JPS60218547A - クリ−ントンネル - Google Patents
クリ−ントンネルInfo
- Publication number
- JPS60218547A JPS60218547A JP59075075A JP7507584A JPS60218547A JP S60218547 A JPS60218547 A JP S60218547A JP 59075075 A JP59075075 A JP 59075075A JP 7507584 A JP7507584 A JP 7507584A JP S60218547 A JPS60218547 A JP S60218547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- working
- areas
- tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は１作業域の清浄度を十分に維持しながら作業環
境の空気調和を低い設備費と動力費のもとて実施できる
ようにしたクリーン作業室（クリーントンネル）に関す
る。
境の空気調和を低い設備費と動力費のもとて実施できる
ようにしたクリーン作業室（クリーントンネル）に関す
る。
半導体製造、電気機器製造、薬品製造、その他の分野に
おいて極めて清浄度の高い作業域空間を形成することが
要求されるが、その一つの方式として、垂直壁の前に作
業域を形成し、この作業域だけに清浄空気を吹き出すク
リーンフードを形成する。いわゆるクリーントンネル方
式がある。第１図は１代表的なりリーントンネルの例を
平面的に示したものである。第１図において＋ ｒ、ｓ
、ｔはそれぞれメンテエリア３を挟んで形成した一単位
のクリーントンネルを示しており、各クリーントンネル
ｒ、ｓ、ｔには作業通路６の両側にクリーンフード４が
形成され、このクリーンフード４において清浄な作業域
が形成されるようになっている。
おいて極めて清浄度の高い作業域空間を形成することが
要求されるが、その一つの方式として、垂直壁の前に作
業域を形成し、この作業域だけに清浄空気を吹き出すク
リーンフードを形成する。いわゆるクリーントンネル方
式がある。第１図は１代表的なりリーントンネルの例を
平面的に示したものである。第１図において＋ ｒ、ｓ
、ｔはそれぞれメンテエリア３を挟んで形成した一単位
のクリーントンネルを示しており、各クリーントンネル
ｒ、ｓ、ｔには作業通路６の両側にクリーンフード４が
形成され、このクリーンフード４において清浄な作業域
が形成されるようになっている。
第２図は、第１図のＸ−Ｘ線の部分の断面を拡大して示
すと共に、これに空気処理系統を挿入して従来のクリー
ントンネルの空気処理方式の代表例を図解的に示したも
のである。
すと共に、これに空気処理系統を挿入して従来のクリー
ントンネルの空気処理方式の代表例を図解的に示したも
のである。
第２図に示すように、従来のクリーントンネルにおいて
は３作業員がこのクリーントンネル内で作業することか
らその作業環境を適切に維持するための空気調和と、所
定の清浄度を必要とする作業域のクリーン空間を清浄空
気によって形成することとは分離して対処していた。す
なわち、下端に開口部ｌを有する垂直壁２によってその
背後にメンテエリア３を形成し、清浄空気の下向きの流
れを形成させるクリーンフード４を該垂直壁２の前面上
部に設置し、このクリーンフード４の下方に作業台５を
据付けると共にこの作業台５の前に作業通路６を形成し
たクリーントンネルにあっては２作業台５の上部空間に
清浄な作業域を形成するために、この作業域に向けて清
浄空気を吹き出すべく高性能フィルター（ＩＩＥＰＡフ
ィルター）１０をクリーンフード４に取り付け、このク
リーンフード４にメンテエリア３の空気をファン１１に
よって送気していた。そして作業域を通過した空気は垂
直壁２の下部開口１を経てメンテエリア３に戻り再びフ
ァン１１によってクリーンフード４に循環させていた。
は３作業員がこのクリーントンネル内で作業することか
らその作業環境を適切に維持するための空気調和と、所
定の清浄度を必要とする作業域のクリーン空間を清浄空
気によって形成することとは分離して対処していた。す
なわち、下端に開口部ｌを有する垂直壁２によってその
背後にメンテエリア３を形成し、清浄空気の下向きの流
れを形成させるクリーンフード４を該垂直壁２の前面上
部に設置し、このクリーンフード４の下方に作業台５を
据付けると共にこの作業台５の前に作業通路６を形成し
たクリーントンネルにあっては２作業台５の上部空間に
清浄な作業域を形成するために、この作業域に向けて清
浄空気を吹き出すべく高性能フィルター（ＩＩＥＰＡフ
ィルター）１０をクリーンフード４に取り付け、このク
リーンフード４にメンテエリア３の空気をファン１１に
よって送気していた。そして作業域を通過した空気は垂
直壁２の下部開口１を経てメンテエリア３に戻り再びフ
ァン１１によってクリーンフード４に循環させていた。
一方１作業通路６を含むこのクリーントンネルの空気調
和（作業員の作業環境を維持するための空調）を図らね
ばならないが、従来では前記の清浄空気の流れとは別系
統に２作業通路６に向けて空気吹出口１２より調和空気
を吹出す処方が通常採用されていた。この調和空気はク
リーントンネル外の空調機７で製造され、この調和空気
は、やはりクリーントンネル内の清浄度を一定レベルに
維持するために高性能フィルター１３を通過させて浄化
していた。
和（作業員の作業環境を維持するための空調）を図らね
ばならないが、従来では前記の清浄空気の流れとは別系
統に２作業通路６に向けて空気吹出口１２より調和空気
を吹出す処方が通常採用されていた。この調和空気はク
リーントンネル外の空調機７で製造され、この調和空気
は、やはりクリーントンネル内の清浄度を一定レベルに
維持するために高性能フィルター１３を通過させて浄化
していた。
このように、従来のクリーントンネルでは作業域の目的
とする清浄化と、室全体の空気調和とは一応分離して対
処するのが通常であったが、この場合には、空気調和用
の空気の吹出気流（第２図の吹出口１２からの空気吹出
気流）がクリーンフード４からの清浄空気の吹出気流に
影響を与えないようにすることが必要である。このため
に、クリーンフード４からの吹出速度を速くするか、ま
たは吹出口１２からの吹出速度を遅くしたり吹出量を低
くしたりするといった運転の仕方をしなければならない
。したし、前者の処方では動力費が嵩むことになって不
経済となるし、後者の処方では目標とするクリーントン
ネル内の空気調和を行うための立ち上がりが遅くなり、
満足な空調が出来にくくなる。すなわち、この従来方式
による場合には、クリーンフード４から作業台へ向かう
清浄空気の流れを清浄域を維持するに必要な層流の流れ
に形成することに限界が存在した。
とする清浄化と、室全体の空気調和とは一応分離して対
処するのが通常であったが、この場合には、空気調和用
の空気の吹出気流（第２図の吹出口１２からの空気吹出
気流）がクリーンフード４からの清浄空気の吹出気流に
影響を与えないようにすることが必要である。このため
に、クリーンフード４からの吹出速度を速くするか、ま
たは吹出口１２からの吹出速度を遅くしたり吹出量を低
くしたりするといった運転の仕方をしなければならない
。したし、前者の処方では動力費が嵩むことになって不
経済となるし、後者の処方では目標とするクリーントン
ネル内の空気調和を行うための立ち上がりが遅くなり、
満足な空調が出来にくくなる。すなわち、この従来方式
による場合には、クリーンフード４から作業台へ向かう
清浄空気の流れを清浄域を維持するに必要な層流の流れ
に形成することに限界が存在した。
本発明はこのような従来のクリーントンネルの問題の解
決を目的としたものであり１作業域の清浄度を十分に維
持しながら作業環境の空気調和を低い設備費と動力費の
もとて実施できるようにしたクリーントンネル（作業室
内に清浄な作業域を特別に形成する清浄な作業室をいう
）を提供するものである。すなわち本発明のクリーント
ンネルは、第３図の実施例に示したように、下端に開口
部１を有する垂直壁２によってその背後にメンチェリア
３を形成し、清浄空気の下向きの流れを形成させるクリ
ーンフード４を該垂直壁２の前面上部に設置し、このク
リーンフード４の下方に作業台５を据付けると共にこの
作業台５の前に作業通路６を形成したクリーントンネル
において、空調機７をクリーントンネルの外に設置し、
この空調機７で調和した調和空気をメンテエリア３に給
気する給気路８を設けると共にメンチェリア３内の空気
を濾過してから該クリーンフード４内に供給するファン
フィルターユニット９を取り付け、クリーンフード４に
供給された清浄空気を作業台５に向かう空気の流れと作
業通路６に向かう空気の流れに分割して吹き出すことに
より後者の空気の流れを作業環境維持のための調和空気
として使用するようにしたたことを特徴とする。
決を目的としたものであり１作業域の清浄度を十分に維
持しながら作業環境の空気調和を低い設備費と動力費の
もとて実施できるようにしたクリーントンネル（作業室
内に清浄な作業域を特別に形成する清浄な作業室をいう
）を提供するものである。すなわち本発明のクリーント
ンネルは、第３図の実施例に示したように、下端に開口
部１を有する垂直壁２によってその背後にメンチェリア
３を形成し、清浄空気の下向きの流れを形成させるクリ
ーンフード４を該垂直壁２の前面上部に設置し、このク
リーンフード４の下方に作業台５を据付けると共にこの
作業台５の前に作業通路６を形成したクリーントンネル
において、空調機７をクリーントンネルの外に設置し、
この空調機７で調和した調和空気をメンテエリア３に給
気する給気路８を設けると共にメンチェリア３内の空気
を濾過してから該クリーンフード４内に供給するファン
フィルターユニット９を取り付け、クリーンフード４に
供給された清浄空気を作業台５に向かう空気の流れと作
業通路６に向かう空気の流れに分割して吹き出すことに
より後者の空気の流れを作業環境維持のための調和空気
として使用するようにしたたことを特徴とする。
より具体的に説明すると１本発明においては。
空調機７からクリーントンネルの作業空間への調和空気
の直接の供給を止め、また、クリーンフード４に高性能
フィルターを取り付けることも止める。そして、これに
代えて、空調機７からメンテエリア３への給気路８を設
けると共に、メンテエリア３内の空気をクリーンフード
４に浄化して供給するファンフィルターユニット９を設
置する。
の直接の供給を止め、また、クリーンフード４に高性能
フィルターを取り付けることも止める。そして、これに
代えて、空調機７からメンテエリア３への給気路８を設
けると共に、メンテエリア３内の空気をクリーンフード
４に浄化して供給するファンフィルターユニット９を設
置する。
このファンフィルターユニット９のフィルター１４はＩ
ＩＥＰΔフィルターを使用する。また、クリーンフード
４からの吹出口部分は５作業台５の上部の作業域空間の
面積に対応するよりも大きな開口面積としてここにパン
チングボード１５を取り付け、このパンチングボード１
５の開口部に垂れ壁１６を取り付けて作業域への空気吹
出流と作業通路６への空気吹出流とに分流させる。そし
て２作業通路６への吹出空気量をこのパンチングボード
１５の開口率を調節することによって制御する。これは
、パンチングボード１５の孔を絞る絞り構造１６によっ
て簡単に行うことができる。クリーントンネルの全体の
排気はメンチェリア３から排気路１７によって空調［７
に運気として導くが、その一部は系外に排出してもよい
。
ＩＥＰΔフィルターを使用する。また、クリーンフード
４からの吹出口部分は５作業台５の上部の作業域空間の
面積に対応するよりも大きな開口面積としてここにパン
チングボード１５を取り付け、このパンチングボード１
５の開口部に垂れ壁１６を取り付けて作業域への空気吹
出流と作業通路６への空気吹出流とに分流させる。そし
て２作業通路６への吹出空気量をこのパンチングボード
１５の開口率を調節することによって制御する。これは
、パンチングボード１５の孔を絞る絞り構造１６によっ
て簡単に行うことができる。クリーントンネルの全体の
排気はメンチェリア３から排気路１７によって空調［７
に運気として導くが、その一部は系外に排出してもよい
。
この構成により、空調機７で製造された調和空調機は、
一旦メンテエリア３に入り、ファンフィルターユニット
９で浄化されながら強制的にクリーンフード４に送られ
、ここから作業台５の上部の作業域と作業通路６に分流
されながら吹き出される。そして、垂直壁２の下部開口
１からメンテエリア３に戻され、ファンフィルターユニ
ット９に吸気されるか排気路１７に排気される。従って
。
一旦メンテエリア３に入り、ファンフィルターユニット
９で浄化されながら強制的にクリーンフード４に送られ
、ここから作業台５の上部の作業域と作業通路６に分流
されながら吹き出される。そして、垂直壁２の下部開口
１からメンテエリア３に戻され、ファンフィルターユニ
ット９に吸気されるか排気路１７に排気される。従って
。
清浄な作業域を形成するための浄化空気の吹出しと作業
環境を維持するための調和空気の吹出しとが同時になさ
れるので、つまり、クリーントンネルへの空気吹出はク
リーンフドの単一吹出となって気流が互いに影響しあう
ことがなくなるので。
環境を維持するための調和空気の吹出しとが同時になさ
れるので、つまり、クリーントンネルへの空気吹出はク
リーンフドの単一吹出となって気流が互いに影響しあう
ことがなくなるので。
作業域に流れる清浄空気の流れは層流となり、従来のよ
うにこれを分離していた方式の場合に存在して既述の問
題が回避され、低い動力費のもとで従来と同等若しくは
それ以上の能力を持つクリーントンネルを形成すること
ができる。また、クリーンフード４から作業台５の上部
への作業域への浄化空気の吹出量は１作業通路６への吹
出量の調節によって一方を多くすれば他方が少なくなる
という逆の関係をもって簡便に調整ができるので。
うにこれを分離していた方式の場合に存在して既述の問
題が回避され、低い動力費のもとで従来と同等若しくは
それ以上の能力を持つクリーントンネルを形成すること
ができる。また、クリーンフード４から作業台５の上部
への作業域への浄化空気の吹出量は１作業通路６への吹
出量の調節によって一方を多くすれば他方が少なくなる
という逆の関係をもって簡便に調整ができるので。
作業域を必要十分な清浄度に制御することが容易にでき
るようになり、この点でも従来のクリーン１−ンネルで
は果たせなかった機能を発揮する。
るようになり、この点でも従来のクリーン１−ンネルで
は果たせなかった機能を発揮する。
このように９本発明によると、従来のクリーン１−ンネ
ルでは成し得なかった空ｍ機送風動力の節減がなされる
と共にＨＥＰＡフィルターを内装した特別製のクリーン
フードに構成しなくてもよいから設備費も低減するよう
になり、また層流の形成が確実になって、総合的には非
常に合理的なりリーントンネルを形成することができる
。なお１本明細書においてトンネルという語は作業員や
生産品がこの中を出入する作業室というような意味であ
り、その室の形状は長く延びたいわゆるトンネル形状の
ものに限られず、短いものに対しても本発明は通用され
るものである。
ルでは成し得なかった空ｍ機送風動力の節減がなされる
と共にＨＥＰＡフィルターを内装した特別製のクリーン
フードに構成しなくてもよいから設備費も低減するよう
になり、また層流の形成が確実になって、総合的には非
常に合理的なりリーントンネルを形成することができる
。なお１本明細書においてトンネルという語は作業員や
生産品がこの中を出入する作業室というような意味であ
り、その室の形状は長く延びたいわゆるトンネル形状の
ものに限られず、短いものに対しても本発明は通用され
るものである。
第１図はクリーントンネルの一般的な形状を平面的に見
た一部平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線の断面を拡大
してこの部分の空気処理系統を図解的に示した従来のク
リーントンネルの代表例の離断面図、第３図は第２図と
同様の関係をもって示した本発明のクリーントンネルの
例を示ず略断面図である。 １・・開口、２・・垂直壁、３・・メンテエリア、４・
・クリーンフード、５・・作業台。 ６・・作業通路、７・・空調機、８・・給気路、９・・
ファンフィルターユニット １４・・高性能フィルター、１５・・パンチングボード
、１６・・垂れ壁。 出願人 高砂熱学工業株式会社
た一部平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ線の断面を拡大
してこの部分の空気処理系統を図解的に示した従来のク
リーントンネルの代表例の離断面図、第３図は第２図と
同様の関係をもって示した本発明のクリーントンネルの
例を示ず略断面図である。 １・・開口、２・・垂直壁、３・・メンテエリア、４・
・クリーンフード、５・・作業台。 ６・・作業通路、７・・空調機、８・・給気路、９・・
ファンフィルターユニット １４・・高性能フィルター、１５・・パンチングボード
、１６・・垂れ壁。 出願人 高砂熱学工業株式会社
Claims (1)
- 下端に開口部１を有する垂直壁２によってその背後にメ
ンテエリア３を形成し、清浄空気の下向きの流れを形成
させるクリーンフード４を該垂直壁２の前面上部に設置
し、このクリーンフード４の下方に作業台５を据付ける
と共にこの作業台５の前に作業通路６を形成したクリー
ントンネルにおいて、空調機７をクリーントンネルの外
に設置し、この空調機７で調和した調和空気をメンテエ
リア３に給気する給気路８を設けると共にメンテエリテ
３内の空気を濾過してから該クリーンフード４内に供給
するファンフィルターユニット９を取り付け、クリーン
フード４に供給された清浄空気を作業台５に向かう空気
の流れと作業通路６に向かう空気の流れに分割して吹き
出すことにより後者の空気の流れを作業環境維持のため
の調和空気として使用するようにしたたことを特徴とす
るクリーントンネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59075075A JPS60218547A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | クリ−ントンネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59075075A JPS60218547A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | クリ−ントンネル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218547A true JPS60218547A (ja) | 1985-11-01 |
| JPS64621B2 JPS64621B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=13565699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59075075A Granted JPS60218547A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | クリ−ントンネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218547A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0221146A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
| JP2008157474A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンルーム |
-
1984
- 1984-04-16 JP JP59075075A patent/JPS60218547A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0221146A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
| JP2008157474A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-10 | Hitachi Plant Technologies Ltd | クリーンルーム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS64621B2 (ja) | 1989-01-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |