JPH03106703A - 荷保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
製品の保管に採用ざれるクリーンルーム内の荷保管装置
に関するものである。

従来の技術 従来、この種の装置としては、たとえば実開昭６３−６
７５０５Ｊ：公報に見られるＳ造が捉供されている。

すなわち従来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが
開放しかつ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚
の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタ
の後方に流路を形成し、そして棚の下方に設けた送ａｍ
の吐出部を前記流路に連通している。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸引
したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送ＷＡ機に吸引さ
れて循環使用される。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、循環使用されるクリーンエア
が次第に昇温することになり、したがって半導体などの
ように、製品の特性上、極力温度変化を避ける必要があ
る荷の保管に採用することはできない。これに対しては
、本体の下部に冷却エアを供給し、この冷却エアをクリ
ーンエ゛アに合流させて流路に供給することが考えられ
るが、この場合に冷却エアとクリーンエアとの撹拌が完
全に行われず、棚に吹き出されるクリーンエアに温度差
が発生することになる。

本発明の目的とするところは、循環されて送風機に入る
前のクリーンエアを目的とする温度に調節し僻るクリー
ンルーム内の荷保管装置を提供する点にある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために本第１発明のクリーンルーム
内の荷保管装置は、前面と後面とを開放した荷収納部の
後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタの
後方にエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部が
連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部を
介して吸引自在な送風機を設け、この送風機の吸引部よ
りも上手側に冷却装置を設けている。

そして本第２発明は、前面と後面とを開放した荷収納部
の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタ
の後方にエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部
が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部
を介して吸引自在な送風機を設け、この送風機の吸引部
よりも上手側に、冷水コイル装置と加熱装置とを設けて
いる。

また本第３発明は、冷水コイル装置の下方に漏水センサ
を設けている。

さらに本第４発明は、前面と後面とを開放した荷収納部
の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタ
の後方にエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部
が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部
を介して吸引自在な送風機を設け、この送ｌ！ｊｌ機の
吸引部よりも上手側に、冷凍機と加熱装置とを設けてい
る。

作用 上記の第１発明のａ或によると、送風機の吐出部からの
送気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ること
でクリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後
面側から供給される。したがって荷収納部内は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を
維持し得る。

荷収納部を通うたクリーンエアは再び送８ａ機に吸引ざ
れて循環使用される。その際にクリーンエアは、送風機
に吸引される前に冷却装置で冷却され、荷収納部を流れ
るときなどに発生した熱を除去することになる。

上記の第２Ｒ明の構或によると、クリーンエアは、送ｌ
！ｊｌ機に吸引される紡に冷水コイル１！置で充分に冷
却され、荷収納部を流れるときなどに発生した熱が除去
され、そして加熱装置により加熱ざれることで所定の温
度にコントロールされる。

上記の第３発明の構成によると、冷水コイル装置で発生
した水が万一洩水したとき、これを漏水センサで検出し
得る。

上記の第４発明の構戒によると、クリーンエアは、送風
機に吸引される前に冷凍機で充分に冷却され、荷収納部
を流れるときなどに発生した熱が除去され、そして加熱
装置により加熱されることで所定の澁度にコントロール
される。

実施例 以下に本第１発明の一実施例を第１図〜第３図に基づい
て説明する。

１はクリーンルームで、天井側からフィルタ２を通して
クリーンエア３を下吹きし、下降するクリーンエア３を
メッシュ形式の床４を通して床下に吸引するように構威
してある。５は密閉式の荷保管８１で、箱状の本体６内
には、上下方向に複数の収納空間７を区画形威した荷収
納部（ＩＩＩ＞，８が前面を通路９に対向させて設けら
れる。これら荷収納部８は、通路９側に向いた前面と反
対側の後面とが開放され、そして後面を覆うようにして
フィルタ１０を配設するとともに、このフィルタ１０の
後方で本体６との間にエア供給路１１を形成している。

前記本体６内の下部には前記通路９（ｌｌ！ｌに逆通し
た区画室１２が形成され、この区画室１２内に、その吐
出部１３が前記エア供給路１１に連通した送風Ｉ１１４
を設けている。この送風機１４の吸引部１５は区画室１
２内に開放し、訪記荷収納部８を通クて通路９に流出し
たクリーンエア１６を、区画室１２を介して吸引すべく
、この区画室１２を形成する前ｉｉｉ壁を多孔板１７で
形成している。そして区画室１２内で多孔板１７の内面
側に冷ｍ装置の一例である冷水コイル＠＠１８を設けて
いる。この冷水コイル装置１８への給水管１９中には弁
２０が設けられ、また排水管２１中には弁２２と制御弁
２３とが設けられる。この制御弁２３は三方弁形式であ
って、その１つのボートには前記給水管１９からのバイ
パス管２４が連通している。さらに制御弁２３は温度１
１１１１１１装［２５によりυｊ御され、そして温度制
ｗＪ装置２５は、エア供給路１１の上部に設けた温度セ
ンサ２６からの検出温度信月を入力すべく構或してある
。なお冷水コイル装置１８の下方には水受け２７が設け
られ、これに排水ホース２８が接続している。前記通路
９内には搬入出装ｌｆ３０が設けられ、この搬人出装［
１３０は、床レール３１と、この床レール３１に車輪３
２を介して支持案内され、かつ両荷収納部８の前面に沿
った一定経路上を走行自在な台車３３と、この台車３３
上から立設した支持枠３４と、この支持枠３４内に配設
したガイド体に案内される昇降台３５と、この昇降台３
５上に横方向移動自在に設けた受け渡し装＠３θとから
構ＩＪＩ．（！れる。そして荷収納部８の上方には、通
路９に対向した受け台２９と荷保！！装＠５の上部外方
に設けた搬送装置４５との間で荷３８の移載を行う移戟
装置４０が設けられる。この移載装置４０は、縦軸心４
１の周りでの回転部４２と、この回転部４２の周方向二
箇所において昇降自在に設けた支持！！ｌｉ！４３など
から＊或され、各支持［４３はそれぞれ左右一対で互い
に接近１１１間自在に構成されている。前記搬送装置４
５は、レール４６と、このレール４６に支持案内される
自走車４７などから構成される。前記荷３８は製品を収
納自在なケース形状であって、上部の両側面には、前記
受け渡し装［３６や支持腕４３が下方から係合自在な被
係止突条３８ａが設けられる．前記通路９を中にして荷
収納部８とは反対側の下部には受け台形式の荷捌き場４
８が設けられ、この荷捌きｔｊＡ４Ｂに対向して本体６
には開口部４９が形戊されている。

次に上記実施例の作用を説明する。

荷保管装＠５においては常に高いクリーン度が保たれて
いる。すなわち送風機１４の稼動によって吐出部１３か
ら吐出される送気はエア供給路１１内を上昇し、そして
フィルタ７０を通ってクリーン度の高いクリーンエア１
６となり、荷収納部８に対して後面側から供給される。

したがって荷収納部８内は、後面から前面へと流れるク
リーンエア１６によって高クリーン度が維持されている
。荷収納部８を通ったクリーンエア１６は通路９内に流
入し、その一部は開口部４９を通ってクリーンルーム１
内に流出し、また残部は多孔板１７を通って区画室１２
に流入して送風機１４に吸引され、循環使用される。

その際に冷水コイル装ｒＩ１１ｇには給水管１９を介し
て冷水が供給されており、かつ排水管２１を介して使用
ずみの冷水が排水されている。したがって通路９から多
孔板１７を通ったクリーンエア１６は、この冷水コイル
装！！１ｇを通る際に冷却され、これにより荷保管装＠
５で発生した熱を除去し得る。そして温度センサ２６の
検出温度信号に基づいて、温度制１０装置２５により制
御弁２３を制即し、冷却コイル装［１８に対する冷水の
供給量を調節することで、荷保管装置５内が所定の温度
になるようにコントロールし脊る。したがって荷収納部
８に対して後面側から供給されるクリーンエア１６は、
適温でかつ温度差は発生しない。

たとえば自走車４７により搬送されてきた荷３８は、移
戟装置４０Ｇ−おける支持腕４３の昇降動ならびに接近
離ｌ！ｆＩｖＪと、回転部４２の回転勤との組合せ動作
によって受け台２９上に卸し得、また逆作動によって受
け台２９上の荷３８を自走車４１に積み込み得る。そし
て搬入出装置３０における台４１３３の定行動と、昇降
台３５の昇ｌ！ＩｖＪと、受け渡し＠ｆｌ３６の受け渡
し動との組合せ動作によって、受け台２７と区画収納空
ｌｌ！！１７とｉＲｌｌＦＪき＠４８との藺で荷３８の
搬送を行える。

第４図は本第２、第３発明の一実施例を示す。

すなわち冷水コイル装置１８への給水！！１９中に定流
量弁ＳＯｔ設けるとともに、排水菅２１中の制御弁２３
やバイパス！！２４を省略している。そして冷水コイル
装置１８の下手に隣接して加熱＠！！（ヒータ）５１を
設けるとともに、この加熱装置５１への配＠５２中に設
番ナたサイリスタ５３を前記温度＃ＪＩ装１ｉｆ２５か
らのｌＩｉｌＪＩＩｌｇｉ号でｆｌＩＷＪすべく構成し
ている。さらに区画室１２内で冷水コイル装置１８の下
方に漏水センサ５４を設けている。

この実施例によると、通路９から多孔板１７を通ったク
リーンエア１６は、冷水が充分に供給されている冷水コ
イル装置１８を通る際に所定の渥度よりも低くなるよう
冷却され、これにより荷保管装置５で発生した熱を除去
し得る。そしてクリーンエア１６は加熱装置５１を通る
ことで加熱されるのであるが、その際に、ａ！ａセンサ
２６の検出温度信号に基づいて、温度制ＩＩｌ＠置２５
によりサイリスタ５３を制御し、加熱装置５１に対する
供給電力を増減することで、クリーンエア１６が所定の
温度になるようにコントロールし得る。なお運転に伴っ
て冷水コイル装置１８で発生した水は水受け２７に受け
止められ、排水ホース２８を介して排水されるが、万一
他部などから洩水したとき、これを漏水センサ５４が検
出して事故を知らせることになる。

第５図は本第４発明の一実施例を示す。すなわち多孔板
１７の内面側に、冷凍機５５と加熱装置５１とからなる
冷凍機ユニット５６を設けている。この実浦例でのｆｌ
１１１１１１（温度コントロール》は前第４図の実施例
と同様である。

発明の効果 上記構或の本第１発明によると、送風機の吐出部からの
送気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ること
でクリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後
面鍔から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から
前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維
持することができる。そして荷収納部を通ったクリーン
エアは再び送風機で吸引して循環使用することができる
．その際にクリーンエアを、送風機に吸引される鉤に冷
却＠置で冷却することができ、荷収納部を流れるときな
どに発生した熱を除去することができて荷収納部には温
度差の発生しないクリーンエアを供給することができる
。

また上記構或の本第２発明によると、クリーンエアを、
送風機に吸引される前に冷水コイル装置で充分に冷却す
ることができ、荷収納部を流れるときなどに発生した熱
を除去することができるとともに、その後に加熱装置に
より加熱することで所定の温度にコントロールすること
ができる。そして冷水は、圧力変動がな＜ＰＭ度が安定
していることから、温度コントロールは容易に正確に行
うことができる。さらに冷却→加熱形式により制御範囲
を大きく取ることができ、しかも設置スペースを小さく
してまとめることができる。

そして上記構或の本第３発明によると、冷水コイル装置
で発生した水が万一洩水したとき、これを漏水センサで
検出することができ、す早く事故を知らせることができ
る。

さらに上記構成の本第４発明によると、クリーンエアを
、送風機に吸引される前に冷凍機で充分に冷却すること
ができ、荷収納部を流れるときなどに発生した熱を除去
することができるとともに、その後に加熱装置により加
熱することで所定の温度にコントロールすることができ
る。さらに冷凍→加熱形式により制御範囲を大きく取る
ことができる．

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本第１発明の一実施例を示し、第１図
は要部のＩＩｌ断１ｌｌｌ１面図、第２図は全体の縦断
側面図、第３図は同横断平面図、第４図は本第２、第３
発明の一実施例を示す要部の縦断側面図、第５図は本第
４発明の一実施例を示す要部の縦断側面図である。 １・・・クリーンルーム、５・・・荷保管装置、６・・
・本体、８・・・荷収納部、９・・・通路、１０・・・
フィルタ、１１・・・エア供給路、１２・・・区画室、
１３・・・吐出部、１４・・・送７１１ｍ、１５・・・
吸引部、１６・・・クリーンエア、１７・・・多孔板、
１８・・・冷水コイル装Ｉｆ（冷ｆ！Ｊ装ｉｆｆ＞、１
９・・・給水管、２１・・・排水管、２３・・・＃Ｊｌ
ｇｌ弁、２４・・・バイパス管、２５・・・温度制御８
＠、２６・・・温度センサ、３０・・・搬入出装置、３
６・・・受け渡し装置、３８・・・荷、４０・・・移載
装置、４５・・・搬送装置、４７・・・自走車、５０・
・・定Ｒ量弁、５１・・・加熱装置、５２・・・配線、
５３・・・サイリスタ、５４・・・漏水センサ、５５・
・・冷凍機、５６・・・冷凍機ユニット。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、前面と後面とを開放した荷収納部の後面側にフィル
   タを配設するとともに、このフィルタの後方にエア供給
   路を形成し、このエア供給路に吐出部が連通し、かつ荷
   収納部を通ったクリーンエアを吸引部を介して吸引自在
   な送風機を設け、この送風機の吸引部よりも上手側に冷
   却装置を設けたことを特徴とするクリーンルーム内の荷
   保管装置。 ２、前面と後面とを開放した荷収納部の後面側にフィル
   タを配設するとともに、このフィルタの後方にエア供給
   路を形成し、このエア供給路に吐出部が連通し、かつ荷
   収納部を通ったクリーンエアを吸引部を介して吸引自在
   な送風機を設け、この送風機の吸引部よりも上手側に、
   冷水コイル装置と加熱装置とを設けたことを特徴とする
   クリーンルーム内の荷保管装置。 ３、冷水コイル装置の下方に漏水センサを設けたことを
   特徴とする請求項２記載のクリーンルーム内の荷保管装
   置。 ４、前面と後面とを開放した荷収納部の後面側にフィル
   タを配設するとともに、このフィルタの後方にエア供給
   路を形成し、このエア供給路に吐出部が連通し、かつ荷
   収納部を通ったクリーンエアを吸引部を介して吸引自在
   な送風機を設け、この送風機の吸引部よりも上手側に、
   冷凍機と加熱装置とを設けたことを特徴とするクリーン
   ルーム内の荷保管装置。