JPS62134431A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS62134431A JPS62134431A JP60274236A JP27423685A JPS62134431A JP S62134431 A JPS62134431 A JP S62134431A JP 60274236 A JP60274236 A JP 60274236A JP 27423685 A JP27423685 A JP 27423685A JP S62134431 A JPS62134431 A JP S62134431A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- floor
- ceiling
- room
- clean air
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
この発明は、超ＬＳＩ％ ＩＣ等の製造分野で、製造す
る環境を超清浄に維持したい場合に必要なりリーンルー
ムに関する。
る環境を超清浄に維持したい場合に必要なりリーンルー
ムに関する。
従来の、この種のクリーンルームとしては、第２図に示
す部分層流型のクリーンルームが知られている。
す部分層流型のクリーンルームが知られている。
図において、符号１は天井板、２は床版である。
天井板１と床版２との間の室内には、天井部分に天井板
３が設けられてオシ、天井板３の上部には主空ｖＩ４機
（１示せず）からの給気ダクト４が配設されている。ま
た、天井板３の下部には、給気チャンバ５，５，５が形
成されており、それらはＵＬＰＡ フィルタ（又は１
（ＥＰＡ フィルタ）６゜６．６を介して下方の空間
部と連通さｎている。
３が設けられてオシ、天井板３の上部には主空ｖＩ４機
（１示せず）からの給気ダクト４が配設されている。ま
た、天井板３の下部には、給気チャンバ５，５，５が形
成されており、それらはＵＬＰＡ フィルタ（又は１
（ＥＰＡ フィルタ）６゜６．６を介して下方の空間
部と連通さｎている。
一方、室内の床部には、床版２の上方に有孔床（グレー
チング、パンチメタル等）７が設置されており、それら
の間には天下フリーアクセスフロア８が形成されている
。さらに、室内は給気チャンバ５と有孔床７との間に立
設された間仕切板９゜りによって、作業室１０とユーテ
ィリティ室１１とに分けられている。間仕切板９の下部
付近には、ＬＳＩ 等の製造装置１２．１２が配設さ
れておシ、間仕切板９の下端部には間仕切板排気口１３
が形成されている。
チング、パンチメタル等）７が設置されており、それら
の間には天下フリーアクセスフロア８が形成されている
。さらに、室内は給気チャンバ５と有孔床７との間に立
設された間仕切板９゜りによって、作業室１０とユーテ
ィリティ室１１とに分けられている。間仕切板９の下部
付近には、ＬＳＩ 等の製造装置１２．１２が配設さ
れておシ、間仕切板９の下端部には間仕切板排気口１３
が形成されている。
前記、作業室１０の空間部は、ＩＮ造装置１２の上方の
装置部領域Ａと、作業者１４が製造装置１２の前に立っ
て作業を行う作業部領域Ｂと、作業室１０のほぼ中央部
で作業者１４が通る通路部領域Ｃとに区分されている。
装置部領域Ａと、作業者１４が製造装置１２の前に立っ
て作業を行う作業部領域Ｂと、作業室１０のほぼ中央部
で作業者１４が通る通路部領域Ｃとに区分されている。
°また、前ｉｆｃ！供給チャンバ５には、作業者１４の
上方に照明器具１５が取付けられてかり、ユーティリテ
ィ室１１側にファン内蔵型の空調機１６．１６が設けら
れた構成とされでいる。
上方に照明器具１５が取付けられてかり、ユーティリテ
ィ室１１側にファン内蔵型の空調機１６．１６が設けら
れた構成とされでいる。
このような、従来の部分層流型クリーンルームにおいて
は、給気ダクト４を通って送られてた清浄空気が、天井
の全面に設けられた給気チャンバ５．５．５から作業室
１０へ吹き出される。作業室１０へ供給され九溝浄臣気
は、天井部分から有孔床７が設けられた床部へ向けて一
方向にほぼ層流状態で流れ、次いで、床下フリーアクセ
スフロア８からユーティリティ室１１を経て空？Ａ機１
６に達し、さらに、空調機１６から供給チャンバ５内へ
送られ、ＵＬＰＡ フィルタ６を通過して再び作業室
１０へ供給される。
は、給気ダクト４を通って送られてた清浄空気が、天井
の全面に設けられた給気チャンバ５．５．５から作業室
１０へ吹き出される。作業室１０へ供給され九溝浄臣気
は、天井部分から有孔床７が設けられた床部へ向けて一
方向にほぼ層流状態で流れ、次いで、床下フリーアクセ
スフロア８からユーティリティ室１１を経て空？Ａ機１
６に達し、さらに、空調機１６から供給チャンバ５内へ
送られ、ＵＬＰＡ フィルタ６を通過して再び作業室
１０へ供給される。
ところが、前記従来のクリーンルームにおいては、天井
の全面から清浄空気を床部に向って吹き出すため、清浄
空気の絶対供給量が多（なり、その分ファンの、駆ｒＪ
ｔｈｍ力費が増大し、エネルギー多消費型のクリーンル
ームとなっていること、また、作業室に供給ざハる風量
が多いことや、供給された（＃生空気が天井面から床部
・＼向けて一方向に訛れる層流状態を形成する必要があ
ること等から、床部、特に、通路部領域の床を有孔床と
しなければならず、そのたぬ、歩行時に床が振動し、そ
れが製造装置に伝ること、歩行時の作業者が不快感を感
じること、また、床部の建設費が高価でおること等の問
題点があった。
の全面から清浄空気を床部に向って吹き出すため、清浄
空気の絶対供給量が多（なり、その分ファンの、駆ｒＪ
ｔｈｍ力費が増大し、エネルギー多消費型のクリーンル
ームとなっていること、また、作業室に供給ざハる風量
が多いことや、供給された（＃生空気が天井面から床部
・＼向けて一方向に訛れる層流状態を形成する必要があ
ること等から、床部、特に、通路部領域の床を有孔床と
しなければならず、そのたぬ、歩行時に床が振動し、そ
れが製造装置に伝ること、歩行時の作業者が不快感を感
じること、また、床部の建設費が高価でおること等の問
題点があった。
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであシ、天
井面からの６！浄空気の供給値を消滅して省エネルギー
型のクリーンルームを美男するとともに、歩行時の床の
振動を防止し、作業者の歩行時の不快感を解消し、床部
の建設費の低減をはかることが可能なりリーンルームを
提供することを目的としている。
井面からの６！浄空気の供給値を消滅して省エネルギー
型のクリーンルームを美男するとともに、歩行時の床の
振動を防止し、作業者の歩行時の不快感を解消し、床部
の建設費の低減をはかることが可能なりリーンルームを
提供することを目的としている。
本発明は、前記問題点を解決するために通路部領域の天
井面に、室内を天井面からま部に向って流れる清浄空気
の−８を排出する天井排気部を設けるとともに、開口部
を育する床部の一部分を固定床としたことを特徴として
いる。
井面に、室内を天井面からま部に向って流れる清浄空気
の−８を排出する天井排気部を設けるとともに、開口部
を育する床部の一部分を固定床としたことを特徴として
いる。
〔実施例コ
以下、図面を謬照してこの発明の詳細な説明する。第１
図は本発明の一実施例を示すものでちる。第１図に給い
て、前記従来の技術を説明した第２因と同＝の構成要素
については、同一符号を付して、その説明を省略する。
図は本発明の一実施例を示すものでちる。第１図に給い
て、前記従来の技術を説明した第２因と同＝の構成要素
については、同一符号を付して、その説明を省略する。
図において、通路部領域Ｃを介して両側（紙面に対して
工右〕に設けられた装置部領域Ａ及び作業部領域Ｂの上
部の天井板３には、空気供給部である給気チャンバ５，
５がノヒ成されておシ、それらには主壁Ａ機（図示せず
）から送風される清浄空気の供給ダクト４．４がそれぞ
れ連通されている。また、通路部領域Ｃの上部には、天
井排気部２０が形成されておシ、天井排気部２０には左
右の給気チャンバ５．５の間に架設されたダンパー付き
の天井ガラリ２１と、その上方に有り給気チャンバ５，
５にそれぞれ付設され±排気ファン２２．２２とが設け
られている。
工右〕に設けられた装置部領域Ａ及び作業部領域Ｂの上
部の天井板３には、空気供給部である給気チャンバ５，
５がノヒ成されておシ、それらには主壁Ａ機（図示せず
）から送風される清浄空気の供給ダクト４．４がそれぞ
れ連通されている。また、通路部領域Ｃの上部には、天
井排気部２０が形成されておシ、天井排気部２０には左
右の給気チャンバ５．５の間に架設されたダンパー付き
の天井ガラリ２１と、その上方に有り給気チャンバ５，
５にそれぞれ付設され±排気ファン２２．２２とが設け
られている。
一方、室内の排気用の開口部を有する床部は、通路部領
域Ｃの直下と、製造装置１１２．１２の直下とが、それ
ぞれコンクリート製の固定床７ ａ ｔ７ｂで剋工され
ており、作業室１０内においては、作業部領域Ｂの直下
の床部のみが有孔床（本実施例においてはグレーチング
、パンチメタル＃を用いる）７となっている。その他に
ついては、従来の部分層流型のクリーンルームと同様の
構成とされている。
域Ｃの直下と、製造装置１１２．１２の直下とが、それ
ぞれコンクリート製の固定床７ ａ ｔ７ｂで剋工され
ており、作業室１０内においては、作業部領域Ｂの直下
の床部のみが有孔床（本実施例においてはグレーチング
、パンチメタル＃を用いる）７となっている。その他に
ついては、従来の部分層流型のクリーンルームと同様の
構成とされている。
したがって、このクリーンルームにおいては、天井の一
部分にしか給気チャンバ５が設けられておらず、天井の
全面から清浄空気が吹き出すことがないので、吹き出し
量を減少（本実施例においては約３０優）させることが
可能となる。その結果、主空調機やその他のファン動力
費及びイニシャルコストの低減を実現することかで゛き
る。
部分にしか給気チャンバ５が設けられておらず、天井の
全面から清浄空気が吹き出すことがないので、吹き出し
量を減少（本実施例においては約３０優）させることが
可能となる。その結果、主空調機やその他のファン動力
費及びイニシャルコストの低減を実現することかで゛き
る。
つぎに、前記構成のクリーンルームの作用について説明
する。
する。
主空調機から給気ダクト４を通って送られた清浄空気が
、天井に設けられた左右の給気チャンバ５．５へ供給さ
れる。給気チャンバ５，５へ供給された清浄空気はＵＬ
ＰＡ （又はＨＥＰＡ）フィルタ６．６を通過して作
業室１０内へ吹き出される。吹き出された清浄空気は、
主に３蓬類の流路を通って、再び、給気チャンバ５，５
へ還気される。
、天井に設けられた左右の給気チャンバ５．５へ供給さ
れる。給気チャンバ５，５へ供給された清浄空気はＵＬ
ＰＡ （又はＨＥＰＡ）フィルタ６．６を通過して作
業室１０内へ吹き出される。吹き出された清浄空気は、
主に３蓬類の流路を通って、再び、給気チャンバ５，５
へ還気される。
まず、第１の流路■は、給気チャンバ５から吹き出され
た清浄空気が製造装置Ｉｆ１２の上面に搦った後、間仕
切板排気口１３を通過してユーティリティ室１１に達し
、次いで空ｖ！４機１６を経て給気チャンバ５へ戻る流
路、つぎに、第２の流路■は、給気チャンバ５から吹き
出された清浄空気が製造装置１２の上面に当った後、作
業者１４を包み込むようにして作業部領域Ｂの直下の有
孔床７の部分を通過してユーティリティ室１１に達し、
次いで窒調機１６を経て給気チャンバ５へ戻る流路。さ
らに、第３の流路■は、給気チャンバ５から吹き出し之
清浄空気が製造装置１２に当らず、作業部領域Ｂの上部
を通過し、主に作業者１４の頭部等を包むようにして流
れ、通路部領域Ｃの上部を通過して天井ガラリ２１から
天井排気部２０に達し％次いで、排気ファン２２によシ
給気チャンバ５へ戻る流路である。
た清浄空気が製造装置Ｉｆ１２の上面に搦った後、間仕
切板排気口１３を通過してユーティリティ室１１に達し
、次いで空ｖ！４機１６を経て給気チャンバ５へ戻る流
路、つぎに、第２の流路■は、給気チャンバ５から吹き
出された清浄空気が製造装置１２の上面に当った後、作
業者１４を包み込むようにして作業部領域Ｂの直下の有
孔床７の部分を通過してユーティリティ室１１に達し、
次いで窒調機１６を経て給気チャンバ５へ戻る流路。さ
らに、第３の流路■は、給気チャンバ５から吹き出し之
清浄空気が製造装置１２に当らず、作業部領域Ｂの上部
を通過し、主に作業者１４の頭部等を包むようにして流
れ、通路部領域Ｃの上部を通過して天井ガラリ２１から
天井排気部２０に達し％次いで、排気ファン２２によシ
給気チャンバ５へ戻る流路である。
ここで、最も清浄な環境を維持じたい領域は、製造装置
１２の上面、即ち、ウェハーカセットのロード、アンロ
ードの部分を含む装置部領域Ａである。したがって、清
浄空気を吹き付けることによって、装６ｊｔ部領域Ａの
塵埃を直接的に排除するとともに、作業部領域Ｂや通路
部領域Ｃからの塵埃の侵入を阻血することが必要である
。
１２の上面、即ち、ウェハーカセットのロード、アンロ
ードの部分を含む装置部領域Ａである。したがって、清
浄空気を吹き付けることによって、装６ｊｔ部領域Ａの
塵埃を直接的に排除するとともに、作業部領域Ｂや通路
部領域Ｃからの塵埃の侵入を阻血することが必要である
。
本’ｉｔ！厖例においては、前記粂件を満すように、装
置部領域Ａのシールは流路■、■を流れる清浄空気が行
ない、作業部領域Ｂ及び通路部Ｃからの轟埃の侵入防止
は流路■、■を流れる清浄空気が行う。特に、流路■、
■を流れる清浄空気は、装置部領域Ａから作業部領域Ｂ
を経て通路部領域Ｃへ向かう、横方向の大きな速度成分
を有した気流形状となってお）、これによって、作業部
領域Ｂ及び通路部領域Ｃからの！！埃の進入を完全に防
止することができる。
置部領域Ａのシールは流路■、■を流れる清浄空気が行
ない、作業部領域Ｂ及び通路部Ｃからの轟埃の侵入防止
は流路■、■を流れる清浄空気が行う。特に、流路■、
■を流れる清浄空気は、装置部領域Ａから作業部領域Ｂ
を経て通路部領域Ｃへ向かう、横方向の大きな速度成分
を有した気流形状となってお）、これによって、作業部
領域Ｂ及び通路部領域Ｃからの！！埃の進入を完全に防
止することができる。
その際、作業室１０に供給される清浄空気の量を１０
ａ ／ｍｉｎとした場合、前記３種類の流路■。
ａ ／ｍｉｎとした場合、前記３種類の流路■。
■、■を流れて排気される排気量の比率は、流路■：流
路■：流路■＝１：４：５となっていることが望ましい
。
路■：流路■＝１：４：５となっていることが望ましい
。
したがって、従来のクリーンルームのように、作業室１
０に供給された清浄空気が天井面から床部へ同って一方
向に流れる層流状態を形成する必要がなく碌シ、かつ、
作業室１０に供給された清浄空気のほぼ全量を床部のみ
から排気する必要がなくなるため、床部の全面を有孔床
７とする必要がなくなり、作業部領域Ｂの直下にわずか
の開口部を設け、通路部領域Ｃと製造装置１２．１２の
直下は固定床７ａ、７６とすることが可能となる。
０に供給された清浄空気が天井面から床部へ同って一方
向に流れる層流状態を形成する必要がなく碌シ、かつ、
作業室１０に供給された清浄空気のほぼ全量を床部のみ
から排気する必要がなくなるため、床部の全面を有孔床
７とする必要がなくなり、作業部領域Ｂの直下にわずか
の開口部を設け、通路部領域Ｃと製造装置１２．１２の
直下は固定床７ａ、７６とすることが可能となる。
その結果、作業者１４は歩行時に通路部領域Ｃの固定床
７ａを歩くことによう、また、通路部領域Ｃの固定床７
ａと製造装置１２．１２の固定床７ｈ、７ｂとが分離し
ていることにより、歩行時に振動が発生するのを押え、
振動が製造装置１２・１２へ伝わるのを防止することが
できるとともに、歩行時の作業者１４に全面グレーチン
グ床を歩く時に感じられる不快感を与えることがない。
７ａを歩くことによう、また、通路部領域Ｃの固定床７
ａと製造装置１２．１２の固定床７ｈ、７ｂとが分離し
ていることにより、歩行時に振動が発生するのを押え、
振動が製造装置１２・１２へ伝わるのを防止することが
できるとともに、歩行時の作業者１４に全面グレーチン
グ床を歩く時に感じられる不快感を与えることがない。
また、高価な有孔床７を低価なコンクＩ） −ト梨の固
定ｆｆ１７ａ＊７ｋ）に変えることにより、床部の建設
費の低減を実現することが可能となる。
定ｆｆ１７ａ＊７ｋ）に変えることにより、床部の建設
費の低減を実現することが可能となる。
［発明の効果〕
以上、説明したように本発明は、通路部領域の天井面に
、室内を天井面から床部に向って一方向に流れる清浄空
気の一部を排出する天井排気部を設けるとともに、開口
部を有する床部の一部分を固定床としたものであるので
、通路部領域の天井からの清浄空気の吹＠出し量分が焦
〈な９、清浄空気の絶対供給四が消滅され、ファンのｌ
ＸＡ動動力蚤を低減させることが可能となシ、省エネル
ギー型のクリーンルームを実現できるとともに、歩行時
の床の弧動の発生や伝達を防止し、歩行時の作業者の不
快感を屏消し、床部の建設費を低減することが可能とな
る。
、室内を天井面から床部に向って一方向に流れる清浄空
気の一部を排出する天井排気部を設けるとともに、開口
部を有する床部の一部分を固定床としたものであるので
、通路部領域の天井からの清浄空気の吹＠出し量分が焦
〈な９、清浄空気の絶対供給四が消滅され、ファンのｌ
ＸＡ動動力蚤を低減させることが可能となシ、省エネル
ギー型のクリーンルームを実現できるとともに、歩行時
の床の弧動の発生や伝達を防止し、歩行時の作業者の不
快感を屏消し、床部の建設費を低減することが可能とな
る。
第１図は本発明の−■九例を示す図であり、クリーンル
ームの側断面図、第２図は従来の技術を示す図であり、
クリーンルームの倶］断面因である。 ５・・・・・・給気チャンバ（臣気洪袷部）、７・・・
・・・有孔床（床部）、７ ａ 、 ’７ ｂ・・・・
・固定床（床部〕、２０・・・・・・天井排気部、Ａ・
・・・・・装置部領域、Ｂ・・・・・・作業部領域、Ｃ
・・・・・・通路部領戟。
ームの側断面図、第２図は従来の技術を示す図であり、
クリーンルームの倶］断面因である。 ５・・・・・・給気チャンバ（臣気洪袷部）、７・・・
・・・有孔床（床部）、７ ａ 、 ’７ ｂ・・・・
・固定床（床部〕、２０・・・・・・天井排気部、Ａ・
・・・・・装置部領域、Ｂ・・・・・・作業部領域、Ｃ
・・・・・・通路部領戟。
Claims (1)
- 天井の全面に設けられた空気供給部から、排気用の開口
部を有する床部に向けて清浄空気を流すことによつて、
室内に設けられた装置部領域、作業部領域、通路部領域
の空気を清浄な状態に維持するクリーンリームにおいて
、前記通路部領域の天井面に、前記室内を天井面から床
部に向つて一方向に流れる清浄空気の一部を排出する天
井排気部を設けるとともに、前記開口部を有する床部の
一部分を固定床としたことを特徴とするクリーンルーム
。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60274236A JPS62134431A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クリ−ンル−ム |
| PCT/JP1986/000603 WO1987003356A1 (en) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Clean room |
| US07/057,525 US4838150A (en) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Clean room |
| DE8686906948T DE3683492D1 (de) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Reinraum. |
| EP86906948A EP0250596B1 (en) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Clean room |
| KR870700365A KR880700218A (ko) | 1985-11-26 | 1987-04-27 | 크린 룸 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60274236A JPS62134431A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62134431A true JPS62134431A (ja) | 1987-06-17 |
Family
ID=17538897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60274236A Pending JPS62134431A (ja) | 1985-11-26 | 1985-12-05 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62134431A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9808061B2 (en) | 2010-08-31 | 2017-11-07 | Jemella Ltd. | Hair styling appliance |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP60274236A patent/JPS62134431A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9808061B2 (en) | 2010-08-31 | 2017-11-07 | Jemella Ltd. | Hair styling appliance |
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