JP2017048941A - クリーンルーム用空調システム及びそれに用いられる排気ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンルーム内の室圧を簡便な構成でかつ高精度に制御可能で、省エネルギかつ設備コストも安く据付作業も容易なクリーンルーム用空調システム及びそれに用いられる排気ユニットを提供する。【解決手段】建屋４に配置されたクリーンルーム１，２に建屋４の外気を導く給気用ダクト１０と、給気用ダクト１０を通流し、クリーンルーム１，２に外気を給気する空調機１１と、クリーンルーム１，２からの排気を、天井裏３に排気する天井排気ユニット４０と、を備えるクリーンルーム用空調システム１００とする。【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルーム用空調システム及びそれに用いられる排気ユニットに関する。

再生医療施設や実験動物飼育施設等におけるクリーンルームでは、清浄度のクラスが異なる部屋が複数配置されていることが多い。これらのクリーンルームのうち、再生医療施設に設置されたものは、細胞調製室等といわれることがある。これらのクリーンルームでは、清浄度の低い部屋から高い部屋への空気の漏洩を抑制するため、隣り合う部屋の室圧の差を設けるようにしている。

クリーンルームの空調に関する技術として、例えば特許文献１及び２に記載された技術が知られている。特許文献１には、クリーンルームにつながる排気用ダクト、空気をクリーンルームから排気する排気ファン、旋回羽根の旋回によってダクトを通る空気の量を調節するモータダンパ、ダクトを通る空気の圧力を計測する圧力センサ、ダンパの羽根の開度を調節するコントローラを有する排気装置が記載されている。

また、特許文献２には、クリーンルーム内の塵埃数を計測する塵埃センサと、クリーンルーム内の温度を計測する温度センサと、クリーンルームにエアを供給するファンと、塵埃センサによって計測されるクリーンルーム内の塵埃数と、温度センサによって計測されるクリーンルーム内の温度と、に基づいて、クリーンルームに供給する風量を決定し、決定された風量になるようにファンを制御する風量制御部と、を備えるクリーンルーム設備が記載されている。

特開２０１１−３３３１０号公報 特開２０１３−１３４０１５号公報

図８を参照しながら後記する従来の技術や、特許文献１に記載の技術では、クリーンルーム内の空気は、排気用ダクトを通じて建屋外に排気されている。そのため、これらの技術では、長く複雑な経路を有する排気用ダクトが備えられることがあり、排気用ダクトの設置スペースの観点から、設計上の制限が存在する。

また、排気用ダクトには、室圧制御用のモータダンパが備えられることがあるが、モータダンパによる開度調整での室圧制御では、高精度な室圧制御が難しい。さらに、長い経路の排気用ダクトのため圧力損失が大きい。加えて、モータダンパによる圧力制御では、通過風量が少ないと室圧の変動が大きくなるため、室圧を安定させる観点から、低風量に設定することができない。そのため、モータダンパを備える排気用ダクトには大風量で空気が通風しているために、導入する外気の空調処理や送風に多大なエネルギが要されている。さらに、長く複雑な経路の排気用ダクトの設備費や室圧制御機能付きのモータダンパの費用が必要であり、据付作業にも時間が要されている。

そこで、特許文献２に記載の技術のように、排気用ダクトを設けず、クリーンルームの外であって建屋の中で、空気を循環させることも考えられる。しかし、このような技術では、給気ファンの動力によって空気が循環されている。そして、クリーンルームの内部から外への排気経路である床はグレーチングであるため、流動抵抗がほとんどない。そのため、この技術では室圧を上げることができないことから、隣り合う部屋間で室圧の差を設定することは困難である。従って、特許文献２に記載の技術では、各部屋の室圧制御に課題がある。

本発明はこれらの課題に鑑みて為されたものであり、本発明が解決しようとする課題は、クリーンルーム内の室圧を簡便な構成でかつ高精度に制御可能で、省エネルギかつ設備コストも安く据付作業も容易なクリーンルーム用空調システム及びそれに用いられる排気ユニットを提供することにある。

本発明者らは前記課題を解決するために鋭意検討を行った。その結果、以下の知見を見出し、本発明を完成させた。即ち、本発明の要旨は、建屋内に配置された複数のクリーンルームに前記建屋外の外気を導く給気用ダクトと、前記給気用ダクトを通流し、前記複数のクリーンルームに外気を給気する給気装置と、前記複数のクリーンルームからの排気を、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に排気する第一排気装置と、を備えることを特徴とする、クリーンルーム用空調システムに関する。
また、本発明の別の要旨は、以下の発明を実施するための形態にて明らかにされる。

本発明によれば、クリーンルーム内の室圧を簡便な構成でかつ高精度に制御可能で、省エネルギかつ設備コストも安く据付作業も容易なクリーンルーム用空調システム及びそれに用いられる排気ユニットを提供することができる。

第一実施形態のクリーンルーム用空調システムの構成図である。 図１に示すクリーンルーム用空調システムに取り付けられる天井排気ユニットの構成図である。 第二実施形態の天井排気ユニットの構成図である。 第三実施形態の天井排気ユニットの構成図である。 第四実施形態のクリーンルーム用空調システムの構成図である。 第五実施形態のクリーンルーム用空調システムの構成図である。 第六実施形態のクリーンルーム用空調システムの構成図である。 従来のクリーンルーム用空調システムの構成図である。

本実施形態のクリーンルーム用空調システムの構成を把握し易くするために、はじめに、従来使用されてきたクリーンルーム用空調システムの構成を説明する。

図８は、従来のクリーンルーム用空調システム５００の構成図である。以下、「クリーンルーム用空調システム」のことを単に「空調システム」と略記することがある。空調システム５００は、建屋４内に設置されたクリーンルーム１及びクリーンルーム２の空調を行うものである。空調システム５００は、空調機１１と、定風量制御装置１２と、ＨＥＰＡフィルタ１３と、吹き出し口１４と、を備えて構成される。これらのうち、空調機１１は、フィルタ１１ａと、熱交換コイル１１ｂと、給気ファン１１ｃ（給気装置）とを備えて構成される。

空調機１１と、定風量制御装置１２と、ＨＥＰＡフィルタ１３と、吹き出し口１４とは、給気用ダクト１０により接続されている。そして、給気用ダクト１０は、クリーンルーム１，２に対して並列に接続されている。従って、空調機１１によって外部から取り込まれた外気は、定風量制御装置１２、ＨＥＰＡフィルタ１３及び吹き出し口１４を通じて、クリーンルーム１，２に対してそれぞれ供給される。このとき、クリーンルーム１，２の上流にそれぞれ備えられた定風量制御装置１２，１２により、クリーンルーム１，２に対してそれぞれ定風量で、空調されたエア（外気）が供給される。

また、空調システム５００は、排気ファン２１と、風量調整ダンパ２２と、室圧制御ダンパ２３と、ＨＥＰＡフィルタ２４と、吸い込み口２５と、を備えて構成される。これらは、排気用ダクト２０により接続されており、排気用ダクト２０は、クリーンルーム１，２に対して並列に接続されている。従って、クリーンルーム１，２内の空気は、吸い込み口２５，ＨＥＰＡフィルタ２４、室圧制御ダンパ２３、風量調整ダンパ２２及び排気ファン２１を通じて、外部に排出されることになる。このとき、クリーンルーム１，２の下流側に設けられた風量調整ダンパ２２，２２が調整されることで、それぞれのクリーンルーム１，２から排気される風量が調整される。風量調整ダンパ２２による風量調整は、一般に手動で行われる。また、クリーンルーム１，２の下流側に設けられた室圧制御ダンパ２３，２３が圧力計２６，２６の測定値を各クリーンルームの所定値にするように制御されることで、それぞれのクリーンルーム１，２内の室圧が制御される。特に、再生医療施設や実験動物飼育施設等に設置されたクリーンルームでは、クリーンルーム１，２の室圧に差が設けられている。

定風量制御や室圧制御は、各機器に内蔵された演算制御装置（図示しない）によって行われる。演算制御装置は、図示しないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、Ｉ／Ｆ（インターフェイス）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、センサ回路、制御回路等を備え、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムがＣＰＵによって実行されることにより具現化される。

以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（本実施形態）を説明する。なお、図面に示す構成は模式的なものであり、本発明は図示の構成になんら限定されるものではない。また、以下の図１〜図７において、前記の図８に示した部材と同じものについては同じ符号を付すものとし、その詳細な説明は省略する。

［１．第一実施形態］
図１は、第一実施形態のクリーンルーム用空調システム１００の構成図である。図１に示す空調システム１００では、前記の空調システム５００と同様にして、複数のクリーンルームであるクリーンルーム１，２に対して給気が行われる。しかし、クリーンルーム１，２からの排気は、前記の空調システム５００とは異なる方法で行われる。即ち、図１に示す空調システム１００では、クリーンルーム１，２からの排気は、天井パネル６（図２参照、図１では図示しない）に取り付けられた天井排気ユニット４０，４０を通じて、クリーンルーム１，２の外部であって建屋４の内部である天井裏３に排気される（天井排気ユニット４０については後記する）。そして、天井裏３に排気された空気が、建屋４に取り付けられた排気口７１を介して、屋外に排気される。排気口７１には、虫や大きな塵埃の流入を防止するためのフィルタを設置することもできる。

図２は、図１に示すクリーンルーム用空調システム１００に取り付けられる天井排気ユニット４０の構成図である。図２には、クリーンルーム１の吸い込み口２５に取り付けられる天井排気ユニット４０を一つのみ図示している。また、図２では、図示の簡略化のために、一部の部材の図示を省略又は簡略化して示している。さらに、図２において、破線矢印は、クリーンルーム１の内部から天井裏３への空気の流れを示す。

図２に示す天井排気ユニット４０（排気装置）は、筒状の形状をしており、排気ファン４１と、ＨＥＰＡフィルタ４２（塵埃除去フィルタ）と、粗塵フィルタ４５と、カバー４６と、吸い込み口２５とが筐体５１に収容されて構成される。天井排気ユニット４０は、クリーンルーム１と天井裏３とを仕切る天井パネル６の開口に取り付けられている。クリーンルーム１から吸い込み口２５を通過してきた空気に含まれる塵埃はＨＥＰＡフィルタ４２で除去される。天井排気ユニット４０の上面には、粗塵フィルタ４５が備えられている。この粗塵フィルタ４５により、排気ファン４０を停止させた場合に、天井排気ユニット４０への大きな塵埃の侵入が防止される。さらに、粗塵フィルタ４５の上方には、粗塵フィルタ４５を覆うように、カバー４６が備えられている。このカバー４６により、ネズミや虫等の天井排気ユニット４０への侵入が防止される。なお、カバー４６及びＨＥＰＡフィルタ４２は、図示しない部材により、筐体５１に支持固定されている。

天井排気ユニット４０には、クリーンルーム１内の圧力と基準圧（ここでは仮に天井裏３の圧力とする）との差圧を計測する差圧計４７ａ（差圧測定装置）と、前記の排気ファン４１の回転速度を制御して排気風量を制御することで、当該差圧が所定値になるようにする制御器４７ｂ（送風ファン制御装置）とが備えられている。排気ファン４１で天井裏３とクリーンルーム１との差圧を所定値に制御することで、クリーンルーム１の室圧が調整されている。

このように、クリーンルーム１内の圧力と基準圧（例えば天井裏３の圧力）との差圧が所定値に制御されることで、差圧の逆転を防止して、クリーンルーム１とクリーンルーム２との間での意図しない空気の流入が防止される。即ち、説明の簡略化のために説明を省略したが、クリーンルーム１と同様に、クリーンルーム２でも同様の差圧制御が行われている。そのため、クリーンルーム１と例えば天井裏３との差圧が一定（例えば３０Ｐａ程度）であり、かつ、クリーンルーム２と例えば天井裏３との差圧が一定（例えば１５Ｐａ程度）であるような場合、クリーンルーム２からクリーンルーム１に空気が流入することがない。さらには、非清浄空間である天井裏３からクリーンルーム１，２に空気の流入が生じることもない。

天井排気ユニット４０では、排気ファン４１で差圧を制御することで、特に応答の速い室圧制御が行われる。即ち、従来技術の室圧制御ダンパ２３の開度変化による室圧制御調整では、室圧制御ダンパ２３に付属したモータの応答の遅れが大きく、室圧の変動があった場合に追従するのが難しかった。これに対して、本実施形態である排気ファン４１による室圧調整では、ファンの回転数を変えることで応答の速い精密な室圧制御が可能となる。そして、排気ファン４１によって圧力及び排気風量が制御されることで、一つの天井排気ユニット４０のみで圧力及び排気風量が制御でき、装置の小型化及び安価化が図られる。また、室圧制御ダンパ２３の制御では通過させる風量が少ないと室圧の変動幅が大きくなってしまうのに対し、排気ファン４１による室圧制御では少ない風量でも室圧が制御でき、より省エネ化が図られる。なお、排気ファン４１の回転数は、電圧やパルスや周波数等を変化させることで調整される。

排気ファン４１としては、軸流ファンや斜流ファン、横流ファン、遠心ファン等が使用可能である。また、排気ファン４１を回転駆動させるファンモータとしては、ＤＣモータやＡＣモータ、ＥＣモータ等が使用可能である。

図１に戻って、空調システム１００全体の説明を続ける。前記のように、空調システム１００では、クリーンルーム１，２内の空気は天井裏３に排気され、この天井裏３の空気が排気口７１から屋外に排気される。そのため、空調システム１００では排気用ダクト２０（図８参照）が不要となり、設計の自由度が増す。

さらには、排気用ダクトが存在しないため、空調システム１００の通常運転前の試運転時の調整が容易になる。従来の空調システム５００（図８参照）では、排気用ダクト２０は各クリーンルームまでの長さが異なるため、圧力損失が異なる。そのため、クリーンルーム１，２に繋がるダクト間の圧力損失を揃えるため、風量調整ダンパ２２を手動で調整する作業がクリーンルーム１，２の本格稼動前に行われ、このような試運転時の調整に手間が掛かっていた。

しかし、天井排気ユニット４０を用いる本発明では、排気用ダクトがないために前記の圧力損失を揃えるための試運転調整が不要であり、天井排気ユニット４０に備えられた差圧計で制御目標の差圧を設定するだけで良い。また、排気用ダクトが存在しないため、圧力損失を低減することができ、省エネルギ効果が見込まれる。そして、排気用ダクトを設置する必要が無いため、空調システム１００の据え付け作業が容易になって設計の自由度が増し、さらには、設備コストの低減を図ることができる。

また、空調システム１００では、従来の空調システム５００（図８参照）とは異なり、クリーンルーム１とクリーンルーム２とは、風量制御ダンパ２２及び室圧制御ダンパ２３を備える排気用ダクトにより接続されていない。一方で、従来の空調システム５００は、クリーンルーム１，２同士は排気用ダクト２０で接続されているため、一方の室圧制御ダンパ２３による室圧制御の影響がダクトを通じて伝播し、他方の室圧制御ダンパ２３が接続されたクリーンルームの室圧に影響を与えることがある。しかし、空調システム１００では、図１に示すように、天井排気ユニット４０で天井裏に排気している。そして、大空間の天井裏には緩衝作用があり、排気ファン４１の回転数を変化させても、他方の室圧制御ダンパ２３が接続されたクリーンルームの室圧に与える影響は少なく、独立して各クリーンルーム１，２の室圧を制御することができる。

［２．第二実施形態］
図３は、第二実施形態の天井排気ユニット６１の構成図である。図３に示す天井排気ユニット６１は、図２の天井排気ユニット４０の構成に加えて、気密ダンパ４３を備えている。気密ダンパ４３は、通常運転時には開いている。ただし、クリーンルーム１内の除染のためにクリーンルーム１内に除染剤を充満させるときには、この気密ダンパ４３が閉じられることで、クリーンルーム１内の気密性が確保される。従って、天井排気ユニット６１が備えられることで、天井排気ユニット６１が取り付けられたまま、クリーンルーム１内の除染が可能となる。

［３．第三実施形態］
図４は、第三実施形態の天井排気ユニット６２の構成図である。天井排気ユニット６２は、下側筐体４８（筐体）と、筒状の上側筐体４９（筐体）とが嵌合してなる。具体的には、下側筐体４８の内部に上側筐体４９が挿入嵌合されることで、これらが一体となって天井排気ユニット６２の筐体を構成している。従って、メンテナンス等の際には、下側筐体４８と上側筐体４９とを分離することができ、これらが分離されることで、その内部に収容された排気ファン４１やＨＥＰＡフィルタ４２を交換し易くなる。

下側筐体４８の内部にＨＥＰＡフィルタ４２が配置され、上側筐体４９の内部に排気ファン４１が配置されている。そして、下側筐体４８と上側筐体４９とを分離したときに、排気ファン４１とＨＥＰＡフィルタ４２とが外部に露出するようになっている。これにより、排気ファン４１やＨＥＰＡフィルタ４２が交換し易くなっている。また、排気ファン４１を交換する際には、排気ファン４１を収容する上側筐体４９は下側筐体４８から分離されるものの、ＨＥＰＡフィルタ４２を収容する下側筐体４８は天井パネル６に取り付けられたままである。そのため、ＨＥＰＡフィルタ４２が取り付けられた状態で排気ファン４１のみを交換することができる。即ち、クリーンルーム１内の清浄度を維持した状態で、排気ファン４１のみを交換することができる。

［４．第四実施形態］
前記の空調システム１００（図１参照）では、天井裏３に排気された空気は、排気口７１（適宜フィルタ等が備えられる）を通じて屋外に排気されていた。しかし、第四実施形態の空調システム２００では、この排気口７１に代えて、屋外への排気を促すための排気ファン２１が建屋４に備えられている。

図５は、第四実施形態のクリーンルーム用空調システム２００の構成図である。空調システム２００では、クリーンルーム１，２内の空気は天井裏３に排気され、この天井裏３の空気が排気ファン２１によって屋外に排気される。このようにすることで、天井裏３に排気された空気が、迅速に天井裏３から屋外に排気される。

［５．第五実施形態］
図６は、第五実施形態のクリーンルーム用空調システム３００の構成図である。前記の空調システム１００（図１参照）では、クリーンルーム１，２同士は給気用ダクト１０によってのみ接続されていた。即ち、空調システム１００では、クリーンルーム１とクリーンルーム２とは、給気用ダクト１０によって連通していた。しかし、第五実施形態の空調システム３００では、給気用ダクト１０によって連通するクリーンルーム１，２に加えて、リリーフダンパ５２によってクリーンルーム２と連通するクリーンルーム５が設置されている。そして、このクリーンルーム５には、給気用ダクト１０は接続されていない。

図６に示すように、空調システム３００では、前記の空調システム１００のように空調機１１からクリーンルーム１，２に給気するのではなく、一つのクリーンルーム２からリリーフダンパ５２を通じて、他のクリーンルーム５に給気が行われている。このようにすることで、給気用ダクト１０と、定風量制御装置１２と、ＨＥＰＡフィルタ１３と、吹き出し口１４とを削減することができる。さらに、空調機１１で温調処理をする外気取り入れ量を削減できるため、空調機１１の温調能力や給気ファン１１ｃの送風能力を抑えることができる。これらにより、低コスト化、省エネ化が図れる。

図６のクリーンルーム２の室圧は、リリーフダンパ５２での圧力損失を調整することで、設定することができる。クリーンルーム２の室圧は、クリーンルーム５の室圧から、リリーフダンパ５２の圧力損失を差し引いた室圧となる。リリーフダンパ５２での圧損調整は金属板等の重りを用いて行うことができる。

［６．第六実施形態］
前記の図６を参照しながら説明した空調システム３００では、クリーンルーム５への給気は、リリーフダンパ５２を通じてクリーンルーム２から行われていた。しかし、第六実施形態の空調システム４００では、このリリーフダンパ５２に代えて、クリーンルーム２，５を連通する下部切り欠きドア５３が備えられている。

図７は、第六実施形態のクリーンルーム用空調システム４００の構成図である。図７に示すように、空調システム４００でも、前記の空調システム３００と同様に、空調機１１からクリーンルーム１，２に給気するのではなく、一つのクリーンルーム２から下部切り欠きドア５３を通じて、他のクリーンルーム５に給気が行われている。このようにすることで、給気用ダクト１０と、定風量制御装置１２と、ＨＥＰＡフィルタ１３と、吹き出し口１４とを削減することができる。さらに、空調機１１で温調処理をする外気取り入れ量を削減できるため、空調機１１の温調能力や給気ファン１１ｃの送風能力を抑えることができる。これらにより、低コスト化、省エネ化が図れる。

図７のクリーンルーム２の室圧は、下部切り欠きドア５３での圧損を調整することで、設定することができる。クリーンルーム２の室圧は、下部切り欠きドア５３を通過する風量で圧損が決まるため、所定の風量に対する下部の切り欠き面積を予め計算し、通過風量を調整することで、設定可能である。

［６．変形例］
以上、本実施形態を六つの具体的な実施形態を挙げて説明したが、本実施形態は前記の例になんら制限されるものではなく、適宜変更を加えて実施可能である。また、各実施形態は適宜組み合わせて実施することもできる。例えば、前記の空調システム２００〜４００（図５〜図７参照）に備えられる天井排気ユニットは、図２〜図４を参照しながら説明した天井排気ユニット４０，６１，６２のいずれであってもよい。

また、例えば、前記の各クリーンルームへの給気風量や各クリーンルームの差圧等の所定値は、適宜決定すればよい。

さらに、図示の例では、複数のクリーンルームとして二つと、三つのクリーンルームを設けたが、四つ以上のクリーンルームが設けられてもよい。また、図示しないが、各クリーンルームに閉止時に気密を保持できる気密ドアが設けられてもよい。

また、前記のように、各空調システム１００〜４００では、給気用ダクト１０に、図示しない風量調整用ダンパを適宜備えてもよい。風量調整用ダンパは、手動で調整するダンパやダンパ開度を手元で設定できるモータダンパが使用できる。

さらに、給気用ダンパ１０は、途中で分岐しており、それぞれにクリーンルーム１，２が接続されているが、クリーンルーム１，２への給気はそれぞれから独立させて行ってもよい。即ち、クリーンルーム１，２のそれぞれに独立した二系統の給気用ダンパが接続されるようにしてもよい。

また、図２に示す例では、差圧計４７ａにより測定される差圧が所定値になるように制御器４７ｂが排気ファン４１を制御したが、当該差圧が所定値でなくても、例えば計測される差圧が予め定められた設定範囲になるように（即ち計測される差圧がある程度幅を持つように）、制御器４７ｂが排気ファン４１を制御するようにしてもよい。

１ クリーンルーム
２ クリーンルーム
３ 天井裏
４ 建屋
５ クリーンルーム
１０ 給気用ダクト
１１ 空調機
２１ 排気ファン
４０ 天井排気ユニット
４１ 排気ファン
４３ 気密ダンパ
４６ カバー
４７ａ 差圧計
４７ｂ 制御器
４８ 下側筐体
４９ 上側筐体
５１ 筐体
５２ リリーフダンパ
５３ 下部切り欠きドア
６１ 天井排気ユニット
６２ 天井排気ユニット
７１ 排気口
１００ クリーンルーム用空調システム
２００ クリーンルーム用空調システム
３００ クリーンルーム用空調システム
４００ クリーンルーム用空調システム
５００ クリーンルーム用空調システム

Claims (3)

1. 建屋内に配置された複数のクリーンルームに前記建屋外の外気を導く給気用ダクトと、
   前記給気用ダクトを通流し、前記複数のクリーンルームに外気を給気する給気装置と、
   前記複数のクリーンルームからの排気を、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に排気する排気装置と、を備えることを特徴とする、クリーンルーム用空調システム。
2. 建屋内に配置された複数のクリーンルームに前記建屋外の外気を導く給気用ダクトと、
   前記給気用ダクトを通流し、前記複数のクリーンルームに外気を給気する給気装置と、
   前記複数のクリーンルームから、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に排出された排気を、前記建屋の外部に排出する第二排気装置と、
   を備えるクリーンルーム用空調システムに適用され、
   前記複数のクリーンルームからの排気を、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に排気する排気装置としてのクリーンルーム用排気ユニットであって、
   空気中の塵埃を除去する塵埃除去フィルタと、
   当該塵埃除去フィルタにより塵埃が除去された後の空気を送風する送風ファンと、
   前記送風ファンによる空気の流れの上流側の圧力と、下流側の圧力との差圧を測定する差圧測定装置と、
   当該差圧測定装置により測定される差圧が予め定めた設定範囲になるように、前記送風ファンを制御する送風ファン制御装置と、を備えていることを特徴とする、クリーンルーム用排気ユニット。
3. 前記塵埃除去フィルタと前記送風ファンとは、筐体に収容されて配置され、
   当該筐体は少なくとも二つに分離可能に構成され、
   前記筐体を少なくとも二つに分離したときに、前記送風ファンが外部に露出するように、前記塵埃除去フィルタと前記送風ファンとが前記筐体の内部に配置されていることを特徴とする、請求項２に記載のクリーンルーム用排気ユニット。

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