JP3919322B2

JP3919322B2 - 室間汚染防止装置

Info

Publication number: JP3919322B2
Application number: JP06490798A
Authority: JP
Inventors: 美月村井; 賢治助宮; 昌信日野原
Original assignee: Taikisha Ltd
Current assignee: Taikisha Ltd
Priority date: 1998-03-16
Filing date: 1998-03-16
Publication date: 2007-05-23
Anticipated expiration: 2018-03-16
Also published as: JPH11257700A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、医薬品の製造施設や半導体集積回路の製造施設などに装備する室間汚染防止装置に関し、詳しくは、室圧制御手段により互いに差のある室圧に調整される高圧室と低圧室とにわたる室間連通路（例えば、コンベア等による室間物流に用いる連通路）において、それら高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染を防止する室間汚染防止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の室間汚染防止装置では、図９に示すように、高圧室１ａに対する高圧室側開口１９と低圧室１ｂに対する低圧室側開口２０とを有し、これら開口１９，２０を連通路出入口として内部を室間連通路２とする室間チャンバ２１を設け、そして、この室間チャンバ２１の内部から吸引排気する吸引排気路２７を設けて、その吸引排気により室間チャンバ２１の内圧ｐ３を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも低圧にすることで、高圧室１ａと低圧室１ｂとの間での室内気移行による室内汚染（いわゆる交差汚染）を防止するようにしていた。
【０００３】
つまり、室間チャンバ２１の内圧ｐ３を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも低圧にして高圧室１ａ及び低圧室１ｂの両方から室内気を室間チャンバ２１へ流入させることにより、高圧室１ａの室内気が室間連通路２を通じて低圧室１ｂに流入すること、並びに、室圧制御手段では防止し切れない室圧変動などの原因で逆に低圧室１ｂの室内気が室間連通路２を通じて高圧室１ａに流入することの双方を防止し、これにより、高圧室１ａと低圧室１ｂとの間での交差汚染を防止していた。
【０００４】
また、図１０に示すように、基本的には吸引排気路２７による吸引排気で室間チャンバ２１の内圧ｐ３を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも低圧にする形態を採りながら、室間チャンバ２１の内部において、吹出口Ｎからの清浄気体吹き出しにより吸引排気路２７の吸引口へ向かう気流カーテンＣを形成するようにし、これにより、高圧室１ａ及び低圧室１ｂの両方から室内気を室間チャンバ２１に流入させることと、それら流入気に対する上記気流カーテンＣの仕切り機能との相乗効果をもって、高圧室１ａと低圧室１ｂとの間での室内気移行による室内汚染を防止するようにしたものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記いずれの従来形式にしても、通常時において常に高圧室１ａ及び低圧室１ｂの両方から室内気を室間チャンバ２１へ流入させる為、室圧制御手段では防止し切れない高圧室１ａや低圧室１ｂの過渡的な室圧変動などに原因して、瞬間的にせよ低圧室１ｂの室圧ｐ２ないし高圧室１ａの室圧ｐ１が室間チャンバ２１の内圧ｐ３よりも相対的に低圧になる圧力逆転現象が生じると、高圧室１ａからの流入気を含んだ室間チャンバ２１の内部気体が低圧室１ｂに流出したり、低圧室１ｂからの流入気を含んだ室間チャンバ２１の内部気体が高圧室１ａに流出することになり、この点、高圧室１ａと低圧室１ｂとの間での室内気移行による室内汚染をより確実に防止する上で、未だ改善の余地があった。
