JPS6124932A - 清浄作業室装置 - Google Patents
清浄作業室装置Info
- Publication number
- JPS6124932A JPS6124932A JP14413784A JP14413784A JPS6124932A JP S6124932 A JPS6124932 A JP S6124932A JP 14413784 A JP14413784 A JP 14413784A JP 14413784 A JP14413784 A JP 14413784A JP S6124932 A JPS6124932 A JP S6124932A
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- JP
- Japan
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- clean
- air
- main passage
- working chamber
- room
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は半導体の製造等に用いられる清浄作業室装置に
係り、特に製造ラインごとにトンネル状の清浄作業室を
設け、それらを主通路部に枝状に接続した形式の大規模
な清浄作業室装置に関する。
係り、特に製造ラインごとにトンネル状の清浄作業室を
設け、それらを主通路部に枝状に接続した形式の大規模
な清浄作業室装置に関する。
この種の清浄作業室装置の基本的構成については特開昭
５８−１２７０３５号公報に開示されているが、この従
来例では、主通路部を高清浄度に保つため高価な高性能
フィルタを多量に必要とし、設備費や運転経費が高くな
るとともに、主通路部での発塵が清浄作業室内の清浄度
に影響を与えやすいという問題点があった。
５８−１２７０３５号公報に開示されているが、この従
来例では、主通路部を高清浄度に保つため高価な高性能
フィルタを多量に必要とし、設備費や運転経費が高くな
るとともに、主通路部での発塵が清浄作業室内の清浄度
に影響を与えやすいという問題点があった。
以下、第８図〜第１２図によりさらに詳しく説明する。
第８図はこの清浄作業室装置を半導体の製造に適用した
場合の概略平面図で、建屋１の中に外界から遮蔽された
主通路部２を設けるとともに、この主通路部２に枝状に
接続したトンネル状の清浄作業室３を露光、拡散、ＣＶ
Ｄ、エツチング、メタライズ等の製造ラインごとに設け
、この清浄作業室３の内にそれぞれの製造ライン用機器
４を設置する。そして、隣り合う清浄作業室３の間およ
び清浄作業室３と建屋１の壁面との間に保全域５を設け
、この保全域５に製造ラインへガス、電気等を供給する
ための配管６を設置することにより、高清浄度に維持す
る清浄化区域および空調対象区域を必要最小限にすると
ともに、製造ライン別の空調温度制御を可能にしている
。主通路部２は両端を建屋１の壁で仕切って外界から遮
蔽し、外部の一般室７との間の出入口にはエアーシャワ
ー８を設置して塵埃の侵入を防止している。
場合の概略平面図で、建屋１の中に外界から遮蔽された
主通路部２を設けるとともに、この主通路部２に枝状に
接続したトンネル状の清浄作業室３を露光、拡散、ＣＶ
Ｄ、エツチング、メタライズ等の製造ラインごとに設け
、この清浄作業室３の内にそれぞれの製造ライン用機器
４を設置する。そして、隣り合う清浄作業室３の間およ
び清浄作業室３と建屋１の壁面との間に保全域５を設け
、この保全域５に製造ラインへガス、電気等を供給する
ための配管６を設置することにより、高清浄度に維持す
る清浄化区域および空調対象区域を必要最小限にすると
ともに、製造ライン別の空調温度制御を可能にしている
。主通路部２は両端を建屋１の壁で仕切って外界から遮
蔽し、外部の一般室７との間の出入口にはエアーシャワ
ー８を設置して塵埃の侵入を防止している。
第９図は第８図のＩＸ−ＩＫ断面図、第１０図は同Ｘ−
Ｘ断面図である。
Ｘ断面図である。
第１１図は清浄作業室３の詳細断面図で、製造ライン用
機器４を室内に２列に配置した例を示す。
機器４を室内に２列に配置した例を示す。
清浄作業室３内には製造ライン用機器４を設置した作業
部９と作業者が通行する通路部１０をそれぞれ紙面に直
角の方向に細長く形成してあり、天井部には空気浄化要
素である送風機１１．１２、高性能フィルタ１３．１４
と照明灯１５．１６を収納し、作業部９と通路部１０の
各天井面に清浄空気吹出口１７．１８をそれぞれ設けで
ある。送風機１１．１２によりプレフィルタ１９を通し
て吸込まれた外部空気はそれぞれ高性能フィルタ１３．
１４を通って清浄化され、清浄空気吹出口１７．１８か
ら作業部９と通路部１０へ吹出される。吹出された清浄
空気は矢印で示すように室内を流れ、清浄作業室３の両
側壁下部に設けられた排気口２０から保全域５へ排出さ
れる。これにより、清浄作業室３の室内を外気に対し正
圧に保って外部の汚染空気が室内に侵入することを防止
するとともに、室内で発生した塵埃を速やかに排出し、
室内を所要の清浄度に維持する。清浄空気吹出口１７．
１８の吹出風量、風速は作業部９と通路部１０のそれぞ
れの所要清浄度に応じて設定し、清浄空気吹出口１７の
直下の作業部で清浄度が最も高くなるようにしている。
部９と作業者が通行する通路部１０をそれぞれ紙面に直
角の方向に細長く形成してあり、天井部には空気浄化要
素である送風機１１．１２、高性能フィルタ１３．１４
と照明灯１５．１６を収納し、作業部９と通路部１０の
各天井面に清浄空気吹出口１７．１８をそれぞれ設けで
ある。送風機１１．１２によりプレフィルタ１９を通し
て吸込まれた外部空気はそれぞれ高性能フィルタ１３．
１４を通って清浄化され、清浄空気吹出口１７．１８か
ら作業部９と通路部１０へ吹出される。吹出された清浄
空気は矢印で示すように室内を流れ、清浄作業室３の両
側壁下部に設けられた排気口２０から保全域５へ排出さ
れる。これにより、清浄作業室３の室内を外気に対し正
圧に保って外部の汚染空気が室内に侵入することを防止
するとともに、室内で発生した塵埃を速やかに排出し、
室内を所要の清浄度に維持する。清浄空気吹出口１７．
１８の吹出風量、風速は作業部９と通路部１０のそれぞ
れの所要清浄度に応じて設定し、清浄空気吹出口１７の
直下の作業部で清浄度が最も高くなるようにしている。
第１２図は主通路部２の詳細断面図である。この従来例
では、主通路部２の内部空間２１と第８図に示す各清浄
作業室３の室内とがそれらの間を人の往来とともに、空
気が自由に流通できるように清浄作業室の入口３ａで接
続されているため、主通踏部内部空間２１も清浄作業室
３の通路部１０と同程度の高清浄度に保つ必要がある。
では、主通路部２の内部空間２１と第８図に示す各清浄
作業室３の室内とがそれらの間を人の往来とともに、空
気が自由に流通できるように清浄作業室の入口３ａで接
続されているため、主通踏部内部空間２１も清浄作業室
３の通路部１０と同程度の高清浄度に保つ必要がある。
このため、第１２図に示すように主通路部２の天井部に
空気浄化要素である送風機２２、高性能フィルタ２３と
照明灯２４を収納し、内部空間２１の天井面に長手方向
のほぼ全長にわたり清浄空気吹出口２５を設け、送風機
２２によりプレフィルタ２６を通して吸込まれた外部空
気を高性能フィルタ２３に通して清浄化して、清浄空気
吹出口２５から吹出し、内部空間２１を流れた清浄空気
を主通路部２の両側壁下部に設けた排気口２７カら保全
域５へ排出することにより、内部空間２１の清浄度を高
くしている。
空気浄化要素である送風機２２、高性能フィルタ２３と
照明灯２４を収納し、内部空間２１の天井面に長手方向
のほぼ全長にわたり清浄空気吹出口２５を設け、送風機
２２によりプレフィルタ２６を通して吸込まれた外部空
気を高性能フィルタ２３に通して清浄化して、清浄空気
吹出口２５から吹出し、内部空間２１を流れた清浄空気
を主通路部２の両側壁下部に設けた排気口２７カら保全
域５へ排出することにより、内部空間２１の清浄度を高
くしている。
このように従来例では、主通踏部内部空間２１を高清浄
度に保つ必要上、清浄空気吹出口２５の面積を大きくと
り、吹出風量を多くしてりたため、高価な高性能フィル
タ２３を多量に必要とするとともに、送風機２２の循環
風量も多くなり、設備費や運転経費が高くなる。また、
主通踏部内部空間２１の吹出風量が多い割に、第８図か
らも分るように保全域５へ空気を排出する排気口２７の
設置スペースが十分数れないため、主通踏部内部空間２
１の圧力が高くなって、主通踏部内部空間２１から清浄
作業室３内へ空気が流入する傾向となり、このため、主
通路部２を通行する作業者からの発塵が清浄作業室３内
の清浄度に影響を与えやすく、製造ラインにおける製品
の品質をそこなう恐れがあった。
度に保つ必要上、清浄空気吹出口２５の面積を大きくと
り、吹出風量を多くしてりたため、高価な高性能フィル
タ２３を多量に必要とするとともに、送風機２２の循環
風量も多くなり、設備費や運転経費が高くなる。また、
主通踏部内部空間２１の吹出風量が多い割に、第８図か
らも分るように保全域５へ空気を排出する排気口２７の
設置スペースが十分数れないため、主通踏部内部空間２
１の圧力が高くなって、主通踏部内部空間２１から清浄
作業室３内へ空気が流入する傾向となり、このため、主
通路部２を通行する作業者からの発塵が清浄作業室３内
の清浄度に影響を与えやすく、製造ラインにおける製品
の品質をそこなう恐れがあった。
本発明の目的は、主通路部から清浄作業室への塵埃の侵
入を防止することにより、清浄作業室内の清浄度を所要
レベルに維持しながら、主通路部の清浄度を必要最小限
に抑えて設備費および運転経費を低減した清浄作業室装
置を提供することにある。
入を防止することにより、清浄作業室内の清浄度を所要
レベルに維持しながら、主通路部の清浄度を必要最小限
に抑えて設備費および運転経費を低減した清浄作業室装
置を提供することにある。
〔発明の背景〕
本発明は、外界から遮蔽された主通路部と、この主通路
部に枝状に接続され、室内を清浄化するための清浄空気
吹出口および排気口を個別に備えた複数のトンネル状の
清浄作業室を有する清浄作業室装置において、主通路部
の清浄度よりも清浄作業室内の清浄度の方を高くし、主
通路部に接続する清浄作業室の入口に隣接して主通路部
の天井に設けた清浄空気吹出口と主通路部の床に設けた
排気口により、清浄作業室の入口に沿ってエアーカーテ
ン気流を形成するとともに、このエアーカーテン気流に
より主通路部空間を清浄化するように構成したことを特
徴とするものである。
部に枝状に接続され、室内を清浄化するための清浄空気
吹出口および排気口を個別に備えた複数のトンネル状の
清浄作業室を有する清浄作業室装置において、主通路部
の清浄度よりも清浄作業室内の清浄度の方を高くし、主
通路部に接続する清浄作業室の入口に隣接して主通路部
の天井に設けた清浄空気吹出口と主通路部の床に設けた
排気口により、清浄作業室の入口に沿ってエアーカーテ
ン気流を形成するとともに、このエアーカーテン気流に
より主通路部空間を清浄化するように構成したことを特
徴とするものである。
以下、本発明の実施例を第１図〜第７図により説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示す部分切断平面図、第２
図は第１図の■−■断面図、第３図は同■−■断面図、
第４図はＩＶ−ＩＶ断面図で、第８図〜第１２図と同一
符号は対応する部分を示しており、外界から遮蔽された
主通路部２と、この主通路部２に枝状に接続された複数
のトンネル状の清浄作業室３とからなる基本的構成は第
８図〜第１２図に示す従来例と同一である。
図は第１図の■−■断面図、第３図は同■−■断面図、
第４図はＩＶ−ＩＶ断面図で、第８図〜第１２図と同一
符号は対応する部分を示しており、外界から遮蔽された
主通路部２と、この主通路部２に枝状に接続された複数
のトンネル状の清浄作業室３とからなる基本的構成は第
８図〜第１２図に示す従来例と同一である。
第１図〜第３図に示すように、本実施例における清浄作
業室３は室内通路部１０の床に排気口２８を設けた点を
除いては従来例と同様に構成されており、送風機１１．
１２により給気ダクト２９がらプレフィルタ１９を通し
て吸込まれた空気はそれぞれ高性能フィルタ１３．１４
を通って清浄化されて、清浄空気吹出口１７．１８から
室内の作業部９と通路部１０に吹出し、矢印で示すよう
に室内を流れた後、床排気口２８から床下排気ダクト３
０へ排出され、図面外の空調装置へもどる。この清浄空
気の循環により、製造ライン用機器４を設置した作業部
９と作業者が通行する通路部１０をそれぞれ所要の清浄
度に維持する。清浄作業室３の排気は従来例と同様に両
側部の排気口から保全域５へ出してもよい。
業室３は室内通路部１０の床に排気口２８を設けた点を
除いては従来例と同様に構成されており、送風機１１．
１２により給気ダクト２９がらプレフィルタ１９を通し
て吸込まれた空気はそれぞれ高性能フィルタ１３．１４
を通って清浄化されて、清浄空気吹出口１７．１８から
室内の作業部９と通路部１０に吹出し、矢印で示すよう
に室内を流れた後、床排気口２８から床下排気ダクト３
０へ排出され、図面外の空調装置へもどる。この清浄空
気の循環により、製造ライン用機器４を設置した作業部
９と作業者が通行する通路部１０をそれぞれ所要の清浄
度に維持する。清浄作業室３の排気は従来例と同様に両
側部の排気口から保全域５へ出してもよい。
第１図、第３図、第４図に示すように本実施例では、主
通路部２の天井の清浄作業室入口３ａに隣接する部分に
のみ清浄空気吹出口３１を設け、これに対応する排気口
３２を主通路部２の床の清浄作業室人口３ａに隣接する
部分に設けである。清浄空気吹出口３１の上方には送風
機３３、高性能フィルタ３４、プレフィルタ３５を備え
た空気浄化ユニット３６を設置し、送風機３３により給
気ダクト３７からプレフィルタ３５を通して吸込まれた
空気を高性能フィルタ３４に通して清浄化し、清浄空気
吹出口３１から吹出させる。吹出された清浄空気の大部
分は清浄作業室入口３ａに沿って下方に流れるエアーカ
ーテン気流３８を形成し、床排気口３２がら床下排気ダ
クト３０へ排出される。主通路部２の床排気口３２は図
示のように清浄作業室３の床排気口２８の延長部として
設けてもよいし、清浄作業室３の排気口とは別に独立し
て設けてもよい。
通路部２の天井の清浄作業室入口３ａに隣接する部分に
のみ清浄空気吹出口３１を設け、これに対応する排気口
３２を主通路部２の床の清浄作業室人口３ａに隣接する
部分に設けである。清浄空気吹出口３１の上方には送風
機３３、高性能フィルタ３４、プレフィルタ３５を備え
た空気浄化ユニット３６を設置し、送風機３３により給
気ダクト３７からプレフィルタ３５を通して吸込まれた
空気を高性能フィルタ３４に通して清浄化し、清浄空気
吹出口３１から吹出させる。吹出された清浄空気の大部
分は清浄作業室入口３ａに沿って下方に流れるエアーカ
ーテン気流３８を形成し、床排気口３２がら床下排気ダ
クト３０へ排出される。主通路部２の床排気口３２は図
示のように清浄作業室３の床排気口２８の延長部として
設けてもよいし、清浄作業室３の排気口とは別に独立し
て設けてもよい。
本実施例では、主通路部２の清浄度よりも清浄作業室３
内の清浄度を高くし、前記エアーカーテン気流３８によ
り主通路部２と清浄作業室３との間の空気の流通を遮断
する。巳の場合、清浄作業室３内は上部はど清浄度が高
く、外部がらの汚染空気の流入により製造ラインに影響
を与えやすいので、主通路部２の天井に設ける清浄空気
吹出口３１の幅Ｗは清浄作業室人口３ａの幅Ｗより大き
くすることが大切である。このように構成することによ
り、清浄作業室人口３ａはエアーカーテン気流３８によ
ってほぼ完全に遮蔽され、製造ラインに影響を与える主
通路部２がら清浄作業室３への汚染空気の流入を防止す
ることができる。また、清浄空気吹出口３１から吹出さ
れたエアーカーテン気流３８は第４図の２点鎖線３９で
示すように横に拡がり、その一部は主通路部の内部空間
２１に拡散するので、この気流により内部空間２１の他
の部分もある程度清浄化される。
内の清浄度を高くし、前記エアーカーテン気流３８によ
り主通路部２と清浄作業室３との間の空気の流通を遮断
する。巳の場合、清浄作業室３内は上部はど清浄度が高
く、外部がらの汚染空気の流入により製造ラインに影響
を与えやすいので、主通路部２の天井に設ける清浄空気
吹出口３１の幅Ｗは清浄作業室人口３ａの幅Ｗより大き
くすることが大切である。このように構成することによ
り、清浄作業室人口３ａはエアーカーテン気流３８によ
ってほぼ完全に遮蔽され、製造ラインに影響を与える主
通路部２がら清浄作業室３への汚染空気の流入を防止す
ることができる。また、清浄空気吹出口３１から吹出さ
れたエアーカーテン気流３８は第４図の２点鎖線３９で
示すように横に拡がり、その一部は主通路部の内部空間
２１に拡散するので、この気流により内部空間２１の他
の部分もある程度清浄化される。
本実施例によれば、例えば清浄作業室３の作業部９の所
要清浄度をｃｌａｓｓｌＯ１通路部１ｏの清浄度をｃｌ
ａｓｓｌｏｏとするとき、主通路部２の清浄度はｃｌａ
ｓｓ１０００程度でよく、このように主通路部２の清浄
度が低くても前述したエアーカーテン効果により清浄作
業室３内の清浄度を所要の高レベルに維持することがで
きる。その結果、従来例に比べ主通路部２に清浄空気を
供給するための高性能フィルタの使用量が少なくてすみ
、また送風機の循環風量も少なくてよいので、装置全体
の設備費および運転経費を大幅に低減できる。
要清浄度をｃｌａｓｓｌＯ１通路部１ｏの清浄度をｃｌ
ａｓｓｌｏｏとするとき、主通路部２の清浄度はｃｌａ
ｓｓ１０００程度でよく、このように主通路部２の清浄
度が低くても前述したエアーカーテン効果により清浄作
業室３内の清浄度を所要の高レベルに維持することがで
きる。その結果、従来例に比べ主通路部２に清浄空気を
供給するための高性能フィルタの使用量が少なくてすみ
