JP2627613B2 - クリーンルーム構造 - Google Patents
クリーンルーム構造Info
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Description
より床下空間の縮小化を図るとともに、送風温度の均一
化、送風機の省エネルギー化を図ったクリーンルーム構
造に関する。
るいは精密機械工場などでは、わずかでも浮遊微粒子が
あると、製造中の製品に付着して製品不良を起こすため
に、工場全体または作業室を必要に応じて清浄な状態と
し、製品の品質と信頼性を高め、歩留りの向上に努めて
いる。このような目的で清浄化された部屋をクリーンル
ームといい、常に高度の清浄化状態に保たれている。
浄な状態に保つために、たとえば天井部分に高性能エア
フィルターを配設するとともに、床面をグレーチング構
造とし、室外部分に循環用ファンユニットを設け、天井
側の高性能フィルターを通して新鮮空気を室内に送り床
から排出し、再び前記循環用ファンユニットにより高性
能エアフィルターに送って空気を循環させている。
されるように、クリーンルームCRの天井面に高性能エ
アフィルター2、2…を配設するとともに、この天井裏
空間を仕切り、ダクトシャフト(ダクト空間)9の天井
部分(仕切り部分)に中型送風機14を配設し、クリー
ンルームCRからグレーチング床4を抜けた空気の一部
を冷却コイル5を通すことにより顕熱を奪った後、ダク
トシャフト9を上昇してくる空気を再び前記中型送風機
14によって前記天井裏空間に供給して空気を循環させ
るようにしたファンモジュールユニット方式(以下、単
にFMU方式という。)と、図3に示されるように、一
体のケーシング内に小型の送風機3と高性能エアフィル
ター2とを内蔵したファンフィルターユニット1をクリ
ーンルームCRの天井部分に均一に配設し、この一体型
送風機の押込み力により空気を循環させるようにしたフ
ァンフィルターユニット方式(以下、単にFFU方式と
いう。)とがある。
は、隣接してバイパス路8を設けるとともに、このバイ
パス路8に風量調整ダンパ13を設け、この風量調整ダ
ンパ13の開口率を調節することにより冷却コイル5の
通風量を調節するようになっている。
リーンルーム構造において、特にFFU方式の場合は、
HEPAまたはULPAフィルタなどの高性能エアフィ
ルターの背面側に配設される小型送風機は、あまり大き
な静圧を持つことができない。したがって、高性能エア
フィルターによって生じる所定の圧力損失を見込めば、
必然的に冷却コイルは圧力損失が小さくなるように設計
せざるを得ないものとなり、その結果、冷却コイルの容
量を大きくしてできるだけ通風抵抗を少なくするなどの
処置が採られている。そのため、グレーチング下空間の
設置スペースをその分余計に見込まなければならない、
生産機器用の動力配管や局排ダクト等の貫通スペースを
自由に確保できないなどの問題が発生している。
風と、バイパス路を通過した温かい風とがダクトシャフ
ト内で完全に混合されずに、送風温度の不均一化を招く
などの問題も発生している。
ルの小型化によりグレーチング下空間の縮小化を図ると
ともに、送風温度の均一化等を図ったクリーンルーム構
造を提供することにある。
井面全体をエアフィルター面とし、床面を空気流通構造
としてクリーンルームを構成するとともに、このクリー
ンルームの室外部分に空気循環用のダクト空間を形成
し、前記各エアフィルターの背面側に一体的に設けられ
た空気循環用ファンまたは仕切られた天井裏空間に空気
を押し込むために設けられた1または複数の空気循環用
ファンにより前記クリーンルームとダクト空間との間を
空気が循環するように構成したクリーンルーム構造にお
いて、前記クリーンルーム室外の循環路の途中に顕熱負
荷の処理を行う冷却コイルを配設するとともに、この冷
却コイルに隣接して循環用空気のバイパス路を設け、 か
つ前記空気循環用ファンとは別に、前記冷却コイルにコ
イル用ファンを併設したことを特徴とするものである。
を前記冷却コイルの通風抵抗とほぼ同等とするようにす
れば、前記空気循環用ファンの所要静圧として、エアフ
ィル ター、床グレーチングとダクトシャフトとを考慮す
れば足りるようになり、空気循環用ファンの動力を大幅
に低減できるようになる。また、室内顕熱負荷の変動に
基づいて前記コイル用ファンを回転数制御または運転台
数制御するようにすれば、より好適なものとなる。
気循環用ファンとは別にコイル用ファンを設ける。した
がって、FFUによる機外静圧による冷却コイル設計上
の制約が無くなり、冷却コイルを小型化することができ
る。すなわち、従来は冷却コイル部の通風抵抗を見込ん
で空気循環用ファンの設計をしなければならず、一方冷
却コイルは空気循環用ファンへの負担をなるべく軽減す
るために通風抵抗が小さくなるように形状の大きなもの
を選択しなければならなかったが、本発明によってこれ
らの問題が一挙に解決されることになった。また、冷却
コイルが小型化されることによりグレーチング下空間を
狭くできるとともに、各種のダクト貫通スペースを自由
に確保できるようになる。さらに、前記コイル用ファン
により吐出動圧が発生することにより、ダクトシャフト
内でバイパス路を通過した温風と冷却コイルを通過した
冷風とが均一に混合されるため、送風温度の均一化を図
ることができる。
あれば冷却コイルの通風抵抗分を見込んで5〜10mmAq
程度の静圧を発生させるFFUファンが必要であった
が、本発明の適用によりFFUファンの機外静圧の制約
は、床グレーチングとダクトシャフトとになるため、2
〜3mmAq程度の静圧発生能力のFFUファンで十分とな
り、ファンモータの出力低減により省エネルギー化を図
ることもできる。
図1に示されるように、クリーンルームCRにおいて
は、室内の上方位置に格子状に組まれた天井フレーム1
1、11…が設けられ、この天井フレーム11、11…
の各枠部に対して、HEPAフィルターまたはULPA
フィルター等の高性能エアフィルター2とファン3とが
一体となったFFU(ファンフィルターユニット)1、
1…が設置されている。前記FFU1に内蔵される空気
循環用ファン3としては、後述のように冷却コイル5に
コイル用ファン6を設けた結果、空気循環用ファン3の
機外静圧としては、床グレーチング4とダクトシャフト
9とを考慮すればよく、従来であれば5〜10mmAqの静
圧を発生させる循環用ファン3が必要であったが、本発
明の場合には、前記循環用ファン3は発生静圧が2〜3
mmAq程度のものを使用することができる。これにより、
ファンモータの出力低減による省エネルギー効果を見込
むことができる。特に、FFU方式のクリーンルーム構
造の場合には、FFU1の設置台数が数百〜数千台にお
よぶため、省エネルギー効果も高いものとなる。
チングフロア4となっており、前記FFU1から送られ
た空気が、このグレーチングフロア4を抜けて床下のリ
タンプレナムエリア12に流入するようになっている。
なお、前記グレーチングフロア4に代えてパンチングフ
ロアとすることでもよい。
は、その一部はリタンプレナムエリア12の側部に設け
られた冷却コイル5により顕熱負荷が処理された後ダク
トシャフト9に至り、残りの空気は冷却コイル5に隣接
して設けられたバイパス路8を通りダクトシャフト9に
至るようになっている。本発明においては、前記冷却コ
イル5に対し、その背面側にコイル用ファン6が設けら
れている。このコイル用ファン6の選定に当たっては、
冷却コイル5の通風抵抗のみを考慮して選択することが
でき、たとえば4〜6mmAqの静圧を発生することのでき
る小容量ファンで十分である。またこの場合、前記コイ
ル用ファン6に対して、インバータ回路を設け、室内顕
熱負荷の変動に追従できるように、すなわち冷却コイル
5の通風量とバイパス路8の通風量とのバランス調整が
できるようにファンモータの回転数制御を行うことが望
ましい。この場合、前記回転数制御に代えて、コイル用
ファン6への給電切換えにより稼働ファンの台数を制御
する運転台数制御により風量バランスをとることもでき
る。なお、前記コイル用ファン6は、図示のようにケー
シングにより冷却コイル5と一体的に設けることが望ま
しいが、単に冷却コイル5の背面位置にファンを設置す
ることでもよい。
機7が設置され、外気を取り込み所定の空気状態にした
後、ダクトシャフト9内の上方に向けて吹き出すように
なっている。ダクトシャフト9内では、冷却コイル5を
通過した冷風とバイパス路8を通過した暖かい空気とさ
らに前記空調機7から吐出された調和空気とが前記コイ
ル用ファン6による吐出動圧により、均一に混合され送
風温度の均一化が図られる。
は、FFU1の上方の天井チャンバ10に至り、再びF
FU1に内蔵された空気循環用ファン3の押込み作用に
より高性能エアフィルター2を通り清浄化された後、再
びクリーンルームCRに供給される。
ム構造に対し適用した場合について詳述したが、本発明
はFMU方式のクリーンルーム構造に対しても全く同様
に適用することができる。
却コイルの小型化により床下空間の縮小化を図ることが
できる。また、設置したコイル用ファンの吐出動圧によ
り送風温度の均一化を図ること、および循環用ファンの
小型化により省エネルギー化を図ることができる。
る。
である。
である。
用ファン、4…グレーチングフロア、5…冷却コイル、
6…コイル用ファン、7…空調機、8…バイパス路、9
…ダクトシャフト、10…天井チャンバ、11…天井フ
レーム、12…リタンプレナムエリア
Claims (3)
- 【請求項1】実質的に天井面全体をエアフィルター面と
し、床面を空気流通構造としてクリーンルームを構成す
るとともに、このクリーンルームの室外部分に空気循環
用のダクト空間を形成し、前記各エアフィルターの背面
側に一体的に設けられた空気循環用ファンまたは仕切ら
れた天井裏空間に空気を押し込むために設けられた1ま
たは複数の空気循環用ファンにより前記クリーンルーム
とダクト空間との間を空気が循環するように構成したク
リーンルーム構造において、 前記クリーンルーム室外の循環路の途中に顕熱負荷の処
理を行う冷却コイルを配設するとともに、この冷却コイ
ルに隣接して循環用空気のバイパス路を設け、 かつ前記空気循環用ファンとは別に、前記冷却コイルに
コイル用ファンを併設したこと を特徴とするクリーンル
ーム構造。 - 【請求項2】前記コイル用ファンの発生静圧を前記冷却
コイルの通風抵抗とほぼ同等とした請求項1記載のクリ
ーンルーム構造。 - 【請求項3】室内顕熱負荷の変動に基づいて前記コイル
用ファンを回転数制御または運転台数制御する請求項
1、2記載のクリーンルーム構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6291705A JP2627613B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | クリーンルーム構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6291705A JP2627613B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | クリーンルーム構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08152170A JPH08152170A (ja) | 1996-06-11 |
JP2627613B2 true JP2627613B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=17772337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6291705A Expired - Lifetime JP2627613B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | クリーンルーム構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2627613B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3092705B2 (ja) | 1998-06-25 | 2000-09-25 | 日本電気株式会社 | 空調装置 |
JP4811800B2 (ja) * | 1999-05-25 | 2011-11-09 | 高砂熱学工業株式会社 | 低露点のクリーンルーム装置 |
JP2001227788A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
JP2537269B2 (ja) * | 1988-07-28 | 1996-09-25 | 株式会社竹中工務店 | 危険薬品使用工場等用クリ―ンル―ム |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP6291705A patent/JP2627613B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08152170A (ja) | 1996-06-11 |
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