JPS64621B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS64621B2 JPS64621B2 JP59075075A JP7507584A JPS64621B2 JP S64621 B2 JPS64621 B2 JP S64621B2 JP 59075075 A JP59075075 A JP 59075075A JP 7507584 A JP7507584 A JP 7507584A JP S64621 B2 JPS64621 B2 JP S64621B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean
- hood
- tunnel
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 15
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 9
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 6
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 6
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、作業域の清浄度を十分に維持しなが
ら作業環境の空気調和を低い設備費と動力費のも
とで実施できるようにしたクリーン作業室（クリ
ーントンネル）に関する。
ら作業環境の空気調和を低い設備費と動力費のも
とで実施できるようにしたクリーン作業室（クリ
ーントンネル）に関する。
半導体製造、電気機器製造、薬品製造、その他
の分野において極めて清浄度の高い作業域空間を
形成することが要求されるが、その一つの方式と
して、垂直壁の前に作業域を形成し、この作業域
だけに清浄空気を吹き出すクリーンフードを形成
する、いわゆるクリーントンネル方式がある。第
１図は、代表的なクリーントンネルの例を平面的
に示したものである。第１図において、ｒ，ｓ，
ｔはそれぞれメンテエリア３を挟んで形成した一
単位のクリーントンネルを示しており、各クリー
ントンネルｒ，ｓ，ｔには作業通路６の両側にク
リーンフード４が形成され、このクリーンフード
４において清浄な作業域が形成されるようになつ
ている。第２図は、第１図のＸ−Ｘ線の部分の断
面を拡大して示すと共に、これに空気処理系統を
挿入して従来のクリーントンネルの空気処理方式
の代表例を図解的に示したものである。
の分野において極めて清浄度の高い作業域空間を
形成することが要求されるが、その一つの方式と
して、垂直壁の前に作業域を形成し、この作業域
だけに清浄空気を吹き出すクリーンフードを形成
する、いわゆるクリーントンネル方式がある。第
１図は、代表的なクリーントンネルの例を平面的
に示したものである。第１図において、ｒ，ｓ，
ｔはそれぞれメンテエリア３を挟んで形成した一
単位のクリーントンネルを示しており、各クリー
ントンネルｒ，ｓ，ｔには作業通路６の両側にク
リーンフード４が形成され、このクリーンフード
４において清浄な作業域が形成されるようになつ
ている。第２図は、第１図のＸ−Ｘ線の部分の断
面を拡大して示すと共に、これに空気処理系統を
挿入して従来のクリーントンネルの空気処理方式
の代表例を図解的に示したものである。
第２図に示すように、従来のクリーントンネル
においては、作業員がこのクリーントンネル内で
作業することからその作業環境を適切に維持する
ための空気調和と、所定の清浄度を必要とする作
業域のクリーン空間を清浄空気によつて形成する
こととは分離して対処していた。すなわち、下端
に開口部１を有する垂直壁２によつてその背後に
メンテエリア３を形成し、清浄空気の下向きの流
れを形成させるクリーンフード４を該垂直壁２の
前面上部に設置し、このクリーンフード４の下方
に作業台５を据付けると共にこの作業台５の前に
作業通路６を形成したクリーントンネルにあつて
は、作業台５の上部空間に清浄な作業域を形成す
るために、この作業域に向けて清浄空気を吹き出
すべく高性能フイルター（HEPAフイルター）
１０をクリーンフード４に取り付け、このクリー
ンフード４にメンテエリア３の空気をフアン１１
によつて送気していた。そして作業域を通過した
空気は垂直壁２の下部開口１を経てメンテエリア
３に戻り再びフアン１１によつてクリーンフード
４に循環させていた。一方、作業通路６を含むこ
のクリーントンネルの空気調和（作業員の作業環
境を維持するための空調）を図らねばならない
が、従来では前記の清浄空気の流れとは別系統
に、作業通路６に向けて空気吹出口１２より調和
空気を吹出す処方が通常採用されていた。この調
和空気はクリーントンネル外の空調機７で製造さ
れ、この調和空気は、やはりクリーントンネル内
の清浄度を一定レベルに維持するために高性能フ
イルター１３を通過させて浄化していた。
においては、作業員がこのクリーントンネル内で
作業することからその作業環境を適切に維持する
ための空気調和と、所定の清浄度を必要とする作
業域のクリーン空間を清浄空気によつて形成する
こととは分離して対処していた。すなわち、下端
に開口部１を有する垂直壁２によつてその背後に
メンテエリア３を形成し、清浄空気の下向きの流
れを形成させるクリーンフード４を該垂直壁２の
前面上部に設置し、このクリーンフード４の下方
に作業台５を据付けると共にこの作業台５の前に
作業通路６を形成したクリーントンネルにあつて
は、作業台５の上部空間に清浄な作業域を形成す
るために、この作業域に向けて清浄空気を吹き出
すべく高性能フイルター（HEPAフイルター）
１０をクリーンフード４に取り付け、このクリー
ンフード４にメンテエリア３の空気をフアン１１
によつて送気していた。そして作業域を通過した
空気は垂直壁２の下部開口１を経てメンテエリア
３に戻り再びフアン１１によつてクリーンフード
４に循環させていた。一方、作業通路６を含むこ
のクリーントンネルの空気調和（作業員の作業環
境を維持するための空調）を図らねばならない
が、従来では前記の清浄空気の流れとは別系統
に、作業通路６に向けて空気吹出口１２より調和
空気を吹出す処方が通常採用されていた。この調
和空気はクリーントンネル外の空調機７で製造さ
れ、この調和空気は、やはりクリーントンネル内
の清浄度を一定レベルに維持するために高性能フ
イルター１３を通過させて浄化していた。
このように、従来のクリーントンネルでは作業
域の目的とする清浄化と、室全体の空気調和とは
一応分離して対処するのが通常であつたが、この
場合には、空気調和用の空気の吹出気流（第２図
の吹出口１２からの空気吹出気流）がクリーンフ
ード４からの清浄空気の吹出気流に影響を与えな
いようにすることが必要である。このために、ク
リーンフード４からの吹出速度を速くするか、ま
たは吹出口１２からの吹出速度を遅くしたり吹出
量を低くしたりするといつた運転の仕方をしなけ
ればならない。したし、前者の処方では動力費が
嵩むことになつて不経済となるし、後者の処方で
は目標とするクリーントンネル内の空気調和を行
うための立ち上がりが遅くなり、満足な空調が出
来にくくなる。すなわち、この従来方式による場
合には、クリーンフード４から作業台へ向かう清
浄空気の流れを清浄域を維持するに必要な層流の
流れに形成することに限界が存在した。
域の目的とする清浄化と、室全体の空気調和とは
一応分離して対処するのが通常であつたが、この
場合には、空気調和用の空気の吹出気流（第２図
の吹出口１２からの空気吹出気流）がクリーンフ
ード４からの清浄空気の吹出気流に影響を与えな
いようにすることが必要である。このために、ク
リーンフード４からの吹出速度を速くするか、ま
たは吹出口１２からの吹出速度を遅くしたり吹出
量を低くしたりするといつた運転の仕方をしなけ
ればならない。したし、前者の処方では動力費が
嵩むことになつて不経済となるし、後者の処方で
は目標とするクリーントンネル内の空気調和を行
うための立ち上がりが遅くなり、満足な空調が出
来にくくなる。すなわち、この従来方式による場
合には、クリーンフード４から作業台へ向かう清
浄空気の流れを清浄域を維持するに必要な層流の
流れに形成することに限界が存在した。
本発明はこのような従来のクリーントンネルの
問題の解決を目的としたものであり、作業域の清
浄度を十分に維持しながら作業環境の空気調和を
低い設備費と動力費のもとで実施できるようにし
たクリーントンネル（作業室内に清浄な作業域を
特別に形成する清浄な作業室をいう）を提供する
ものである。すなわち本発明のクリーントンネル
は、第３図の実施例に示したように、下端に開口
部１を有する垂直壁２によつてその背後にメンテ
エリア３を形成し、清浄空気の下向きの流れを形
成させるクリーンフード４を該垂直壁２の前面上
部に設置し、このクリーンフード４の下方に作業
台５を据付けると共にこの作業台５の前に作業通
路６を形成したクリーントンネルにおいて、空調
機７をクリーントンネルの外に設置し、この空調
機７で調和した調和空気をメンテエリア３に給気
する給気路８を設けると共にメンテエリア３内の
空気を濾過してから該クリーンフード４内に供給
するフアンフイルターユニツト９を取り付け、ク
リーンフード４に供給された清浄空気を作業台５
に向かう空気の流れと作業通路６に向かう空気の
流れに分割して吹き出すことにより後者の空気の
流れを作業環境維持のための調和空気として使用
するようにしたことを特徴とする。
問題の解決を目的としたものであり、作業域の清
浄度を十分に維持しながら作業環境の空気調和を
低い設備費と動力費のもとで実施できるようにし
たクリーントンネル（作業室内に清浄な作業域を
特別に形成する清浄な作業室をいう）を提供する
ものである。すなわち本発明のクリーントンネル
は、第３図の実施例に示したように、下端に開口
部１を有する垂直壁２によつてその背後にメンテ
エリア３を形成し、清浄空気の下向きの流れを形
成させるクリーンフード４を該垂直壁２の前面上
部に設置し、このクリーンフード４の下方に作業
台５を据付けると共にこの作業台５の前に作業通
路６を形成したクリーントンネルにおいて、空調
機７をクリーントンネルの外に設置し、この空調
機７で調和した調和空気をメンテエリア３に給気
する給気路８を設けると共にメンテエリア３内の
空気を濾過してから該クリーンフード４内に供給
するフアンフイルターユニツト９を取り付け、ク
リーンフード４に供給された清浄空気を作業台５
に向かう空気の流れと作業通路６に向かう空気の
流れに分割して吹き出すことにより後者の空気の
流れを作業環境維持のための調和空気として使用
するようにしたことを特徴とする。
より具体的に説明すると、本発明においては、
空調機７からクリーントンネルの作業空間への調
和空気の直接の供給を止め、また、クリーンフー
ド４に高性能フイルターを取り付けることも止め
る。そして、これに代えて、空調機７からメンテ
エリア３への給気路８を設けると共に、メンテエ
リア３内の空気をクリーンフード４に浄化して供
給するフアンフイルターユニツト９を設置する。
このフアンフイルターユニツト９のフイルター１
４はHEPAフイルターを使用する。また、クリ
ーンフード４からの吹出口部分は、作業台５の上
部の作業域空間の面積に対応するよりも大きな開
口面積としてここにパンチングボード１５を取り
付け、このパンチングボード１５の開口部に垂れ
壁１６を取り付けて作業域への空気吹出流と作業
通路６への空気吹出流とに分流させる。そして、
作業通路６への吹出空気量をこのパンチングボー
ド１５の開口率を調節することによつて制御す
る。これは、パンチングボード１５の孔を絞る絞
り構造１８によつて簡単に行うことができる。ク
リーントンネルの全体の排気はメンテエリア３か
ら排気路１７によつて空調機７に還気として導く
が、その一部は系外に排出してもよい。
空調機７からクリーントンネルの作業空間への調
和空気の直接の供給を止め、また、クリーンフー
ド４に高性能フイルターを取り付けることも止め
る。そして、これに代えて、空調機７からメンテ
エリア３への給気路８を設けると共に、メンテエ
リア３内の空気をクリーンフード４に浄化して供
給するフアンフイルターユニツト９を設置する。
このフアンフイルターユニツト９のフイルター１
４はHEPAフイルターを使用する。また、クリ
ーンフード４からの吹出口部分は、作業台５の上
部の作業域空間の面積に対応するよりも大きな開
口面積としてここにパンチングボード１５を取り
付け、このパンチングボード１５の開口部に垂れ
壁１６を取り付けて作業域への空気吹出流と作業
通路６への空気吹出流とに分流させる。そして、
作業通路６への吹出空気量をこのパンチングボー
ド１５の開口率を調節することによつて制御す
る。これは、パンチングボード１５の孔を絞る絞
り構造１８によつて簡単に行うことができる。ク
リーントンネルの全体の排気はメンテエリア３か
ら排気路１７によつて空調機７に還気として導く
が、その一部は系外に排出してもよい。
この構成により、空調機７で製造された調和空
調機は、一旦メンテエリア３に入り、フアンフイ
ルターユニツト９で浄化されながら強制的にクリ
ーンフード４に送られ、ここから作業台５の上部
の作業域と作業通路６に分流されながら吹き出さ
れる。そして、垂直壁２の下部開口１からメンテ
エリア３に戻され、フアンフイルターユニツト９
に吸気されるか排気路１７に排気される。従つ
て、清浄な作業域を形成するための浄化空気の吹
出しと作業環境を維持するための調和空気の吹出
しとが同時になされるので、つまり、クリーント
ンネルへの空気吹出はクリーンフドの単一吹出と
なつて気流が互いに影響しあうことがなくなるの
で、作業域に流れる清浄空気の流れは層流とな
り、従来のようにこれを分離していた方式の場合
に存在して既述の問題が回避され、低い動力費の
もとで従来と同等若しくはそれ以上の能力を持つ
クリーントンネルを形成することができる。ま
た、クリーンフード４から作業台５の上部への作
業域への浄化空気の吹出量は、作業通路６への吹
出量の調節によつて一方を多くすれば他方が少な
くなるという逆の関係をもつて簡便に調整ができ
るので、作業域を必要十分な清浄度に制御するこ
とが容易にできるようになり、この点でも従来の
クリーントンネルでは果たせなかつた機能を発揮
する。
調機は、一旦メンテエリア３に入り、フアンフイ
ルターユニツト９で浄化されながら強制的にクリ
ーンフード４に送られ、ここから作業台５の上部
の作業域と作業通路６に分流されながら吹き出さ
れる。そして、垂直壁２の下部開口１からメンテ
エリア３に戻され、フアンフイルターユニツト９
に吸気されるか排気路１７に排気される。従つ
て、清浄な作業域を形成するための浄化空気の吹
出しと作業環境を維持するための調和空気の吹出
しとが同時になされるので、つまり、クリーント
ンネルへの空気吹出はクリーンフドの単一吹出と
なつて気流が互いに影響しあうことがなくなるの
で、作業域に流れる清浄空気の流れは層流とな
り、従来のようにこれを分離していた方式の場合
に存在して既述の問題が回避され、低い動力費の
もとで従来と同等若しくはそれ以上の能力を持つ
クリーントンネルを形成することができる。ま
た、クリーンフード４から作業台５の上部への作
業域への浄化空気の吹出量は、作業通路６への吹
出量の調節によつて一方を多くすれば他方が少な
くなるという逆の関係をもつて簡便に調整ができ
るので、作業域を必要十分な清浄度に制御するこ
とが容易にできるようになり、この点でも従来の
クリーントンネルでは果たせなかつた機能を発揮
する。
このように、本発明によると、従来のクリーン
トンネルでは成し得なかつた空調機送風動力の節
減がなされると共にHEPAフイルターを内装し
た特別製のクリーンフードに構成しなくてもよい
から設備費も低減するようになり、また層流の形
成が確実になつて、総合的には非常に合理的なク
リーントンネルを形成することができる。なお、
本明細書においてトンネルという語は作業員や生
産品がこの中を出入する作業室というような意味
であり、その室の形状は長く延びたいわゆるトン
ネル形状のものに限られず、短いものに対しても
本発明は適用されるものである。
トンネルでは成し得なかつた空調機送風動力の節
減がなされると共にHEPAフイルターを内装し
た特別製のクリーンフードに構成しなくてもよい
から設備費も低減するようになり、また層流の形
成が確実になつて、総合的には非常に合理的なク
リーントンネルを形成することができる。なお、
本明細書においてトンネルという語は作業員や生
産品がこの中を出入する作業室というような意味
であり、その室の形状は長く延びたいわゆるトン
ネル形状のものに限られず、短いものに対しても
本発明は適用されるものである。
第１図はクリーントンネルの一般的な形状を平
面的に見た一部平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ
線の断面を拡大してこの部分の空気処理系統を図
解的に示した従来のクリーントンネルの代表例の
略断面図、第３図は第２図と同様の関係をもつて
示した本発明のクリーントンネルの例を示す略断
面図である。 １……開口、２……垂直壁、３……メンテエリ
ア、４……クリーンフード、５……作業台、６…
…作業通路、７……空調機、８……給気路、９…
…フアンフイルターユニツト、１４……高性能フ
イルター、１５……パンチングボード、１６……
垂れ壁。
面的に見た一部平面図、第２図は第１図のＸ−Ｘ
線の断面を拡大してこの部分の空気処理系統を図
解的に示した従来のクリーントンネルの代表例の
略断面図、第３図は第２図と同様の関係をもつて
示した本発明のクリーントンネルの例を示す略断
面図である。 １……開口、２……垂直壁、３……メンテエリ
ア、４……クリーンフード、５……作業台、６…
…作業通路、７……空調機、８……給気路、９…
…フアンフイルターユニツト、１４……高性能フ
イルター、１５……パンチングボード、１６……
垂れ壁。
Claims (1)
- １ 下端に開口部１を有する垂直壁２によつてそ
の背後にメンテエリア３を形成し、清浄空気の下
向きの流れを形成させるクリーンフード４を該垂
直壁２の前面上部に設置し、このクリーンフード
４の下方に作業台５を据付けると共にこの作業台
５の前に作業通路６を形成したクリーントンネル
において、空調機７をクリーントンネルの外に設
置し、この空調機７で調和した調和空気をメンテ
エリア３に給気する給気路８を設けると共にメン
テエリア３内の空気を濾過してから該クリーンフ
ード４内に供給するフアンフイルターユニツト９
を取り付け、クリーンフード４に供給された清浄
空気を作業台５に向かう空気の流れと作業通路６
に向かう空気の流れに分割して吹き出すことによ
り後者の空気の流れを作業環境維持のための調和
空気として使用するようにしたたことを特徴とす
るクリーントンネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59075075A JPS60218547A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | クリ−ントンネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59075075A JPS60218547A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | クリ−ントンネル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60218547A JPS60218547A (ja) | 1985-11-01 |
| JPS64621B2 true JPS64621B2 (ja) | 1989-01-09 |
Family
ID=13565699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59075075A Granted JPS60218547A (ja) | 1984-04-16 | 1984-04-16 | クリ−ントンネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60218547A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2582866B2 (ja) * | 1988-07-11 | 1997-02-19 | 株式会社竹中工務店 | 危険薬品使用工場等用クリーンルームの給排気方法 |
| JP4905679B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2012-03-28 | 株式会社日立プラントテクノロジー | クリーンルーム |
-
1984
- 1984-04-16 JP JP59075075A patent/JPS60218547A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60218547A (ja) | 1985-11-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |