JPS58129124A - 清浄作業室 - Google Patents
清浄作業室Info
- Publication number
- JPS58129124A JPS58129124A JP57011673A JP1167382A JPS58129124A JP S58129124 A JPS58129124 A JP S58129124A JP 57011673 A JP57011673 A JP 57011673A JP 1167382 A JP1167382 A JP 1167382A JP S58129124 A JPS58129124 A JP S58129124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- passage
- clean
- working part
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体の製造などに必要とする清浄な作業環
境を作り出すための清浄作業室に関する。
境を作り出すための清浄作業室に関する。
従来、半導体製造工程に用いられていた清浄作業室の代
表的な例（全面ダウン７０一式クリーンルーム）３−第
１図に示す。
表的な例（全面ダウン７０一式クリーンルーム）３−第
１図に示す。
］鞘許面セｒ色、１は建屋、２はクリーンルーム室内、
６は高雄能ゾイルタ、４は照明灯、５は天井部多孔板、
６は床部多孔板、７は空調用給気ダクト、白は空調用戻
りダクト、９は露光、エツチング、拡散、メタライズ等
の製造ライン用機器、１０は製造ラインの水、ガス４を
供給する配管類である。
６は高雄能ゾイルタ、４は照明灯、５は天井部多孔板、
６は床部多孔板、７は空調用給気ダクト、白は空調用戻
りダクト、９は露光、エツチング、拡散、メタライズ等
の製造ライン用機器、１０は製造ラインの水、ガス４を
供給する配管類である。
図中矢印で示すように昼性能フィルタ３で処理された清
浄空気は天井全面より室内２Ｕｃ吹き出し、室内空気は
木下を通って排出される。これにより、室内全体をほば
一称な高清浄度に維持し、全工程の作業をこの清浄雰囲
気中で行えるようにしている。この全面ダウンフロ一式
クリーンルームは室全体の清浄度を制める上からは最良
の方式とされていたが、次のような欠点がある。
浄空気は天井全面より室内２Ｕｃ吹き出し、室内空気は
木下を通って排出される。これにより、室内全体をほば
一称な高清浄度に維持し、全工程の作業をこの清浄雰囲
気中で行えるようにしている。この全面ダウンフロ一式
クリーンルームは室全体の清浄度を制める上からは最良
の方式とされていたが、次のような欠点がある。
（１）清浄化区域および空調対象区域が広く、高画な高
性能フィルタを多斌に使用しているため、設備費が非常
に高い。
性能フィルタを多斌に使用しているため、設備費が非常
に高い。
（２）空調維持費、フィルタ交換費用などのランニング
コストが高い。
コストが高い。
（５）室全体の空調を行うため、装造ライン別（工程別
）の空調温度制御ができない。
）の空調温度制御ができない。
（４） ｆｆａラインのメンテナンスをクリーンルー
ム室内で行うため、それによる発塵が他の製造ライン（
工程）に及ぼす影１１Ｆが大きい。
ム室内で行うため、それによる発塵が他の製造ライン（
工程）に及ぼす影１１Ｆが大きい。
（５）床全面を多孔板としているため、床強度が弱く、
最近の微細パターンの半導体の製造には振動の点で問題
がある。
最近の微細パターンの半導体の製造には振動の点で問題
がある。
これらの欠点を改善するため、クリーントンネルと称す
るトンネル状の清浄作業室が本発明者らによって考え出
された。
るトンネル状の清浄作業室が本発明者らによって考え出
された。
第２図はクリーントンネルの長手方向に直角な断面図で
、製造ラインの作業用機ａ９を床上に向い合せに設置し
、２ラインを１組としてクリーントンネル室内に収納し
た場合を示す。支柱１０と横梁１１とで門形フレームを
組み、これに天板１２と両側の側板１５を張ってトンネ