、また送風機の循環風量も少なくてよいので、装置全体
の設備費および運転経費を大幅に低減できる。
第５図は本発明の他の実施例を示す部分切断平面図、第
６図は第５図のＶＩ−ＶＩ断面図、第７図は同■−■断
面図で、他の図と同一符号は対応する部分を示す。
６図は第５図のＶＩ−ＶＩ断面図、第７図は同■−■断
面図で、他の図と同一符号は対応する部分を示す。
本実施例は、主通路部２の天井の清浄作業室入口３ａに
隣接する部分に清浄空気吹出口３１を設け、主通路部２
の床の清浄作業室人口３ａに隣接する部分に排気口３２
を設けて、清浄作業室人口３ａに沿ったエアーカーテン
気流３８を形成するとともに、主通路部２の中央部分に
も清浄空気吹出口４０とこれに対応する床排気口４１を
設けたものである。 ・前述したように、清浄作業室
入口部分にエアーカーテン気流３８を形成することによ
り、常時は主通路部２と清浄作業室３との間の空気の流
通が遮断されているが、清浄作業室３への人の出入など
に伴う清浄作業室３内の清浄度低下を防止するため、主
通路部２もある程度清浄化する必要がある。
隣接する部分に清浄空気吹出口３１を設け、主通路部２
の床の清浄作業室人口３ａに隣接する部分に排気口３２
を設けて、清浄作業室人口３ａに沿ったエアーカーテン
気流３８を形成するとともに、主通路部２の中央部分に
も清浄空気吹出口４０とこれに対応する床排気口４１を
設けたものである。 ・前述したように、清浄作業室
入口部分にエアーカーテン気流３８を形成することによ
り、常時は主通路部２と清浄作業室３との間の空気の流
通が遮断されているが、清浄作業室３への人の出入など
に伴う清浄作業室３内の清浄度低下を防止するため、主
通路部２もある程度清浄化する必要がある。
もし、隣り合う清浄作業室３の間隔が広い場合などのよ
うに、清浄作業室入口部分のエアーカーテン気流３８の
みでは主通路部２の清浄度が不足する場合には、本実施
例のように主通路部２の中央部分に清浄空気吹出口４０
と床排気口４１を増設することにより、必要なだけ清浄
度を上げることができる。この場合、中央部分の清浄空
気吹出口４０に対する床排気口４１の位置は、直下より
も図示のように少しずらした方が、主通路部内部室間２
１の気流分布が良くなり、清浄効果が高まる。中央部分
の清浄空気吹出口４０に対しては、清浄作業室入口部分
と同様に送風機３３′、高性能フィルタ３４′、プレフ
ィルタ３５′ を備えた空気浄化ユニット３６′から清
浄空気を供給する。
うに、清浄作業室入口部分のエアーカーテン気流３８の
みでは主通路部２の清浄度が不足する場合には、本実施
例のように主通路部２の中央部分に清浄空気吹出口４０
と床排気口４１を増設することにより、必要なだけ清浄
度を上げることができる。この場合、中央部分の清浄空
気吹出口４０に対する床排気口４１の位置は、直下より
も図示のように少しずらした方が、主通路部内部室間２
１の気流分布が良くなり、清浄効果が高まる。中央部分
の清浄空気吹出口４０に対しては、清浄作業室入口部分
と同様に送風機３３′、高性能フィルタ３４′、プレフ
ィルタ３５′ を備えた空気浄化ユニット３６′から清
浄空気を供給する。
本実施例でも、清浄作業室入口部分のエアーカーテン効
果により、主通路部２の高性能フィルタ使用量や循環風
量は従来例より少なくてすむ。
果により、主通路部２の高性能フィルタ使用量や循環風
量は従来例より少なくてすむ。
本発明によれば、主通路部の清浄度よりも清浄作業室内
の清浄度を高くし、主通路部の清浄作業室入口に沿った
部分にエアーカーテン気流を形成して主通路部から清浄
作業室への汚染空気の流入を防止するとともに、このエ
アーカーテン気流により主通路部の内部空間を清浄化す
る構成としたため、主通路部の清浄化に必要な高性能フ
ィルタの使用量および送風機の循環風量を従来例より大
幅に減らして、設備費や運転経費を低減することができ
、かつ主通路部の発塵が清浄作業室内の清浄度に及ぼす
影響をなくし、清浄作業室内の清浄度を所要レベルに維
持することができる。
の清浄度を高くし、主通路部の清浄作業室入口に沿った
部分にエアーカーテン気流を形成して主通路部から清浄
作業室への汚染空気の流入を防止するとともに、このエ
アーカーテン気流により主通路部の内部空間を清浄化す
る構成としたため、主通路部の清浄化に必要な高性能フ
ィルタの使用量および送風機の循環風量を従来例より大
幅に減らして、設備費や運転経費を低減することができ
、かつ主通路部の発塵が清浄作業室内の清浄度に及ぼす
