JP2000161737A

JP2000161737A - 無塵ストッカ

Info

Publication number: JP2000161737A
Application number: JP10336079A
Authority: JP
Inventors: Akira Hirai; 明平井
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 1998-11-26
Filing date: 1998-11-26
Publication date: 2000-06-16
Anticipated expiration: 2018-11-26
Also published as: JP4187847B2

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーンスーツなどの物品の出入れに際し、
外気が無塵ストッカへ侵入する心配のないストッカ構造
を提供する。【解決手段】高さ略中央に物品出入れ口２１、下部に
外気取入れ口２２を備えたことを特徴とする。物品収納
空間２８を正圧に保ち、物品出入れ口２１からエアを吹
出す。同量の外気を外気取入れ口２２からダクト４０へ
取込む。【効果】物品出入り口からは常にエアが適量吹出し、
同量の外気を外気取入れ口から取入れるようにしたの
で、物品出入り口から外気が侵入する心配はなく、物品
収納空間が外気で汚染される心配はない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクリーンスーツを収
納するのに好適な無塵ストッカに関する。ここで無塵は
許容値を超える塵が存在しないこと、ストッカはロッ
カ、保管箱などの収納容器を意味する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造ラインにおけるクリーンルー
ムやバイオ研究のためのクリーンルームに入るには、普
通の衣服をクリーンスーツ（無塵服）に着替え、エアシ
ャワー室で塵を除くことが義務付けられている。塵を持
込むとクリーンルームのクリーン度が低下するからであ
る。無塵化を進める上ではクリーンスーツの管理は重要
であり、無塵処理済みのクリーンスーツを普通の環境に
置くとたちまち汚れてしまうから、クリーンスーツはク
リーンルームなみの無塵ストッカに入れておくことが望
ましい。

【０００３】この様な無塵ストッカに関する技術とし
て、例えば実開昭６２−１４７８３５号公報「エアシャ
ワー付きロッカー装置」が知られており、このロッカー
装置のロッカー５（符号は公報のものを流用。）は、同
公報の第１図によれば、エアシャワ室３に隣接した更衣
室４内に配置したものであり、第１図のＩ−Ｉ線断面図
である第２図によれば、更衣室４の一部を仕切って構成
したものであり、更衣室４を強制循環するクリーンエア
の一部を分岐して符号２６のパンチングメタルから吹込
み、床のプレフィルタ１３を介して戻すことで、ロッカ
ー５の内部をクリーンに保つことができると言うもので
ある。

【０００４】上記公報の第１図、第２図から明らかなよ
うに、ロッカー５はクリーンルームの付属備品として取
扱われ、クリーンルームＣＲとともに設置するエアシャ
ワ室３や更衣室４とともに設備する重要備品とされてき
た。更衣室４に一体形成したロッカー５は、当然のこと
ながら数を変更したり、位置を変更することはできな
い。クリーンルームで取扱う製品が変わることや生産量
を増減するなどの理由により、クリーンルームに出入り
する要員の数が変化することは大いにある。しかし、上
記ロッカー５の構造では要員の数の変化には対応できな
い。そこで、運搬可能な無塵ストッカが必要となる。

【０００５】図６は従来の代表的な無塵ストッカの外形
図であり、無塵ストッカ１００は、底１０１、左・右壁
１０２，１０３、奥壁１０４、天井１０５からなるボッ
クスの前面開口を透明シート１０６，１０７で塞ぎ、天
井１０５にファンフィルタユニット１１０（詳細は次図
で説明する。）を取付けたものである。１０８はキャス
タ、１０９はレベルアジャスタであり、キャスタ１０８
にて無塵ストッカ１００を好みの場所まで移動し、レベ
ルアジャスタ１０９を延ばすことで無塵ストッカ１００
の水平出しと床への固定とを実施することができる。

【０００６】図７は図６の断面図兼作用図であり、ファ
ンフィルタユニット１１０はダクト１１１に布フィルタ
１１２、モータ付きファン１１３、高性能フィルタ１１
４を上から下へ順に配置したものである。竿部材１１５
にクリーンスーツ１１６を吊り下げておき、モータ付き
ファン１１３を運転すれば、外気は布フィルタ１１２及
び高性能フィルタ１１４でクリーンになり、このクリー
ンなエアが無塵ストッカ１００の空間を満たした後、床
１０１の通孔１１７を通じて無塵ストッカ１００外へ出
る。この様に無塵ストッカ１００の収納空間をクリーン
なエアで満たしておくことにより、クリーンスーツ１１
６をクリーナ状態に保っておくことができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、クリーンスー
ツ１１６の出入れの度に、透明シート１０６，１０７を
開けなければならず、その度に外気が無塵ストッカ１０
０内部に侵入する虞れがある。外気はクリーンな空気に
比べて多くの塵を含むため無塵ストッカ１００内が汚れ
る。この対策として、ファンフィルタユニット１１０の
能力を格段に大きくするしかなく、そうするとファンフ
ィルタユニット１１０が大型になること及び消費電力が
倍増することとなり、設備費用及び運転費用の双方が嵩
むことになる。そこで、本発明の目的の一つはクリーン
スーツなどの物品の出入れに際し、外気が無塵ストッカ
へ侵入する心配のない無塵ストッカ構造を提供する。

【０００８】また、透明シート１０６，１０７を人手で
開けるため、この透明シート１０６，１０７に指紋など
の汚れが着きやすく、この汚れが無塵ストッカ１００の
クリーン度を劣化させる要因となる。そこで、本発明の
目的の一つは人手で開閉する透明シートを廃止すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１は、高さ略中央に物品出入れ口、下部に外気
取入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井
にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボ
ックスと、床に開けたエア排出孔と、天井に開けた複数
個のエア吐出孔と、エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエ
アダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフ
ィルタと、から無塵ストッカを構成する。

【００１０】前壁の高さ略中央に開けた物品出入れ口は
常に開いたままである。クリーンスーツなどの物品はこ
の物品出入れ口を介して出入れする。エアダクト及びフ
ァンの作用で、物品出入れ口からは常にエアが適量吹出
し、同量の外気を外気取入れ口から取入れる。従って、
物品出入れ口から外気が侵入する心配はなく、物品収納
空間が外気で汚染される心配はない。

【００１１】請求項２は、高さ略中央に物品出入れ口を
備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った
物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、
床に開けたエア排出孔と、天井に開けた複数個のエア吐
出孔と、エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクト
と、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタ
と、ファンの一次側においてエアダクトに取付けた外気
取入れ口と、から無塵ストッカを構成する。

【００１２】請求項１と同様に、前壁の高さ略中央に開
けた物品出入れ口は常に開いたままである。クリーンス
ーツなどの物品はこの物品出入れ口を介して出入れす
る。エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口から
は常にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口か
ら取入れる。従って、物品出入れ口から外気が侵入する
心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はな
い。

【００１３】請求項３は、床に開けたエア排出孔は、床
の前縁近傍に設けたものであることを特徴とする。これ
により、外気取入れ口からの気流による床の塵の舞い上
りを防ぐことができる。

【００１４】請求項４は、エアカーテンを形成するスリ
ットを、天井の前縁に設けたことを特徴とする。ダクト
を通るクリーンエアの一部をエア吐出孔を介して物品収
納空間へ吹出し、残部をスリットを介して物品収納空間
へ吹出す。ただし、スリットは前縁に設けてあるため、
エアカーテンは前壁の背面に沿って流下し、物品出入れ
口から外へ出ることになる。エア吐出孔からだけエアを
物品収納空間へ吹出すものに比べ、エアをエアカーテン
とエア吐出孔とに二分すれば、エアカーテンは遮断作用
が大きいので少量のエアで外気の侵入を抑えることがで
きる。従って、ファンの吐出エア量を抑えることができ
る。ファンの吐出エア量が少量になればファンを運転す
るために必要な電気エネルギーを節約することができ
る。

