JPS61101722A

JPS61101722A - 設備グリツドの空気調整用パネル

Info

Publication number: JPS61101722A
Application number: JP59223469A
Authority: JP
Inventors: Taizo Yamagata; 山形　泰造; Shinichiro Tomikawa; 富川　信一郎; Yoshio Ogasawara; 小笠原　由夫; Yukiaki Uchikawa; 幸昭内川; Shinichi Yamamoto; 信一山本
Original assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Current assignee: Shimizu Construction Co Ltd
Priority date: 1984-10-24
Filing date: 1984-10-24
Publication date: 1986-05-20
Anticipated expiration: 2010-01-30
Also published as: JPH076676B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、既存の建屋の中に適宜配置することが可能な
ユニット型クリーンルームに係り、特に、ユニット型ク
リーンルームを構成する門形の構造グリッドと設備グリ
ッドのうち、清浄度や温度、湿度など室内空気を調整す
る設備グリッドの空気調整用パネルに関するものである
。

〔従来の技術〕

クリーンルームは、高い清浄度の作業環境を提供するも
のであり、例えばＬＳＩ（半週体製造工程）や精密機械
等の工業用クリーンルーム、手術室や食品加工等のバイ
オクリーンルームその他さまざまな産業分野、研究分野
で用いられている。

従来のクリーンルームとしては、高性能フィルタで処理
された清浄空気を天井より室内に吹き出し、室内空気を
床下を通して排出することによって作業室全体をほぼ一
様に高清浄度に維持する全面ダウンフロ一式クリーンル
ームや、製造ラインに沿って区域毎にトンネル状のクリ
ーンルームを形成し、そのクリーンルームに天井面から
清浄空気を吹き出すようにすることによって、トンネル
状のクリーンルームを一様に高清浄度に維持するクリー
ン・トンネル・システムなどがある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述した従来のシステムには、種々の問
題がある。例えば、上述した全面ダウンフロ一式クリー
ンルームでは、次のような欠点がある。

■　清浄化区域及び空調対象区域が広く、高価な高性能
フィルタを多量に使用しているため、設備費が非常に高
い。

■　空調維持費、フィルタ交換費用などのランニング　
コストが高い。

■　室全体の空調を行うため、製造ライン別（工程別）
の空！Ｆｌ　’ＩＬ度制御ができない。

■　製造ライン用機器や配管類の補ｆｌｋをクリーンル
ーム内で行うため、それによる発塵か他の製造ライン（
工程）に及ぼす影響が大きい。

また、クリーン・トンネル・システムでは、次のような
欠点がある。

■　既存の建屋内に長いダクトを配設することが必要で
あり、そのため配設作業上、建屋の構造上で種々の問題
が生じる。

■　クリーン・トンネルの下部からの空気の噴出によっ
て建屋内に塵埃が浮遊する。

■　大容量のフィルタとポンプを建屋外に別置すること
が必要になる。

これらの問題点を解決するとともに、要求品質に的確に
対応できる安価なものとして提案されているのがユニッ
ト型クリーンルームである。

第２図はユニット型クリーンルームを構成する構造グリ
ッドの例を示す図、第３図はユニー／　）型クリーンル
ームを構成する設備グリッドの例を示す図、第４図はユ
ニット型クリーンルームの外観を示す図である。図にお
いて、２１．２５と３９は天井パネル、２２と２６は構
造材、２３は内装パネル、２４と４１は外装パネル、２
７は空気調整用パネル、２８は電気盤用パネル、３１な
いし３３は構造グリッド、３４と３５は設備グリッド、
３６は入口扉、３７は覗き窓、３日はエアー・ノヤワー
・ルーム、４０は設備パネルをそれぞれ示している。

ユニット型クリーンルームは、第２図に示すような門形
の構造グリッド及び第３図に示すような設備グリッドを
単位とし、これらを交互に配列接合してクリーンルーム
を構成するものである。構造グリッドは、第２図に示す
ように門形のフレームよりなる構造材２２とこれを覆う
ように取り付けられる天井パネル２１、内装パネル２３
、及び外装パネル２４で構成するものであり、設備グリ
ッドは、第３図に示すように空気調整用パネル２７や電
気盤用パネル２８などの設備用パふルと天井を形成する
構造材２６とこれを覆う天井パネル２５で構成するもの
である。これらのグリッドを使ってユニット型クリーン
ルームを構成する場合には、第４図に示すようにエアー
・ノヤワー・ルーム３８に構造グリッド３１を接合し、
そして順に設備グリッド３４、構造グリッド３２−設備
グリッド３５〜構造グリッド３３のように第２図に示す
構造グリッドと第３図に示す設備グリッドの各単位グリ
ッドを交互に配置接合する。

上述したユニット型クリーンルームでは、設備グリッド
をコンパクト化することが重要である。

特に空気調整用パネルは、−ｍに冷却コイルやカロ温器
、加勢コイル、送風機、品性能フィルタなどを備えてお
り、要求に応した清浄度を維持するためにはコンパクト
で且つ効率良いものが必要となる。

本発明は、上記の考察に基づくものであって、コンパク
トにでき清浄度の要求にも柔軟に対応できる、ユニット
型クリーンルームに適した設備グリッドの空気調整用パ
ネルの提供を目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本発明の設備グリッドの空気調整用パネルは
、下部の吸込口と一■二部の吹出口との間に冷Ｊｕｌコ
イル、加湿器、加りへコイル、風流を、１Ｊｉ１節する
スライド・バンパー、送風機、ガイド′へン、及び上部
の吹出口に近接配置の高性能フィルタを備えるとともに
、冷却コイルは、加熱コイルより下側に位置するように
加湿器と加熱コイルとに並列に配置し、スライド　バン
パーは、加熱コイルにラップする冷却コイルの出力の量
を調整する位置に配置し、ガイドベンは、送風機から出
力される空気の乱流を整流するように送風機の出力側に
配置したことを特（ｈとするものである。

〔作用〕

本発明の空気調整用バフルでは、冷却コイルを加熱コイ
ルより下側に位置するようにして冷却コイルを加温器と
加熱コイルとに並列に配置して高さを抑える。そして、
冷却コイル、加湿器、加弧コイルを直列に配置しなくて
も、冷却コイルの出力をスライド・バンパーにより加熱
コイルにラップさせることによって性能上も問題ないよ
うにしている。また、ガイドベンにより送風機から出力
される空気の乱流を整流するようにして乱流により発生
する騒音を少なくし、太きい出力の送風機を使用できる
ようもこしている。

〔実施例〕

以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。

第１図は本発明の空気調整用パネルの１実施例を説明す
るための図である。第１図において、１は吹出口、２は
送風機、３はガイドベン、４はスライド　バンパー、５
は加熱コイル、６は冷却コイル、７は加？Ｗ　Ｒｉｉ、
８は吸込口　９は構造材、１０は高性能フィルタをそれ
ぞれ示している。

冷却コイル６、加湿器７、加熱コイル５は、一般に直列
に配置されるが、本発明では、第１図［ａｌの内部正面
配置図に示すように加湿器７は下の隅に、加熱コイル５
はその上に、冷却コイル６はそれらと並列に配置される
。力ｌｌ湿詐７は、純水器を備えており、これを３ケ月
に１回程度の期間毎に交換することが必要であるが、図
に示すように配置すると、他の構成部品に関係なく裏側
から簡単に交換できるようにすることができる。なお、
冷却コイル６の後に加’／！ｊＡ器７を配置するのがＶ
通であるが、図に示す配置であっても加湿器７からの空
気は冷却コイル６の方へ流れず、加熱コイル５の方へ流
れるので性能上問題はない。また、冷却コイル６と加勢
コイル５は、第１図ｔｂ＋の内部側面図に示すように前
後に傾けるようにすると、さらに高さを抑えることがで
きるとともに、それぞれのコイル全面にわたって均等に
空気の接触を図ることができ、性能の低下を防止するこ
とができる。

スライド・バンパー４は、風量の調整が一応工場におい
て行われるが、クリーンルームを形成した後の現場で、
再度要求に合わせて敞調整するのに用いられ、これによ
りローコストで高効率のクリーンルームを提供する。

送風機２は、厚さが制限されると所望の容量を確保する
ためには径が大きくなるが、冷却コイル６、加ン易器７
、加熱コイル５で配置を工夫し高さを抑えることによっ
て、大きい径の送風機２の使用を可能にした。例えば低
速回転モーフで駆動される中静圧のノロノコ・ファンが
使用される６しかし送風機２の径を大きくすると、渦流
が発生しその渦流のために騒音が大きくなるという問題
が生しる。そこで、第１図＋ａ＋に示すようにガイドベ
ン３を設けるとともに、送風路を長くしてこのガイドベ
ン３によって送風機２の出力を整流し、方向軸（負をし
ながら徐々に送風路の幅を広げ、渦流が発生しないよう
にすることによって、渦流を原因とする騒音の発生を抑
えている。また騒音の低減を図るには、随所に吸音材を
用いるようにしてもよい。このようにすることによって
、従来７２ホンの騒音レヘルのものを５４ホンまで低域
させることができた。

吹出口１は、グリルまたはパンチング・メタルを使った
固定式にしたり、室内レイアウトに応し、特に風向きの
影響が必要なときにはアクノチメントを設けて可動式に
したり、併用にしてもよいことはいうまでもない。吸込
口８は、粗塵フィルタ内蔵型が一般に使用される。

なお上記各部品は、従来溶接して取り付けるのがｖａで
あるが、本発明では取り外し交換が可能なようにネジ止
めにする。このようにすることによって、個々の部品を
カセット的に随意交換することができ、メンテナンスが
可能になり要求に柔軟に対応したｕｌｆｆｉを提供する
こともできる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、冷却
コイル、加湿器、加熱コイル関係の配置及び空気の流路
を工夫することによって、コンパクト化した、且つ騒音
の低い空気調整用パネルを提供することができる。また
、各構成部品を随意交換することができるので、要求に
フレキシブルに対応することができ、要求に最も近づけ
た内容の空気調整用パネルを提供することができる。こ
れらの空気調整用パネルを有する設備グリッドを用いる
ことで、空間を有効に確保し、過剰な設備をすることも
なく結果的に安価なりリーンルームを提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の空気調整用パネルの１実施例を説明す
るための図、第２図はユニット型クリーンルームを構成
する構造グリッドの例を示す図、第３図はユニット型ク
リーンルームを構成する設備グリッドの例を示す図、第
４図はユニット型クリーンルームの外観を示す図である
。１・・・吹出口、２・・・送風機、３・・・ガイドベン
、４・・・スライド・バンパー、５・・・加熱コイル、
６・・・冷却コイル、７・・・加湿器、８・・吸込口、
９・構造材、１０・・・高性能フィルタ、２１．２５と
３９・・・天井パネル、２２と２６・・・構造材、２３
・・・内装パネル、２４と４１・・・外・装パネル、２
７・・・空気調整用パネル、２８・・・電気盤用パネル
、３１ないし３３・・・構造グリッド、３４と３５・・
・設備グリ、ド、３６・・・入口扉、３７・・・覗き窓
、３８・・・エアー・ノヤワー・ルーム、４０・・・設
備パネル。特許出願人　　清水建設株式会社代理人弁理士　阿　部　　龍　吉吠　１　図火　２　図フｌ火　３　＠

Claims

【特許請求の範囲】

（１）門形の構造グリッドと設備グリッドとを交互に配
列接合して構成するユニット型クリーンルームにおける
設備グリッドの空気調整用パネルであって、下部の吸込
口と上部の吹出口との間に冷却コイル、加湿器、加熱コ
イル、風流を調節するスライド・バンパー、送風機、ガ
イドベン、及び上部の吹出口に近接配置の高性能フィル
タを備えるとともに、冷却コイルは、加熱コイルより下
側に位置するように加湿器と加熱コイルとに並列に配置
し、スライド・バンパーは、加熱コイルにラップする冷
却コイルの出力の量を調整する位置に配置し、ガイドベ
ンは、送風機から出力される空気の乱流を整流するよう
に送風機の出力側に配置したことを特徴とする設備グリ
ッドの空気調整用パネル。
（２）冷却コイル及び加熱コイルは、それぞれ前後に傾
けて配置したことを特徴とする特許請求の範囲第（１）
項記載の設備グリッドの空気調整用パネル。