JP4905679B2 - クリーンルーム - Google Patents
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Description
更に、浄化エリアの中央部の送風量を周辺部の送風量よりも大きくすることによって、浄化エリアの中央部に大きなダウンフローを形成することができ、部屋全体の清浄度をより向上させることができる。なお、中央部の送風量を周辺部の送風量よりも大きくする方法としては、各ファンフィルタユニットの送風量を制御する方法や、ファンフィルタユニットの設置密度を変える方法などがある。
Claims (5)
- 少なくとも一つの浄化エリアと該浄化エリアの少なくとも一辺に接するリターンエリアとが部屋の内部に形成されるクリーンルームであって、
前記浄化エリアの天井面に設けられ、天井裏空間のエアを浄化して前記浄化エリアにダウンフローするファンフィルタユニットと、
前記浄化エリアに設けられ、エアを吸い込んでダウンフローする送風ユニットと、
前記リターンエリアの天井面に形成されるリターン開口部と、
前記浄化エリアと前記リターンエリアの間の天井面から前記部屋内に垂設される垂れ壁部材と、を備え、
前記複数台のファンフィルタユニットは、前記浄化エリア内の中央部に配置されたファンフィルタユニットが、前記浄化エリア内の周辺部に配置されたファンフィルタユニットよりも大きな送風量であることを特徴とするクリーンルーム。 - 前記天井裏空間には、前記リターン開口部から前記天井裏空間に吸い込まれたエアの温度を調節する温度調節手段が設けられることを特徴とする請求項1に記載のクリーンルーム。
- 前記送風ユニットの全送風量は、前記ファンフィルタユニットの全送風量の20%以上80%以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーンルーム。
- 前記送風ユニットは、前記浄化エリア内に形成されるミニエンバイロメントの上部に設置されるとともに前記浄化エリア内のエアを吸い込んで浄化して前記ミニエンバイロメント内にダウンフローするミニエンバイロメント用ファンフィルタユニットであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1に記載のクリーンルーム。
- 前記部屋の内部には、複数の装置がその前面同士で向き合うように二列ずつに配設され、該装置の前面に前記ミニエンバイロメントが配設されることを特徴とする請求項4に記載のクリーンルーム。
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