ル状覆いを構成し、このトンネル状覆いとそれを設置す
る床面とで囲まれたクリーントンネル室内に作業用機器
９を設置する作業部１４ａと作業者が通行する通路部１
４ｂとをトンネル状覆いの長手方向に連続して設ける。
、製造ラインの作業用機ａ９を床上に向い合せに設置し
、２ラインを１組としてクリーントンネル室内に収納し
た場合を示す。支柱１０と横梁１１とで門形フレームを
組み、これに天板１２と両側の側板１５を張ってトンネ
ル状覆いを構成し、このトンネル状覆いとそれを設置す
る床面とで囲まれたクリーントンネル室内に作業用機器
９を設置する作業部１４ａと作業者が通行する通路部１
４ｂとをトンネル状覆いの長手方向に連続して設ける。
作業部１４２ｔの天井部には空気浄化要素である送風機
１５，１６、送風チャンバ１７゜１８、高性能フィルタ
１９．２０と作業部照明灯２１を収納−し、その下部の
清浄空気吹出し口に格子状の散光板２２を設置する。ま
た、通路部１４ｂの天井部空間には通路部照明灯２６を
収納し、その下部の清浄空気吹出し口に格子状の散光板
２４を設置する。２５は作業部天井と通路部天井との間
の仕折り用化粧板である。
１５，１６、送風チャンバ１７゜１８、高性能フィルタ
１９．２０と作業部照明灯２１を収納−し、その下部の
清浄空気吹出し口に格子状の散光板２２を設置する。ま
た、通路部１４ｂの天井部空間には通路部照明灯２６を
収納し、その下部の清浄空気吹出し口に格子状の散光板
２４を設置する。２５は作業部天井と通路部天井との間
の仕折り用化粧板である。
通路部１４ｂの天井高さは作業者が立って通行できる程
度に高くシ１作業部１４ａの天井高さは作業に支障がな
い限り低くする（−例を示せば、通路部天井高さ２２０
０關、作業部天井高さ１８００ｍ１ｍｌ）、作業部天井
高きはできるだけ低くした方が、作業部空間の気流の乱
れが少なく、清浄度保持性能が良くなる。
度に高くシ１作業部１４ａの天井高さは作業に支障がな
い限り低くする（−例を示せば、通路部天井高さ２２０
０關、作業部天井高さ１８００ｍ１ｍｌ）、作業部天井
高きはできるだけ低くした方が、作業部空間の気流の乱
れが少なく、清浄度保持性能が良くなる。
送風機１５．１６の運ＩＬにより、外部空気は７゜レク
ィルタ２６全通して空気吸込み口２７がら張込まれる。
ィルタ２６全通して空気吸込み口２７がら張込まれる。
作業部用送風機１５から送風チャンバ１７の送り出され
た空気は作業部用高性能フィルタ１９により清浄化され
な後、作業部天井の全面から室内の作業部１４ａへ吹き
出し、まな１通路部用送風機１６から送風チャンバ１８
へ送り出された空気は通路部用高性能フィルタ２０によ
り清浄された後、通路部天井の全面から室内の通路部１
４ｂへ吹き出す。この場合１作業部の吹出し風速は天井
全面にわたり均一である。散光板２２゜２４は照明の散
光と清浄気流の整流のために設けられたものである。
た空気は作業部用高性能フィルタ１９により清浄化され
な後、作業部天井の全面から室内の作業部１４ａへ吹き
出し、まな１通路部用送風機１６から送風チャンバ１８
へ送り出された空気は通路部用高性能フィルタ２０によ
り清浄された後、通路部天井の全面から室内の通路部１
４ｂへ吹き出す。この場合１作業部の吹出し風速は天井
全面にわたり均一である。散光板２２゜２４は照明の散
光と清浄気流の整流のために設けられたものである。
天井面から吹き出された清浄気流は図の矢印で示すよう
に室内を流れ１両側の側板１５の下部に設けた側面排気
口２８から外部の保全域へ排出される。室内圧力は排気
口２８での圧力損失分だけ外気に対し正圧となるので、
外部からの汚染空気の流入を防止できる。
に室内を流れ１両側の側板１５の下部に設けた側面排気
口２８から外部の保全域へ排出される。室内圧力は排気
口２８での圧力損失分だけ外気に対し正圧となるので、
外部からの汚染空気の流入を防止できる。
側面排気口２８は、製造ラインへの水、ガス等の配管類
や電線等の引込みにも利用される６側板１３は、作業用
機器９の補修や配管等を外部の保全域から行光々ように
、ねじＩＬめあるいは引掛金具等を用いて部分的に取り
はずせるようにしておく。まな、室内の作業環境の改善
と外部からの作業管理鳴要王、側板１６の一部を透明板
とすることがある。
や電線等の引込みにも利用される６側板１３は、作業用
機器９の補修や配管等を外部の保全域から行光々ように
、ねじＩＬめあるいは引掛金具等を用いて部分的に取り
はずせるようにしておく。まな、室内の作業環境の改善
と外部からの作業管理鳴要王、側板１６の一部を透明板
とすることがある。
第３図にはモジュール化したクリーントンネルを多数連
結してなる本方式による清浄作業室の外観を示す。
結してなる本方式による清浄作業室の外観を示す。
しかし、この方式による清浄作業室の欠点は、排気口２
８がｌ１ｌＩｉｌＩｌＩＩ阪１６の下部のみであるため
、すべての気流が（ｔｉｌｌ ４Ｉｉ排気口２８へ向っ
て流れ１作業部１４ルの吹出し風速を天井全面にわたり
均一とした場合、作業部１４ａと通路部１４ｂの気流境
界線２９は図示のようになり、通路部を通る作業者から
の発塵の影−および作業部を斜めに流れる気流のため作
業用機器９の前面に生じるうす流などにより、作業部の
清浄度保持性能が阻害されやすいこ左である。
８がｌ１ｌＩｉｌＩｌＩＩ阪１６の下部のみであるため
、すべての気流が（ｔｉｌｌ ４Ｉｉ排気口２８へ向っ
て流れ１作業部１４ルの吹出し風速を天井全面にわたり
均一とした場合、作業部１４ａと通路部１４ｂの気流境
界線２９は図示のようになり、通路部を通る作業者から
の発塵の影−および作業部を斜めに流れる気流のため作
業用機器９の前面に生じるうす流などにより、作業部の
清浄度保持性能が阻害されやすいこ左である。
本発明は、第２．３図に示した清浄作業室の利点を生か
し、欠点を改善するなめになされ念もので、作業部の清
浄気流の平均風速を通路部の清浄気流の平均風速より大
とし、かつ作業部の吹出し風速を通路部に近付くにつれ
て大とする風速分布調整手段を設けることにより、床面
からの排気を行うことなく、室内の気流状態を改善して
、°作業第４図は本発明の一夾施例を示すトンネル長手
方向に直角な断面図、第５図は天井の清浄空気吹出し部
の詳細図である。
し、欠点を改善するなめになされ念もので、作業部の清
浄気流の平均風速を通路部の清浄気流の平均風速より大
とし、かつ作業部の吹出し風速を通路部に近付くにつれ
て大とする風速分布調整手段を設けることにより、床面
からの排気を行うことなく、室内の気流状態を改善して
、°作業第４図は本発明の一夾施例を示すトンネル長手
方向に直角な断面図、第５図は天井の清浄空気吹出し部
の詳細図である。
符号９〜２８は＄２．５図と対応する部分を示すが１本
発明では、作業部天井の清浄空気吹出し口に風速分布調
整手段として、たとえば多孔板間を設ける。この多孔板
３０ば、矛５図に詳細図示し念ように内孔率を通路部１
４ｂに近付くにつれて太きくシナもので、その側板６に
近い部分では。
発明では、作業部天井の清浄空気吹出し口に風速分布調
整手段として、たとえば多孔板間を設ける。この多孔板
３０ば、矛５図に詳細図示し念ように内孔率を通路部１
４ｂに近付くにつれて太きくシナもので、その側板６に
近い部分では。
孔が小さく、空気抵抗が大きいなめ、吹出し風量、風速
は小さいが、通路部１４ｂに近い部分では、孔が大きく
、空気抵抗が小さいため、吹出し風量、風速はより大と
なり、たとえば矛５図の矢印Ａ。
は小さいが、通路部１４ｂに近い部分では、孔が大きく
、空気抵抗が小さいため、吹出し風量、風速はより大と
なり、たとえば矛５図の矢印Ａ。
Ｂ、Ｃで示すような風速分布が得られる。図で矢印の長
さが風速を表わしている。
さが風速を表わしている。
この場合、いわゆるエアーカーテンのように作業部１ｔ
ａＷの通路部１４ｂとの境界付近の風速のみを他の部分
の風速に比べ極端に大きくすると、作業者の哄部等に当
つな高速気流が動圧で作業部１４ａ内に向い１作業者か
らの発塵を飛散させる恐れがある。また、作業部全体の
吹出し風速を不必要に大きくすることは、壁面等に付着
した塵埃の飛散を招き、エネルギー的にも不経済なので
、＋４．５図に示すように、作業部内の隣接区域の風速
の差を余り大きくせずに、作業部吹出し風速を通路部に
近付くにつれて順次大きくすることが大切であり、理想
的には連続性を持つ風速分布とすることが望ましい。ま
な、通路部１４１）の風速が大き過ぎると、矛２図に示
す気流状態に近くなるので、通路部用送風機く作業部平
均風速の関係に保てば一層よい。これは、作業部用送風
機１５と通路部用送風機１６の風量を吹出し口面積に応
じて適宜設定することにより達成できる。各部風速の一
例を示せば１通路部平均風速を０．２ ｍ ／ ｓ、作
業部平均風速をｏ、 ａ ｍ ／ ｓとし、作業部内の
Ａ。
ａＷの通路部１４ｂとの境界付近の風速のみを他の部分
の風速に比べ極端に大きくすると、作業者の哄部等に当
つな高速気流が動圧で作業部１４ａ内に向い１作業者か
らの発塵を飛散させる恐れがある。また、作業部全体の
吹出し風速を不必要に大きくすることは、壁面等に付着
した塵埃の飛散を招き、エネルギー的にも不経済なので
、＋４．５図に示すように、作業部内の隣接区域の風速
の差を余り大きくせずに、作業部吹出し風速を通路部に
近付くにつれて順次大きくすることが大切であり、理想
的には連続性を持つ風速分布とすることが望ましい。ま
な、通路部１４１）の風速が大き過ぎると、矛２図に示
す気流状態に近くなるので、通路部用送風機く作業部平
均風速の関係に保てば一層よい。これは、作業部用送風
機１５と通路部用送風機１６の風量を吹出し口面積に応
じて適宜設定することにより達成できる。各部風速の一
例を示せば１通路部平均風速を０．２ ｍ ／ ｓ、作
業部平均風速をｏ、 ａ ｍ ／ ｓとし、作業部内の
Ａ。
Ｂ、Ｃ各部の吹出し風速をそれぞれ０．６ ｍ ／ ｓ
、ｏ、ａｍ／ｓ、０．２ ｍ ／ ｓと通路部に近付く
につれて順次大きくする。
、ｏ、ａｍ／ｓ、０．２ ｍ ／ ｓと通路部に近付く
につれて順次大きくする。
こうすることにより、側面排気口２８からのみ排気を行
っても、清浄気流は矛４図の矢印で示すように流れ、作
業部１４ａと通路部ｉａｂの気流境界線２９は床面近く
までほぼ垂直に立つ次状態となる。シナがって、通路部
１４ｂを通る作業者からの発塵が作業部１４ａに設置さ
れた機器９の最も清浄度を必要とする部分に流入するこ
とを防止でき、また、機器９の前後にそって清浄気流が
下降するので、うす流も生じにくく、床面から排気を行
つな場合とほぼ同称に、作業部１４ａの清浄度保持性能
を向上させることができる。しかも、床下排気ダクトを
必要としないので、工事費が安く、既設の建屋に設置す
ることも容易であり、まな、床を多孔板とすることによ
って床強度が低下することもない。
っても、清浄気流は矛４図の矢印で示すように流れ、作
業部１４ａと通路部ｉａｂの気流境界線２９は床面近く
までほぼ垂直に立つ次状態となる。シナがって、通路部
１４ｂを通る作業者からの発塵が作業部１４ａに設置さ
れた機器９の最も清浄度を必要とする部分に流入するこ
とを防止でき、また、機器９の前後にそって清浄気流が
下降するので、うす流も生じにくく、床面から排気を行
つな場合とほぼ同称に、作業部１４ａの清浄度保持性能
を向上させることができる。しかも、床下排気ダクトを
必要としないので、工事費が安く、既設の建屋に設置す
ることも容易であり、まな、床を多孔板とすることによ
って床強度が低下することもない。
風速分布調整のため、必要に応じて通路部１４ｂの清浄
空気吹出し口にも通路部用多孔板３１を設置することが
ある。作業部用多孔板５０、通路部用多り板３′１は、
照明灯２１．２りによる乱流を防止するなめ、照明灯２
ｔ、２３の下にｅ置することが望ましく、この場合は、
多孔板６０．３１に透光性材料（透明樹脂板等）を用い
る。
空気吹出し口にも通路部用多孔板３１を設置することが
ある。作業部用多孔板５０、通路部用多り板３′１は、
照明灯２１．２りによる乱流を防止するなめ、照明灯２
ｔ、２３の下にｅ置することが望ましく、この場合は、
多孔板６０．３１に透光性材料（透明樹脂板等）を用い
る。
風速分布調整手段としては、図示した多孔板間の代りに
吹出し気流の方向を変える風向板等を用いても四祢の効
果が得られる。
吹出し気流の方向を変える風向板等を用いても四祢の効
果が得られる。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、従来最
良の方式とされていた全面ダウン７０一式クリーンルー
ムに比べ、次の効果がある。
良の方式とされていた全面ダウン７０一式クリーンルー
ムに比べ、次の効果がある。
（１）清浄化区域および空調対象区域が大幅に減少する
ため、設備ｗｔが約半分で済む。
ため、設備ｗｔが約半分で済む。
（２）ランニングコストも約半分に減する。
（３）製造ライン別の空調温度制御が可能となる。
（４）製ａラインのメンテナンスが外部の保全域から行
えるので、メンテナンス作業による発塵が他の製造ライ
ンに影Ｗを及はすことを防ＩＬできる。
えるので、メンテナンス作業による発塵が他の製造ライ
ンに影Ｗを及はすことを防ＩＬできる。
（５）床強度を上げることができるので、微細加工を行
う製造ラインの振動防止の点でもすぐれている。
う製造ラインの振動防止の点でもすぐれている。
また、本発明の基礎となつな涛１．３図の方式と比べて
も次のような効果がある。
も次のような効果がある。
（６）床面からの排気によることなく、室内の気流状態
を改善して、通路部を通る作業者からの発塵の影響やう
す流などによる作業部の清浄度低下を防止し、清浄度保
持性能をさらに高めることができる。
を改善して、通路部を通る作業者からの発塵の影響やう
す流などによる作業部の清浄度低下を防止し、清浄度保
持性能をさらに高めることができる。
希１図は先行技術である全面ダウンフロ一式クリーンル
ームを示す側断面図、 ３’ｒ ２図は本発明の基礎と
なつ念トンネル式清浄作業室のトンネル長手方向に直角
な断面図、＋５図はその外観を示す斜視図、＋４図は本
発明の一実施例を示すトンネル長手方向に直角な断面図
、＋５図はその要部詳細図である。 ９：作業用機器、１２：トンネル状覆いの天板、１６：
側板％１４ａ：室内ノ作業部、１４ｂ：室内の通路部、
Ｓ５ 、１６ ：送風機、１９．２０：高性能フィルタ
、２２，２４：大外部の清浄空気吹出し口に設置した散
光板、２７：空気吸込み口、２８：側面排気口：６０：
風速分布調整手段である作業部用多孔板、Ａ、Ｂ、Ｃ：
風速分Ｒ１ｆｔ示す矢印手続補正書（方式） 事件の表示 昭和５７ 年特許願第 １１６ｙ５号発明の名称 清浄作業室 補正をする者 ２； ”ｌ ’５１０１株式会ｌ［［１立 製
作 所代 表 石 三 Ｆｌｌ 勝 茂
代 理 人 補正の対象 図面 補正の内容
ームを示す側断面図、 ３’ｒ ２図は本発明の基礎と
なつ念トンネル式清浄作業室のトンネル長手方向に直角
な断面図、＋５図はその外観を示す斜視図、＋４図は本
発明の一実施例を示すトンネル長手方向に直角な断面図
、＋５図はその要部詳細図である。 ９：作業用機器、１２：トンネル状覆いの天板、１６：
側板％１４ａ：室内ノ作業部、１４ｂ：室内の通路部、
Ｓ５ 、１６ ：送風機、１９．２０：高性能フィルタ
、２２，２４：大外部の清浄空気吹出し口に設置した散
光板、２７：空気吸込み口、２８：側面排気口：６０：
風速分布調整手段である作業部用多孔板、Ａ、Ｂ、Ｃ：
風速分Ｒ１ｆｔ示す矢印手続補正書（方式） 事件の表示 昭和５７ 年特許願第 １１６ｙ５号発明の名称 清浄作業室 補正をする者 ２； ”ｌ ’５１０１株式会ｌ［［１立 製
作 所代 表 石 三 Ｆｌｌ 勝 茂
代 理 人 補正の対象 図面 補正の内容
Claims (1)
- 少なくとも両側の側板と天井を有し、その天井部に空気
浄化要素を内蔵するトンネル状覆いと、それを設置する
床面とで囲まれた室内に、作業用機器を設置する作業部
と作業者が通行する通路部とをトンネル状覆いの長手方
向に連続して設け、その作業部と通路部にそれぞれの天
井部から清浄空気を吹き出し、両側板の下部に設けたＩ
Ｉ面排気口あ・ら室内空気を排出して、室内を清浄化す
る清浄作業室において、作業部の清浄気流の平均風速を
通路部の清浄気流の平均風速以上とし、かつ作業部の吹
出し風速を通路部に近付くにつれて順次大とする風速分
布調整手段を設けたことを特徴とする清浄作業室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57011673A JPS58129124A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 清浄作業室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57011673A JPS58129124A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 清浄作業室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129124A true JPS58129124A (ja) | 1983-08-02 |
| JPH0223775B2 JPH0223775B2 (ja) | 1990-05-25 |
Family
ID=11784501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57011673A Granted JPS58129124A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 清浄作業室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58129124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185923A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-22 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルームの形成方法 |
| JP2007160249A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55118541A (en) * | 1979-03-05 | 1980-09-11 | Sanko Kuki Sochi Kk | Downflow system laminar flow type clean room |
| JPS5631230U (ja) * | 1979-08-17 | 1981-03-26 | ||
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1370605A (en) * | 1973-02-23 | 1974-10-16 | Putsch K | Pipe wrench |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP57011673A patent/JPS58129124A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS5631230U (ja) * | 1979-08-17 | 1981-03-26 | ||
| JPS56162335A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185923A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-22 | Sanki Eng Co Ltd | クリーンルームの形成方法 |
| JPH0239696B2 (ja) * | 1983-04-07 | 1990-09-06 | Sanki Eng Co Ltd | |
| JP2007160249A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0223775B2 (ja) | 1990-05-25 |
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