JP7061054B2 - クリーンルームシステム - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルームが備えられたクリーンルームシステムに関する。

このようなクリーンルームシステムでは、建物内に、免震装置を介して支持されたクリーンルームが備えられている（例えば、特許文献１、２参照。）。特許文献１、２に記載のシステムでは、清浄化フィルター等を通して清浄化された清浄空気がクリーンルーム内に供給され、クリーンルーム内の空気がクリーンルームから外部に排気され、清浄空気がクリーンルームに循環供給されている。

このようなクリーンルームシステムでは、通常、クリーンルームの水平方向での移動等を許容するために、クリーンルームの周囲には、免震クリアランス空間が形成されている。

特許第２６３６８５５号公報 特開２０００－２８２７０７号公報

例えば、クリーンルームの扉の開閉等によりクリーンルームの室圧が変動することで、免震クリアランス空間の空気がクリーンルームに流入することが考えられる。しかしながら、特許文献１、２に記載のシステムでは、免震クリアランス空間における空気の清浄度については、何ら考慮されておらず、クリーンルーム内に汚染空気が流入することになり、クリーンルームが汚染されてしまう可能性がある。

クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止するためには、例えば、免震エクスパンションジョイント部材等に対して、特殊な漏気防止対策を施す必要があり、コストアップや構成の複雑化を招くものとなっている。

この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、特殊な漏気防止対策を施すことなく、クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止することができるクリーンルームシステムを提供する点にある。

本発明の第１特徴構成は、区画部にて密閉又は略密閉状態に区画された区画空間には、その区画部の内周部とクリーンルームの外周部との間に免震クリアランス空間を形成させる状態で、免震装置を介して支持されたクリーンルームが備えられ、
前記クリーンルームの周囲に形成された前記免震クリアランス空間によって、前記クリーンルームの水平方向での移動が許容され、
清浄化した清浄空気を前記クリーンルーム及び前記免震クリアランス空間に供給する清浄空気供給部と、
前記クリーンルーム及び前記免震クリアランス空間から外部に排気する排気部とが備えられている点にある。

本構成によれば、清浄空気供給部は、クリーンルームだけでなく、免震クリアランス空間にも清浄空気を供給し、排気部は、クリーンルームだけでなく、免震クリアランス空間からも外部に排気しているので、クリーンルームだけでなく、免震クリアランス空間における空気の清浄度を向上することができる。よって、例えば、クリーンルームの室圧の変動等により、免震クリアランス空間からクリーンルームに空気が流入しても、清浄度が向上された空気が流入することになるので、クリーンルーム内に汚染空気が流入するのを防止することができる。しかも、免震クリアランス空間に清浄空気を通風させることができるので、その清浄空気の通風により、塵埃の滞留やカビ等の発生を防止することができる。

以上のことから、特殊な漏気防止対策を施すことなく、クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止することができ、しかも、免震クリアランス空間の清掃の簡素化を図ることができる。

本発明の第２特徴構成は、前記クリーンルーム内の室圧を陽圧に調整し、且つ、前記免震クリアランス空間内の室圧を前記クリーンルーム内の室圧よりも小さい陽圧に調整する第１室圧調整部が備えられている点にある。

本構成によれば、第１室圧調整部は、クリーンルーム内の室圧を免震クリアランス空間の室圧よりも大きい陽圧に調整するので、免震クリアランス空間からクリーンルームへの空気の流入を防止することができ、クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、第１室圧調整部は、免震クリアランス空間内の室圧を陽圧に調整するので、免震クリアランス空間への外部からの汚染空気等の流入を防止することができ、免震クリアランス空間における空気の清浄度を適切に保持することができる。よって、クリーンルームの室圧の変動等により、仮に、免震クリアランス空間からクリーンルームに空気が流入しても、清浄空気が流入することになり、クリーンルーム内への汚染空気の流入を的確に防止することができる。

本発明の第３特徴構成は、前記クリーンルーム内の室圧を陰圧に調整し、且つ、前記免震クリアランス空間内の室圧を前記クリーンルーム内の室圧よりも小さい圧力の陰圧に調整する第２室圧調整部が備えられている点にある。

本構成によれば、第２室圧調整部は、クリーンルーム内の室圧を免震クリアランス空間内の室圧よりも大きい圧力の陰圧に調整するので、免震クリアランス空間からクリーンルームへの空気の流入を防止することができ、クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、第２室圧調整部は、クリーンルーム内の室圧を陰圧に調整するので、クリーンルームからの汚染物質等の流出を防止することができる。また、仮に、クリーンルーム内の室圧変動等により、クリーンルームから汚染物質等が流出しても、免震クリアランス空間内の室圧がクリーンルーム内の室圧よりも小さい圧力の陰圧であるので、汚染物質等の流出を免震クリアランス空間にて留めることができ、免震クリアランス空間よりも外部の隣室等に汚染物質等が流出するのを防止することができる。

本発明の第４特徴構成は、前記クリーンルーム内の室圧を陰圧に調整し、且つ、前記免震クリアランス空間内の室圧を陽圧に調整する第３室圧調整部が備えられている点にある。

本構成によれば、第３室圧調整部は、免震クリアランス空間内の室圧を陽圧に調整するので、免震クリアランス空間への外部からの汚染空気等の流入を防止することができ、免震クリアランス空間における空気の清浄度を適切に保持することができる。よって、免震クリアランス空間からクリーンルームに空気が流入しても、清浄空気が流入されることになり、クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、第３室圧調整部は、クリーンルーム内の室圧を陰圧に調整するだけでなく、免震クリアランス空間内の室圧を陽圧に調整するので、クリーンルームから免震クリアランス空間への汚染物質等の流出を適切に防止することができ、免震クリアランス空間よりも外部の隣室等に汚染物質等が流出するのを適切に防止することができる。

本発明の第５特徴構成は、前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記クリーンルームに供給するクリーンルーム用清浄空気供給部と、清浄化した清浄空気を前記免震クリアランス空間に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部とが備えられ、
前記排気部は、前記クリーンルームから外部に排気するクリーンルーム用排気部と、前記免震クリアランス空間から外部に排気する免震クリアランス空間用排気部とが備えられている点にある。

本構成によれば、クリーンルームに対しては、クリーンルーム用清浄空気供給部にて清浄空気を供給して、クリーンルーム用排気部にてクリーンルームから排気できるので、外部の影響を受けずに、清浄空気を循環供給させることができ、クリーンルームにおける空気の清浄度を適切に保持することができる。
免震クリアランス空間に対しても、免震クリアランス空間用清浄空気供給部にて清浄空気を供給して、免震クリアランス空間用排気部にて免震クリアランス空間から排気できるので、外部の影響を受けずに、清浄空気を循環供給させることができ、免震クリアランス空間における空気の清浄度を適切に保持することができる。

