JPH03129230A - 空気清浄装置 - Google Patents
空気清浄装置Info
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- JPH03129230A JPH03129230A JP26685489A JP26685489A JPH03129230A JP H03129230 A JPH03129230 A JP H03129230A JP 26685489 A JP26685489 A JP 26685489A JP 26685489 A JP26685489 A JP 26685489A JP H03129230 A JPH03129230 A JP H03129230A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 13
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- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims description 12
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 14
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
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- 239000000428 dust Substances 0.000 description 10
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 6
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、例えば半導体製造分野で使用されるクリーン
ベンチ１ クリーンブースなどに組み込まれた空気清浄
装置に関する。
ベンチ１ クリーンブースなどに組み込まれた空気清浄
装置に関する。
（従来の技術〕
頭記のクリーンベンチ、クリーンブースなどに装備して
その室内作業領域へ上方より清浄空気を供給する空気清
浄装置として、チャンバケース内に送風機、高性能フィ
ルタ、および該フィルタの上流側に配した整風ガイドを
組み込で構成したクリーンユニットが周知である。
その室内作業領域へ上方より清浄空気を供給する空気清
浄装置として、チャンバケース内に送風機、高性能フィ
ルタ、および該フィルタの上流側に配した整風ガイドを
組み込で構成したクリーンユニットが周知である。
第３図はかかるクリーンユニットを紐み込んだクリーン
ベンチの概要構成図を示すものであり、図において、１
はクリーンベンチ、２はその室内の作業領域に据付けた
半導体装置製造用の組込機器、３はクリーンベンチｌの
前面通路側から組込機器ｌを操作する作業者を示し、ク
リーンベンチ１の天井側には作業領域に向けて上方より
清浄空気ｉ４を吹出し供給する垂直層流形のクリーンユ
ニット５を備えている。ここで、クリーンユニット５は
チャンバケース６の内部に送風機７．高性能フィルタ（
ＨＥＰＡフィルタ）８．およびフィルタ８の上流側に設
けた整風ガイド９を組み込んで構成したものである。な
お、１０は周囲からの空気誘引を防止するビニールカー
テンなどのフードである。
ベンチの概要構成図を示すものであり、図において、１
はクリーンベンチ、２はその室内の作業領域に据付けた
半導体装置製造用の組込機器、３はクリーンベンチｌの
前面通路側から組込機器ｌを操作する作業者を示し、ク
リーンベンチ１の天井側には作業領域に向けて上方より
清浄空気ｉ４を吹出し供給する垂直層流形のクリーンユ
ニット５を備えている。ここで、クリーンユニット５は
チャンバケース６の内部に送風機７．高性能フィルタ（
ＨＥＰＡフィルタ）８．およびフィルタ８の上流側に設
けた整風ガイド９を組み込んで構成したものである。な
お、１０は周囲からの空気誘引を防止するビニールカー
テンなどのフードである。
かかるクリーンベンチは周知であり、送風機７で押し込
み送風される空気が整風ガイド９を経て高性能フィルタ
８を透過する通風過程で除塵され、清浄空気流４として
下方にダウンフローして作業領域に清浄空間を形成する
。
み送風される空気が整風ガイド９を経て高性能フィルタ
８を透過する通風過程で除塵され、清浄空気流４として
下方にダウンフローして作業領域に清浄空間を形成する
。
また、この場合に必要な清浄度を確保するためには、フ
ィルタ８からの吹出し風速が重要な要素であり、乱２＃
、、渦流２通ｌ１８ｓからの粉塵誘引を引き起こさずに
均一な垂直層流を得るように風速バランスを保つことが
必要である。
ィルタ８からの吹出し風速が重要な要素であり、乱２＃
、、渦流２通ｌ１８ｓからの粉塵誘引を引き起こさずに
均一な垂直層流を得るように風速バランスを保つことが
必要である。
Ｃ発明が解決しようとする課題〕
ところで、第３図に示したクリーンベンチのように局所
的な作業領域内で作業者が作業を行う場合には、作業者
３が最も大きな発塵源となる。このために作業領域の全
域に向けてクリーンユニット５から均一な風速で清浄空
気流４を吹出し供給した場合には、作業者３の動きに伴
って生じた発塵が作業エリアに拡散するのを積極的に阻
止できずに製造中の製品を汚染するおそれがある。
的な作業領域内で作業者が作業を行う場合には、作業者
３が最も大きな発塵源となる。このために作業領域の全
域に向けてクリーンユニット５から均一な風速で清浄空
気流４を吹出し供給した場合には、作業者３の動きに伴
って生じた発塵が作業エリアに拡散するのを積極的に阻
止できずに製造中の製品を汚染するおそれがある。
一方、このための対策として、第４図のようにクリーン
ベンチ内の作業領域を塵埃汚染を極度に嫌う生産エリア
Ａと作業者の介在する操作エリアＢとに区分した上で、
作業領域の上方には各エリアＡ、Ｂへ個別に清浄空気を
供給する２基のクリーンユニットを配備し、生産エリア
Ａには操作エリアＢに比べて吹出し風速が高い清浄空気
を供給して作業者からの発塵が生産エリアＡに誘引され
るのを防ぐようにした方式が公知である。
ベンチ内の作業領域を塵埃汚染を極度に嫌う生産エリア
Ａと作業者の介在する操作エリアＢとに区分した上で、
作業領域の上方には各エリアＡ、Ｂへ個別に清浄空気を
供給する２基のクリーンユニットを配備し、生産エリア
Ａには操作エリアＢに比べて吹出し風速が高い清浄空気
を供給して作業者からの発塵が生産エリアＡに誘引され
るのを防ぐようにした方式が公知である。
しかしながら上記方式のように各エリアごとに独立した
クリーンユニットを設置することは、空気清浄装置の製
作コスト高を招く他、高性能フィルタのサイズの制約も
あり、クリーンベンチのように比較的狭い作業領域内で
各エリアＡ、Ｂ別に対応する独立したクリーンユニット
を構成することが困難となるケースが多い。
クリーンユニットを設置することは、空気清浄装置の製
作コスト高を招く他、高性能フィルタのサイズの制約も
あり、クリーンベンチのように比較的狭い作業領域内で
各エリアＡ、Ｂ別に対応する独立したクリーンユニット
を構成することが困難となるケースが多い。
本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、単一
のクリーンユニットを使用しつつ、これに簡易な手段を
追加装備するだけで作業領域の生産エリア、操作エリア
ごとに適正な吹出し風速の清浄空気を供給し、操作エリ
アでの発塵が生産エリアへ誘引れるのを良好に抑制でき
るようにした空気清浄装置を捷供することを目的とする
。
のクリーンユニットを使用しつつ、これに簡易な手段を
追加装備するだけで作業領域の生産エリア、操作エリア
ごとに適正な吹出し風速の清浄空気を供給し、操作エリ
アでの発塵が生産エリアへ誘引れるのを良好に抑制でき
るようにした空気清浄装置を捷供することを目的とする
。
［課題を解決するための手段］
上記課Ｂを解決するために、本発明は、チャンバケース
内に組み込んだ整風ガイドの内部を仕切って単一な高性
能フィルタの面域を作業領域内の生産エリアと作業者の
介在する操作エリアに対応させて区分するとともに、各
区分に通じる前記整風ガイドの空気流入口の開口面積を
、相対的に生産エリアへの吹出し風速か操作エリアへの
吹出し風速よりも大となるように設定して構成するもの
とする。
内に組み込んだ整風ガイドの内部を仕切って単一な高性
能フィルタの面域を作業領域内の生産エリアと作業者の
介在する操作エリアに対応させて区分するとともに、各
区分に通じる前記整風ガイドの空気流入口の開口面積を
、相対的に生産エリアへの吹出し風速か操作エリアへの
吹出し風速よりも大となるように設定して構成するもの
とする。
上記構成のように、単一クリーンユニットの内部で高性
能フィルタの空気吹出し面域を２区分に仕切ってその通
風経路を２系統に分けた構成では、各系統別に空気流が
整風ガイドの空気流入口、およびフィルタ内部を流れる
過程で生じる圧力損失の合計が両系統の間でバランスす
るように通風する。したがって、各系統の間で整風ガイ
ドの空気流入口の開口面積を相対的に変えることにより
、フィルタの各区分から吹出す空気流の吹出し速度が相
対的に変わる。
能フィルタの空気吹出し面域を２区分に仕切ってその通
風経路を２系統に分けた構成では、各系統別に空気流が
整風ガイドの空気流入口、およびフィルタ内部を流れる