【００１５】請求項５は、床、奥壁及び天井の外側に外
床、外奥壁、外天井を間隔を置いて配置し、床と外床、
奥壁と外奥壁及び天井と外天井とでエアダクトの要部を
構成することにより、大きなボックスにエアダクトを内
蔵したことを特徴とする。二重壁構造を採用し、壁間空
間をエア通路にしたので、エアダクトが露出すること無
く、見栄えが良くなる。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図に基
づいて以下に説明する。なお、請求項１及び請求項３に
係る無塵ストッカ１０は図１〜図３で説明し、請求項２
及び請求項３に係る無塵ストッカ１０Ｂ，１０Ｃは図５
で説明する。図１は本発明に係る無塵ストッカの断面図
であり、無塵ストッカ１０は、高さ略中央に物品出入れ
口２１、下部に外気取入れ口２２を備えた前壁２３で、
床２４、左右の壁２５，２５（手前の壁２５は不図
示）、奥壁２６及び天井２７にて囲った物品収納空間２
８の前面開口２９を閉じた物品収納ボックス２０と、床
２４の前縁近傍に開けたエア排出孔３１・・・（・・・は複数
個を示す。以下同様。）と、天井２７に等間隔に開けた
複数個のエア吐出孔３２・・・及び前縁に開けたスリット
３３と、エア排出孔３１とエア吐出孔３２とを繋ぐエア
ダクト４０と、このエアダクト４０に介在させた第１次
フィルタ４１、モータ付きファン４２及び第２次フィル
タ４３と、からなる。

【００１７】本例ではエアダクト４０は、床２４の下方
に外床４４を配置し、奥壁２６の外側に外奥壁４６を配
置し、天井２７の上方に外天井４７を配置し、相互の隙
間をエア通路にしたものである。いわゆる２重壁構造体
であるから、外寸法に比較して物品収納空間２８は小さ
くなるが、エアダクト４０を内蔵したことになるので、
見栄えが良くなる。しかし、エアダクト４０を外置き独
立ダクトにすることは差支えない。４８は竿部材、４９
はハンガ、５０は物品の一例としてのクリーンスーツで
ある。

【００１８】第１次フィルタ４１は、捕集効率が重量法
で４５〜９０％、圧損が１０〜５０Ｐａのものが好適で
ある。第２次フィルタ４３は、高性能フィルタと称する
もので、捕集効率が計数法（０．３μｍ、Ｄ．Ｏ．Ｐエ
アロゾル）で９９．９７％、初期圧損１８ｍｍ水柱（１
７５Ｐａ）のものが好適である。第１・２次フィルタ４
１，４３共にフィルタ面積が大きいほど寿命が長くなる
ので、図面表裏方向へも延ばした広面積のものを使用す
る。

【００１９】天井２７は開口率｛（孔面積の総和／孔な
し平板面積）×１００｝が２０〜４０％のパンチングメ
タルを採用すると良い。パンチングメタルは入手容易で
安価である。しかし、孔なし平板に後から適当に孔を開
けることは差支えない。

【００２０】図２は本発明に係る無塵ストッカの斜視図
であり、前壁２３の好適構成例を示す。前壁２３は高さ
略中央に物品出入れ口２１を設けるために、上部を樹脂
シート５２で塞ぎ、下部をアコーデオンカーテン５３，
５３で塞いだものであり、そのために横桁５４及び縦枠
５５をＴ字状に取着け、横桁５４にカーテンレール５６
を取着け、縦枠５５に固定側マグネット５７・・・を埋め
込む。

【００２１】アコーデオンカーテン５３，５３の上縁に
カーテンランナ５８・・・を取付け、これらのカーテンラ
ンナ５８・・・を前記カーテンレール５６に嵌合し、左又
は右端部をビスＢ・・・で固定することで、アコーデオン
カーテン５３，５３を必要なときにのみ左右に開くこと
ができる。ただし、通常はアコーデオンカーテン５３，
５３は閉じ、マグネット片５９・・・を固定側マグネット
５７・・・に吸着させておく。前記樹脂シート５２及びア
コーデオンカーテン５３，５３は、透明な帯電防止ビニ
ルカーテンが好適である。

【００２２】前壁２３の下部を塞ぐ部材として、アコー
デオンカーテン５３，５３を採用したのは、床２４の清
掃、点検若しくは大物の出入れを考慮したものである。
しかし、頻度が小さいので、適当な平板を左右壁２５，
２５の前縁にビス止めするものであってもよく、この意
味からも前壁２３は物品出入れ口２１及び外気取入れ口
２２（図１参照）を除いて全面的に塞ぐ壁であると言え
る。ただし、物品出入れ口２１と外気取入れ口２２とを
前壁２３にともに設けたので、双方の開口の様子を容易
に観察することができ、特に外気取入れ口２２が異物で
塞がれたとしても、そのことを察知し異物を除去する等
の対策を容易に講じることができる。

【００２３】以上に述べた無塵ストッカの作用を次に説
明する。図３（ａ），（ｂ）は本発明に係る無塵ストッ
カの作用説明図である。（ａ）において、ファン４２を
運転すると、ファン４２の吸引作用により、物品収納空
間２８下部のＱ１のエアと、外気取入れ口２２を通じて
進入するＱ２のエアとの合計（Ｑ１＋Ｑ２）がエア排出
孔３１を通ってファン４２に至る。Ｑ１＋Ｑ２のエアを
ファン４２で昇圧し、第２次フィルタ４３を通じて下方
へ流す。このクリーンエアはスリット３３を通って吹出
すＱ３のエアカーテンとエア吐出孔３２・・・を通って吹
出すＱ４のエアとに分れるが共に物品収納空間２８に吹
出す。

【００２４】但し、エアカーテンのＱ３は樹脂シート５
２の背面に沿って流下し、物品出入れ口２１から流れ出
る。従って物品出入れ口２１から漏れるエア量Ｑ５はエ
アカーテンのＱ３とほぼ等量にすることが望ましい。ま
た、エア量Ｑ２とエア量Ｑ５とは必然的に等しくなるた
め、Ｑ１＝Ｑ４となる。

【００２５】ここで、本発明の無塵ストッカ１０の圧
力、流速、寸法などの具体例を述べる。物品収納空間２
８はドラフト作用により、底２４と天井２７では圧力に
差があるが、平均値で＋０．６Ｐａ（＋は正圧。外気を
基準とする。）は確保したい。そのためには、スリット
３３からのＱ３に係る流速を０．８〜１．１ｍ／ｓの範
囲にする。０．８ｍ／ｓ未満ではカーテンの機能が乏し
くなる。又、１．１ｍ／ｓを超えると乱流が発生し、外
気を巻き込むなどしてクリーン度が低下するからであ
る。

【００２６】エア吐出孔３２・・・からのＱ４に係るエア
流速は０．２〜０．４ｍ／ｓの範囲として整流にすると
よい。０．２ｍ／ｓ未満では物品収納空間２８を正圧に
保つことが困難になる。又、０．４ｍ／ｓを超えると整
流が維持できなくなり、かつエネルギー消費が課題とな
って好ましくない。

【００２７】樹脂シート５２の高さＨ１は、エアカーテ
ンを安定的に形成する上で１００ｍｍ以上であればよい
が、ここでは約６００ｍｍとする。物品出入れ口２１の
高さｈ１は、約６００ｍｍとする。アコーデオンカーテ
ン５３の高さＨ２は、約８００ｍｍとする。そして、外
気取入れ口２２の高さｈ２は、約５０ｍｍとする。

【００２８】（ｂ）は、クリーンスーツ５０を白抜き矢
印の如く物品出入れ口２１を通じて取り出すときの様子
を示す。エアの流れは（ａ）と同一である。物品出入れ
口２１の高さ寸法を約６００ｍｍとすれば、原則として
物品出入れ口２１のみでクリーンスーツ５０を出入れす
ることは可能である。取扱が雑で上方の樹脂シート５２
にクリーンスーツ５０が触れたとしても、樹脂シート５
２であれば可撓性に富むので図の様に撓みクリーンスー
ツ５０の出入れを妨げることはない。

【００２９】樹脂シート５２が若干湾曲したとしても、
エアカーテンＱ３が樹脂シート５２の背面に沿って流
れ、物品出入れ口２１から吹出すため、クリーンスーツ
５０の出入れに伴なって外気が物品出入れ口２１を介し
て物品収納空間２８に侵入する虞れはない。また、下部
のアコーデオンカーテン５３については、横桁５４がプ
ロテクタとなっており、クリーンスーツ５０が横桁５４
に触れることはあっても、アコーデオンカーテン５３に
触れる虞れはない。

【００３０】なお、底２４のエア排出孔３１の近傍は、
外気Ｑ２を取込むために負圧となっている。しかし、こ
の負圧の部分はごく限られており、物品収納空間２８の
底のごく一部であるため、外気が物品収納空間２８に分
散することはない。また、床２４の前縁近傍にエア排出
孔３１を設けことにより、外気取入れ口２２からの気流
による床２４の塵の舞い上げを抑えることができる。

【００３１】図４（ａ），（ｂ）は本発明に対する比較
例図である。図３（ａ）で示したとおりに、本発明の無
塵ストッカ１０は、常時開放の物品出入れ口２１を設け
たこと、同じく外気取入れ口２２を設けたこと、及びエ
アダクト４０でエアを循環させることを構造的な特徴と
する。これらの特徴の意義を比較例を引用して説明す
る。

【００３２】図４（ａ）はアコーデオンカーテン５３を
下方へ延長して外気取入れ口を無くした比較例である。
この比較例では物品出入れ口２１のみが外気に通じる開
口であるため、物品出入れ口２１からＱ５だけエアが吹
出すようにすれば、このＱ５と同量のエアＱ６が図の様
に物品収納空間２８に侵入する。これでは外気でクリー
ンスーツ５０が汚染される虞れがある。従って、低い位
置に設けた外気取入れ口は不可欠である。

【００３３】図４（ｂ）は従来の技術で述べた無塵スト
ッカ１００の透明シート１０６，１０７の途中に物品出
入れ口１２０を設けたところの比較例であり、勿論透明
シート１０６，１０７は固定板に替えてもよい。物品出
入れ口１２０からのエアの吹出し量をＱ５、通孔１１７
からのエア吹出し量をＱ７とすれば、ファン１１３及び
フィルタ１１２，１１４を通るエア量はＱ５＋Ｑ７とな
り、特にＱ５が大きいため、フィルタ１１２，１１４、
特にフィルタ１１４を頻繁に清掃若しくは交換しなけれ
ばならずメンテナンスコストが大幅にアップする。

【００３４】この点、図３（ａ）は、大量のクリーンエ
アＱ４（＝Ｑ１）に少量の外気Ｑ２が混じったものをフ
ィルタ４３で処理するので、フィルタ４３のメンテナン
スコストを抑えることができる。従って、本発明のエア
循環方式は、図４（ｂ）の構造（エア１パス方式＋物品
出入れ口）より優れていると言える。

【００３５】図５（ａ），（ｂ）は本発明の係る無塵ス
トッカの別実施例図である。本発明は上述したとおりエ
ア循環方式と外気取入れとを組合わせたものであり、フ
ァン４２の１次側（吸込側）であれば、外気取入れ口を
自由に設けることができる。（ａ）の無塵ストッカ１０
Ｂは、前壁の下部を比較的気密性のよいシャッタ５３Ｂ
で塞ぎ、外気取入れ口２２Ｂを床２４より下位で且つ外
床４４より上位の範囲においてエアダクト４０に設けた
ものである。また、床２４のエア排出孔３１・・・は平均
的に分散させた状態で開けるとよい。この結果、外気Ｑ
２は物品収納空間２８に侵入する虞れが無く、物品収納
空間２８のクリーン度を容易に高めることができる。

【００３６】（ｂ）の無塵ストッカ１０Ｃは、ダクト４
０の途中、具体的には外奥壁４６の高さ略中央に外気取
入れ口２２Ｃを取付けたものであり、この外気取入れ口
２２Ｃから外気Ｑ２を取入れればよい。ただし、ファン
４２に接近しているため、Ｑ２が過大となり、エアＱ１
が確保できない虞れがあるので、外気取入れ口２２Ｃに
弁６１を取付け、流量を調整するようにすることが望ま
しい。そして、一般に、重い塵は床に溜まるため、この
例の様に外気取入れ口２２Ｃを十分に高い位置に設けれ
ば、比較的塵の含有率の少ない外気を取入れことがで
き、フィルタ４３の長寿命化を図ることができる。

【００３７】加えて、外気取入れ２２Ｂ，２２Ｃをエア
ダクト４０の適当な位置に設けるようにしたので、構造
設計の自由度が増し、構造の多様化が図れる。

【００３８】上記（ａ），（ｂ）に示した例に対して、
図１若しくは図３（ａ）で示した実施例は、エアＱ１と
外気Ｑ２とをエア排出孔３１・・・で一括してエアダクト
４０に取込むようにしたことを特徴とする。それだけ
に、図１若しくは図３（ａ）で示した実施例は構造が極
めて簡単であり、使い勝手が良好である。従って、無塵
ストッカ１０，１０Ｂ，１０Ｃの何れを採用するかは、
使用環境、使用条件、クリーン度などを考慮して決定す
ればよい。

【００３９】尚、請求項１の無塵ストッカは、本実施例
の様にエアダクト４０を内蔵したもの、エアダクト４０
を外置きしたものの何れであってもよい。更に、エアカ
ーテンのためのスリット３３を備えるもの、備えないも
のの何れであってもよい。また、無塵ストッカにキャス
タやレベルアジャスタを備えることは好ましいことであ
る。

【００４０】さらには、本発明の無塵ストッカにクリー
ンスーツ以外の物品（手袋、靴、ゴーグル）を入れるこ
とは可能であり、無塵処理した又はする物品であれば部
品の種類、形状を限るものではない。なお、この場合上
記物品を整理する棚を設けても良く、その棚は奥壁２６
の床２４付近に設置されることが好ましい。物品収納空
間２８の気流を最も乱しにくい位置だからである。

【００４１】

【発明の効果】本発明は上記構成により次の効果を発揮
する。請求項１では、前壁の高さ略中央に開けた物品出
入れ口は常に開いたままとし、クリーンスーツ等の物品
はこの物品出入れ口を介して出入れするようにし、エア
ダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常にエ
アが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取入れ
るようにしたので、物品出入れ口から外気が侵入する心
配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配はな
い。物品の出入れの度に透明シート（カーテン）を開け
る必要が無いので、指紋などの汚れで物品収納空間を汚
染する心配はない。

【００４２】加えて、物品出入れ口と外気取入れ口とを
前壁にともに設けたので、双方の開口の様子を容易に観
察することができ、特に外気取入れ口が異物で塞がれた
としても、そのことを察知し異物を除去する等の対策を
容易に講じることができる。

【００４３】請求項２も、前壁の高さ略中央に開けた物
品出入れ口は常に開いたままとし、クリーンスーツ等の
物品はこの物品出入れ口を介して出入れするようにし、
エアダクト及びファンの作用で、物品出入れ口からは常
にエアが適量吹出し、同量の外気を外気取入れ口から取
入れるようにしたので、物品出入れ口から外気が侵入す
る心配はなく、物品収納空間が外気で汚染される心配は
ない。物品の出入れの度に透明シート（カーテン）を開
ける必要が無いので、指紋などの汚れで物品収納空間を
汚染する心配はない。

【００４４】加えて、外気取入れ口をエアダクトの適当
な位置に設けるようにしたので、構造設計の自由度が増
し、構造の多様化が図れる。

【００４５】請求項３は、床に開けたエア排出孔は、床
の前縁近傍に設けたものであることを特徴とする。これ
により、外気取入れ口からの気流による床の塵の舞い上
りを防ぐことができる。

【００４６】請求項４は、エアカーテンを形成するスリ
ットを、天井の前縁に設けたことを特徴とする。これに
より、外気取入れ口から取入れる外気量とほぼ同量のク
リーンエアをエアカーテンとして吹出すスリットを天井
の前縁に設け、エアカーテンを前壁の背面に沿って流下
させ、物品出入れ口から外へ出すことができるので、物
品出入れ口から外気が侵入してくることを効果的に抑制
することができる。この結果、エアを循環させるファン
の容量を落とすことも可能であり、設備費及び運転費用
の削減が可能となる。

【００４７】請求項５は、大きなボックスにエアダクト
を内蔵したので、無塵ストッカは単純なボックスとな
り、突起物が無いので、見栄えが良くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る無塵ストッカの断面図

【図２】本発明に係る無塵ストッカの斜視図

【図３】本発明に係る無塵ストッカの作用説明図

【図４】本発明に対する比較例図

【図５】本発明の係る無塵ストッカの別実施例図

【図６】従来の代表的な無塵ストッカの外形図

【図７】図６の断面図兼作用図

【符号の説明】

１０，１０Ｂ，１０Ｃ…無塵ストッカ、２０…物品収納
ボックス、２１…物品出入れ口、２２，２２Ｂ，２２Ｃ
…外気取入れ口、２３…前壁、２４…床、２５…壁、２
６…奥壁、２７…天井、２８…物品収納空間、２９…前
面開口、３１…エア排出孔、３２…エア吐出孔、３３…
スリット、４０…エアダクト、４２…ファン、４３…フ
ィルタ（第２次フィルタ）、４４…外床、４６…外奥
壁、４７…外天井、４８…竿部材、５０…物品（クリー
ンスーツ）、５２…樹脂シート、５３…アコーデオンカ
ーテン。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高さ略中央に物品出入れ口、下部に外気
取入れ口を備えた前壁で、床、左右の壁、奥壁及び天井
にて囲った物品収納空間の前面開口を閉じた物品収納ボ
ックスと、前記床に開けたエア排出孔と、前記天井に開けた複数個のエア吐出孔と、前記エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタと、か
らなる無塵ストッカ。
【請求項２】高さ略中央に物品出入れ口を備えた前壁
で、床、左右の壁、奥壁及び天井にて囲った物品収納空
間の前面開口を閉じた物品収納ボックスと、前記床に開けたエア排出孔と、前記天井に開けた複数個のエア吐出孔と、前記エア排出孔とエア吐出孔とを繋ぐエアダクトと、このエアダクトに介在させたファン及びフィルタと、前記ファンの一次側において前記エアダクトに取付けた
外気取入れ口と、からなる無塵ストッカ。
【請求項３】前記床に開けたエア排出孔は、床の前縁
近傍に設けたものであることを特徴とした請求項１又は
請求項２記載の無塵ストッカ。
【請求項４】エアカーテンを形成するスリットを、前
記天井の前縁に設けたことを特徴とする請求項１，請求
項２又は請求項３記載の無塵ストッカ。
【請求項５】前記床、奥壁及び天井の外側に外床、外
奥壁、外天井を間隔を置いて配置し、床と外床、奥壁と
外奥壁及び天井と外天井とで前記エアダクトの要部を構
成することにより、大きなボックスにエアダクトを内蔵
したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１
項記載の無塵ストッカ。