JP2000025912A - クリーンルーム用ストッカー - Google Patents
クリーンルーム用ストッカーInfo
- Publication number
- JP2000025912A JP2000025912A JP10194854A JP19485498A JP2000025912A JP 2000025912 A JP2000025912 A JP 2000025912A JP 10194854 A JP10194854 A JP 10194854A JP 19485498 A JP19485498 A JP 19485498A JP 2000025912 A JP2000025912 A JP 2000025912A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- cassette
- fan
- filter unit
- stocker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 15
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】多段に収納するクリーンルーム用ストッカーの
清浄度維持に関する。カセットに付着していたゴミや、
カセットと仕切り板との擦れで発生したゴミなどが下方
に落下し、下部に置いていたカセットやウェハに付着す
る課題があった。 【解決手段】中央の移載ロボット１の両脇に多段収納棚
を配置し、カセット２は、空気の流れを保つ開口をもっ
た仕切り板３上に収納される。最上部全面からはファン
・フィルターユニット４より清浄空気を秒速０．２〜
０．５ｍで吹出す。各収納段下部の仕切り板３の下にフ
ァン・フィルターユニット７を設置し、各段下部で空気
を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出す。収納
棚側面はパーテーションによって外部環境と遮蔽されて
いる。格段の清浄空気吹出し速度を揃えることにより、
カセット２の収納部では各段上部ファン・フィルターユ
ニット４からの鉛直層流で清浄度を保持される。
清浄度維持に関する。カセットに付着していたゴミや、
カセットと仕切り板との擦れで発生したゴミなどが下方
に落下し、下部に置いていたカセットやウェハに付着す
る課題があった。 【解決手段】中央の移載ロボット１の両脇に多段収納棚
を配置し、カセット２は、空気の流れを保つ開口をもっ
た仕切り板３上に収納される。最上部全面からはファン
・フィルターユニット４より清浄空気を秒速０．２〜
０．５ｍで吹出す。各収納段下部の仕切り板３の下にフ
ァン・フィルターユニット７を設置し、各段下部で空気
を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出す。収納
棚側面はパーテーションによって外部環境と遮蔽されて
いる。格段の清浄空気吹出し速度を揃えることにより、
カセット２の収納部では各段上部ファン・フィルターユ
ニット４からの鉛直層流で清浄度を保持される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多段に収納するク
リーンルーム用ストッカーの清浄度維持に関する。
リーンルーム用ストッカーの清浄度維持に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来クリーンルーム用ストッカーは図２
に示すように、中央に移載ロボット１を設置し、その両
脇にカセット２を載せるために多段に仕切り板３を、ま
た最上部に清浄空気を供給するファン・フィルターユニ
ット４を配置する。仕切り板３には空気の流れを妨げな
いような開口を設け、ウェハ５が垂直姿勢になるように
カセット２を置き、ファン・フィルターユニット４から
は秒速０．２〜０．５ｍで清浄空気を吹出し、上から下
へ層流状態にして清浄度維持していた。
に示すように、中央に移載ロボット１を設置し、その両
脇にカセット２を載せるために多段に仕切り板３を、ま
た最上部に清浄空気を供給するファン・フィルターユニ
ット４を配置する。仕切り板３には空気の流れを妨げな
いような開口を設け、ウェハ５が垂直姿勢になるように
カセット２を置き、ファン・フィルターユニット４から
は秒速０．２〜０．５ｍで清浄空気を吹出し、上から下
へ層流状態にして清浄度維持していた。
【０００３】または図３に示すように、中央に移載ロボ
ット１を設置し、その両脇にカセット２を載せるために
多段に仕切り板６を、また移載ロボット１の反対側面に
清浄空気を供給するファン・フィルターユニット７を配
置する。ウェハ５が水平姿勢になるようにカセット２を
置き、ファン・フィルターユニット７からは秒速０．２
〜０．５ｍで清浄空気を吹出し、カセット２部分では水
平層流状態にして清浄度維持していた。
ット１を設置し、その両脇にカセット２を載せるために
多段に仕切り板６を、また移載ロボット１の反対側面に
清浄空気を供給するファン・フィルターユニット７を配
置する。ウェハ５が水平姿勢になるようにカセット２を
置き、ファン・フィルターユニット７からは秒速０．２
〜０．５ｍで清浄空気を吹出し、カセット２部分では水
平層流状態にして清浄度維持していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図２で示すクリーンル
ーム用ストッカーの場合、カセット２に付着していたゴ
ミやカセットと仕切り板３との擦れで発生したゴミなど
が下方に落下し、下部に置いていたカセットやウェハに
付着する課題があった。
ーム用ストッカーの場合、カセット２に付着していたゴ
ミやカセットと仕切り板３との擦れで発生したゴミなど
が下方に落下し、下部に置いていたカセットやウェハに
付着する課題があった。
【０００５】図３で示すクリーンルーム用ストッカーの
場合、カセット２収納部では水平層流で清浄度維持され
るが、移載ロボット１が動作する部分では両側から送風
されることと風速が大きくなるため乱流状態となり、カ
セット２に付着していたゴミやカセットと仕切り板６と
の擦れで発生したゴミなどがこの部分で舞い、移載中の
カセットやウェハに付着する課題があった。
場合、カセット２収納部では水平層流で清浄度維持され
るが、移載ロボット１が動作する部分では両側から送風
されることと風速が大きくなるため乱流状態となり、カ
セット２に付着していたゴミやカセットと仕切り板６と
の擦れで発生したゴミなどがこの部分で舞い、移載中の
カセットやウェハに付着する課題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のクリーンルーム用ストッカーは、各段上部に
清浄空気吹出しユニットと、各段下部に空気吸込みユニ
ットを具備し、前記各段下部空気吸込みユニットと、そ
の下段の前記各段上部清浄空気吹出しユニットとを一体
としたファン・フィルターユニットで構成し、各段内で
鉛直層流を維持することを特徴とする。
に本発明のクリーンルーム用ストッカーは、各段上部に
清浄空気吹出しユニットと、各段下部に空気吸込みユニ
ットを具備し、前記各段下部空気吸込みユニットと、そ
の下段の前記各段上部清浄空気吹出しユニットとを一体
としたファン・フィルターユニットで構成し、各段内で
鉛直層流を維持することを特徴とする。
【０００７】
【作用】上記のような構成にすれば、カセットに付着し
ていたゴミやカセットと仕切り板との擦れで発生したゴ
ミなどは下部吸込みユニットに吸取られ、下部に置かれ
ている、またはロボット動作部で移載されているカセッ
トやウェハへの付着を防止できる。またロボット動作部
も鉛直層流状態が保たれるため、何らかの発塵があって
も速やかに清浄状態に戻すことができる。
ていたゴミやカセットと仕切り板との擦れで発生したゴ
ミなどは下部吸込みユニットに吸取られ、下部に置かれ
ている、またはロボット動作部で移載されているカセッ
トやウェハへの付着を防止できる。またロボット動作部
も鉛直層流状態が保たれるため、何らかの発塵があって
も速やかに清浄状態に戻すことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明のクリーンルーム用ストッ
カーの実施例を以下に示す。 （実施例）図１は各段上部に清浄空気吹出しユニット
と、各段下部に空気吸込みユニットを具備し、前記各段
下部空気吸込みユニットと、その下段の前記各段上部清
浄空気吹出しユニットとを一体としたファン・フィルタ
ーユニットで構成し、各段内で鉛直層流を維持すること
を特徴とするクリーンルーム用ストッカーの側断面であ
る。
カーの実施例を以下に示す。 （実施例）図１は各段上部に清浄空気吹出しユニット
と、各段下部に空気吸込みユニットを具備し、前記各段
下部空気吸込みユニットと、その下段の前記各段上部清
浄空気吹出しユニットとを一体としたファン・フィルタ
ーユニットで構成し、各段内で鉛直層流を維持すること
を特徴とするクリーンルーム用ストッカーの側断面であ
る。
【０００９】中央の移載ロボット１の両脇に多段収納棚
を配置し、カセット２は、空気の流れを保つ開口をもっ
た仕切り板３上に収納される。最上部全面からはファン
・フィルターユニット４より清浄空気を秒速０．２〜
０．５ｍで吹出す。各収納段下部の仕切り板３の下にフ
ァン・フィルターユニット７を設置し、各段下部で空気
を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出す。収納
棚側面はパーテーションによって外部環境と遮蔽されて
いる。
を配置し、カセット２は、空気の流れを保つ開口をもっ
た仕切り板３上に収納される。最上部全面からはファン
・フィルターユニット４より清浄空気を秒速０．２〜
０．５ｍで吹出す。各収納段下部の仕切り板３の下にフ
ァン・フィルターユニット７を設置し、各段下部で空気
を吸込むと同時にその下の段に清浄空気を吹出す。収納
棚側面はパーテーションによって外部環境と遮蔽されて
いる。
【００１０】格段の清浄空気吹出し速度を揃えることに
より、カセット２の収納部では各段上部ファン・フィル
ターユニット４からの鉛直層流で清浄度を保持される。
移載ロボット２の動作部では、最上部ファン・フィルタ
ーユニット７からの鉛直層流で清浄度を保持される。こ
の時カセット２をウェハ５が垂直姿勢となるように保管
すれば、鉛直層流を乱しにくい。
より、カセット２の収納部では各段上部ファン・フィル
ターユニット４からの鉛直層流で清浄度を保持される。
移載ロボット２の動作部では、最上部ファン・フィルタ
ーユニット７からの鉛直層流で清浄度を保持される。こ
の時カセット２をウェハ５が垂直姿勢となるように保管
すれば、鉛直層流を乱しにくい。
【００１１】
【発明の効果】本発明のクリーンルーム用ストッカー
は、カセット収納部では各段毎にファン・フィルターユ
ニットからの鉛直層流で清浄度を保持され、移載ロボッ
トの動作部では最上部ファン・フィルターユニットから
の鉛直層流で清浄度を保持される。そのため収納部間の
影響、収納部とロボット移載部間の影響がなく、ストッ
カー内全体が清浄状態に保持されるという効果がある。
は、カセット収納部では各段毎にファン・フィルターユ
ニットからの鉛直層流で清浄度を保持され、移載ロボッ
トの動作部では最上部ファン・フィルターユニットから
の鉛直層流で清浄度を保持される。そのため収納部間の
影響、収納部とロボット移載部間の影響がなく、ストッ
カー内全体が清浄状態に保持されるという効果がある。
【図１】本発明のクリーンルーム用ストッカーの側断面
図。
図。
【図２】従来のクリーンルーム用ストッカーの側断面
図。
図。
【図３】従来のクリーンルーム用ストッカーの側断面
図。
図。
１・・・移載ロボット ２・・・カセット ３・・・仕切り板 ４・・・ファン・フィルターユニット ５・・・ウェハ ６・・・仕切り板 ７・・・ファン・フィルターユニット
Claims (1)
- 【請求項１】上下に多段で収納するクリーンルーム用ス
トッカーにおいて、各段上部に清浄空気吹出しユニット
と、各段下部に空気吸込みユニットを具備し、前記各段
下部空気吸込みユニットと、その下段の前記各段上部清
浄空気吹出しユニットとを一体としたファン・フィルタ
ーユニットで構成し、各段内で鉛直層流を維持すること
を特徴とするクリーンルーム用ストッカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10194854A JP2000025912A (ja) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | クリーンルーム用ストッカー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10194854A JP2000025912A (ja) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | クリーンルーム用ストッカー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000025912A true JP2000025912A (ja) | 2000-01-25 |
Family
ID=16331397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10194854A Withdrawn JP2000025912A (ja) | 1998-07-09 | 1998-07-09 | クリーンルーム用ストッカー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000025912A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103203349A (zh) * | 2012-10-11 | 2013-07-17 | 江苏永和制药机械有限公司 | 胶塞转运系统 |
| JP2013177215A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
| CN109178742A (zh) * | 2018-08-02 | 2019-01-11 | 王金玉 | 一种物流仓储存放架 |
| JP2023018296A (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-08 | 信越半導体株式会社 | クリーンルーム |
-
1998
- 1998-07-09 JP JP10194854A patent/JP2000025912A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013177215A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
| CN103203349A (zh) * | 2012-10-11 | 2013-07-17 | 江苏永和制药机械有限公司 | 胶塞转运系统 |
| CN109178742A (zh) * | 2018-08-02 | 2019-01-11 | 王金玉 | 一种物流仓储存放架 |
| CN109178742B (zh) * | 2018-08-02 | 2020-11-03 | 滁州宇美塑业有限公司 | 一种物流仓储存放架 |
| JP2023018296A (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-08 | 信越半導体株式会社 | クリーンルーム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051004 |