過程で生じる圧力損失の合計が両系統の間でバランスす
るように通風する。したがって、各系統の間で整風ガイ
ドの空気流入口の開口面積を相対的に変えることにより
、フィルタの各区分から吹出す空気流の吹出し速度が相
対的に変わる。
そこで、整風ガイドの内部を仕切って高性能フィルタの
面域を２分し、かつ作業領域の生産エリアに対応する系
統側の空気流入口開口面積を操作エリアに対応する系統
側の開口面積に比べて相対的に大面積に設定することに
より、生産エリア・飄の吹出し風速が操作エリアへの吹
出し風速に比べて相対的に高まる。これにより操作エリ
アに介在する作業者からの発塵が生産エリア内へ誘引さ
れるのを確実に防止できる。
面域を２分し、かつ作業領域の生産エリアに対応する系
統側の空気流入口開口面積を操作エリアに対応する系統
側の開口面積に比べて相対的に大面積に設定することに
より、生産エリア・飄の吹出し風速が操作エリアへの吹
出し風速に比べて相対的に高まる。これにより操作エリ
アに介在する作業者からの発塵が生産エリア内へ誘引さ
れるのを確実に防止できる。
なお、実施に際しては両性能フィルタの吹出し側で生産
エリアと操作エリアと境界にビニールカーテンなどを垂
らしておき、吹き出し風速が異なる空気流の相互干渉に
起因する層流の乱れ発生を防止するようにするのがよい
。
エリアと操作エリアと境界にビニールカーテンなどを垂
らしておき、吹き出し風速が異なる空気流の相互干渉に
起因する層流の乱れ発生を防止するようにするのがよい
。
（実施例）
第１図は本発明実施例による空気清浄装置の構成断面図
、第２図は第１図における要部の拡大斜視図を示すもの
であり、第３図に対応する同一部材には同じ符号が付し
である。
、第２図は第１図における要部の拡大斜視図を示すもの
であり、第３図に対応する同一部材には同じ符号が付し
である。
すなわら、高性能フィルタ８の上流側に配してクリーン
ユニット５のチャンバケース６内に組み込んだ整風ガイ
ド９に対し、その内部には符号１１で示す仕切隔壁を備
えている。この仕切隔壁１１は、高性能フィルタ８の面
域を作業領域の生産エリアＡと操作エリアＢの各エリア
に対応させて区分するためのものである。一方、前記の
仕切隔壁１１を挟んで整風ガイド９の左右両側に開口し
た空気流入口９Ａ、 ９１１１ （第２図参照）は、空
気流入口９Ａの開口面積が空気流入口９Ｂの開口面積よ
りも相対的に大となるように、その開口幅ａがｂよりも
大きく設定しである。さらに高性能フィルタ８の下面吹
出し側には、前記の仕切隔壁１１に位置を合わせて作業
エリアＡと操作エリアＢとの境目に例えばビニールカー
テンなどで作られた適当な長さの送風仕切部材１２が吊
り下げ支持されている。
ユニット５のチャンバケース６内に組み込んだ整風ガイ
ド９に対し、その内部には符号１１で示す仕切隔壁を備
えている。この仕切隔壁１１は、高性能フィルタ８の面
域を作業領域の生産エリアＡと操作エリアＢの各エリア
に対応させて区分するためのものである。一方、前記の
仕切隔壁１１を挟んで整風ガイド９の左右両側に開口し
た空気流入口９Ａ、 ９１１１ （第２図参照）は、空
気流入口９Ａの開口面積が空気流入口９Ｂの開口面積よ
りも相対的に大となるように、その開口幅ａがｂよりも
大きく設定しである。さらに高性能フィルタ８の下面吹
出し側には、前記の仕切隔壁１１に位置を合わせて作業
エリアＡと操作エリアＢとの境目に例えばビニールカー
テンなどで作られた適当な長さの送風仕切部材１２が吊
り下げ支持されている。
かかる構成により、クリーンユニット５の内部には、送
風機６から整風ガイド９に開口する右側の空気流入口９
＾、および仕切隔壁１１を介して仕切られた高性能フィ
ルタ８の右半分面域を経て作業エリアＡへ清浄空気流４
Ａを吹き出す通風系統と、同じ送風機６から整風ガイド
９の左側の空気流入口９Ｂ、および高性能フィルタの左
半分面域を経て操作エリアＢへ清浄空気流４Ｂを吹き出
す通風系統との２系統が画成されることになる。
風機６から整風ガイド９に開口する右側の空気流入口９
＾、および仕切隔壁１１を介して仕切られた高性能フィ
ルタ８の右半分面域を経て作業エリアＡへ清浄空気流４
Ａを吹き出す通風系統と、同じ送風機６から整風ガイド
９の左側の空気流入口９Ｂ、および高性能フィルタの左
半分面域を経て操作エリアＢへ清浄空気流４Ｂを吹き出
す通風系統との２系統が画成されることになる。
ところで、前記の各系統を通る空気流が整風ガイド９の
空気流入口９Ａ、 ９Ｂを通過する際に生じる圧力を員
失をそれぞれΔＰ Ａ ＋ ΔＰｌ、高性能フィルタ８
の内部を透過する際に生じる圧力損失をそれぞれΔＰＦ
Ａ＋ ΔＰ□とすると、これらの間にはΔＰＡ＋ΔＰＦ
Ａ−ΔＰ、十ΔＰ□の関係が成立するように圧力バラン
スして通風する。
空気流入口９Ａ、 ９Ｂを通過する際に生じる圧力を員
失をそれぞれΔＰ Ａ ＋ ΔＰｌ、高性能フィルタ８
の内部を透過する際に生じる圧力損失をそれぞれΔＰＦ
Ａ＋ ΔＰ□とすると、これらの間にはΔＰＡ＋ΔＰＦ
Ａ−ΔＰ、十ΔＰ□の関係が成立するように圧力バラン
スして通風する。
したがって、前記のようにあらかじめ整風ガイド９にお
ける空気流入口９Ａの開口面積を相対的に空気流入口９
Ｂの開口面積よりも大に設定しておくことにより、高性
能フィルタ８より生産エリアＡに向けて吹き出す清浄空
気流４Ａの風速は、必然的に操作エリアＢに同けて吹き
出す清浄空気流４Ｂの風速よりも大となる。なお、高性
能フィルタ８の吹出し側には生産エリアＡと操作エリア
Ｂとの境目に送風仕切部材１２が設けであるので、吹出
し風速の異なる清浄空気流４Ａと４Ｂとが相互干渉して
層流を乱すおそれは殆どない。
ける空気流入口９Ａの開口面積を相対的に空気流入口９
Ｂの開口面積よりも大に設定しておくことにより、高性
能フィルタ８より生産エリアＡに向けて吹き出す清浄空
気流４Ａの風速は、必然的に操作エリアＢに同けて吹き
出す清浄空気流４Ｂの風速よりも大となる。なお、高性
能フィルタ８の吹出し側には生産エリアＡと操作エリア
Ｂとの境目に送風仕切部材１２が設けであるので、吹出
し風速の異なる清浄空気流４Ａと４Ｂとが相互干渉して
層流を乱すおそれは殆どない。
かかる構成のクリーンユニット５を例えば第３図で述べ
たクリーンベンチ１に組み込んで運転するごとにより、
操作エリア已に介在する作業者３からの発塵が生産エリ
アＡに誘引されることがなくなる。
たクリーンベンチ１に組み込んで運転するごとにより、
操作エリア已に介在する作業者３からの発塵が生産エリ
アＡに誘引されることがなくなる。
〔発明の効果］
本発明の空気清浄装置は、以上説明したように構成され
ているので、次記の効果を奏する。
ているので、次記の効果を奏する。
（Ｉｌ単一のクリーンユニットを用いつつ、作業領域内
の操作エリアに生じた発塵が生産エリアに誘引されて汚
染するのを確実に防止して生産品品質管理の向上が図れ
る。
の操作エリアに生じた発塵が生産エリアに誘引されて汚
染するのを確実に防止して生産品品質管理の向上が図れ
る。
（２）また、構造的にもクリーンユニットに１組み込ま
れた整風ガイドの内部に仕切隔壁を設けるとともに、該
仕切隔壁を挟んで整風ガイドの両側に開口する空気流入
口の開口面積を相対的に変えるだけで済み、従来方式の
ように各エリアごとに独立したクリーンユニットを設置
した構成と比べて大幅なコストダウンが図れる。
れた整風ガイドの内部に仕切隔壁を設けるとともに、該
仕切隔壁を挟んで整風ガイドの両側に開口する空気流入
口の開口面積を相対的に変えるだけで済み、従来方式の
ように各エリアごとに独立したクリーンユニットを設置
した構成と比べて大幅なコストダウンが図れる。
第１図は本発明実施例による空気清浄装置の構成断面図
、第２図は第１図における要部の拡大斜視図、第３図は
クリーンベンチに採用した従来の空気清浄装置の構成断
面図、第４図は第３図における作業領域の平面図である
０図において、１：クリーンベンチ、２：組込機器、３
：作業者、４．４Ａ、 ４８：清浄空気流、５；クリー
ンユニット、６：チャンバケース、７：送風機、８：高
性能フィルタ、９：整風ガイド、１１：仕切隔壁１、・
≦ン １２ 第１図 第２図 第３図 第４図
、第２図は第１図における要部の拡大斜視図、第３図は
クリーンベンチに採用した従来の空気清浄装置の構成断
面図、第４図は第３図における作業領域の平面図である
０図において、１：クリーンベンチ、２：組込機器、３
：作業者、４．４Ａ、 ４８：清浄空気流、５；クリー
ンユニット、６：チャンバケース、７：送風機、８：高
性能フィルタ、９：整風ガイド、１１：仕切隔壁１、・
≦ン １２ 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- １）作業領域に対して上方より清浄空気を供給する局所
垂直層流形の空気清浄装置であり、チャンバケース内に
送風機、高性能フィルタ、および該フィルタの上流側に
配した整風ガイドを組み込んで構成したものにおいて、
前記整風ガイドの内部を仕切って高性能フィルタの面域
を作業領域内の生産エリアと作業者の介在する操作エリ
アに対応させて区分するとともに、各区分に通じる前記
整風ガイドの空気流入口の開口面積を、相対的に生産エ
リアへの吹出し風速が操作エリアへの吹出し風速よりも
大となるように設定したことを特徴とする空気清浄装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266854A JP2536188B2 (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266854A JP2536188B2 (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | 空気清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129230A true JPH03129230A (ja) | 1991-06-03 |
| JP2536188B2 JP2536188B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=17436589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1266854A Expired - Lifetime JP2536188B2 (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536188B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5922095A (en) * | 1997-03-20 | 1999-07-13 | Acoustiflo, Llc | Air handling system for buildings and clean rooms |
| JP2006263688A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | ファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブース |
| CN102247733A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 康斐尔过滤设备(昆山)有限公司 | 置顶式空气过滤器的密封改良结构 |
| JP2014047659A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Topre Corp | 送風ユニット |
| CN104353291A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-02-18 | 青岛路博宏业环保技术开发有限公司 | 便携式高负压焊烟净化器 |
-
1989
- 1989-10-14 JP JP1266854A patent/JP2536188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5922095A (en) * | 1997-03-20 | 1999-07-13 | Acoustiflo, Llc | Air handling system for buildings and clean rooms |
| JP2006263688A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | ファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブース |
| CN102247733A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 康斐尔过滤设备(昆山)有限公司 | 置顶式空气过滤器的密封改良结构 |
| CN102247733B (zh) * | 2010-05-17 | 2015-09-09 | 康斐尔过滤设备(昆山)有限公司 | 置顶式空气过滤器的密封改良结构 |
| JP2014047659A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Topre Corp | 送風ユニット |
| CN104353291A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-02-18 | 青岛路博宏业环保技术开发有限公司 | 便携式高负压焊烟净化器 |
| CN104353291B (zh) * | 2014-11-13 | 2016-06-29 | 青岛路博宏业环保技术开发有限公司 | 便携式高负压焊烟净化器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2536188B2 (ja) | 1996-09-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
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