とし
て供給されて来る空気によってこれらのガス又は煙がパ
ージされ、安全地帯を形成することが出来る。

従って、作業者は、この新鮮空気ゾーン40に一次的に
避難することが出来る。

更に、ガス又は煙の流出が止まない場合には、空気循
環系を停止し、外気処理空調機28のみを運転し、上記新
鮮空気ゾーン40を新鮮な空気によって充満し続けること
が出来る。

以上の如く、本実施例によれば、天井空間24内に収容
した外気専用空間25から新鮮な空気が作業空間21内に供
給して新鮮空気ゾーン40を常に形成しているので、生産
機器22が事故を起こした時には、その新鮮空気ゾーン40
を避難領域とすることが出来る。又は、この新鮮空気ゾ
ーン40は、空気循環系中に分散したガス又は煙が混入す
る虞がないため、この新鮮空気ゾーン40に避難した作業
者に害を及ぼす虞しがない。更に、外気専用空間25から
の空気供給量を多くすることによって、上記新鮮空気ゾ
ーン40でのガス又は煙のパージ能力を高めることが可能
である。

尚、上記実施例では、説明の便宜上、２つの生産機器
22を作業空間21内に設置したが、生産機器22は作業エリ
アに多数設置さている。これに対し、外気専用空間25
は、例えば１つの作業エリアに対して１つ設けるだけで
充分にその機能を発揮することが可能であるが、用途に
応じてその配置数は任意に選定出来る。又、天井空間24
を区画し、循環ダクト系，外気ダクト系のダンパ切替に
より、生産機器配置の変更に伴い任意に移動することも
可能である。更に又、室圧を調整するために各ダクトに
適宜ダンパを設け、制御するようにしても良い。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリ
ーンルームによれば、天井空間内に外気処理調整機と連
通する外気専用空間を設け、この外気専用空間から作業
室内に空気を供給するように構成したものであるから、
特別に避難場所を設けることなく、事故時の安全な一次
避難ゾーンを形成することが出来ると共に、作業者の安
全操業を確保することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを平面側から示す説明図である。 第２図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームに於て事故が発生した時の空気循環状況を
示す平面側から見た説明図である。 第３図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気シス
テムを示す正面側から見た説明図である。 第４図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気シス
テムに於て事故が発生した時の空気循環状況を示す平面
側から見たを示す正面側から見た説明図である。 〔主要な部分の符号の説明〕 21……作業空間 22……生産機器 23……フィルタ天井 24……天井空間 25……外気専用空間 27……外気導入ダクト 28……外気処理空調機 30……床下空間 32……循環空気用ダクト 40……新鮮空気ゾーン。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口
   付き天井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるよ
   うにすると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を
   収容する空間を形成し、床下に収容された空気を再び天
   井に戻して循環出来るように循環用ファンを設けた空気
   循環系を備えたクリーンルームに於て、天井空間内に外
   気処理空調機と連通する外気専用空間を設け、この外気
   専用空間から作業室内に空気を供給するように構成した
   ことを特徴とする危険薬品使用工場等用クリーンルー
   ム。