【０００６】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、室間チャンバを合理的に用いる装置構成をもって、高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染を一層確実に防止する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
〔１〕請求項１記載の発明では、高圧室に対する高圧室側開口と低圧室に対する低圧室側開口とを有し、これら開口を連通路出入口として内部を室間連通路にする室間チャンバを設け、そして、この室間チャンバに清浄気体を供給して、その室間チャンバの内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高圧にする加圧手段を設けることにより、その加圧手段による供給清浄気体を室間チャンバから高圧室及び低圧室の両方へ吹き出す形態とし、これにより、高圧室の室内気が室間連通路を通じて低圧室に流入すること、及び、低圧室の室内気が室間連通路を通じて高圧室に流入することの双方を防止して、高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染を防止する。
【０００８】
また、このように室間チャンバから高圧室及び低圧室の両方へ清浄気体を吹き出す形態で高圧室と低圧室との間での室内気移行を防止することにより、室圧制御手段では防止し切れない高圧室や低圧室の過渡的な室圧変動（例えばドアの開閉時の室圧変動）などに原因して、高圧室の室圧ないし低圧室の室圧が室間チャンバの内圧よりも相対的に高圧になる圧力逆転現象が瞬間的に生じても、元々、室間チャンバの内部は清浄気体の加圧充満状態にあることから、瞬間的に高圧となった高圧室の室内気が室間連通路を通じて低圧室に流入することや、瞬間的に高圧になった低圧室の室内気が室間連通路を通じて高圧室に流入することを、先述の如き従来形式に比べより確実に防止することができ、これにより、高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染をより一層確実に防止することができる。
【０００９】
ちなみに、二室間での室内気移行による室内汚染（交差汚染）を防止するのに、単純な手段としては清浄気体による気流カーテンを二室間に形成することが考えられるが、対象の二室が互いに差のある室圧に調整される高圧室と低圧室である場合、単なる気流カーテンでは、チャンバの如き保圧機能が無いことから、室圧の安定した通常時においても、気流カーテンの形成気流が高圧室の室圧に押されて低圧室側に流れる状態で、高圧室の室内気が気流カーテンの形成気流とともに低圧室に流入してしまい、所期の汚染防止効果を得ることができないものとなるが、上記の如くチャンバの保圧機能を生かして、室間チャンバの内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高圧にすることにより、高圧室の室内気が室間連通路を通じて低圧室に流入すること、及び、低圧室の室内気が室間連通路を通じて高圧室に流入することの双方を効果的に防止できる。
【００１０】
〔２〕請求項２記載の発明では、室間チャンバの内圧を検出する内圧センサを設け、そして、前記加圧手段を、この内圧センサによる検出内圧に基づいて室間チャンバの内圧を目標内圧に自動調整する構成にするから、例えば、請求項１記載の発明の実施にあたり、室間チャンバの内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高い圧力に手動で初期設定的に調整する形態を採るに比べ、室間チャンバそのものの内圧が高圧室や低圧室の室圧変動の影響を受けて変動することを、上記の内圧自動調整により抑止することができ、これにより、高圧室と低圧室との間での室内気移行を防止して室内汚染を防止する機能を一層向上できる。
【００１１】
〔３〕請求項３記載の発明では、前記加圧手段を、室間チャンバに対する供給清浄気体の一部を室間チャンバに接続の吸引排気路から吸引排気しながら、室間チャンバの内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高圧にする構成にするから、例えば、請求項１記載の発明の実施にあたり、上記の如き吸引排気路を設けず、室間チャンバへの供給清浄気体の全量を室間チャンバから高圧室と低圧室との両方へ振り分けて吹き出させる形態を採るに比べ、高圧室や低圧室に対する室間チャンバからの清浄気体吹出風量は適当なものにしながらも、吸引排気路への吸引排気量分だけ室間チャンバへの清浄気体供給量を大きくして、室間チャンバにおける換気機能を高めることができる。
【００１２】
そして、このことにより、前記の如き瞬間的な圧力逆転現象で高圧室ないし低圧室の室内気が室間チャンバに流入するのに対し、この流入気が室間連通路を通じて他方室にまで至ることを、室間チャンバにおける上記の高い換気効果もって一層確実に防止することができて、高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染を防止する機能を一層向上できる。
【００１３】
〔４〕請求項４記載の発明では、室間連通路とする連通開口を形成した内部壁により室間チャンバの内部を高圧室側開口の存在する高圧側領域と低圧室側開口の存在する低圧側領域とに区画し、そして、前記加圧手段を、高圧側領域と低圧側領域とに対し個別に清浄気体を供給して、これら高圧側領域及び低圧側領域夫々の内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高圧にする構成にするから、高圧室の室圧低下の影響を受けるなどの何らかの原因で室間チャンバにおける高圧側領域の内圧が低下したとしても、上記の如き内部壁による区画、及び、高圧側領域と低圧側領域とに対する清浄気体の個別供給により、低圧側領域の内圧は独立的に適切な高圧に維持することができて、その低圧側領域から高圧側領域と低圧室との両方へ清浄気体を吹き出させる形態で高圧室と低圧室との間での室内気移行を防止できる。
【００１４】
また逆に、低圧室の室圧低下の影響を受けるなどの何らかの原因で室間チャンバにおける低圧側領域の内圧が低下したとしても、同様に高圧側領域の内圧は独立的に適切な高圧に維持することができて、その高圧側領域から低圧側領域と高圧室との両方へ清浄気体を吹き出させる形態で高圧室と低圧室との間での室内気移行を防止でき、これらのことから、高圧室と低圧室との間での室内気移行を防止して室内汚染を防止する機能を一層効果的に向上できる。
【００１５】
〔５〕請求項５記載の発明では、前記加圧手段を、低圧側領域の内圧よりも高圧側領域の内圧の方を高圧にする構成にするから、例えば、請求項４記載の発明の実施にあたり、高圧側領域の内圧と低圧側領域の内圧とを等しい圧力にするに比べ、高圧室と高圧側領域との間の圧力差と、低圧室と低圧側領域との間の圧力差とを均等化して、高圧室の室内気に対する室間チャンバの対抗機能と低圧室の室内気に対する室間チャンバの対抗機能とを同等化することができ、これにより、低圧室から高圧室への室内気流入を防止するに比べ高圧室から低圧室への室内気流入を防止することの方が劣る状態になることを抑止して、高圧室と低圧室との室圧差にかかわらず、それら両室に対する室内汚染防止機能を同等化することができる。
【００１６】
〔６〕請求項６記載の発明では、高圧側領域及び低圧側領域夫々の内圧を検出する内圧センサを設け、そして、前記加圧手段を、この内圧センサによる検出内圧に基づいて高圧側領域及び低圧側領域夫々の内圧を各々の目標内圧に自動調整する構成にするから、例えば、請求項４記載の発明の実施にあたり、高圧側領域の内圧、及び、低圧側領域の内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高い圧力に手動で初期設定的に調整する形態を採るに比べ、高圧側領域や低圧側領域そのものの内圧が高圧室や低圧室の室圧変動の影響を受けて変動することを、上記の内圧自動調整により抑止することができ、これにより、高圧室と低圧室との間での室内気移行を防止して室内汚染を防止する機能を一層向上できる。
【００１７】
〔７〕請求項７記載の発明では、前記加圧手段を、高圧側領域に対する供給清浄気体の一部を高圧側領域に接続の吸引排気路から吸引排気し、かつ、低圧側領域に対する供給清浄気体の一部を低圧側領域に接続の吸引排気路から吸引排気しながら、これら高圧側領域及び低圧側領域夫々の内圧を高圧室及び低圧室夫々の室圧よりも高圧にする構成にするから、例えば、請求項４記載の発明の実施にあたり、上記の如き吸引排気路を設けず、高圧側領域及び低圧側領域への供給清浄気体の全量を室間チャンバから高圧室と低圧室との両方へ振り分けて吹き出させる形態を採るに比べ、高圧室や低圧室に対する室間チャンバからの清浄気体吹出風量は適当なものにしながらも、各吸引排気路への吸引排気量分だけ高圧側領域及び低圧側領域への清浄気体供給量を大きくして、それら高圧側領域及び低圧側領域の夫々における換気機能を高めることができる。
【００１８】
そして、このことにより、前記の如き瞬間的な圧力逆転現象で高圧室ないし低圧室の室内気が室間チャンバにおける高圧側領域や低圧側領域に流入するのに対し、この流入気が室間連通路を通じて他方室にまで至ることを、高圧側領域及び低圧側領域における上記の高い換気効果もって一層確実に防止することができて、高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染を防止する機能を一層向上できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は医薬品の製造施設における空調設備を示し、１ａ，１ｂは医薬品製造において互いに異なる工程部分の作業を行う先工程室と後工程室であり、先工程室１ａでの作業を終了した製造対象物Ｗは室間連通路２を通じてコンベア３により後工程室１ｂへ搬送する。
【００２０】
４は温湿度調整を施した空調用空気Ａを給気ダクト５を通じて先工程室１ａ及び後工程室１ｂの夫々に供給する給気ファン、６は先工程室１ａ及び後工程室１ｂの夫々から排気ダクト７を介して室内気を排出する排気ファンであり、８は先工程室１ａ及び後工程室１ｂの夫々に供給する空調用空気Ａを浄化して各室１ａ，１ｂを所要の清浄度に保つ高性能フィルタである。
【００２１】
先工程室１ａ及び後工程室１ｂの夫々には、各室１ａ，１ｂに対する給気量ｑ１，ｑ２を各々の目標給気量ｑｓ１，ｑｓ２に自動調整する給気量制御手段９を装備してあり、これら給気量制御手段９は、各室１ａ，１ｂに対する分岐給気ダクト５ａにおいて、その通風量ｑ１，ｑ２（すなわち、各室１ａ，１ｂに対する給気量）を検出する風量センサ１０と、分岐給気ダクト５ａに介装した風量調整ダンパ１１と、風量センサ１０の検出風量ｑ１，ｑ２に基づき風量調整ダンパ１１を開度調整して各室１ａ，１ｂに対する給気量ｑ１，ｑ２を各々の目標給気量ｑｓ１，ｑｓ２に調整する給気量制御器１２とで構成される。
【００２２】
また、先工程室１ａ及び後工程室１ｂの夫々には、各室１ａ，１ｂの室圧ｐ１，ｐ２を各々の目標室圧ｐｓ１，ｐｓ２に自動調整する室圧制御手段１３を装備してあり、これら室圧制御手段１３は、各室１ａ，１ｂの室圧ｐ１，ｐ２（具体的には各室１ａ，１ｂの室圧と基準圧との差圧）を検出する室圧センサ１４と、各室１ａ，１ｂに対する分岐排気ダクト７ａに介装した室圧調整用ダンパ１５と、室圧センサ１３の検出室圧ｐ１，ｐ２に基づき室圧調整用ダンパ１５を開度調整して各室１ａ，１ｂからの排気量を調整することで各室１ａ，１ｂの室圧ｐ１，ｐ２を各々の目標室圧ｐｓ１，ｐｓ２に調整する室圧制御器１６とで構成される。
【００２３】
なお、本例においては、先工程室１ａの方が後工程室１ｂよりも高い室内清浄度が要求されることに対し、先工程室１ａの目標室圧ｐｓ１を後工程室１ｂの目標室圧ｐｓ２よりも高く設定（ｐｓ１＞ｐｓ２）して、先工程室１ａの室圧ｐ１を後工程室１ｂの室圧ｐ２よりも所定圧力差だけ高く保つようにしてある。以下、この意味で先工程室１ａを高圧室と称し、後工程室１ｂを低圧室と称す。
【００２４】
高圧室１ａと低圧室１ｂとを結ぶ室間連通路２については、両室１ａ，１ｂの境界壁１７における連通開口１８の形成箇所に、高圧室１ａに対する高圧室側開口１９と低圧室１ｂに対する低圧室側開口２０とを有し、これら開口１９，２０を連通路出入口とする状態で内部を室間連通路２とする室間チャンバ２１を設けてあり、また、この室間チャンバ２１の形成にあたっては、両室１ａ，１ｂの境界壁１７における連通開口１８を室間チャンバ２１の内部での連通路開口とする状態で境界壁１７を仕切用の内部壁に利用して、この境界壁１７により室間チャンバ２１の内部を高圧室側開口１９の存在する高圧側領域２１ａと低圧室側開口２０の存在する低圧側領域２１ｂとに区画してある。
【００２５】
また、高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの夫々には、給気ダクト５から空調用空気Ａを分流して、その分流空気Ａ’を高圧側領域２１ａと低圧側領域２１ｂとに対し個別に供給するチャンバ用給気ダクト２２ａ，２２ｂを接続し、これらチャンバ用給気ダクト２２ａ，２２ｂの夫々には、内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂを介装するとともに、高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの夫々に供給する空気Ａ’を浄化して高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂを高清浄度の高圧室１ａ（先工程室）と同等の清浄度に保つ高性能フィルタ２４ａ，２４ｂを介装してある。
【００２６】
内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂの制御については、高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂ夫々の内圧ｐ３，ｐ４を検出する内圧センサ２５ａ，２５ｂを設けるとともに、これら内圧センサ２５ａ，２５ｂによる検出内圧ｐ３，ｐ４に基づき内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂを開度調整して高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの夫々に対する清浄空気Ａ’の供給量を調整することで、高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂ夫々の内圧ｐ３，ｐ４を各々の目標内圧ｐｓ３，ｐｓ４に自動調整する内圧制御器２６ａ，２６ｂを設けてある。
【００２７】
そして、図２に示す如く、低圧側領域２１ｂの目標内圧ｐｓ４には、高圧室１ａの目標室圧ｐｓ１よりも所定圧力差Δｐａだけ高い圧力（ｐｓ４＝ｐｓ１＋Δｐａ）を設定し、また、高圧側領域２１ａの目標内圧ｐｓ３には、低圧側領域２１ｂの目標内圧ｐｓ４よりも更に高圧室１ａの目標室圧ｐｓ１と低圧室１ｂの目標室圧ｐｓ２との差圧分Δｐｂ（＝ｐｓ１−ｐｓ２）だけ高い圧力（ｐｓ３＝ｐｓ４＋Δｐｂ）を設定してある。
【００２８】
つまり、本実施形態では、チャンバ用給気ダクト２２ａ，２２ｂ、内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂ、高性能フィルタ２４ａ，２４ｂ、内圧センサ２５ａ，２５ｂ、及び、内圧制御器２６ａ，２６ｂが、室間チャンバ２１に清浄空気Ａ’を供給して、その室間チャンバ２１の内圧ｐ３，ｐ４を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも高圧にする加圧手段Ｋを構成し、この加圧手段Ｋにより室間チャンバ２１に供給する清浄空気Ａ’を室間チャンバ２１から高圧室１ａ及び低圧室１ｂの両方へ吹き出させることで、高圧室１ａの室内気が室間連通路２を通じて低圧室１ｂに流入すること、並びに、低圧室１ｂの室内気が室間連通路２を通じて高圧室１ａに流入することの双方を防止し、これにより、高圧室１ａ（先工程室）と低圧室１ｂ（後工程室）との間での室内気移行による室内汚染（いわゆる交差汚染）を防止するようにしてある。
【００２９】
また、本実施形態では、室間連通路２とする連通開口１８を形成した内部壁１７により室間チャンバ２１の内部を高圧室側開口１９の存在する高圧側領域２１ａと低圧室側開口２０の存在する低圧側領域２１ｂとに区画し、そして、上記の加圧手段Ｋを、高圧側領域２１ａと低圧側領域２１ｂとに対し個別に清浄空気Ａ’を供給して、これら高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂ夫々の内圧ｐ３，ｐ４を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも高圧にする構成にしてあり、これにより、高圧室１ａの室圧低下の影響を受けるなどの何らかの原因で室間チャンバ２１における高圧側領域２１ａの内圧ｐ３が低下したとしても、低圧側領域２１ｂの内圧ｐ４は独立的に目標内圧ｐｓ４に近い適切な高圧に維持することができて、その低圧側領域２１ｂから高圧側領域２１ａと低圧室１ｂとの両方へ清浄空気Ａ’を吹き出させる形態で高圧室１ａと低圧室１ｂとの間での室内気移行を防止できるようにしてある。
【００３０】
また逆に、低圧室１ｂの室圧低下の影響を受けるなどの何らかの原因で室間チャンバ２１における低圧側領域２１ｂの内圧ｐ４が低下したとしても、同様に高圧側領域２１ａの内圧ｐ３は独立的に目標内圧ｐｓ３に近い適切な高圧に維持することができて、その高圧側領域２１ａから低圧側領域２１ｂと高圧室１ａとの両方へ清浄空気Ａ’を吹き出させる形態で高圧室１ａと低圧室１ｂとの間での室内気移行を防止できるようにしてある。
【００３１】
〔別の実施形態〕
次に別の実施形態を列記する。
【００３２】
図３に示すように、前述の実施形態で示した構成に加え、室間チャンバ２１における高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの各々に吸引排気路２７ａ，２７ｂを接続し、これにより、高圧側領域２１ａに対する供給清浄空気Ａ’の一部、及び、低圧側領域２１ｂに対する供給清浄空気Ａ’の一部を各々の領域２１ａ，２１ｂに接続の吸引排気路２７ａ，２７ｂから吸引排気しながら、内圧制御器２６ａ，２６ｂによる内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂの開度調整で、高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂ夫々の内圧ｐ３，ｐ４を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも高圧に保つようにしてもよい。
【００３３】
高圧側領域２１ａの内圧ｐ３の方を低圧側領域２１ｂの内圧ｐ４よりも高圧にするに代え、両内圧ｐ３，ｐ４を等しい圧力にしてもよく、また場合によっては、低圧側領域２１ｂの内圧ｐ４の方を高圧側領域２１ａの内圧ｐ３よりも高圧にしてもよい。
【００３４】
高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの夫々に吸引排気路２７ａ，２７ｂを接続する構造を採用する場合、内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂをチャンバ用給気ダクト２２ａ，２２ｂに介装するに代え、図４に示すように、内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂを吸引排気路２７ａ，２７ｂに介装し、これにより、チャンバ用給気ダクト２２ａ，２２ｂにより高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの各々に清浄空気Ａ’を供給するもとで、吸引排気路２７ａ，２７ｂに介装の内圧調整用ダンパ２３ａ，２３ｂを開度調整して高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂの夫々からの吸引排気量を調整することにより、高圧側領域２１ａ及び低圧側領域２１ｂ夫々の内圧ｐ３，ｐ４を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも高圧に保つようにしてもよい。
【００３５】
連通開口１８を形成した内部壁１７により室間チャンバ２１の内部を高圧側領域２１ａと低圧側領域２１ｂとに区画するに代え、図５〜図７に示すように、室間チャンバ２１を高圧側領域２１ａと低圧側領域２１ｂとに内部区画しない構造にしてもよい。
【００３６】
なお、図５に示すものは、室間チャンバ２１からの吸引排気は行わず、内圧センサ２５により検出される室間チャンバ２１の内圧ｐ３に基づき内圧制御器２６により内圧調整用ダンパ２３を開度調整して室間チャンバ２１に対するチャンバ用給気ダクト２２からの清浄空気供給量を調整することで、室間チャンバ２１の内圧ｐ３を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の内圧ｐ１，ｐ２よりも高圧に自動調整する構成にしてある。
【００３７】
また、図６に示すものは、チャンバ用給気ダクト２２により室間チャンバ２１に供給する清浄空気Ａ’の一部を室間チャンバ２１に接続の吸引排気路２７から吸引排気しながら、内圧調整用ダンパ２３を開度調整して室間チャンバ２１の内圧ｐ３を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の内圧ｐ１，ｐ２よりも高圧に自動調整する構成にしてある。
【００３８】
さらにまた、図７に示すものは、チャンバ用給気ダクト２２により室間チャンバ２１に供給する清浄空気Ａ’の一部を室間チャンバ２１に接続の吸引排気路２７から吸引排気しながら、その吸引排気路２７の側に介装の内圧調整用ダンパ２３を内圧制御器２６により開度調整して室間チャンバ２１の内圧ｐ３を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の内圧ｐ１，ｐ２よりも高圧に自動調整する構成にしてある。
【００３９】
図８に示すように、連通開口１８ａ，１８ｂを形成した内部壁１７ａ，１７ｂにより室間チャンバ２１の内部を、高圧室側開口１９の存在する高圧側領域２１ａと、低圧側開口２０の存在する低圧側領域２１ｂと、これら領域２１ａ，２１ｂの間に位置する中間部領域２１ｃとに区画し、そして、これら高圧側領域２１ａ、中間部領域２１ｃ、低圧側領域２１ｂに対し個別に清浄空気Ａ’を供給して、各領域２１ａ，２１ｃ，２１ｂの内圧ｐ３，ｐ５，ｐ４を高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の室圧ｐ１，ｐ２よりも高圧にするようにしてもよい。
【００４０】
図８において、２２ａ〜２２ｃは高圧側領域２１ａ，低圧側領域２１ｂ，中間部領域２１ｃに対し個別に清浄空気Ａ’を供給するチャンバ用給気ダクト、２３ａ〜２３ｃは内圧調整用ダンパ、２４ａ〜２４ｃは供給空気Ａ’を浄化する高性能フィルタ、２５ａ〜２５ｃは各領域２１ａ，２１ｂ，２１ｃの内圧ｐ３，ｐ４，ｐ５を検出する内圧センサ、２６ａ〜２６ｃは内圧センサ２５ａ〜２５ｃの検出圧力ｐ３，ｐ４，ｐ５に基づき内圧調整用ダンパ２３ａ〜２３ｃを開度調整して各領域２１ａ，２１ｂ，２１ｃの内圧ｐ３，ｐ４，ｐ５を各々の目標内圧ｐｓ３，ｐｓ４，ｐｓ５に自動調整する内圧制御器、２７ａ〜２７ｃは各領域２１ａ，２１ｂ，２１ｃから供給空気Ａ’の一部を吸引排気する吸引排気路であるが、内圧調整用ダンパ２３ａ〜２３ｃは、チャンバ用給気ダクト２２ａ〜２２ｃに介装するに代え吸引排気路２７ａ〜２７ｃに介装してもよく、また、吸引排気路２７ａ〜２７ｃは省略してもよい。
【００４１】
また、各領域２１ａ，２１ｂ，２１ｃの目標内圧ｐｓ３，ｐｓ４，ｐｓ５は、高圧室１ａの側ほど高い圧力にしたり、あるいは、中間部領域２１ｃの目標内圧ｐｓ５を最も高い圧力にしたり、あるいはまた、全てを等しい圧力にするなど、高圧室１ａ及び低圧室１ｂ夫々の内圧ｐ１，ｐ２よりも高い圧力であれば、どのように設定してもよい。
【００４２】
前述の実施形態や別実施形態の如く、内圧検出に基づく内圧調整用ダンパ２３，２３ａ〜２３ｃの自動開度調整で室間チャンバ２１の内圧ｐ３，ｐ４，ｐ５を目標内圧ｐｓ３，ｐｓ４，ｐｓ５に自動調整するに代え、手動により内圧調整用ダンパ２３，２３ａ〜２３ｃを開度調整して室間チャンバ２１の内圧ｐ３，ｐ４，ｐ５を所要の内圧ｐｓ３，ｐｓ４，ｐｓ５に初期設定的に調整するようにしてもよく、また、圧力調整にはダンパを用いるに代え、オリフィスなどの他の適当な圧力調整手段を採用してもよい。
【００４３】
室間チャンバ２１に供給する清浄気体Ａ’は空気に限定されるものではなく、高圧室１ａ及び低圧室１ｐの室内気に応じ種々の気体を採用できる。また、高圧室１ａや低圧室１ｂへの給気ダクト５から分流した気体Ａ’を室間チャンバ２１に供給するに代え、専用給気源から室間チャンバ２１に清浄気体Ａ’を供給するようにしてもよい。
【００４４】
高圧室１ａ及び低圧室１ｂは医薬品製造室に限定されるものではなく、半導体集積回路の製造室など、どのような用途のものであってもよく、また、本発明による室間汚染防止装置の装備対象とする室間連通路は物品搬送に用いる連通路に限定されるものではなく、人員や動物などの室間移動に用いる連通路であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態を示す装置構成図
【図２】対象室の室圧と室間チャンバの内圧との圧力関係を示すグラフ
【図３】別実施形態を示す装置構成図
【図４】他の別実施形態を示す装置構成図
【図５】他の別実施形態を示す装置構成図
【図６】他の別実施形態を示す装置構成図
【図７】他の別実施形態を示す装置構成図
【図８】他の別実施形態を示す装置構成図
【図９】従来例を示す装置構成図
【図１０】他の従来例を示す装置構成図
【符号の説明】
１ａ高圧室
１ｂ低圧室
２室間連通路
１３室圧制御手段
１７内部壁
１８連通開口
１９高圧室側開口
２０低圧室側開口
２１室間チャンバ
２１ａ高圧側領域
２１ｂ低圧側領域
２５ａ，２５ｂ内圧センサ
２７ａ，２７ｂ吸引排気路
Ａ’ 清浄気体
Ｋ加圧手段
ｐ１，ｐ２室圧
ｐ３，ｐ４内圧
ｐｓ３，ｐｓ４目標内圧

Claims

室圧制御手段により互いに差のある室圧に調整される高圧室と低圧室とにわたる室間連通路において、それら高圧室と低圧室との間での室内気移行による室内汚染を防止する室間汚染防止装置であって、
前記高圧室に対する高圧室側開口と前記低圧室に対する低圧室側開口とを有し、これら開口を連通路出入口として内部を前記の室間連通路とする室間チャンバを設け、
この室間チャンバに清浄気体を供給して、その室間チャンバの内圧を前記高圧室及び前記低圧室夫々の室圧よりも高圧にする加圧手段を設けてある室間汚染防止装置。
前記室間チャンバの内圧を検出する内圧センサを設け、
前記加圧手段を、この内圧センサによる検出内圧に基づいて前記室間チャンバの内圧を目標内圧に自動調整する構成にしてある請求項１記載の室間汚染防止装置。
前記加圧手段を、前記室間チャンバに対する供給清浄気体の一部を前記室間チャンバに接続の吸引排気路から吸引排気しながら、前記室間チャンバの内圧を前記高圧室及び前記低圧室夫々の室圧よりも高圧にする構成にしてある請求項１又は２記載の室間汚染防止装置。
前記室間連通路とする連通開口を形成した内部壁により前記室間チャンバの内部を前記高圧室側開口の存在する高圧側領域と前記低圧室側開口の存在する低圧側領域とに区画し、
前記加圧手段を、前記高圧側領域と前記低圧側領域とに対し個別に清浄気体を供給して、これら高圧側領域及び低圧側領域夫々の内圧を前記高圧室及び前記低圧室夫々の室圧よりも高圧にする構成にしてある請求項１記載の室間汚染防止装置。
前記加圧手段を、前記低圧側領域の内圧よりも前記高圧側領域の内圧の方を高圧にする構成にしてある請求項４記載の室間汚染防止装置。
前記高圧側領域及び前記低圧側領域夫々の内圧を検出する内圧センサを設け、
前記加圧手段を、この内圧センサによる検出内圧に基づいて前記高圧側領域及び前記低圧側領域夫々の内圧を各々の目標内圧に自動調整する構成にしてある請求項４又は５記載の室間汚染防止装置。
前記加圧手段を、前記高圧側領域に対する供給清浄気体の一部を前記高圧側領域に接続の吸引排気路から吸引排気し、かつ、前記低圧側領域に対する供給清浄気体の一部を前記低圧側領域に接続の吸引排気路から吸引排気しながら、これら高圧側領域及び低圧側領域夫々の内圧を前記高圧室及び前記低圧室夫々の室圧よりも高圧にする構成にしてある請求項４〜６のいずれか１項に記載の室間汚染防止装置。