本発明の第６特徴構成は、前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記クリーンルームに供給するクリーンルーム用清浄空気供給部と、前記クリーンルーム内の空気を吸引して清浄化フィルターを通して前記免震クリアランス空間に通風させる第１通風装置とが備えられ、
前記排気部は、前記第１通風装置により前記クリーンルームから通風される清浄空気も含めて前記免震クリアランス空間から外部に排気している点にある。

本構成によれば、第１通風装置は、クリーンルーム内の空気を吸引して清浄化フィルターを通して免震クリアランス空間に通風させるので、クリーンルームに供給された清浄空気を利用して、構成の簡素化を図りながら、免震クリアランス空間に清浄空気を供給して、免震クリアランス空間における空気の清浄度を向上することができる。しかも、排気部は、第１通風装置によりクリーンルームから通風される清浄空気も含めて免震クリアランス空間から外部に排気しているので、クリーンルームから外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

本発明の第７特徴構成は、前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記免震クリアランス空間に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部と、前記免震クリアランス空間内の空気を吸引して清浄化フィルターを通して前記クリーンルームに通風させる第２通風装置とが備えられ、
前記排気部は、前記第２通風装置により前記免震クリアランス空間から通風される清浄空気も含めて前記クリーンルームから外部に排気している点にある。

本構成によれば、第２通風装置は、免震クリアランス空間内の空気を吸引して清浄化フィルターを通してクリーンルームに通風させるので、免震クリアランス空間に供給された清浄空気を利用して、構成の簡素化を図りながら、クリーンルームに清浄空気を供給することができる。しかも、排気部は、第２通風装置により免震クリアランス空間から通風される清浄空気も含めてクリーンルームから外部に排気しているので、免震クリアランス空間から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

本発明の第８特徴構成は、前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記クリーンルームに供給するクリーンルーム用清浄空気供給部と、前記クリーンルームと前記免震クリアランス空間とを連通して前記クリーンルームから清浄化フィルターを通して前記免震クリアランス空間への空気の供給を許容する第１連通部とが備えられ、
前記排気部は、前記第１連通部を通して前記クリーンルームから供給される清浄空気も含めて前記免震クリアランス空間から外部に排気している点にある。

本構成によれば、第１連通部は、クリーンルームと免震クリアランス空間とを連通してクリーンルームから清浄化フィルターを通して免震クリアランス空間への空気の供給を許容するので、クリーンルームに供給された清浄空気を利用して、免震クリアランス空間に清浄空気を供給して、免震クリアランス空間における空気の清浄度を向上することができる。しかも、免震クリアランス空間に清浄空気を供給するために、クリーンルームと免震クリアランス空間とを連通するだけの第１連通部を備えるだけでよく、構成の簡素化を図ることができる。更に、排気部は、第１連通部を通してクリーンルームから供給される清浄空気も含めて免震クリアランス空間から外部に排気しているので、クリーンルームから外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

本発明の第９特徴構成は、前記免震装置は、前記クリーンルームの床部を支持しており、前記第１連通部は、前記クリーンルームの床部に備えられている点にある。

本構成によれば、第１連通部は、免震装置にて支持されるクリーンルームの床部に備えられているので、免震装置が備えられて塵埃が溜まり易い箇所に、第１連通部を通して空気を通風させることができる。よって、塵埃の滞留を適切に防止することができ、免震クリアランス空間の清掃が行い易いものとなり、免震クリアランス空間における空気の清浄度を適切に保持し易いものとなる。

本発明の第１０特徴構成は、前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記免震クリアランス空間に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部と、前記免震クリアランス空間と前記クリーンルームとを連通して前記免震クリアランス空間から清浄化フィルターを通して前記クリーンルームへの空気の供給を許容する第２連通部が備えられ、
前記排気部は、前記第２連通部を通して前記免震クリアランス空間から供給される清浄空気も含めて前記クリーンルームから外部に排気している点にある。

本構成によれば、第２連通部は、免震クリアランス空間とクリーンルームとを連通して免震クリアランス空間から清浄化フィルターを通してクリーンルームへの空気の供給を許容するので、免震クリアランス空間に供給された清浄空気を利用して、クリーンルームに清浄空気を供給することができる。しかも、クリーンルームに清浄空気を供給するために、免震クリアランス空間とクリーンルームとを連通するだけの第２連通部を備えるだけでよく、構成の簡素化を図ることができる。更に、排気部は、第２連通部を通して免震クリアランス空間から供給される清浄空気も含めてクリーンルームから外部に排気しているので、免震クリアランス空間から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

第１実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第２実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第３実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第４実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第５実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第６実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第７実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第８実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図 第９実施形態におけるクリーンルームシステムの概略構成を示す図

本発明に係るクリーンルームシステムを図面に基づいて説明する。
〔第１実施形態〕
このクリーンルームシステムでは、図１に示すように、建物１内に、免震装置２を介して支持されたクリーンルーム３が備えられている。建物１内は、区画部４にて密閉又は略密閉状態の区画空間５が区画形成され、区画空間５内にクリーンルーム３が備えられている。

区画空間５には、区画部４の内周部とクリーンルーム３の外周部との間に免震クリアランス空間６が形成されている。これにより、クリーンルーム３の周囲に免震クリアランス空間６が形成され、地震等によりクリーンルーム３の水平方向での移動が許容されている。

免震装置２は、クリーンルーム３の床部３ｃの下方側に形成された免震クリアランス空間６に配置され、クリーンルーム３の床部３ｃを支持している。免震装置２としては、例えば、積層ゴム系、すべり系、積層ゴム系とすべり系とを組み合わせたもの等、各種の免震装置を適用可能である。

建物１内には、クリーンルーム３に隣接する第１隣室７ａ及び第２隣室７ｂが備えられている。区画空間５は、区画部４により第１隣室７ａと第２隣室７ｂとの間に区画形成され、第２隣室７ｂとクリーンルーム３とが廊下８を通して接続されている。ちなみに、第１隣室７ａは、一般室として構成することができ、第２隣室７ｂは、クリーンルームとして構成することができる。

クリーンルームシステムは、清浄化した清浄空気をクリーンルーム３及び免震クリアランス空間６に供給する清浄空気供給部９と、クリーンルーム３及び免震クリアランス空間６から外部に排気する排気部１０とが備えられている。

清浄空気供給部９は、清浄化した清浄空気をクリーンルーム３に供給するクリーンルーム用清浄空気供給部１１と、清浄化した清浄空気を免震クリアランス空間６に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２とが備えられている。クリーンルーム用清浄空気供給部１１と免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２とは、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を通流させる共通の第１給気路Ｒ１を備えており、第１給気路Ｒ１に共通の空調装置１３と共通の再熱部１４とが備えられている。

空調装置１３は、空気の通流方向の上流側から、空気を冷却する冷却部１３ａ、空気を冷却又は加熱する冷却・加熱部１３ｂ、空気を加湿する加湿部１３ｃ、ファン１３ｄを備えている。空調装置１３は、冷却部１３ａ、冷却・加熱部１３ｂ、加湿部１３ｃによって供給される空気に対して空調処理を行い、例えば、所望湿度範囲及び所望温度範囲の空気に空調するようにしている。

再熱部１４は、第１給気路Ｒ１を通流する空気を加熱自在に構成されている。空気の湿度を所望湿度範囲とするために、空調装置１３による冷却除湿によって所望温度範囲よりも低い温度まで空気の温度が低下した場合には、再熱部１４にて加熱することで、空気の温度を上昇させて、空気の温度を所望温度範囲としている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１１は、第１給気路Ｒ１に加えて、第１給気路Ｒ１から分岐してクリーンルーム３に接続された第２給気路Ｒ２が備えられている。第２給気路Ｒ２の途中には、所定の一定風量の空気を通流させる定風量装置Ｃが備えられ、第２給気路Ｒ２の下流側端部が、クリーンルーム３に空気を供給する第１給気口Ｋ１に接続されている。第１給気口Ｋ１は、クリーンルーム３の天井部３ａに配置され、空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２は、第１給気路Ｒ１に加えて、第１給気路Ｒ１から分岐して免震クリアランス空間６に接続された第３給気路Ｒ３が備えられている。第３給気路Ｒ３の途中には、所定の一定風量の空気を通流させる定風量装置Ｃが備えられ、第３給気路Ｒ３の下流側端部が、免震クリアランス空間６に空気を供給する第２給気口Ｋ２に接続されている。第２給気口Ｋ２は、区画空間５の天井部に配置され、空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１１は、空調装置１３の作動により、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を空調装置１３、再熱部１４の順に通過させて所望の空調状態とし、第１給気口Ｋ１の清浄化フィルターＦにて清浄化した清浄空気を所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２も、空調装置１３の作動により、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を空調装置１３、再熱部１４の順に通過させて所望の空調状態とし、第２給気口Ｋ２の清浄化フィルターＦにて清浄化した清浄空気を所望の一定風量にて免震クリアランス空間６に供給している。

排気部１０は、クリーンルーム３から外部に排気するクリーンルーム用排気部１５と、免震クリアランス空間６から外部に排気する免震クリアランス空間用排気部１６とが備えられている。

クリーンルーム用排気部１５は、クリーンルーム３に接続された第１排気路Ｅ１が備えられている。第１排気路Ｅ１の上流側端部が、クリーンルーム３の天井部３ａに配置された第１排気口Ｇ１に接続され、第１排気路Ｅ１の途中には、クリーンルーム３内の室圧を制御するための室圧制御ダンパＤが備えられている。

免震クリアランス空間用排気部１６は、免震クリアランス空間６に接続された第２排気路Ｅ２が備えられている。第２排気路Ｅ２の上流側端部が、区画空間５の天井部に配置された第２排気口Ｇ２に接続され、第２排気路Ｅ２の途中には、免震クリアランス空間６内の室圧を制御するための室圧制御ダンパＤが備えられている。

クリーンルーム用排気部１５と免震クリアランス空間用排気部１６とは、第１排気路Ｅ１と第２排気路Ｅ２とが合流する第３排気路Ｅ３が備えられ、第３排気路Ｅ３の下流側端部に排気ファン１７が備えられている。第３排気路Ｅ３から分岐して空調装置１３に接続された第４排気路Ｅ４が備えられ、第３排気路Ｅ３の空気の一部が還気ＲＡとして空調装置１３に供給自在となっている。

クリーンルーム用排気部１５は、排気ファン１７の作動により、第１排気路Ｅ１及び第３排気路Ｅ３を通して、クリーンルーム３内の空気を第１排気路Ｅ１の室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて外部に排気している。免震クリアランス空間用排気部１６も、排気ファン１７の作動により、第２排気路Ｅ２及び第３排気路Ｅ３を通して、免震クリアランス空間６内の空気を第２排気路Ｅ２の室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて外部に排気している。また、クリーンルーム用排気部１５と免震クリアランス空間用排気部１６とは、第３排気路Ｅ３の空気の一部を空調装置１３に供給自在としている。

クリーンルームシステムには、クリーンルームシステムの動作を制御する制御部１８が備えられている。制御部１８は、空調装置１３、再熱部１４、定風量装置Ｃ、室圧制御ダンパＤ、排気ファン１７等の各種の機器の作動状態を制御することで、クリーンルームシステムの動作を制御している。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、制御部１８は、第２給気路Ｒ２の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定し、第１排気路Ｅ１の室圧制御ダンパＤの開度を制御することで、クリーンルーム３内の室圧を制御することができる。同様に、制御部１８は、第３給気路Ｒ３の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定し、第２排気路Ｅ２の室圧制御ダンパＤの開度を制御することで、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

この第１実施形態では、制御部１８（第１室圧調整部に相当する）が、クリーンルーム３内の室圧を陽圧（例えば、＋２０Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整している。

この第１実施形態では、図１に示すように、クリーンルーム３について、クリーンルーム用清浄空気供給部１１が、第１給気路Ｒ１及び第２給気路Ｒ２を通して、所望の空調状態の清浄空気を所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。クリーンルーム用排気部１５が、第１排気路Ｅ１及び第３排気路Ｅ３を通して、クリーンルーム３から室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて外部に排気している。これにより、クリーンルーム３に対して、外部の影響を受けずに、清浄空気を循環供給させることができ、クリーンルーム３における空気の清浄度を適切に保持することができる。

免震クリアランス空間６についても、免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２が、第１給気路Ｒ１及び第３給気路Ｒ３を通して、所望の空調状態の清浄空気を所定の一定風量にて免震クリアランス空間６に供給している。免震クリアランス空間用排気部１６が、第２排気路Ｅ２及び第３排気路Ｅ３を通して、免震クリアランス空間６から室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて外部に排気している。これにより、免震クリアランス空間６に対して、外部の影響を受けずに、清浄空気を循環供給させることができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。

よって、例えば、クリーンルーム３の室圧の変動等により、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に空気が流入しても、清浄度が向上された空気が流入することになるので、クリーンルーム３内に汚染空気が流入するのを防止することができる。しかも、免震クリアランス空間６に清浄空気を通風させることができるので、その清浄空気の通風により、塵埃の滞留やカビ等の発生を防止することができる。

クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御について、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を免震クリアランス空間６の室圧（例えば、＋数Ｐａ）よりも大きい陽圧（例えば。＋２０Ｐａ）に調整するので、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３への空気の流入を防止することができ、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、制御部１８は、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整するので、免震クリアランス空間６への外部からの汚染空気等の流入を防止することができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。

〔第２実施形態〕
この第２実施形態は、第１実施形態における清浄空気供給部９及び排気部１０の別実施形態である。以下、図２に基づいて、第２実施形態における清浄空気供給部９及び排気部１０について説明する。その他の構成については、第１実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

清浄空気供給部９は、清浄化した清浄空気をクリーンルーム３に供給するクリーンルーム用清浄空気供給部１９と、クリーンルーム３内の空気を吸引して清浄化フィルターＦを通して免震クリアランス空間６に通風させる第１通風装置２１とが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１９は、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を通流させる第４給気路Ｒ４を備えており、第４給気路Ｒ４がクリーンルーム３に接続されている。第４給気路Ｒ４には、空気の通流方向の上流側から、空調装置１３、再熱部１４、定風量装置Ｃが備えられている。第４給気路Ｒ４の下流側端部が、クリーンルーム３の天井部３ａに配置された第１給気口Ｋ１に接続されている。第１給気口Ｋ１には、クリーンルーム３に給気する空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。

クリーンルーム３の側壁部３ｂの上方側部位には、クリーンルーム３内の空気を吸気する第１吸気口Ｌ１が備えられている。第１吸気口Ｌ１には、清浄化フィルターＦが備えられ、第１給気口Ｌ１から吸気した空気を通流させる第１連通路Ｍ１が接続されている。第１連通路Ｍ１の下流側端部には、免震クリアランス空間６に空気を吹き出す第１吹出口Ｎ１が備えられている。第１連通路Ｍ１の途中には、第１通風装置２１が備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１９は、空調装置１３の作動により、第４給気路Ｒ４を通して、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を空調装置１３、再熱部１４の順に通過させて所望の空調状態とし、第１給気口Ｋ１の清浄化フィルターＦにて清浄化した清浄空気を所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。第１通風装置２１を作動することで、クリーンルーム３内の空気を第１吸気口Ｌ１から吸引して清浄化フィルターＦを通して清浄空気として第１連通路Ｍ１に通流させ、第１連通路Ｍ１及び第１吹出口Ｎ１を通して清浄空気を免震クリアランス空間６に供給している。

排気部１０は、第１通風装置２１によりクリーンルーム３から通風される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から外部に排気している。排気部１０は、免震クリアランス空間６に接続された第５排気路Ｅ５が備えられている。第５排気路Ｅ５の上流側端部が、区画空間５の天井部に配置された第２排気口Ｇ２に接続され、第５排気路Ｅ５の途中には、室圧制御ダンパＤが備えられている。排気部１０は、排気ファン１７の作動により、第５排気路Ｅ５を通して、クリーンルーム３から通風される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて外部に排気している。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、第１通風装置２１、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、制御部１８は、第４給気路Ｒ４の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定し、第１通風装置２１の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧を制御することができる。制御部１８は、第１通風装置２１の作動状態、及び、第５排気路Ｅ５の室圧制御ダンパＤの開度を制御することで、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

この第２実施形態では、第１実施形態と同様に、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陽圧（例えば、＋２０Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整している。よって、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３への空気の流入を防止して、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止しながら、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。

この第２実施形態では、図２に示すように、クリーンルーム３について、クリーンルーム用清浄空気供給部１９が、第４給気路Ｒ４を通して、所望の空調状態の清浄空気を所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。第１通風装置２１の作動により、クリーンルーム３内の空気を、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６に第１連通路Ｍ１を通して通流させている。このようにして、クリーンルーム３に対して、清浄空気を循環供給させることができ、クリーンルーム３における空気の清浄度を適切に保持することができる。

第１通風装置２１は、クリーンルーム３内の空気を吸引して清浄化フィルターＦを通して免震クリアランス空間６に通流させるので、クリーンルーム３に供給された清浄空気を利用して、免震クリアランス空間６に清浄空気を供給することができる。これにより、構成の簡素化を図りながら、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。排気部１０は、第１通風装置２１によりクリーンルーム３から通風される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から外部に排気しているので、クリーンルーム３から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

〔第３実施形態〕
この第３実施形態は、第２実施形態における清浄空気供給部９及び排気部１０の別実施形態である。以下、図３に基づいて、第３実施形態における清浄空気供給部９及び排気部１０について説明する。その他の構成については、第１実施形態や第２実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

清浄空気供給部９は、清浄化した清浄空気をクリーンルーム３に供給するクリーンルーム用清浄空気供給部１９と、クリーンルーム３と免震クリアランス空間６とを連通してクリーンルーム３から清浄化フィルターＦを通して免震クリアランス空間６への空気の供給を許容する第１連通部２２とが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１９は、第２実施形態と同様の第４給気路Ｒ４を備えているので、クリーンルーム用清浄空気供給部１９の説明は省略する。クリーンルーム３の側壁部３ｂの下方側部位には、複数の第１連通部２２が備えられている。第１連通部２２には、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６に供給される空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１９は、空調装置１３の作動により、第４給気路Ｒ４を通して、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を空調装置１３、再熱部１４の順に通過させて所望の空調状態とし、第１給気口Ｋ１の清浄化フィルターＦにて清浄化した清浄空気を所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。クリーンルーム３内の空気は、第１連通部２２の清浄化フィルターＦにて清浄化されて清浄空気となり、その清浄空気を第１連通部２２を通してクリーンルーム３から免震クリアランス空間６に供給している。

排気部１０は、第１連通部２２を通してクリーンルーム３から供給される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から外部に排気している。排気部１０は、第２実施形態と同様の第５排気路Ｅ５を備えているので、排気部１０の説明は省略する。排気部１０は、排気ファン１７の作動により、第５排気路Ｅ５を通して、クリーンルーム３から供給される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて外部に排気している。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、第１連通部２２によるクリーンルーム３から免震クリアランス空間６への空気の供給量は、実験等により取得することができる。そこで、制御部１８は、その取得した供給量等を用いて、第４給気路Ｒ４の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定し、第５排気路Ｅ５の室圧制御ダンパＤの開度を制御することで、クリーンルーム３内の室圧、及び、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

この第３実施形態では、第１実施形態と同様に、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陽圧（例えば、＋２０Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整している。よって、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３への空気の流入を防止して、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止しながら、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。

この第３実施形態では、図３に示すように、クリーンルーム３について、クリーンルーム用清浄空気供給部１９が、第４給気路Ｒ４を通して、所望の空調状態の清浄空気を所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。第１連通部２２により、クリーンルーム３内の空気を清浄化して、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６に供給している。このようにして、クリーンルーム３に対して、清浄空気を循環供給させることができ、クリーンルーム３における空気の清浄度を適切に保持することができる。

第１連通部２２は、クリーンルーム３内の空気を清浄化して免震クリアランス空間６に供給するので、クリーンルーム３に供給された清浄空気を利用して、免震クリアランス空間６に清浄空気を供給することができる。これにより、構成の簡素化を図りながら、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。排気部１０は、第１連通部２２によりクリーンルーム３から供給される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から外部に排気しているので、クリーンルーム３から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

〔第４実施形態〕
この第４実施形態は、第３実施形態における第１連通部２２の配置位置の別実施形態を示すものである。以下、図４に基づいて、第４実施形態における第１連通部２２の配置位置について説明する。その他の構成については、第１～第３実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

第１連通部２２は、第３実施形態と同様に、クリーンルーム３と免震クリアランス空間６とを連通して、クリーンルーム３から清浄化フィルターＦを通して免震クリアランス空間６への空気の供給を許容している。複数の第１連通部２２は、図４に示すように、クリーンルーム３の床部３ｃに配置されている。

第１連通部２２は、免震装置２にて支持されるクリーンルーム３の床部３ｃに備えられているので、免震装置２が備えられて塵埃が溜まり易い箇所に、第１連通部２２を通して清浄空気を通風させることができる。これにより、塵埃の滞留を適切に防止することができ、免震クリアランス空間６の清掃が行い易いものとなって、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を保持し易いものとなる。

〔第５実施形態〕
この第５実施形態は、第１実施形態におけるクリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御についての別実施形態である。以下、図５に基づいて、第５実施形態におけるクリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御について説明する。その他の構成については、第１実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

第１実施形態では、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陽圧（例えば、＋２０Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整している。それに対して、この第５実施形態では、制御部１８（第２室圧調整部に相当する）が、クリーンルーム３内の室圧を陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい圧力の陰圧（例えば、－２０Ｐａ）に調整している。

第５実施形態では、第１実施形態と比較して、定風量装置Ｃ、室圧制御ダンパＤ、清浄化フィルターＦの配置位置が異なっている。図５に示すように、クリーンルーム３に空気を給気する第２給気路Ｒ２、及び、免震クリアランス空間６に空気を給気する第３給気路Ｒ３の夫々に、室圧制御ダンパＤが備えられている。クリーンルーム３から排気する第１排気路Ｅ１、及び、免震クリアランス空間６から排気する第２排気路Ｅ２の夫々に、定風量装置Ｃが備えられている。クリーンルーム３への第１給気口Ｋ１、免震クリアランス空間６への第２給気口Ｋ２、クリーンルーム３からの第１排気口Ｇ１の夫々に、清浄化フィルターＦが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１１が、第１給気路Ｒ１及び第２給気路Ｒ２を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にてクリーンルーム３に供給している。クリーンルーム用排気部１５が、第１排気路Ｅ１及び第３排気路Ｅ３を通して、クリーンルーム３から所定の一定風量にて外部に排気している。このとき、クリーンルーム用排気部１５が、第１排気口Ｇ１の清浄化フィルターＦにてクリーンルーム３内の空気を清浄化して外部に排気しているので、クリーンルーム３内の汚染物質が外部に流出されるのを防止することができる。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２が、第１給気路Ｒ１及び第３給気路Ｒ３を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて免震クリアランス空間６に供給している。免震クリアランス空間用排気部１６が、第２排気路Ｅ２及び第３排気路Ｅ３を通して、免震クリアランス空間６から所定の一定風量にて外部に排気している。これにより、免震クリアランス空間６に清浄空気を循環供給することができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、制御部１８は、第２給気路Ｒ２の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第１排気路Ｅ１の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、クリーンルーム３内の室圧を制御することができる。同様に、制御部１８は、第３給気路Ｒ３の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第２排気路Ｅ２の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

上述の如く、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を免震クリアランス空間６内の室圧（例えば、－２０Ｐａ）よりも大きい圧力の陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整するので、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３への空気の流入を防止することができ、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を陰圧に調整するので、クリーンルーム３から外部への汚染物質等の流出を防止することができる。仮に、クリーンルーム３内の室圧変動等により、クリーンルーム３から汚染物質等が流出しても、免震クリアランス空間６内の室圧がクリーンルーム３内の室圧（例えば、－５Ｐａ）よりも小さい圧力の陰圧（例えば、－２０Ｐａ）であるので、汚染物質等の流出を免震クリアランス空間６にて留めることができ、免震クリアランス空間６よりも外部の第２隣室７ｂ等に汚染物質等が流出するのを防止することができる。

この第５実施形態では、免震クリアランス空間６への第２給気口Ｋ２に清浄化フィルターＦを備えているが、第２給気口Ｋ２に清浄化フィルターＦを備えずに実施することもできる。この場合でも、上述の如く、免震クリアランス空間６内の室圧がクリーンルーム３内の室圧（例えば、－５Ｐａ）よりも小さい圧力の陰圧（例えば、－２０Ｐａ）に調整することで、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止できるとともに、仮に、クリーンルーム３から汚染物質等が流出しても、汚染物質等の流出を免震クリアランス空間６にて留めることができ、第２隣室７ｂ等への汚染物質等の流出を防止することができる。

〔第６実施形態〕
この第６実施形態は、第２実施形態におけるクリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御についての別実施形態である。以下、図６に基づいて、第６実施形態におけるクリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御について説明する。その他の構成については、第２実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

第２実施形態では、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陽圧（例えば、＋２０Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整している。それに対して、この第６実施形態では、第５実施形態と同様に、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい圧力の陰圧（例えば、－２０Ｐａ）に調整している。

第６実施形態では、第２実施形態と比較して、定風量装置Ｃ、室圧制御ダンパＤの配置位置が異なっている。図６に示すように、クリーンルーム３に空気を給気する第４給気路Ｒ４に、室圧制御ダンパＤが備えられている。免震クリアランス空間６から排気する第５排気路Ｅ５に、定風量装置Ｃが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１９が、第４給気路Ｒ４を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にてクリーンルーム３に供給している。第１通風装置２１の作動により、クリーンルーム３内の空気を、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６に第１連通路Ｍ１を通して通流させている。このとき、クリーンルーム３内の空気が、清浄化フィルターＦにて清浄化された後、免震クリアランス空間６に通流される。よって、クリーンルーム３の汚染物質が免震クリアランス空間６に流出するのを防止しながら、免震クリアランス空間６に清浄空気を供給することができる。これにより、構成の簡素化を図りながら、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。

排気部１０は、第１通風装置２１によりクリーンルーム３から通風される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から外部に排気しているので、クリーンルーム３から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。排気部１０は、排気ファン１７の作動により、第５排気路Ｅ５を通して、クリーンルーム３から通風される清浄空気も含めて免震クリアランス空間６から定風量装置Ｃにより所定の一定風量にて外部に排気している。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、第１通風装置２１、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、制御部１８は、第４給気路Ｒ４の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第１通風装置２１の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧を制御することができる。制御部１８は、第１通風装置２１の作動状態、及び、第５排気路Ｅ５の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を免震クリアランス空間６内の室圧（例えば、－２０Ｐａ）よりも大きい圧力の陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整するので、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３への空気の流入を防止することができ、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を陰圧に調整するので、クリーンルーム３から外部への汚染物質等の流出を防止することができる。仮に、クリーンルーム３内の室圧変動等により、クリーンルーム３から汚染物質等が流出しても、免震クリアランス空間６内の室圧がクリーンルーム３内の室圧（例えば、－５Ｐａ）よりも小さい圧力の陰圧（例えば、－２０Ｐａ）であるので、汚染物質等の流出を免震クリアランス空間６にて留めることができ、免震クリアランス空間６よりも外部の第２隣室７ｂ等に汚染物質等が流出するのを防止することができる。

〔第７実施形態〕
この第７実施形態は、第１実施形態におけるクリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御についての別実施形態である。以下、図７に基づいて、第７実施形態におけるクリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御について説明する。その他の構成については、第１実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

第１実施形態では、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陽圧（例えば、＋２０Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧をクリーンルーム３内の室圧よりも小さい陽圧（例えば、＋数Ｐａ）に調整している。それに対して、この第７実施形態では、制御部１８（第３室圧調整部に相当する）が、クリーンルーム３内の室圧を陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧（例えば、＋１０Ｐａ）に調整している。

第７実施形態では、第１実施形態と比較して、定風量装置Ｃ、室圧制御ダンパＤ、清浄化フィルターＦの配置位置が異なっている。図７に示すように、クリーンルーム３に空気を給気する第２給気路Ｒ２、及び、免震クリアランス空間６に空気を給気する第３給気路Ｒ３の夫々に、室圧制御ダンパＤが備えられている。クリーンルーム３から排気する第１排気路Ｅ１、及び、免震クリアランス空間６から排気する第２排気路Ｅ２の夫々に、定風量装置Ｃが備えられている。クリーンルーム３への第１給気口Ｋ１、免震クリアランス空間６への第２給気口Ｋ２、クリーンルーム３からの第１排気口Ｇ１、免震クリアランス空間６からの第２排気口Ｇ２の夫々に、清浄化フィルターＦが備えられている。

クリーンルーム用清浄空気供給部１１が、第１給気路Ｒ１及び第２給気路Ｒ２を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にてクリーンルーム３に供給している。クリーンルーム用排気部１５が、第１排気路Ｅ１及び第３排気路Ｅ３を通して、クリーンルーム３から所定の一定風量にて外部に排気している。このとき、クリーンルーム用排気部１５が、第１排気口Ｇ１の清浄化フィルターＦにてクリーンルーム３内の空気を清浄化して外部に排気しているので、クリーンルーム３内の汚染物質が外部に流出されるのを防止することができる。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部１２が、第１給気路Ｒ１及び第３給気路Ｒ３を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて免震クリアランス空間６に供給している。これにより、免震クリアランス空間６に清浄空気を循環供給することができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。免震クリアランス空間用排気部１６が、第２排気路Ｅ２及び第３排気路Ｅ３を通して、免震クリアランス空間６から所定の一定風量にて外部に排気している。このとき、免震クリアランス空間用排気部１６が、第２排気口Ｇ２の清浄化フィルターＦにて免震クリアランス空間６内の空気を清浄化して外部に排気しているので、免震クリアランス空間６内の汚染物質が外部に流出されるのを防止することができる。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、制御部１８は、第２給気路Ｒ２の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第１排気路Ｅ１の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、クリーンルーム３内の室圧を制御することができる。同様に、制御部１８は、第３給気路Ｒ３の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第２排気路Ｅ２の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

制御部１８が、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧に調整するので、免震クリアランス空間６への外部からの汚染空気等の流入を防止することができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。よって、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に空気が流入しても、清浄空気が流入されることになり、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を陰圧に調整するだけでなく、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧に調整するので、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６への汚染物質等の流出を適切に防止することができ、免震クリアランス空間６よりも外部の第２隣室７ｂ等に汚染物質等が流出するのを適切に防止することができる。

〔第８実施形態〕
この第８実施形態は、第１実施形態における清浄空気供給部９、排気部１０、及び、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御についての別実施形態である。以下、図８に基づいて、第８実施形態における清浄空気供給部９、排気部１０、及び、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御について説明する。その他の構成については、第１実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

清浄空気供給部９は、清浄化した清浄空気を免震クリアランス空間６に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０と、免震クリアランス空間６内の空気を吸引して清浄化フィルターＦを通してクリーンルーム３に通風させる第２通風装置２３とが備えられている。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０は、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を通流させる第５給気路Ｒ５を備えており、第５給気路Ｒ５が免震クリアランス空間６に接続されている。第５給気路Ｒ５には、空気の通流方向の上流側から、空調装置１３、再熱部１４、室圧制御ダンパＤが備えられている。第５給気路Ｒ５の下流側端部が、区画空間５の天井部に配置された第２給気口Ｋ２に接続されている。第２給気口Ｋ２には、免震クリアランス空間６に給気する空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。

免震クリアランス空間６の下方側部位には、免震クリアランス空間６内の空気を吸気する第２吸気口Ｌ２が備えられ、第２吸気口Ｌ２には第２連通路Ｍ２が接続されている。第２連通路Ｍ２の下流側端部には、クリーンルーム３に空気を吹き出す第２吹出口Ｎ２が備えられている。第２吹出口Ｎ２は、クリーンルーム３の側壁部３ｂの上方側部位に配置され、空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。第２連通路Ｍ２の途中には、定風量装置Ｃ、第２通風装置２３が備えられている。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０は、空調装置１３の作動により、第５給気路Ｒ５を通して、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を空調装置１３、再熱部１４の順に通過させて所望の空調状態とし、第２給気口Ｋ２の清浄化フィルターＦにて清浄化した清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて免震クリアランス空間６に供給している。第２通風装置２３を作動することで、免震クリアランス空間６内の空気を第２吸気口Ｌ２から吸引して第２連通路Ｍ２に通流させ、第２吹出口Ｎ２の清浄化フィルターＦにて清浄空気として所定の一定風量にてクリーンルーム３に供給している。

排気部１０は、第２通風装置２３により免震クリアランス空間６から通風される清浄空気も含めてクリーンルーム３から外部に排気している。排気部１０は、クリーンルーム３に接続された第６排気路Ｅ６が備えられている。第６排気路Ｅ６の上流側端部が、クリーンルーム３の天井部３ａに配置された第１排気口Ｇ１に接続され、第１排気口Ｇ１には、清浄化フィルターＦが備えられている。第６排気路Ｅ６の途中には、定風量装置Ｃが備えられている。排気部１０は、排気ファン１７の作動により、第６排気路Ｅ６を通して、免震クリアランス空間６から通風される清浄空気も含めてクリーンルーム３から所定の一定風量にて外部に排気している。

免震クリアランス空間６について、免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０が、第５給気路Ｒ５を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて免震クリアランス空間６に供給している。第２通風装置２３の作動により、免震クリアランス空間６内の空気を、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に第２連通路Ｍ２を通して通流させている。このようにして、免震クリアランス空間６に対して、清浄空気を循環供給させることができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。

第２通風装置２３は、免震クリアランス空間６内の空気を吸引して清浄化フィルターＦを通してクリーンルーム３に通風させるので、免震クリアランス空間６に供給された清浄空気を利用して、構成の簡素化を図りながら、クリーンルーム３に清浄空気を供給することができる。しかも、排気部１０は、第２通風装置２３により免震クリアランス空間６から通風される清浄空気も含めてクリーンルーム３から外部に排気しているので、免震クリアランス空間６から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、制御部１８は、第５給気路Ｒ５の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第２連通路Ｍ２の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。制御部１８は、第２通風装置２３の作動状態、及び、第６排気路Ｅ６の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、クリーンルーム３内の室圧を制御することができる。

クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧の制御について、この第８実施形態では、第７実施形態と同様に、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧（例えば、＋１０Ｐａ）に調整している。よって、免震クリアランス空間６への外部からの汚染空気等の流入を防止することができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。仮に、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に空気が流入しても、清浄空気が流入されることになり、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を陰圧に調整するだけでなく、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧に調整するので、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６への汚染物質等の流出を適切に防止することができ、免震クリアランス空間６よりも外部の第２隣室７ｂ等に汚染物質等が流出するのを適切に防止することができる。

〔第９実施形態〕
この第９実施形態は、第８実施形態における清浄空気供給部９及び排気部１０の別実施形態である。以下、図９に基づいて、第９実施形態における清浄空気供給部９及び排気部１０について説明する。その他の構成については、第８実施形態と同様であるので、同符号を記す等により説明は省略する。

清浄空気供給部９は、清浄化した清浄空気を免震クリアランス空間６に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０と、免震クリアランス空間６とクリーンルーム３とを連通して免震クリアランス空間６から清浄化フィルターＦを通してクリーンルーム３への空気の供給を許容する第２連通部２４が備えられている。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０は、第８実施形態と同様の第５給気路Ｒ５を備えているので、免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０の説明は省略する。クリーンルーム３の側壁部３ｂの下方側部位には、第２連通部２４が備えられている。第２連通部２４には、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に供給される空気を清浄化するための清浄化フィルターＦが備えられている。

免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０は、空調装置１３の作動により、第５給気路Ｒ５を通して、外気ＯＡ（又は外気ＯＡと還気ＲＡとの混合気）を空調装置１３、再熱部１４の順に通過させて所望の空調状態とし、第２給気口Ｋ２の清浄化フィルターＦにて清浄化した清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて免震クリアランス空間６に供給している。免震クリアランス空間６内の空気は、第２連通部２４の清浄化フィルターＦにて清浄化されて清浄空気となり、その清浄空気を第２連通部２４を通して免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に供給している。

排気部１０は、第２連通部２４を通して免震クリアランス空間６から供給される清浄空気も含めてクリーンルーム３から外部に排気している。排気部１０は、第８実施形態と同様の第６排気路Ｅ６を備えているので、排気部１０の説明は省略する。排気部１０は、排気ファン１７の作動により、クリーンルーム３内の空気が第１排気口Ｇ１の清浄化フィルターＦにて清浄化された後、第６排気路Ｅ６を通して、所定の一定風量にて外部に排気している。

この第９実施形態では、図９に示すように、免震クリアランス空間６について、免震クリアランス空間用清浄空気供給部２０が、第５給気路Ｒ５を通して、所望の空調状態の清浄空気を室圧制御ダンパＤにて制御された風量にて免震クリアランス空間６に供給している。第２連通部２４により、免震クリアランス空間６内の空気を清浄化して、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に供給している。このようにして、免震クリアランス空間６に対して、清浄空気を循環供給させることができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を向上することができる。

第２連通部２４は、免震クリアランス空間６内の空気を清浄化してクリーンルーム３に供給するので、免震クリアランス空間６に供給された清浄空気を利用して、構成の簡素化を図りながら、クリーンルーム３に清浄空気を供給することができる。排気部１０は、第２連通部２４により免震クリアランス空間６から供給される清浄空気も含めてクリーンルーム３から外部に排気しているので、免震クリアランス空間６から外部に排気するための構成を備えなくてもよく、それだけ構成の簡素化を図ることができる。

制御部１８は、図示省略の室圧センサや室間差圧センサ等のセンサ情報に基づいて、定風量装置Ｃ、及び、室圧制御ダンパＤ等の作動状態を制御することで、クリーンルーム３内の室圧及び免震クリアランス空間６内の室圧を制御している。例えば、第２連通部２４による免震クリアランス空間６からクリーンルーム３への空気の供給量は、実験等により取得することができる。そこで、制御部１８は、その取得した供給量等を用いて、第５給気路Ｒ５の室圧制御ダンパＤの開度を制御し、第６排気路Ｅ６の定風量装置Ｃにて通流させる一定風量をどのような風量とするかを設定することで、クリーンルーム３内の室圧、及び、免震クリアランス空間６内の室圧を制御することができる。

この第９実施形態では、第７実施形態と同様に、制御部１８が、制御部１８が、クリーンルーム３内の室圧を陰圧（例えば、－５Ｐａ）に調整し、且つ、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧（例えば、＋１０Ｐａ）に調整している。よって、免震クリアランス空間６への外部からの汚染空気等の流入を防止することができ、免震クリアランス空間６における空気の清浄度を適切に保持することができる。仮に、免震クリアランス空間６からクリーンルーム３に空気が流入しても、清浄空気が流入されることになり、クリーンルーム３内への汚染空気の流入を防止することができる。しかも、制御部１８は、クリーンルーム３内の室圧を陰圧に調整するだけでなく、免震クリアランス空間６内の室圧を陽圧に調整するので、クリーンルーム３から免震クリアランス空間６への汚染物質等の流出を適切に防止することができ、免震クリアランス空間６よりも外部の第２隣室７ｂ等に汚染物質等が流出するのを適切に防止することができる。

〔別実施形態〕
本発明の他の実施形態について説明する。尚、以下に説明する各実施形態の構成は、それぞれ単独で適用することに限らず、他の実施形態の構成と組み合わせて適用することも可能である。
（１）上記実施形態では、空調装置１３として、冷却部１３ａ、冷却・加熱部１３ｂ、加湿部１３ｃを備えたものを例示したが、その他、各種の空調装置を適用することができる。

（２）上記実施形態では、免震装置２をクリーンルーム３の床部３ｃに備え、免震装置２にてクリーンルーム３の床部３ｃを支持するものを例示したが、例えば、建物１の柱に支持架台を取り付け、支持架台から上下に防振ゴム等の免震装置を取り付けた吊り材にてクリーンルーム３を支持する吊り免震構造を採用することもできる。

２ 免震装置
３ クリーンルーム
３ｃ クリーンルームの床部
４ 区画部
５ 区画空間
６ 免震クリアランス空間
９ 清浄空気供給部
１０ 排気部
１１ クリーンルーム用清浄空気供給部
１２ 免震クリアランス空間用清浄空気供給部
１５ クリーンルーム用排気部
１６ 免震クリアランス空間用排気部
１８ 制御部（第１室圧調整部、第２室圧調整部、第３室圧調整部）
１９ クリーンルーム用清浄空気供給部
２０ 免震クリアランス空間用清浄空気供給部
２１ 第１通風装置
２２ 第１連通部
２３ 第２通風装置
２４ 第２連通部
Ｆ 清浄化フィルター

Claims (10)

1. 区画部にて密閉又は略密閉状態に区画された区画空間には、その区画部の内周部とクリーンルームの外周部との間に免震クリアランス空間を形成させる状態で、免震装置を介して支持されたクリーンルームが備えられ、
   前記クリーンルームの周囲に形成された前記免震クリアランス空間によって、前記クリーンルームの水平方向での移動が許容され、
   清浄化した清浄空気を前記クリーンルーム及び前記免震クリアランス空間に供給する清浄空気供給部と、
   前記クリーンルーム及び前記免震クリアランス空間から外部に排気する排気部とが備えられているクリーンルームシステム。
2. 前記クリーンルーム内の室圧を陽圧に調整し、且つ、前記免震クリアランス空間内の室圧を前記クリーンルーム内の室圧よりも小さい陽圧に調整する第１室圧調整部が備えられている請求項１に記載のクリーンルームシステム。
3. 前記クリーンルーム内の室圧を陰圧に調整し、且つ、前記免震クリアランス空間内の室圧を前記クリーンルーム内の室圧よりも小さい圧力の陰圧に調整する第２室圧調整部が備えられている請求項１に記載のクリーンルームシステム。
4. 前記クリーンルーム内の室圧を陰圧に調整し、且つ、前記免震クリアランス空間内の室圧を陽圧に調整する第３室圧調整部が備えられている請求項１に記載のクリーンルームシステム。
5. 前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記クリーンルームに供給するクリーンルーム用清浄空気供給部と、清浄化した清浄空気を前記免震クリアランス空間に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部とが備えられ、
   前記排気部は、前記クリーンルームから外部に排気するクリーンルーム用排気部と、前記免震クリアランス空間から外部に排気する免震クリアランス空間用排気部とが備えられている請求項２～４の何れか１項に記載のクリーンルームシステム。
6. 前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記クリーンルームに供給するクリーンルーム用清浄空気供給部と、前記クリーンルーム内の空気を吸引して清浄化フィルターを通して前記免震クリアランス空間に通風させる第１通風装置とが備えられ、
   前記排気部は、前記第１通風装置により前記クリーンルームから通風される清浄空気も含めて前記免震クリアランス空間から外部に排気している請求項２又は３に記載のクリーンルームシステム。
7. 前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記免震クリアランス空間に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部と、前記免震クリアランス空間内の空気を吸引して清浄化フィルターを通して前記クリーンルームに通風させる第２通風装置とが備えられ、
   前記排気部は、前記第２通風装置により前記免震クリアランス空間から通風される清浄空気も含めて前記クリーンルームから外部に排気している請求項４に記載のクリーンルームシステム。
8. 前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記クリーンルームに供給するクリーンルーム用清浄空気供給部と、前記クリーンルームと前記免震クリアランス空間とを連通して前記クリーンルームから清浄化フィルターを通して前記免震クリアランス空間への空気の供給を許容する第１連通部とが備えられ、
   前記排気部は、前記第１連通部を通して前記クリーンルームから供給される清浄空気も含めて前記免震クリアランス空間から外部に排気している請求項２に記載のクリーンルームシステム。
9. 前記免震装置は、前記クリーンルームの床部を支持しており、前記第１連通部は、前記クリーンルームの床部に備えられている請求項８に記載のクリーンルームシステム。
10. 前記清浄空気供給部は、清浄化した清浄空気を前記免震クリアランス空間に供給する免震クリアランス空間用清浄空気供給部と、前記免震クリアランス空間と前記クリーンルームとを連通して前記免震クリアランス空間から清浄化フィルターを通して前記クリーンルームへの空気の供給を許容する第２連通部が備えられ、
    前記排気部は、前記第２連通部を通して前記免震クリアランス空間から供給される清浄空気も含めて前記クリーンルームから外部に排気している請求項４に記載のクリーンルームシステム。

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