JPS62297650A - コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム - Google Patents
コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ムInfo
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- JPS62297650A JPS62297650A JP61139792A JP13979286A JPS62297650A JP S62297650 A JPS62297650 A JP S62297650A JP 61139792 A JP61139792 A JP 61139792A JP 13979286 A JP13979286 A JP 13979286A JP S62297650 A JPS62297650 A JP S62297650A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、空気中の浮遊塵埃、微粒子を排除して室内
空気を清浄化するようにしたコンベンショナルフロー形
クリーンルームに関スる。
空気を清浄化するようにしたコンベンショナルフロー形
クリーンルームに関スる。
昨今では半導体を中心とする電子工業９食品。
医療分野、さらにはファインケミカル、バイオテクノロ
ジーを扱う研究、生産分野での生産環境の清浄維持を図
るために頭記したクリーンルームが広範囲な分野で適用
されるようになっている。 かかるクリーンルームは大別して層流形クリーンルーム
とコンベンショナルフロー形クリーンルームとに分けら
れる。ここで層流形クリーンルームは室内の天井全面域
に粒子捕集性能の高いＨＥＰＡフィルタ（高性能フィル
タ）を布設するとともに床面側にはフリーアクセスフロ
ア等を配備してその全面域を空気吸込口と成し、ＨＥＰ
Ａフィルタから床面側へ向けて清浄空気を吹き出すこと
により室内全域に垂直層流クリーンゾーンを形成するよ
うにしたものであり、この方式は清浄度レベルを高くす
ることができる反面、設備費、送風機の動力運転に要す
るランニングコスト等が嵩む。 これに対してコンベンショナルフロー形クリーンルーム
の従来構成は、第３図に示すように作業室となるクリー
ンルーム１に対し、該室内の天井面にＨＥＰＡフィルタ
を装備した主空気吹出口２を複数箇所に分散配備すると
ともに、床面側には室の周域複数箇所に分散して空気吸
込口３を設けて構成されている。なお４は空気調和機、
５は前記した空気吸込口３．空気調和機４．および主空
気吹出口２との間を結んで配管した室外側の給気循環ラ
イン、６は送風機である。 上記の構成で清浄運転時には空気調和機４で給気温度、
湿度をコントロールし、さらにＨＥＰＡフィルタで除塵
濾過した清浄空気を主空気吹出口２を通じてクリーンル
ーム１の室内に送り込み、室内に発生した塵埃、微粒子
等を気流とともに床面側に配備のクリーンルーム吸込口
３より回収排気して室内空気を換気する。これにより室
内空気の清浄維持が図るようになる。 かかるコンベンシラナルフロー形りリーンルームは先記
の層流形クリーンルームに比べて設備費。 ランニングコストが安価で済む他に、設備の増設。 拡張が比較的容易である等の利点がある反面、清浄性能
の面で次記のような難点がある。すなわち、（１１クリ
ーンルーム室内の場所によって空気清浄度のバラツキが
大となる。 （２）クリーンルーム室内でのプロセス活動に伴う作業
員の歩行、物品の移動１機械の運転等によりクリーンゾ
ーンの清浄度変動が大となる。 （３）室内でのプロセス活動停止、つまり発塵停止から
クリーンルーム室内の塵埃濃度が充分に低下するまでの
回復特性が低い。 一方、コンベンショナルフロー形クリーンルームに付い
て本発明者が実機試験、シュミレーション等を通じて得
た知見から、前記した清浄性低下の要因に関して次記の
ような点が確認されている。 次にこのことを第４図、第５図に付いて説明する。 まずＨＥＰＡフィルタを装備の主空気吹出口２から室内
に吹出した状態で定常気流分布を求めたところ、主空気
吹出口２から床面側の空気吸込口３に向けて流れる矢印
Ａの主気流に対し、該主気流の支配域から外れた領域、
特に天井に近い側の室内隅部、主空気吹出口相互間の中
間部など斜線で表した主空気吹出口２の周域部分、つま
り主気流Ａの死角となる部分には主気流に誘引される形
でローカルな渦等が発生した滞流域Ｐの生成が見られる
。このために滞流域Ｐに浮遊する塵埃はこの滞流域内に
閉じ込められたまま室内に滞留するので室外に排除する
ことが困難であり、かつこのことが室内の平均的な清浄
度を低下させる大きな原因となる。しかもクリーンルー
ム室内での作業プロセス活動等により室内気流が乱れる
ようになると、前記した滞流域中の塵埃が床面側に近い
作業領域に拡散してプロセス上での欠陥要因が生じるこ
とになる。
ジーを扱う研究、生産分野での生産環境の清浄維持を図
るために頭記したクリーンルームが広範囲な分野で適用
されるようになっている。 かかるクリーンルームは大別して層流形クリーンルーム
とコンベンショナルフロー形クリーンルームとに分けら
れる。ここで層流形クリーンルームは室内の天井全面域
に粒子捕集性能の高いＨＥＰＡフィルタ（高性能フィル
タ）を布設するとともに床面側にはフリーアクセスフロ
ア等を配備してその全面域を空気吸込口と成し、ＨＥＰ
Ａフィルタから床面側へ向けて清浄空気を吹き出すこと
により室内全域に垂直層流クリーンゾーンを形成するよ
うにしたものであり、この方式は清浄度レベルを高くす
ることができる反面、設備費、送風機の動力運転に要す
るランニングコスト等が嵩む。 これに対してコンベンショナルフロー形クリーンルーム
の従来構成は、第３図に示すように作業室となるクリー
ンルーム１に対し、該室内の天井面にＨＥＰＡフィルタ
を装備した主空気吹出口２を複数箇所に分散配備すると
ともに、床面側には室の周域複数箇所に分散して空気吸
込口３を設けて構成されている。なお４は空気調和機、
５は前記した空気吸込口３．空気調和機４．および主空
気吹出口２との間を結んで配管した室外側の給気循環ラ
イン、６は送風機である。 上記の構成で清浄運転時には空気調和機４で給気温度、
湿度をコントロールし、さらにＨＥＰＡフィルタで除塵
濾過した清浄空気を主空気吹出口２を通じてクリーンル
ーム１の室内に送り込み、室内に発生した塵埃、微粒子
等を気流とともに床面側に配備のクリーンルーム吸込口
３より回収排気して室内空気を換気する。これにより室
内空気の清浄維持が図るようになる。 かかるコンベンシラナルフロー形りリーンルームは先記
の層流形クリーンルームに比べて設備費。 ランニングコストが安価で済む他に、設備の増設。 拡張が比較的容易である等の利点がある反面、清浄性能
の面で次記のような難点がある。すなわち、（１１クリ
ーンルーム室内の場所によって空気清浄度のバラツキが
大となる。 （２）クリーンルーム室内でのプロセス活動に伴う作業
員の歩行、物品の移動１機械の運転等によりクリーンゾ
ーンの清浄度変動が大となる。 （３）室内でのプロセス活動停止、つまり発塵停止から
クリーンルーム室内の塵埃濃度が充分に低下するまでの
回復特性が低い。 一方、コンベンショナルフロー形クリーンルームに付い
て本発明者が実機試験、シュミレーション等を通じて得
た知見から、前記した清浄性低下の要因に関して次記の
ような点が確認されている。 次にこのことを第４図、第５図に付いて説明する。 まずＨＥＰＡフィルタを装備の主空気吹出口２から室内
に吹出した状態で定常気流分布を求めたところ、主空気
吹出口２から床面側の空気吸込口３に向けて流れる矢印
Ａの主気流に対し、該主気流の支配域から外れた領域、
特に天井に近い側の室内隅部、主空気吹出口相互間の中
間部など斜線で表した主空気吹出口２の周域部分、つま
り主気流Ａの死角となる部分には主気流に誘引される形
でローカルな渦等が発生した滞流域Ｐの生成が見られる
。このために滞流域Ｐに浮遊する塵埃はこの滞流域内に
閉じ込められたまま室内に滞留するので室外に排除する
ことが困難であり、かつこのことが室内の平均的な清浄
度を低下させる大きな原因となる。しかもクリーンルー
ム室内での作業プロセス活動等により室内気流が乱れる
ようになると、前記した滞流域中の塵埃が床面側に近い
作業領域に拡散してプロセス上での欠陥要因が生じるこ
とになる。
この発明は上記の点にかんがみなされたものであり、前
記した従来の難点を解消し、室内でのプロセス活動に支
障を与えることな（滞流域の浮遊塵埃を主気流に移動さ
せた上で速やかに室外に排除できるようにした高清浄度
の得られるコンベンジ日ナルフロー形クリーンルームを
提供することを目的とする。
記した従来の難点を解消し、室内でのプロセス活動に支
障を与えることな（滞流域の浮遊塵埃を主気流に移動さ
せた上で速やかに室外に排除できるようにした高清浄度
の得られるコンベンジ日ナルフロー形クリーンルームを
提供することを目的とする。
【発明の要点］
上記目的を達成するために、この発明はＨＥＰＡフィル
タを備えた主空気吹出口吹出す主気流の支配域外に生成
する塵埃滞流域に向けて補助空気吹出口を開口配備し、
該補助空気吹出口を通じて間欠的に補助気流を吹出すこ
とにより、定常運転時に生じた滞流域に浮遊している塵
埃を前記補助気流により滞流域から主空気吹出口側の主
気流へ移動させ、この主気流に乗せた上で空気吸込口を
通じて室外へ素早く排出できるようにしたものである。 なおこの場合には補助空気吹出口より吹出す補助気流の
風速は主気流の風速よりも大に選定するのがよ（、かつ
補助気流の吹出しを行うタイミングはクリーンルーム内
でのプロセス活動に影響を及ぼさないタンミングを選ん
で手動ないし所定の時間周期で自動的に行われる。 【発明の実施例］ 第１図、第２図はこの発明の実施例によるクリーンルー
ムの構成配置図を示すものであり、第３図に対応する同
一部材には同じ符号が付しである。 すなわちこの発明により、クリーンルーム１の天井面に
はＨＥＰＡフィルタを備えた主空気吹出口２の周域、つ
まりクリーンルーム１の室内隅部。 主空気吹出口相互間の中間部等の位置に分散して符号７
で示す補助空気吹出口が室内に向けて開口するように配
備されている。この補助空気吹出ロアは固定式ノズルあ
るいは吹出方向を様々な向きに変える回転式ノズルとし
て成り、第１図のように空気吸込口３と主空気吹出口２
との間に配管された給気循環ライン５の途中から引出し
た分岐ライン８に接続されている。また分岐ライン８に
は分岐送風機９．およびその吐出側にＨＥＰＡフィルタ
を装備の中間フィルタ１０が介装されている。 またこの場合に補助空気吹出ロアからの吹出風速が給気
循環ライン５の主空気吹出口２より吹出す主気流Ａの吹
出風速よりも大きな吹出風速となるように前記した補助
空気吹出ロアの口径２分岐送風機９の送風能力等が選定
されている。なお１１は分岐ライン８に介装した止め弁
、１２は給気循環ライン５に通じる補給外気の取入口で
ある。 次に上記構成によるクリーンルームの運転動作に付いて
説明する。まず定常運転時には分岐ライン８の止め弁１
１を閉９分岐送風機９を停止した状態で、空気調和機４
．送風機６の運転によりクリーンルーム１の室内へ給気
循環ライン５よりＨＥＰＡフィルタを装備の主空気吹出
口２を通じて清浄化した主気流Ａを吹出し、室内に発塵
した塵埃。 微粒子等を主気流Ａとともに空気吸込口３より回収して
室外へ排除する。 一方、前記の室内清浄運転を継続したまま、所定の時間
周期、ないしクリーンルーム内での作業活動の休止時間
等に合わせたタイミングで間欠的に前記した分岐ライン
７の止め弁１１を開放１分岐送風機８を運転し、補助空
気吹田口６を通じて清浄空気９補助気流Ｂを室内に吹出
す、ここで補助空気吹出ロアは先記のように主空気吹出
口２０周域、つまり主気流Ａの支配域から外れた滞流域
Ｐに向けて開口しており、したがって補助気流Ｂにより
滞流域Ｐが擾乱されるようになる。この結果として先記
の定常運転時に滞流域Ｐ内に閉じ込められた高濃度の浮
遊塵埃は補助気流Ｂにより滞流域Ｐから拡散して主気流
Ａに移り、この主気流Ａに乗って速やかに室外へ排除さ
れるようになり、かくしてクリーンルームｌの室内清浄
度が大幅に向上する。なお補助気流Ｂの吹出しにより一
時的に主気流Ａの清浄度が低下することになので、補助
気流Ｂの吹出しタイミングは先記のようにクリーンルー
ム内でのプロセス活動に支障のないタイミングを選んで
間欠的に行われる。 【発明の効果】 以上述べたようにこの発明によれば、クリーンルームに
対し、ＨＥＰＡフィルタを装備の主空気吹出口より吹出
す主気流の支配域外に生成する室内の滞流域へ向けて補
助空気吹出口を開口配備し、該補助空気吹出口を通じて
間欠的に補助気流を吹出すようにしたことにより、定常
運転時に室内の滞流域に閉じ込められて滞留する浮遊塵
埃を補助気流の吹出しにより主気流に移して素早く室外
へ排除させて高い清浄度を得ることができ、従来のコン
ベンショナルフロー形クリーンルームで問題となってい
たプロセス活動による室内での不測な汚染拡散、および
それに伴うプロセス欠陥の発生を未然に防止できる。し
かも既設のコンベンショナルフロー形クリーンルームに
対し、僅かに補助空気吹出口、およびその給気系を追加
装備するだけで層流形クリーンルームの性能にも匹敵す
る作業環境の清浄維持が図れる等、簡単な構成で性能の
高いコンベンショナルフロー形クリーンルームを提供す
ることができる。
タを備えた主空気吹出口吹出す主気流の支配域外に生成
する塵埃滞流域に向けて補助空気吹出口を開口配備し、
該補助空気吹出口を通じて間欠的に補助気流を吹出すこ
とにより、定常運転時に生じた滞流域に浮遊している塵
埃を前記補助気流により滞流域から主空気吹出口側の主
気流へ移動させ、この主気流に乗せた上で空気吸込口を
通じて室外へ素早く排出できるようにしたものである。 なおこの場合には補助空気吹出口より吹出す補助気流の
風速は主気流の風速よりも大に選定するのがよ（、かつ
補助気流の吹出しを行うタイミングはクリーンルーム内
でのプロセス活動に影響を及ぼさないタンミングを選ん
で手動ないし所定の時間周期で自動的に行われる。 【発明の実施例］ 第１図、第２図はこの発明の実施例によるクリーンルー
ムの構成配置図を示すものであり、第３図に対応する同
一部材には同じ符号が付しである。 すなわちこの発明により、クリーンルーム１の天井面に
はＨＥＰＡフィルタを備えた主空気吹出口２の周域、つ
まりクリーンルーム１の室内隅部。 主空気吹出口相互間の中間部等の位置に分散して符号７
で示す補助空気吹出口が室内に向けて開口するように配
備されている。この補助空気吹出ロアは固定式ノズルあ
るいは吹出方向を様々な向きに変える回転式ノズルとし
て成り、第１図のように空気吸込口３と主空気吹出口２
との間に配管された給気循環ライン５の途中から引出し
た分岐ライン８に接続されている。また分岐ライン８に
は分岐送風機９．およびその吐出側にＨＥＰＡフィルタ
を装備の中間フィルタ１０が介装されている。 またこの場合に補助空気吹出ロアからの吹出風速が給気
循環ライン５の主空気吹出口２より吹出す主気流Ａの吹
出風速よりも大きな吹出風速となるように前記した補助
空気吹出ロアの口径２分岐送風機９の送風能力等が選定
されている。なお１１は分岐ライン８に介装した止め弁
、１２は給気循環ライン５に通じる補給外気の取入口で
ある。 次に上記構成によるクリーンルームの運転動作に付いて
説明する。まず定常運転時には分岐ライン８の止め弁１
１を閉９分岐送風機９を停止した状態で、空気調和機４
．送風機６の運転によりクリーンルーム１の室内へ給気
循環ライン５よりＨＥＰＡフィルタを装備の主空気吹出
口２を通じて清浄化した主気流Ａを吹出し、室内に発塵
した塵埃。 微粒子等を主気流Ａとともに空気吸込口３より回収して
室外へ排除する。 一方、前記の室内清浄運転を継続したまま、所定の時間
周期、ないしクリーンルーム内での作業活動の休止時間
等に合わせたタイミングで間欠的に前記した分岐ライン
７の止め弁１１を開放１分岐送風機８を運転し、補助空
気吹田口６を通じて清浄空気９補助気流Ｂを室内に吹出
す、ここで補助空気吹出ロアは先記のように主空気吹出
口２０周域、つまり主気流Ａの支配域から外れた滞流域
Ｐに向けて開口しており、したがって補助気流Ｂにより
滞流域Ｐが擾乱されるようになる。この結果として先記
の定常運転時に滞流域Ｐ内に閉じ込められた高濃度の浮
遊塵埃は補助気流Ｂにより滞流域Ｐから拡散して主気流
Ａに移り、この主気流Ａに乗って速やかに室外へ排除さ
れるようになり、かくしてクリーンルームｌの室内清浄
度が大幅に向上する。なお補助気流Ｂの吹出しにより一
時的に主気流Ａの清浄度が低下することになので、補助
気流Ｂの吹出しタイミングは先記のようにクリーンルー
ム内でのプロセス活動に支障のないタイミングを選んで
間欠的に行われる。 【発明の効果】 以上述べたようにこの発明によれば、クリーンルームに
対し、ＨＥＰＡフィルタを装備の主空気吹出口より吹出
す主気流の支配域外に生成する室内の滞流域へ向けて補
助空気吹出口を開口配備し、該補助空気吹出口を通じて
間欠的に補助気流を吹出すようにしたことにより、定常
運転時に室内の滞流域に閉じ込められて滞留する浮遊塵
埃を補助気流の吹出しにより主気流に移して素早く室外
へ排除させて高い清浄度を得ることができ、従来のコン
ベンショナルフロー形クリーンルームで問題となってい
たプロセス活動による室内での不測な汚染拡散、および
それに伴うプロセス欠陥の発生を未然に防止できる。し
かも既設のコンベンショナルフロー形クリーンルームに
対し、僅かに補助空気吹出口、およびその給気系を追加
装備するだけで層流形クリーンルームの性能にも匹敵す
る作業環境の清浄維持が図れる等、簡単な構成で性能の
高いコンベンショナルフロー形クリーンルームを提供す
ることができる。
第１図はこの発明の実施例の構成配置図、第２図は第１
図におけるクリーンルームの平面展開図、第３図は従来
におけるコンベンジ四ナルフロー形クリーンルームの構
成斜視図、第４図、第５図はそれぞれ第３図におけるク
リーンルームの側面図および平面展開図である。各図に
おいて、１：クリーンルーム、２ ： １（ＥＰＡフィ
ルタ装備の主空気吹出口、３：空気吸込口、５：給気循
環ライン、６：送風機、７：補助空気吹出口、８：分岐
ライン、９：分岐送風機、１０：中間フィルタ、Ａ：主
気流、Ｂ：補助気流、Ｐ：滞流域。
図におけるクリーンルームの平面展開図、第３図は従来
におけるコンベンジ四ナルフロー形クリーンルームの構
成斜視図、第４図、第５図はそれぞれ第３図におけるク
リーンルームの側面図および平面展開図である。各図に
おいて、１：クリーンルーム、２ ： １（ＥＰＡフィ
ルタ装備の主空気吹出口、３：空気吸込口、５：給気循
環ライン、６：送風機、７：補助空気吹出口、８：分岐
ライン、９：分岐送風機、１０：中間フィルタ、Ａ：主
気流、Ｂ：補助気流、Ｐ：滞流域。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）室内天井面の複数箇所にＨＥＰＡフィルタを備えた
主空気吹出口を分散して配備し、該主空気吹出口を通じ
て清浄空気を室内へ吹出すとともに、床面側に配備の空
気吸込口より排気して室内空気を換気するようにしたコ
ンベンショナルフロー形クリーンルームにおいて、主空
気吹出口より吹出す主気流の支配域外に生成する室内の
滞流域へ向けて補助空気吹出口を配備し、該補助空気吹
出口を通じて間欠的に補助気流を吹出すようにしたこと
を特徴とするコンベンショナルフロー形クリーンルーム
。 ２）特許請求の範囲第１項記載のクリーンルームにおい
て、補助空気吹出口が室内天井面における各主空気吹出
口の周域に分散位置して配備されていることを特徴とす
るコンベンショナルフロー形クリーンルーム。 ３）特許請求の範囲第１項記載のクリーンルームにおい
て、補助空気吹出口から吹出す補助気流の吹出風速が主
空気吹出口から吹出す主気流の吹出風速よりも大に選定
されていることを特徴とするコンベンショナルフロー形
クリーンルーム。 ４）特許請求の範囲第１項記載のクリーンルームにおい
て、補助空気吹出口が空気吸込口と主空気吹出口との間
を結ぶ室外側の給気循環ラインから引出した分岐ライン
に接続されていることを特徴とするコンベンショナルフ
ロー形クリーンルーム。 ５）特許請求の範囲第４項記載のクリーンルームにおい
て、分岐ラインに分岐送風機および中間フィルタが介装
されていることを特徴とするコンベンショナルフロー形
クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61139792A JPS62297650A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61139792A JPS62297650A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62297650A true JPS62297650A (ja) | 1987-12-24 |
| JPH0467094B2 JPH0467094B2 (ja) | 1992-10-27 |
Family
ID=15253531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61139792A Granted JPS62297650A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | コンベンシヨナルフロ−形クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62297650A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007187436A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-07-26 | Hokkaido Univ | クリーンユニット、連結クリーンユニット、クリーンユニットの運転方法およびクリーン作業室 |
| JP2007185646A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-07-26 | Hokkaido Univ | クリーンユニットの運転方法 |
| CN111536649A (zh) * | 2020-05-19 | 2020-08-14 | 李小兰 | 一种建筑内部配套的节能式通风换气设备 |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP61139792A patent/JPS62297650A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007187436A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-07-26 | Hokkaido Univ | クリーンユニット、連結クリーンユニット、クリーンユニットの運転方法およびクリーン作業室 |
| JP2007185646A (ja) * | 2005-12-13 | 2007-07-26 | Hokkaido Univ | クリーンユニットの運転方法 |
| CN111536649A (zh) * | 2020-05-19 | 2020-08-14 | 李小兰 | 一种建筑内部配套的节能式通风换气设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0467094B2 (ja) | 1992-10-27 |
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