影響をなくし、清浄作業室内の清浄度を所要レベルに維
持することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す部分切断平面図、第２
図は第１図の■−■断面図、第３図は同ｍ−ｍ断面図、
第４図は同Ｘ−Ｘ断面図、第５図は本発明の他の実施例
を示す部分切断平面図、第６図は第５図のＶＩ−ＶＩ断
面図、第７図は同Ｘ−Ｘ断面図、第８図は従来例の概略
平面図、第９図は第８図の■−）Ｘ断面図、第１０図は
同Ｘ−Ｘ断面図、第１１図は従来例の清浄作業室の詳細
断面図、第１２図は従来例の主通路部の詳細断面図であ
る。 ２・・主通路部 ３・・・清浄作業室３ａ・・
・清浄作業室入口 ９．１０・・・清浄作業室の室内 ２１・主通路部の内部空間
図は第１図の■−■断面図、第３図は同ｍ−ｍ断面図、
第４図は同Ｘ−Ｘ断面図、第５図は本発明の他の実施例
を示す部分切断平面図、第６図は第５図のＶＩ−ＶＩ断
面図、第７図は同Ｘ−Ｘ断面図、第８図は従来例の概略
平面図、第９図は第８図の■−）Ｘ断面図、第１０図は
同Ｘ−Ｘ断面図、第１１図は従来例の清浄作業室の詳細
断面図、第１２図は従来例の主通路部の詳細断面図であ
る。 ２・・主通路部 ３・・・清浄作業室３ａ・・
・清浄作業室入口 ９．１０・・・清浄作業室の室内 ２１・主通路部の内部空間
Claims (1)
- 外界から遮蔽された主通路部と、この主通路部に枝状に
接続され、室内を清浄化するための清浄空気吹出口およ
び排気口を個別に備えた複数のトンネル状の清浄作業室
を有する清浄作業室装置において、主通路部の清浄度よ
りも清浄作業室内の清浄度を高くし、主通路部に接続す
る清浄作業室の入口に隣接して主通路部の天井に設けた
清浄空気吹出口と主通路部の床に設けた排気口により、
清浄作業室の入口に沿ってエアーカーテン気流を形成す
るとともに、このエアーカーテン気流により主通路部内
部空間を清浄化するように構成したことを特徴とする清
浄作業室装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14413784A JPS6124932A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 清浄作業室装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14413784A JPS6124932A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 清浄作業室装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6124932A true JPS6124932A (ja) | 1986-02-03 |
| JPH0575930B2 JPH0575930B2 (ja) | 1993-10-21 |
Family
ID=15355077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14413784A Granted JPS6124932A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | 清浄作業室装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6124932A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7216527B2 (en) | 2002-05-28 | 2007-05-15 | Sony Corporation | Gas detection device |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP14413784A patent/JPS6124932A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7216527B2 (en) | 2002-05-28 | 2007-05-15 | Sony Corporation | Gas detection device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575930B2 (ja) | 1993-10-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |