WO2021111550A1 - 空調システム - Google Patents

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WO2021111550A1
WO2021111550A1 PCT/JP2019/047441 JP2019047441W WO2021111550A1 WO 2021111550 A1 WO2021111550 A1 WO 2021111550A1 JP 2019047441 W JP2019047441 W JP 2019047441W WO 2021111550 A1 WO2021111550 A1 WO 2021111550A1
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air
fan
room
chamber
clean room
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充 関澤
佐藤　祐一
和仁 松崎
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日立グローバルライフソリューションズ株式会社
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    • Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Definitions

  • the present invention relates to an air conditioning system.
  • Patent Document 1 In addition to regenerative medicine and pharmaceutical manufacturing, clean rooms with high air cleanliness are often used in semiconductor and precision machinery manufacturing. Regarding the adjustment of the room pressure of such a clean room, for example, the technique described in Patent Document 1 is known. That is, in Patent Document 1, "a desired amount of air supplied to the ceiling chambers 12a to e by providing an air volume adjusting damper 20a in the duct leading from the ceiling-embedded air conditioner 13 to the ceiling chambers 12a to e". Achieve the distribution of ".
  • an object of the present invention is to provide an air conditioning system that maintains the room pressure of a clean room with high accuracy with a simple configuration.
  • the air conditioning system comprises a first unit having a first fan for supplying air to the clean room from a chamber including a space behind the ceiling of the clean room, and air in the clean room.
  • a second unit having a second fan for returning air through the chamber and exhausting at least one of the clean rooms is provided, and a pressure sensor provided in the clean room and a detection value of the pressure sensor are provided.
  • a control unit that controls at least one of the first fan and the second fan is provided.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram showing the floor plan of each room of the air conditioning system S according to the embodiment.
  • the direction in which air flows when a predetermined door (for example, door Dm) is opened is indicated by a white dashed arrow.
  • the adjustment of the room pressure of each room will be mainly described, but the case of adjusting the temperature and humidity of air in addition to the room pressure is also included in "air conditioning”. In addition, the adjustment of only the room pressure shall be included in "air conditioning".
  • the air conditioning system S is a system that adjusts the room pressure and the like of a plurality of rooms such as the pretreatment room R3 (clean room) and the preparation room R7 (clean room), and is provided in, for example, a regenerative medicine facility.
  • a plurality of rooms having different air cleanliness are often provided. Then, in order to suppress air leakage from a room with low cleanliness to a room with high cleanliness, a difference is provided in the room pressures of adjacent rooms.
  • the pretreatment room R3 shown in FIG. 1 has a higher degree of air cleanliness than the primary changing room R2, and its chamber pressure is also higher. Therefore, when the worker opens the door De when entering the pretreatment room R3 from the primary changing room R2, as shown by the broken line arrow in FIG. 1, the primary changing room on the low pressure side from the pretreatment room R3 on the high pressure side While air flows into R2, there is almost no reverse flow. As a result, the intrusion of dust from the primary changing room R2 into the pretreatment room R3 is suppressed, and the cleanliness of the pretreatment room R3 is maintained at a predetermined level.
  • the attachment / detachment room R1, the primary changing room R2, the pretreatment room R3, the dressing room R10, and the front room R11 are provided adjacent to each other in this order.
  • the pretreatment chamber R3 is provided with a biohazard cabinet BSC1 for handling a predetermined sample.
  • the sample used in the biohazard cabinet BSC1 is carried in sequentially through the anterior chamber R4 and the pass box PB1.
  • the products (cell processed products, etc.) produced in the biohazard cabinet BSC1 are sequentially carried out through the pass box PB2 and the anterior chamber R5.
  • the pass boxes PB1 and PB2 are spaces for suppressing contamination (sample contamination).
  • the detachable room R1, the primary changing room R2, the secondary changing room R6, the airlock AL1, the preparation room R7, the airlock AL2, the dressing room R10, and the anterior room R11 are provided adjacent to each other in this order. There is. When a worker performs a predetermined work in the preparation room R7, he / she passes through each room in the above-mentioned order.
  • the airlocks AL1 and AL2 are spaces for suppressing the intrusion of dust into the highly clean preparation room R7, and the room pressure is higher than that of other rooms.
  • the preparation chamber R7 and the pretreatment chamber R3 it is possible to put in and take out processed cell products and the like via the pass box PB5.
  • the cleanliness of the preparation chamber R7 is higher than that of the pretreatment chamber R3, and the chamber pressure is also higher than that of the pretreatment chamber R3. As a result, contamination when the door Dx or the door Dy is opened can be suppressed.
  • the preparation chamber R7 is provided with biohazard cabinets BSC2 and BSC3 for handling a predetermined sample.
  • the products (cell processed products, etc.) produced by the biohazard cabinets BSC2 and BSC3 are sequentially carried out through the pass box PB3 and the anterior chamber R8.
  • the waste and the like are sequentially carried out through the pass box PB4 and the anterior chamber R9.
  • the air handling unit 50 will be described later.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing the arrangement and the like of a plurality of fan filter units.
  • the air flow is indicated by a solid arrow.
  • FIG. 2 shows a part of each room in FIG. 1 (floor plan), and
  • FIG. 5 shows the remaining rooms.
  • FIGS. 2 and 5 are schematic cross-sectional views focusing on the flow of air, for example, air is guided from the preparation chamber R7 to the chamber C via the duct shaft DS2.
  • the duct shaft DS1 shown in FIG. 2 is a space for guiding air from the preparation chamber R7 to the chamber C. Further, although not shown in FIG. 1, the duct shafts DS2 to DS5 are also spaces for guiding air from a predetermined room to the chamber C. These duct shafts DS1 to DS5 are formed by wind conduits (not shown) provided in a gap or the like between adjacent rooms.
  • the air conditioning system S includes an air handling unit 50, fan filter units 1 to 11, and pressure sensors 31 to 36.
  • the air handling unit 50 is a device that adjusts the temperature of air and the like.
  • the air handling unit 50 includes a filter 51, a cooling coil 52, a fan 53, and an inverter 54.
  • the filter 51 removes dust from the air sucked from the preparation chamber R7 via the duct shaft DS1.
  • the cooling coil 52 is a heat exchanger in which heat exchange is performed between the air that has passed through the filter 51 and the refrigerant that passes through a heat transfer tube (not shown).
  • the fan 53 is a blower that pumps the air heat-exchanged by the cooling coil 52 to the chamber C via the duct D1.
  • the inverter 54 controls a motor (not shown) that is a drive source of the fan 53.
  • the outlet side of the fan 53 and the chamber C are connected via a duct D1.
  • the duct D1 is a wind conduit that guides air whose temperature and the like have been adjusted by the air handling unit 50 to the chamber C.
  • a damper B1 is provided in the duct D1. Then, for example, the damper B1 is set to a predetermined opening degree during the trial run of the air conditioning system S, and is maintained at the predetermined opening degree during the subsequent air conditioning operation.
  • the chamber C shown in FIG. 2 is a space provided between the downstream ends of the ducts D1 and D2 and each room such as the preparation room R7. Specifically, the chamber C is formed by the ceiling G of each room such as the preparation room R7, the upper plate Ta, and the side plates Tb and Tc.
  • the upper plate Ta is provided at a position higher than the ceiling G, and the plate surface of the upper plate Ta is substantially parallel to the surface of the ceiling G.
  • a side plate Tb is provided so as to connect the ceiling G and the edge of the upper plate Ta on one side in the lateral direction (left side of the paper surface).
  • the side plate Tc is provided so as to connect the ceiling G and the edge of the upper plate Ta on the other side in the lateral direction (right side of the paper surface).
  • the vertical distance between the ceiling G and the upper plate Ta is appropriately set at the design stage so as not to hinder the flow of air through the chamber C.
  • the fan filter unit 1 (first unit) is a device that supplies air from the chamber C including the space behind the ceiling of the preparation room R7 (clean room) to the preparation room R7, and is embedded in the ceiling G.
  • the fan filter unit 1 includes a control device (not shown) in addition to the air supply fan 1a (first fan) and the filter 1b (first filter) shown in FIG.
  • the air supply fan 1a is a blower that supplies air from the chamber C to the preparation chamber R7, and is provided with a fan body and a fan motor, although not shown.
  • a fan body of the air supply fan 1a for example, an axial fan such as a propeller fan is used.
  • the fan motor of the air supply fan 1a for example, a DC motor is used.
  • the DC motor described above may be a brushless DC motor or a DC motor with a brush.
  • the filter 1b is a filter that removes dust from the air blown from the air supply fan 1a to the preparation chamber R7, and is provided on the blowing side of the air supply fan 1a.
  • a filter 1b for example, HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter) or ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter) is used.
  • the housing (not shown) accommodating the air supply fan 1a and the filter 1b is fitted into the opening (not shown) of the ceiling G of the preparation chamber R7 and fixed with metal fittings or the like.
  • Another fan filter unit 2 provided on the ceiling G of the preparation chamber R7 has the same configuration as the fan filter unit 1 described above.
  • the fan filter unit 3 (second unit) is a device that returns air through the chamber C of the preparation chamber R7 and exhausts the air from the preparation chamber R7.
  • the "returning air” of the preparation chamber R7 means that at least a part of the air in the preparation chamber R7 is returned to the preparation chamber R7.
  • the fan filter unit 3 is shown on the lower side of the floor F of the preparation chamber R7, but as shown in FIG. 1, a space adjacent to the preparation chamber R7 via the door Dp.
  • a fan filter unit 3 is provided on the outside of the wall of R12.
  • the fan filter unit 3 includes a return air fan 3a (second fan) and a filter 3b (second filter), and also includes a control device 3c (not shown in FIG. 2, see FIG. 3). ) Is provided.
  • FIG. 3 is a configuration diagram relating to the control of the fan filter unit 3.
  • the return air fan 3a shown in FIG. 3 is a blower that returns air through the air chamber C (see FIG. 2) of the preparation chamber R7 and exhausts the air from the preparation chamber R7, and is a fan main body a1 and a fan motor. It is equipped with a2.
  • As the fan body a1 of such a return air fan 3a for example, an axial fan such as a propeller fan is used.
  • the fan motor a2 of the return air fan 3a for example, a DC motor is used.
  • the control device 3c is a device that controls the fan motor a2 based on the detected value of the pressure sensor 31, and is arranged near the fan motor a2, for example.
  • the control device 3c includes electronic circuits such as a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and various interfaces. Then, the program stored in the ROM is read out and expanded in the RAM, and the CPU executes various processes.
  • a CPU Central Processing Unit
  • ROM Read Only Memory
  • RAM Random Access Memory
  • the control device 3c includes a storage unit c1 and a control unit c2.
  • a predetermined program is stored in advance in the storage unit c1.
  • the control unit c2 predeterminedly controls the fan motor a2 of the return air fan 3a based on the detected value of the pressure sensor 31.
  • a PLC Programmable Logic Controller: not shown
  • connected to the control device 3c may be provided. Then, even if the control device 3c changes the upper limit value and the lower limit value of the rotation speed of the return air fan 3a to predetermined values based on the values input to the PLC (not shown) from other devices and sensors. Good.
  • the filter 3b removes dust from the air sucked into the return air fan 3a from the preparation chamber R7 (see also FIG. 2), and is provided on the suction side of the return air fan 3a.
  • a filter 3b for example, HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter) or ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter) is used. Since the filter 3b also functions as a resistor (air resistance) when air flows out from the preparation chamber R7, there is an advantage that the chamber pressure of the preparation chamber R7 can be easily maintained at a relatively high value.
  • the housing (not shown) accommodating the return air fan 3a and the filter 3b is opened in the wall opening (not shown in FIG. 1) forming the space R12 (see FIG. 1). It is fitted and fixed with metal fittings or the like.
  • the pressure sensor 31 shown in FIG. 3 is a sensor that detects the pressure in the preparation chamber R7 (see FIG. 2), and is provided in the preparation chamber R7. The detected value of the pressure sensor 31 is output to the control device 3c.
  • the reference pressure for detecting the room pressure of the preparation room R7 the room pressure of a predetermined general room (not shown) provided outside each room of the air conditioning system S may be used.
  • the rotation speed of the air supply fans 1a and 2a shown in FIG. 2 is a predetermined value (fixed value), while the rotation speed of the return air fan 3a is based on the detection value of the pressure sensor 31. , The case where it is changed as appropriate will be described.
  • the air supply fans 1a and 2a and the return air fan 3a shown in FIG. 2 are often always driven during the air conditioning operation.
  • the air volume (that is, rotation speed) of the air supply fans 1a and 2a is preset so that the air in the preparation chamber R7 is ventilated a predetermined number of times per unit time. The higher the ventilation rate per unit time, the higher the cleanliness of the preparation chamber R7.
  • the return air fan 3a maintains the air taken in by the air supply fans 1a and 2a so as to exit from the preparation chamber R7, and the chamber pressure of the preparation chamber R7 is maintained at a predetermined set pressure (target value of the chamber pressure).
  • the rotation speed is adjusted as appropriate.
  • the gaps k1 and k2 shown in FIG. 2 are ventilation passages when air exits from the preparation chamber R7.
  • One gap k1 is, for example, between the packing (not shown) at the lower end of the door Dq (see FIG. 1) that separates the preparation chamber R7 and the space R13 (see FIG. 1) and the floor surface of the preparation chamber R7. It is a gap of.
  • the space R13 shown in FIG. 1 communicates with the suction side of the air handling unit 50 via the duct shaft DS1 (see FIG. 2). Further, the height position of the lower end of the packing of the door Dq can be adjusted so that the size of the gap k1 can be adjusted appropriately.
  • the other gap k2 shown in FIG. 2 is, for example, between the packing (not shown) at the lower end of the door Dp that separates the preparation chamber R7 and the space R12 (see FIG. 1) and the floor surface of the preparation chamber R7. There is a gap.
  • the space R12 shown in FIG. 1 communicates with the chamber C (see FIG. 2) via the duct shaft DS2 (see FIG. 2) and also communicates with the suction side of the return air fan 3a. Then, the height position of the packing of the door Dp can be adjusted so that the size of the gap k2 can be adjusted.
  • the size (aperture ratio) of the gaps k1 and k2 is appropriately adjusted at the time of design and trial run based on the volume of the preparation chamber R7 as well as the target values such as the ventilation frequency and the chamber pressure.
  • a thin plate h2 having a plurality of holes is provided at the upper end of the duct shaft DS2. Then, while the return air fan 3a is being driven, a part of the air guided from the preparation chamber R7 to the duct shaft DS2 through the gap k2 is returned to the chamber C through the plurality of holes of the thin plate h2 (that is,). It is supposed to be repatriated). In this way, by returning the air in the preparation chamber R7 through the chamber C, the highly clean air is reused for air conditioning in each chamber.
  • the fan filter unit 2 (second unit) sucks air through a predetermined gap k2 provided in the wall W2 (or floor F) of the preparation chamber R7, and a part of the sucked air is used as the duct shaft DS2. It is arranged to evacuate the remaining air while returning it to chamber C via.
  • the preparation chamber R7 communicates with and returns to the chamber C via the suction side of the air supply fans 1a and 2a. It communicates with the chamber C via the suction side of the air fan 3a. Then, as will be described next, the chamber pressure of the preparation chamber R7 is adjusted by controlling the return air fan 3a.
  • the airlock AL1 has a higher chamber pressure than the preparation chamber R7, so that air flows from the airlock AL1 into the preparation chamber R7 and the chamber pressure of the preparation chamber R7. Rise slightly.
  • the control unit c2 (see FIG. 3) is subjected to the fan motor a2 (see FIG. 3). Increase the rotation speed to a predetermined level.
  • the increase width (and decrease width) of the rotation speed of the fan motor a2 is predeterminedly calculated based on a program stored in advance in the storage unit c1 (see FIG. 3).
  • FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between the rotation speed of the return air fan and the air volume.
  • the horizontal axis of FIG. 4 is the rotation speed of the return air fan 3a (that is, the rotation speed of the fan motor a2), and the vertical axis is the air volume of the return air fan 3a.
  • the higher the rotation speed of the return air fan 3a the larger the air volume.
  • the rotation speed of the return air fan 3a and the air volume have a linear relationship (proportional relationship). Therefore, there is an advantage that the air volume can be finely adjusted by the return air fan 3a as compared with the case where the air volume is adjusted by using a damper (not shown) having a non-linear relationship between the opening degree and the air volume characteristic.
  • the air supply fans 1a, 2a and the like have the same characteristics as those in FIG.
  • the return air fan 3a is preset with a lower limit value N1 of its rotation speed and a lower limit value Q1 of an air volume corresponding thereto based on a predetermined specification.
  • the upper limit value N2 of the rotation speed of the return air fan 3a and the upper limit value Q2 of the corresponding air volume are also set in advance.
  • a specific numerical example thereof is 50 [m 3 / h]
  • the air volume is adjusted by the return air fan 3a, which has a linear rotation speed-air volume characteristic, the air volume can be finely adjusted even near the upper and lower limits of the rotation speed.
  • the chamber pressure of the preparation chamber R7 can be maintained with high accuracy while driving the air supply fans 1a and 2a (see FIG. 2) and the return air fans 3a (see FIG. 2) with a low air volume.
  • the control unit c2 (see FIG. 3) is a fan motor.
  • the rotation speed of a2 (see FIG. 3) is increased to a predetermined value.
  • the air supply fan 2a is driven at a predetermined rotation speed (fixed value).
  • the air volume of the return air fan 3a can be finely adjusted even in the vicinity of the lower limit value Q1 shown in FIG. 4, the chamber pressure of the preparation chamber R7 can be maintained with high accuracy even at a low air volume.
  • the control unit c2 (see FIG. 3) is subjected to the fan motor a2 (see FIG. 3). Decrease the rotation speed to a predetermined level. As a result, in the preparation chamber R7, the temporarily lowered chamber pressure is returned to a predetermined target value. By such control, the fluctuation of the chamber pressure of the preparation chamber R7 is suppressed, and the chamber pressure is maintained near a predetermined target value.
  • the pressure of the chamber C fluctuates slightly due to the return air to the chamber C by the return air fans 7a, 9a, 11a described later, but it adversely affects the maintenance of the chamber pressure in each chamber. It's almost nonexistent.
  • a fan filter unit 4 is embedded in the ceiling G of the front chamber R9. Further, a pressure sensor 32 is provided in the front chamber R9. Then, based on the detected value of the pressure sensor 32, the rotation speed of the air supply fan 4a is controlled so as to maintain the chamber pressure of the front chamber R9 at a predetermined target value. Since the configuration and control of the air supply fan 4a are the same as those of the return air fan 3a described above, the description thereof will be omitted.
  • FIG. 2 shows an arrow so as to pass from the floor F of the front chamber R9 to the lower side of the paper surface.
  • the packing (not shown) at the lower end of the door Dw (see FIG. 1) and the front The air in the front chamber R9 is exhausted through the gap between the floor surface of the chamber R9 and the floor surface.
  • the other anterior chamber R8 is not particularly provided on the exhaust side of the air from the front chamber R9.
  • An air supply fan 6a (first fan) is embedded in the ceiling G of the airlock AL2 shown in FIG.
  • a return air fan 7a (second fan) is embedded in the side wall of the airlock AL2.
  • the airlock AL2 is provided with a pressure sensor 34 for detecting the chamber pressure. Then, while the air supply fan 6a is driven at a predetermined rotation speed (fixed value), the rotation speed of the return air fan 7a is controlled (changed) so as to maintain the chamber pressure of the airlock AL2 at a predetermined target value. It is supposed to be done.
  • the air blown out from the return air fan 7a is returned to the chamber C through the duct shaft DS3 and the plurality of holes of the thin plate h3 in sequence.
  • the airlock AL2 passes through the suction side of the air supply fan 6a (first fan) to the chamber. It communicates with C and also communicates with chamber C via the outlet side of the return air fan 7a (second fan).
  • the configuration and control of the return air fan 7a are the same as those of the return air fan 3a used for air conditioning in the preparation room R7. Is.
  • the room pressure of the airlock AL2 can be maintained with high accuracy, and air having a relatively high degree of cleanliness can be reused for air conditioning in each room.
  • control of the room pressure of the airlock AL1 and the secondary changing room R6 is the same as the control of the room pressure of the preparation room R7. Therefore, detailed description of these will be omitted.
  • the air conditioning of the remaining rooms not shown in FIG. 2 will be described.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram showing the arrangement and the like of a plurality of fan filter units.
  • the ceiling G shown in FIG. 5 is the same as that shown in FIG. Further, the chamber C shown in FIG. 5 is also the same as that shown in FIG.
  • the fan filter unit 12 (first unit) is a device that supplies air from the chamber C to the primary changing room R2, and is embedded in the ceiling G. Since the configuration of the fan filter unit 12 is the same as that of the fan filter unit 1 and the like (see FIG. 2) in the preparation chamber R7, the description thereof will be omitted.
  • the fan filter unit 13 (second unit) is a device that exhausts air from the primary changing room R2. As described above, the example of FIG. 5 is different from the above-mentioned fan filter units 3, 7, 9, 11 (see FIG. 2) in that the fan filter unit 13 is not used for return air. Further, in FIG. 5, the fan filter unit 13 is shown on the lower side of the floor F of the primary changing room R2 for simplification, but as shown in FIG. 1, the primary changing room R2 and the outside are separated from each other. The fan filter unit 13 is embedded in the wall.
  • the fan filter unit 13 includes a control device (not shown) in addition to the exhaust fan 13a (second fan) and the filter 13b (second filter) shown in FIG. Further, the primary changing room R2 is provided with a pressure sensor 37 for detecting the room pressure. Then, the control device (not shown) controls the rotation speed of the exhaust fan 13a so that the chamber pressure of the primary changing room R2 is set to a predetermined target value based on the detection value of the pressure sensor 37. There is.
  • the fan filter unit 3 and 3 are included in the "second unit” having the “second fan” that returns air through the chamber C of the "clean room” and exhausts at least one of the exhaust from the "clean room".
  • fan filter units 18, 22 are also included.
  • the air conditioning of the detachable chamber R1, the anterior chambers R4, R5, and R11 shown in FIG. 5 is the same as that of the anterior chamber R9 (see FIG. 2), and thus the description thereof will be omitted.
  • Fan filter units 20 to 22 are embedded in the ceiling G of the pretreatment chamber R3 shown in FIG.
  • the suction sides of the air supply fans 20a and 21a of the fan filter units 20 and 21 communicate with the chamber C.
  • the outlet side of the exhaust fan 22a of the fan filter unit 22 is open to the outside.
  • a pressure sensor 43 is provided in the pretreatment chamber R3. Then, based on the detected value of the pressure sensor 43, the rotation speed of the exhaust fan 22a is controlled so as to maintain the chamber pressure of the pretreatment chamber R3 at a predetermined target value.
  • a part of the air supplied to the pretreatment chamber R3 by driving the air supply fans 20a and 21a is discharged by the exhaust fan 22a. Further, the remaining air is guided to the suction side of the air handling unit (not shown) through the predetermined gap k3, the duct shaft DS6, and the duct D3 in this order.
  • the duct D3 is a wind duct that guides air from the chamber C to the air handling unit (not shown). Further, the above-mentioned air handling unit (not shown) is a device that supplies air whose temperature and the like are adjusted through the duct D3.
  • the opening degree of the damper B3 provided in the duct D3 is maintained in a predetermined state during a trial run or the like.
  • the chamber pressure of the preparation chamber R7 (see FIG. 2) to which air is supplied from the air supply fans 1a and 2a (see FIG. 2) is maintained at a predetermined level by the control of the return air fan 3a.
  • the configuration of the air conditioning system S can be simplified. Further, it becomes easy to provide a predetermined gas pipe (not shown) in the chamber C, or to route a communication line or a power line.
  • the construction period when installing the air conditioning system S can be shortened, and the cost required for the installation can be reduced. It also makes it easier to handle cases where the installation space is limited, such as in a building with multiple facilities.
  • the chamber pressure of the preparation chamber R7 (see FIG. 2) is adjusted by the return air fan 3a, the above-mentioned pressure loss and response delay hardly occur. Further, since the rotation speed-air volume characteristics of the return air fan 3a and the like are linear (see FIG. 4), the chamber pressure of the preparation chamber R7 can be maintained with high accuracy. The same can be said for each of the other rooms.
  • the air conditioning system S can be applied.
  • the structure and control for adjusting the room pressure are independent (completed). Therefore, the degree of freedom in designing the air conditioning system S is high, and expansion is easy. As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide the air conditioning system S that maintains the room pressure of the clean room (preparation room R7, etc.) with high accuracy with a simple configuration, and contribute to social contribution.
  • the air conditioning system S according to the present invention has been described above by embodiment, the present invention is not limited to these descriptions, and various modifications can be made.
  • the chamber pressure of the preparation room R7 (see FIG. 2) is adjusted by the return air fan 3a
  • the chamber pressure of the primary changing room R2 (see FIG. 5) is adjusted by the exhaust fan 13a, and the like.
  • the exhaust fan 13a is adjusted by the exhaust fan 13a, and the like.
  • the rotation speed may be changed), and the rotation speed of the "second fan” may be kept constant.
  • the “control unit” reduces the rotation speed of the "first fan” to a predetermined value.
  • the “control unit” increases the rotation speed of the "first fan” to a predetermined value. Even with such a configuration, the room pressure of the clean room can be maintained with high accuracy.
  • control unit may control both the “first fan” and the “second fan” described above.
  • the "control unit” rotates the “second fan” while reducing (or maintaining) the rotation speed of the "first fan", for example. Increase speed.
  • the "control unit” increases (or maintains) the rotation speed of the "first fan” while decreasing the rotation speed of the "second fan”. In this way, the “control unit” may control the rotation speed of at least one of the "first fan” and the "second fan”. Even with such a configuration, the room pressure of the clean room can be maintained with high accuracy.
  • the set pressure (target value of the room pressure) of any of the plurality of clean rooms adjacent to the self is set.
  • There may be a predetermined clean room for example, the airlocks AL1 and AL2 shown in FIG. 1) having a pressure lower than the set pressure of.
  • the filter 7b of the fan filter unit 7 on the return air side of the airlock AL2 also functions as a resistor in the air flow, so that the chamber pressure of the airlock AL2 is increased. It has the advantage of being easy to maintain at a relatively high value.
  • three or more clean rooms separated by a wall provided with a door are provided, and among the three or more clean rooms, the set pressure (target value of the room pressure) of any of the plurality of clean rooms adjacent to the self is set.
  • the set pressure target value of the room pressure
  • the room pressure of each clean room is controlled independently, such a room arrangement is also possible.
  • a clean room in which both return air and exhaust are performed by a "second fan” (for example, return air fan 3a: see FIG. 2) and another "second fan” (see FIG. 2).
  • a clean room airlock AL2: see FIG. 2) in which the return air is returned by the return air fan 7a (see FIG. 2) may be mixed.
  • exhausting is also performed by the return air fans 3a, 7a, etc., so that the pressure fluctuation of the chamber C is suppressed, and by extension, the chamber pressure of each chamber is further increased. Can be maintained with high accuracy.
  • highly clean air can be reused.
  • a clean room in which both return air and exhaust are performed by a "second fan” (for example, return air fan 3a: see FIG. 2) and another "second fan” (see FIG. 2).
  • a clean room primary changing room R2: see FIG. 5 in which exhaust is performed by the exhaust fan 13a (see FIG. 5) may be mixed.
  • the ventilation rate per unit time of the clean room where both return air and exhaust are performed is the clean room where only exhaust is performed (for example, primary changing). It may be set to be higher than the ventilation frequency of the chamber R2: see FIG. 5).
  • a clean room in which air is returned by a "second fan” (for example, return air fan 7a: see FIG. 2) and another "second fan” (for example, exhaust fan 13a).
  • a clean room primary changing room R2: see FIG. 5) in which exhaust is performed by (see FIG. 5) may be mixed.
  • the pressure fluctuation of the chamber C is suppressed, and the chamber pressure of each chamber can be maintained with higher accuracy.
  • each fan including the air supply fans 1a and 2a and the return air fan 3a has been described, but the present invention is not limited to this. That is, as each fan including the air supply fans 1a and 2a and the return air fan 3a, a centrifugal fan or the like may be used in addition to the mixed flow fan and the cross flow fan.
  • each fan including the air supply fans 1a and 2a and the return air fan 3a is a DC motor
  • an AC motor such as a synchronous motor may be used as a drive source for each fan including the air supply fans 1a and 2a and the return air fan 3a.
  • HEPA or ULPA is used as the filter 1b included in the fan filter unit 1
  • the present invention is not limited to this.
  • other types of filters such as a filter using PTFE (ethylene tetrafluoride resin) may be used.
  • the control device of the air supply fans 1a and 2a (not shown) and the control device 3c of the return air fan 3a are separately provided.
  • the chamber pressure of the pretreatment chamber R3 (see FIG. 1) and the preparation chamber R7 (see FIG. 1) in which the sample is handled is the chamber pressure of each chamber other than the airlock AL1 and AL2 (see FIG. 1).
  • higher pressure that is, positive pressure
  • the embodiment can be applied even when a clean room having a lower room pressure (that is, negative pressure) than other rooms is provided as a work space for a production process such as a medical facility or a laboratory animal facility.
  • the air conditioning system S is used in the regenerative medicine facility has been described as an example, but the present invention is not limited to this. That is, the embodiment can be applied to various other fields such as manufacturing of industrial products, food industry, and manufacturing of pharmaceutical products.
  • each embodiment is described in detail in order to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and is not necessarily limited to the one including all the configurations described. Further, it is possible to add / delete / replace a part of the configuration of the embodiment with another configuration.
  • the above-mentioned mechanism and configuration show what is considered necessary for explanation, and do not necessarily show all the mechanisms and configurations in the product.
  • Fan filter unit 3,7,9,11,13,18,22 Fan filter unit (second unit) 1a, 2a, 4a, 5a, 6a, 8a, 10a, 12a, 14a, 15a, 16a, 17a, 19a, 20a, 21a Air supply fan (first fan) 1b, 2b, 4b, 5b, 6b, 8b, 10b, 12b, 14b, 15b, 16b, 17b, 19b, 20b, 21b filters (first filter) 3a, 7a, 9a, 11a Return air fan (second fan) 3b, 7b, 9b, 11b filter (second filter) 13a, 18a, 22a Exhaust fan (second fan) 13b, 18b, 22b filter (second filter) 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 40, 41, 42, 43 Pressure sensor 3c Control device a1 Fan body a2 Fan motor (DC)

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Abstract

簡素な構成でクリーンルームの室圧を高精度に維持する空調システムを提供する。空調システム（Ｓ）は、調製室（Ｒ７）の天井裏の空間を含むチャンバ（Ｃ）から調製室（Ｒ７）への給気を行う給気ファン（１ａ，２ａ）を有するファンフィルタユニット（１，２）と、調製室（Ｒ７）の空気のチャンバ（Ｃ）を介した還気、及び、調製室（Ｒ７）からの排気を行う還気ファン（３ａ）を有するファンフィルタユニット（３）と、を備えるとともに、調製室（Ｒ７）に設けられる圧力センサ（３１）と、圧力センサ（３１）の検出値に基づいて、還気ファン（３ａ）を制御する制御部と、を備える。

Description

空調システム
　本発明は、空調システムに関する。
　再生医療や医薬品の製造の他、半導体や精密機械の製造等において、空気の清浄度の高いクリーンルームが用いられることが多い。このようなクリーンルームの室圧の調整に関して、例えば、特許文献１に記載の技術が知られている。すなわち、特許文献１には、「天井埋め込み形空調機１３から、天井内チャンバー１２ａ～ｅへ通ずるダクトに、風量調整ダンパ２０ａを設けることによって、天井内チャンバー１２ａ～ｅへの所望の給気量の分配を実現する」ことが記載されている。
特許第５６１５４１７号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の技術では、風量調整ダンパによってクリーンルームの室圧が調整される一方、給気側・還気側の各ファンの風量は一定である。このような構成において、クリーンルームの室圧を所定の目標値に維持するためにダンパの開度を変化させると、ダクトにおける空気の圧力損失等に起因して、室圧の応答遅れが生じやすくなる。
　さらに、前記した応答遅れの他、ダンパの開度－風量特性の非線形性に起因して、クリーンルームの室圧調整時にオーバーシュートが生じやすいという問題もある。このように特許文献１に記載の技術は、室圧を高精度に維持するという点で改善の余地がある。また、クリーンルームの空調を行う空調システムの簡素化も求められている。
　そこで、本発明は、簡素な構成でクリーンルームの室圧を高精度に維持する空調システムを提供することを課題とする。
　前記した課題を解決するために、本発明に係る空調システムは、クリーンルームの天井裏の空間を含むチャンバから前記クリーンルームへの給気を行う第１ファンを有する第１ユニットと、前記クリーンルームの空気の前記チャンバを介した還気、及び、前記クリーンルームからの排気のうち少なくとも一方を行う第２ファンを有する第２ユニットと、を備えるとともに、前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、前記圧力センサの検出値に基づいて、前記第１ファン及び前記第２ファンのうち少なくとも一方を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
　本発明によれば、簡素な構成でクリーンルームの室圧を高精度に維持する空調システムを提供できる。
本発明の実施形態に係る空調システムの各部屋の間取りを示す説明図である。 本発明の実施形態に係る空調システムが備える複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。 本発明の実施形態に係る空調システムが備えるファンフィルタユニットの制御に関する構成図である。 本発明の実施形態に係る空調システムの還気ファンの回転速度と風量との関係を示す特性図である。 本発明の実施形態に係る空調システムが備える複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
≪実施形態≫
　図１は、実施形態に係る空調システムＳの各部屋の間取りを示す説明図である。
　なお、図１では、所定のドア（例えば、ドアＤｍ）が開かれた場合に空気が流れる向きを白抜きの破線矢印で示している。本実施形態では、主に、各部屋の室圧の調整について説明するが、室圧の他に空気の温度や湿度を調整する場合も「空調」に含まれるものとする。また、室圧のみの調整も「空調」に含まれるものとする。
　空調システムＳは、前処理室Ｒ３（クリーンルーム）や調製室Ｒ７（クリーンルーム）といった複数の部屋の室圧等を調整するシステムであり、例えば、再生医療施設に設けられる。このような空調システムＳでは、空気の清浄度の異なる部屋が複数設けられることが多い。そして、清浄度の低い部屋から清浄度の高い部屋への空気の漏洩を抑制するために、隣り合う部屋の室圧に差を設けるようにしている。
　その一例を挙げると、図１に示す前処理室Ｒ３は、１次更衣室Ｒ２よりも空気の清浄度が高く、また、その室圧も高い。したがって、作業員が１次更衣室Ｒ２から前処理室Ｒ３に入る際にドアＤｅを開くと、図１の破線矢印で示すように、高圧側の前処理室Ｒ３から低圧側の１次更衣室Ｒ２へと空気が流れ込む一方、逆向きの流れが生じることはほとんどない。これによって、１次更衣室Ｒ２から前処理室Ｒ３への塵埃の侵入が抑制され、前処理室Ｒ３の清浄度が所定に維持される。
　しかしながら、空気の移動に伴い、１次更衣室Ｒ２の室圧が一時的に高くなる一方、前処理室Ｒ３の室圧は一時的に低くなる。ドアＤｅが開閉されるたびに、このような室圧の変動が生じる。そこで、本実施形態では、後記する各機器の制御によって、各部屋の室圧の変動を抑制するようにしている。
　なお、図１において、隣り合う２つの部屋の一方から他方に向かう白抜きの破線矢印を記載しているものは、前記した一方の部屋の方が、他方よりも室圧が高いものとする。また、図１で符号を付した複数の部屋やドアのうち、適宜に説明を省略するものがあるものとする。例えば、複数のドアＤａ～Ｄｚ，Ｄα，Ｄβ，Ｄγ，Ｄδのうち、その一部については説明を省略する。
　図１に示すように、着脱室Ｒ１、１次更衣室Ｒ２、前処理室Ｒ３、脱衣室Ｒ１０、及び前室Ｒ１１が、この順で隣り合うように設けられている。作業員が、前処理室Ｒ３で所定の作業を行う場合には、前記した順で各部屋を通り抜ける。前処理室Ｒ３には、所定の試料を扱うためのバイオハザードキャビネットＢＳＣ１が設けられている。バイオハザードキャビネットＢＳＣ１で用いられる試料は、前室Ｒ４及びパスボックスＰＢ１を順次に介して、搬入される。一方、バイオハザードキャビネットＢＳＣ１で作成された製品（細胞加工品等）は、パスボックスＰＢ２及び前室Ｒ５を順次に介して、搬出される。なお、パスボックスＰＢ１，ＰＢ２は、コンタミネーション（試料汚染）を抑制するための空間である。
　また、着脱室Ｒ１、１次更衣室Ｒ２、２次更衣室Ｒ６、エアロックＡＬ１、調製室Ｒ７、エアロックＡＬ２、脱衣室Ｒ１０、及び前室Ｒ１１が、この順で隣り合うように設けられている。作業員が、調製室Ｒ７で所定の作業を行う場合には、前記した順で各部屋を通り抜ける。エアロックＡＬ１，ＡＬ２は、清浄度が高い調製室Ｒ７への塵埃の侵入を抑制するための空間であり、他の部屋に比べて室圧が高くなっている。
　また、調製室Ｒ７と前処理室Ｒ３との間も、パスボックスＰＢ５を介して、細胞加工品等の出し入れが可能になっている。調製室Ｒ７は、その清浄度が前処理室Ｒ３よりも高く、また、室圧も前処理室Ｒ３よりも高くなっている。これによって、ドアＤｘやドアＤｙが開けられた場合のコンタミネーションを抑制できる。
　図１に示すように、調製室Ｒ７には、所定の試料を扱うためのバイオハザードキャビネットＢＳＣ２，ＢＳＣ３が設けられている。バイオハザードキャビネットＢＳＣ２，ＢＳＣ３で作成された製品（細胞加工品等）は、パスボックスＰＢ３及び前室Ｒ８を順次に介して、搬出される。一方、廃棄物等は、パスボックスＰＢ４及び前室Ｒ９を順次に介して、搬出される。
　なお、図１に示す着脱室Ｒ１、１次更衣室Ｒ２、前処理室Ｒ３、前室Ｒ４，Ｒ５、２次更衣室Ｒ６、調製室Ｒ７、前室Ｒ８，Ｒ９、脱衣室Ｒ１０、前室Ｒ１１、及びエアロックＡＬ１，ＡＬ２のそれぞれが、「クリーンルーム」に相当する。また、図１に示すファンフィルタユニット３，７，９，１１，１３，１８の他、エアハンドリングユニット５０については後記する。
　図２は、複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
　なお、図２では、空気の流れを実線矢印で示している。また、図２には、図１（間取り図）の各部屋のうちの一部を図示し、残りの部屋については図５に示している。これらの図２、図５は、例えば、調製室Ｒ７からダクトシャフトＤＳ２を介して、チャンバＣに空気が導かれるといったように、空気の流れに着目した模式的な断面図になっている。
　また、図２に示すダクトシャフトＤＳ１は、図１には図示していないが、調製室Ｒ７からチャンバＣに空気を導く空間である。また、ダクトシャフトＤＳ２～ＤＳ５も、図１には図示していないが、所定の部屋からチャンバＣに空気を導く空間である。これらのダクトシャフトＤＳ１～ＤＳ５は、隣り合う部屋の間の隙間等に設けられた風導管（図示せず）で形成されている。
　図２に示すように、空調システムＳは、エアハンドリングユニット５０と、ファンフィルタユニット１～１１と、圧力センサ３１～３６と、を備えている。
　エアハンドリングユニット５０は、空気の温度等を調整する装置である。図２に示すように、エアハンドリングユニット５０は、フィルタ５１と、冷却コイル５２と、ファン５３と、インバータ５４と、を備えている。
　フィルタ５１は、調製室Ｒ７からダクトシャフトＤＳ１を介して吸い込まれる空気から塵埃を除去するものである。冷却コイル５２は、フィルタ５１を通過した空気と、伝熱管（図示せず）を通流する冷媒と、の間で熱交換が行われる熱交換器である。ファン５３は、冷却コイル５２で熱交換した空気を、ダクトＤ１を介して、チャンバＣに圧送する送風機である。インバータ５４は、ファン５３の駆動源であるモータ（図示せず）を制御する。
　図２に示すように、ファン５３の吹出側と、チャンバＣと、はダクトＤ１を介して接続されている。なお、ダクトＤ１は、エアハンドリングユニット５０で温度等が調整された空気をチャンバＣに導く風導管である。このダクトＤ１には、ダンパＢ１が設けられている。そして、例えば、空調システムＳの試運転時にダンパＢ１が所定開度に設定され、その後の空調運転中は、前記した所定開度で維持されるようになっている。
　また、図２の例では、前記したダクトＤ１の他に、別のダクトＤ２を介して、温度等が調整された空気がチャンバＣに導かれるようになっている。なお、温度等が調整された空気をダクトＤ２を介して供給する別のエアハンドリングユニットについては、周知の構成であるから、図２では図示を省略している。このようにして、ダクトＤ１，Ｄ２を介して供給された空気は、チャンバＣにおいて合流する。なお、一方のダクトＤ１を通流する空気の温度と、他方のダクトＤ２を通流する空気の温度と、が異なっていてもよいし、また、略等しくてもよい。
　図２に示すチャンバＣは、ダクトＤ１，Ｄ２の下流端と、調製室Ｒ７等の各部屋と、の間に設けられる空間である。具体的に説明すると、チャンバＣは、調製室Ｒ７等の各部屋の天井Ｇと、上板Ｔａと、側板Ｔｂ，Ｔｃと、によって形成されている。図２の例では、天井Ｇよりも高い位置に上板Ｔａが設けられ、上板Ｔａの板面が天井Ｇの面に対して略平行になっている。また、天井Ｇと上板Ｔａの横方向一方側（紙面左側）の縁を接続するように、側板Ｔｂが設けられている。同様に、天井Ｇと上板Ｔａの横方向他方側（紙面右側）の縁を接続するように、側板Ｔｃが設けられている。なお、天井Ｇと上板Ｔａとの間の縦方向の距離は、チャンバＣを介した空気の通流に支障が生じない程度に設計段階で適宜に設定されている。
　ファンフィルタユニット１（第１ユニット）は、調製室Ｒ７（クリーンルーム）の天井裏の空間を含むチャンバＣから調製室Ｒ７への給気を行う機器であり、天井Ｇに埋設されている。ファンフィルタユニット１は、図２に示す給気ファン１ａ（第１ファン）及びフィルタ１ｂ（第１フィルタ）の他に、制御装置（図示せず）を備えている。
　給気ファン１ａは、チャンバＣから調製室Ｒ７への給気を行う送風機であり、図示はしないが、ファン本体と、ファンモータと、を備えている。給気ファン１ａのファン本体として、例えば、プロペラファンといった軸流ファンが用いられる。また、給気ファン１ａのファンモータとして、例えば、直流モータが用いられる。前記した直流モータは、ブラシレス直流モータであってもよいし、また、ブラシ付きの直流モータであってもよい。
　フィルタ１ｂは、給気ファン１ａから調製室Ｒ７に吹き出される空気から塵埃を除去するフィルタであり、給気ファン１ａの吹出側に設けられている。このようなフィルタ１ｂとして、例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）やＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）が用いられる。そして、給気ファン１ａ及びフィルタ１ｂを収容する筐体（図示せず）が、調製室Ｒ７の天井Ｇの開口部（図２では符号を図示せず）に嵌め込まれて、金具等で固定されている。なお、調製室Ｒ７の天井Ｇに設けられる別のファンフィルタユニット２も、前記したファンフィルタユニット１と同様の構成になっている。
　ファンフィルタユニット３（第２ユニット）は、調製室Ｒ７の空気のチャンバＣを介した還気、及び、調製室Ｒ７からの排気を行う機器である。なお、調製室Ｒ７の「還気」とは、調製室Ｒ７の空気の少なくとも一部を、この調製室Ｒ７に戻すことを意味している。
　また、図２では簡略化して、調製室Ｒ７の床Ｆの紙面下側にファンフィルタユニット３を図示しているが、図１に示すように、調製室Ｒ７にドアＤｐを介して隣り合う空間Ｒ１２の壁の外側にファンフィルタユニット３が設けられている。図２に示すように、ファンフィルタユニット３は、還気ファン３ａ（第２ファン）と、フィルタ３ｂ（第２フィルタ）と、を備えるとともに、制御装置３ｃ（図２では不図示、図３参照）を備えている。
　図３は、ファンフィルタユニット３の制御に関する構成図である。
　図３に示す還気ファン３ａは、調製室Ｒ７の空気のチャンバＣ（図２参照）を介した還気、及び、調製室Ｒ７からの排気を行う送風機であり、ファン本体ａ１と、ファンモータａ２と、を備えている。このような還気ファン３ａのファン本体ａ１として、例えば、プロペラファンといった軸流ファンが用いられる。また、還気ファン３ａのファンモータａ２として、例えば、直流モータが用いられる。
　制御装置３ｃは、圧力センサ３１の検出値に基づいて、ファンモータａ２を制御する装置であり、例えば、ファンモータａ２の付近に配置される。この制御装置３ｃは、図示はしないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、各種インタフェース等の電子回路を含んで構成されている。そして、ＲＯＭに記憶されたプログラムを読み出してＲＡＭに展開し、ＣＰＵが各種処理を実行するようになっている。
　図３に示すように、制御装置３ｃは、記憶部ｃ１と、制御部ｃ２と、を備えている。記憶部ｃ１には、所定のプログラムが予め記憶されている。制御部ｃ２は、圧力センサ３１の検出値に基づいて、還気ファン３ａのファンモータａ２を所定に制御する。
　なお、制御装置３ｃに接続されるＰＬＣ（Programmable Logic Controller：図示せず）を設けるようにしてもよい。そして、他の機器やセンサ類からＰＬＣ（図示せず）に入力される値に基づき、制御装置３ｃが、還気ファン３ａの回転速度の上限値・下限値を所定に変更するようにしてもよい。
　フィルタ３ｂは、調製室Ｒ７から還気ファン３ａに吸い込まれる空気（図２も参照）から塵埃を除去するものであり、還気ファン３ａの吸込側に設けられる。このようなフィルタ３ｂとして、例えば、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air Filter）やＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）が用いられる。なお、フィルタ３ｂは、調製室Ｒ７から空気が流出する際の抵抗体（空気抵抗）としても機能するため、調製室Ｒ７の室圧を比較的高い値で維持しやすいという利点もある。
　そして、還気ファン３ａ及びフィルタ３ｂを収容する筐体（図示せず）が、前記した空間Ｒ１２（図１参照）を形成している壁の開口部（図１では符号を図示せず）に嵌め込まれて、金具等で固定されている。
　図３に示す圧力センサ３１は、調製室Ｒ７（図２参照）の圧力を検出するセンサであり、調製室Ｒ７に設けられている。この圧力センサ３１の検出値は、制御装置３ｃに出力される。なお、調製室Ｒ７の室圧を検出する際の基準圧として、空調システムＳの各部屋の外部に設けられる所定の一般室（図示せず）の室圧を用いるようにしてもよい。
　本実施形態では、一例として、図２に示す給気ファン１ａ，２ａの回転速度が所定値（固定値）である一方、還気ファン３ａの回転速度が、圧力センサ３１の検出値に基づいて、適宜に変更される場合について説明する。
　図２に示す給気ファン１ａ，２ａ及び還気ファン３ａは、空調運転中、常時駆動されることが多い。給気ファン１ａ，２ａは、調製室Ｒ７の空気の換気が単位時間当たりに所定回数行われるように、その風量（つまり、回転速度）が予め設定されている。なお、単位時間当たりの換気回数が多いほど、調製室Ｒ７の清浄度が高くなる。
　還気ファン３ａは、給気ファン１ａ，２ａによって取り込まれた空気が調製室Ｒ７から出ていくように、また、調製室Ｒ７の室圧が所定の設定圧力（室圧の目標値）で維持されるように、その回転速度が適宜に調整される。
　図２に示す隙間ｋ１，ｋ２は、調製室Ｒ７から空気が出ていく際の通風路である。一方の隙間ｋ１は、例えば、調製室Ｒ７と空間Ｒ１３（図１参照）とを仕切るドアＤｑ（図１参照）の下端部のパッキン（図示せず）と、調製室Ｒ７の床面と、間の隙間である。なお、図１に示す空間Ｒ１３は、ダクトシャフトＤＳ１（図２参照）を介して、エアハンドリングユニット５０の吸込側に連通している。また、隙間ｋ１の大きさを適宜に調整できるように、ドアＤｑのパッキンの下端の高さ位置が調整可能になっている。
　図２に示す他方の隙間ｋ２は、例えば、調製室Ｒ７と空間Ｒ１２（図１参照）とを仕切るドアＤｐの下端部のパッキン（図示せず）と、調製室Ｒ７の床面と、間の隙間である。なお、図１に示す空間Ｒ１２は、ダクトシャフトＤＳ２（図２参照）を介して、チャンバＣ（図２参照）に連通するとともに、還気ファン３ａの吸込側にも連通している。そして、隙間ｋ２の大きさを調整できるように、ドアＤｐのパッキンの高さ位置が調整可能になっている。隙間ｋ１，ｋ２の大きさ（開口率）は、調製室Ｒ７の容積の他、換気回数や室圧等の目標値に基づいて、設計時や試運転時に適宜に調整される。
　また、図２の例では、複数の孔を有する薄板ｈ２が、ダクトシャフトＤＳ２の上端に設けられている。そして、還気ファン３ａの駆動中、調製室Ｒ７から隙間ｋ２を介してダクトシャフトＤＳ２に導かれた空気の一部が、薄板ｈ２の複数の孔を介して、チャンバＣに戻される（つまり、還気される）ようになっている。このように、調製室Ｒ７の空気をチャンバＣを介して還気することで、清浄度の高い空気を各室の空調に再利用するようにしている。
　一方、ダクトシャフトＤＳ２の下部に導かれた空気の一部は、還気ファン３ａに吸い込まれて、外部に排気される。すなわち、ファンフィルタユニット２（第２ユニット）は、調製室Ｒ７の壁Ｗ２（又は床Ｆ）に設けられた所定の隙間ｋ２を介して空気を吸い込み、吸い込んだ空気の一部をダクトシャフトＤＳ２を介してチャンバＣに戻す一方、残りの空気を排気するように配置されている。
　このように、還気ファン３ａが調製室Ｒ７の還気及び排気の両方を行う場合において、調製室Ｒ７は、給気ファン１ａ，２ａの吸込側を介して、チャンバＣに連通するとともに、還気ファン３ａの吸込側を介して、チャンバＣに連通している。そして、次に説明するように、還気ファン３ａの制御によって調製室Ｒ７の室圧を調整するようにしている。
　例えば、図１に示すドアＤｏを作業員が開けた場合、エアロックＡＬ１は調製室Ｒ７よりも室圧が高いため、エアロックＡＬ１から調製室Ｒ７に空気が流入し、調製室Ｒ７の室圧が若干上昇する。このような室圧の上昇に伴い、圧力センサ３１の検出値が調製室Ｒ７の室圧の目標値を超えた場合、制御部ｃ２（図３参照）は、ファンモータａ２（図３参照）の回転速度を所定に上昇させる。なお、ファンモータａ２の回転速度の上昇幅（及び低下幅）は、記憶部ｃ１（図３参照）に予め格納されたプログラムに基づいて、所定に算出される。
　図４は、還気ファンの回転速度と風量との関係を示す特性図である。
　なお、図４の横軸は、還気ファン３ａの回転速度（つまり、ファンモータａ２の回転速度）であり、縦軸は、還気ファン３ａの風量である。図４に示すように、還気ファン３ａの回転速度が高いほど、その風量も大きくなる。また、還気ファン３ａの回転速度と風量とは、線形の関係（比例関係）になっている。したがって、開度－風量特性が非線形の関係であるダンパ（図示せず）を用いて風量を調整する場合に比べて、還気ファン３ａによって風量の微調整を行いやすいという利点がある。なお、還気ファン３ａの他、給気ファン１ａ，２ａ等も図４と同様の特性を有している。
　図４に示すように、還気ファン３ａには、所定の仕様に基づき、その回転速度の下限値Ｎ１と、これに対応する風量の下限値Ｑ１と、が予め設定されている。同様に、還気ファン３ａの回転速度の上限値Ｎ２と、これに対応する風量の上限値Ｑ２も予め設定されている。特に、還気ファン３ａの風量の下限値Ｑ１に着目すると、その具体的な数値例は、５０［ｍ３／ｈ］であり、従来のダンパ（図示せず）で風量調整を行う場合の風量の下限値（１５０［ｍ３／ｈ］程度）の３分の１程度の大きさである。したがって、給気ファン１ａ，２ａ（図２参照）や還気ファン３ａ（図２参照）を低風量で駆動できるため、ダンパ（図示せず）で風量を調整する場合に比べて、空調システムＳの消費電力量を大幅に削減できる。
　また、回転速度－風量特性が線形である還気ファン３ａで風量を調整するため、その回転速度の上限値・下限値付近でも風量を微調整できる。これによって、給気ファン１ａ，２ａ（図２参照）や還気ファン３ａ（図２参照）を低風量で駆動しつつ、調製室Ｒ７の室圧を高精度で維持できる。
　例えば、図１に示すドアＤｏを作業員が開けて、調製室Ｒ７の圧力センサ３１の検出値が目標値を超えた場合、前記したように、制御部ｃ２（図３参照）は、ファンモータａ２（図３参照）の回転速度を所定に上昇させる。このように還気ファン３ａの回転速度が上昇すると、調製室Ｒ７から隙間ｋ２（図２参照）を介してダクトシャフトＤＳ２（図２参照）に流れ出る空気の単位時間当たりの流量が大きくなる。一方、給気ファン２ａは所定の回転速度（固定値）で駆動している。その結果、調製室Ｒ７において、一時的に上昇した室圧が所定の目標値に戻される。特に、図４に示す下限値Ｑ１付近でも、還気ファン３ａの風量を微調整できるため、低風量でも調製室Ｒ７の室圧を高精度で維持できる。
　また、例えば、図１に示すドアＤｘを作業員が開けた場合、パスボックスＰＢ５は調製室Ｒ７よりも室圧が低いため、調製室Ｒ７からパスボックスＰＢ５に空気が流出し、調製室Ｒ７の室圧が若干低下する。このような室圧の低下によって、圧力センサ３１の検出値が、調製室Ｒ７の室圧の目標値を下回った場合、制御部ｃ２（図３参照）は、ファンモータａ２（図３参照）の回転速度を所定に低下させる。これによって、調製室Ｒ７において、一時的に低下した室圧が所定の目標値に戻される。このような制御によって、調製室Ｒ７の室圧の変動が抑制され、室圧が所定の目標値付近で維持される。
　なお、還気ファン３ａの他、後記する還気ファン７ａ，９ａ，１１ａによるチャンバＣへの還気によって、チャンバＣの圧力が若干変動するものの、各室の室圧の維持に悪影響を与えるおそれは、ほとんどない。
　図２に示すように、前室Ｒ９の天井Ｇには、ファンフィルタユニット４が埋設されている。また、前室Ｒ９には、圧力センサ３２が設けられている。そして、圧力センサ３２の検出値に基づき、前室Ｒ９の室圧を所定の目標値に維持するように、給気ファン４ａの回転速度が制御される。なお、給気ファン４ａの構成や制御については、前記した還気ファン３ａと同様であるから、説明を省略する。
　ちなみに、図２の例では、前室Ｒ９からの空気の排気側には、排気ファン（図示せず）は特に設けられていない。また、図２には、前室Ｒ９の床Ｆから紙面下側に抜けるように矢印を図示しているが、例えば、ドアＤｗ（図１参照）の下端のパッキン（図示せず）と、前室Ｒ９の床面と、の間の隙間を介して、前室Ｒ９の空気が排気されるようになっている。なお、他の前室Ｒ８についても同様である。
　図２に示すエアロックＡＬ２の天井Ｇには、給気ファン６ａ（第１ファン）が埋設されている。一方、エアロックＡＬ２の側壁には、還気ファン７ａ（第２ファン）が埋設されている。また、エアロックＡＬ２には、室圧を検出する圧力センサ３４が設けられている。そして、給気ファン６ａが所定の回転速度（固定値）で駆動される一方、エアロックＡＬ２の室圧を所定の目標値に維持するように、還気ファン７ａの回転速度が制御（変化）されるようになっている。還気ファン７ａから吹き出された空気は、ダクトシャフトＤＳ３、及び薄板ｈ３の複数の孔を順次に介して、チャンバＣに戻される。
　このように、還気ファン７ａ（第２ファン）がエアロックＡＬ２（クリーンルーム）の還気を行う場合において、エアロックＡＬ２は、給気ファン６ａ（第１ファン）の吸込側を介して、チャンバＣに連通するとともに、還気ファン７ａ（第２ファン）の吹出側を介して、チャンバＣに連通している。
　なお、還気ファン７ａから吹き出された空気がそのままチャンバＣに戻される点が異っているものの、還気ファン７ａの構成や制御は、調製室Ｒ７の空調に用いられる還気ファン３ａと同様である。これによって、エアロックＡＬ２の室圧を高精度に維持することができ、また、清浄度の比較的高い空気を各部屋の空調に再利用できる。
　その他、エアロックＡＬ１や２次更衣室Ｒ６の室圧の制御についても、調製室Ｒ７の室圧の制御と同様である。したがって、これらについては、詳細な説明を省略する。次に、図１に示す各室のうち、図２には図示していない残りの各室の空調について説明する。
　図５は、複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
　なお、図５に示す天井Ｇは、図２に示したものと同一である。また、図５に示すチャンバＣも、図２に示したものと同一である。
　ファンフィルタユニット１２（第１ユニット）は、チャンバＣから１次更衣室Ｒ２への給気を行う機器であり、天井Ｇに埋設されている。なお、ファンフィルタユニット１２の構成は、調製室Ｒ７のファンフィルタユニット１等（図２参照）と同様であるから、説明を省略する。
　ファンフィルタユニット１３（第２ユニット）は、１次更衣室Ｒ２からの排気を行う機器である。このように、図５の例では、ファンフィルタユニット１３が還気には用いられていない点で、前記したファンフィルタユニット３，７，９，１１（図２参照）とは異なっている。また、図５では簡略化して、１次更衣室Ｒ２の床Ｆの紙面下側にファンフィルタユニット１３を図示しているが、図１に示すように、１次更衣室Ｒ２と外部とを仕切る壁にファンフィルタユニット１３が埋設されている。
　ファンフィルタユニット１３は、図５に示す排気ファン１３ａ（第２ファン）やフィルタ１３ｂ（第２フィルタ）の他に、制御装置（図示せず）を備えている。また、１次更衣室Ｒ２には、室圧を検出するための圧力センサ３７が設けられている。そして、圧力センサ３７の検出値に基づいて、１次更衣室Ｒ２の室圧を所定の目標値するように、制御装置（図示せず）が、排気ファン１３ａの回転速度を制御するようになっている。
　なお、前記した「排気」と「還気」とは、部屋から空気を逃がすという点で共通している。したがって、調製室Ｒ７（図２参照）の還気ファン３ａと同様の制御を、排気ファン１３ａ（図５参照）にも適用できる。また、図５に示す脱衣室Ｒ１０についても、同様の制御が行われる。
　なお、「クリーンルーム」の空気のチャンバＣを介した還気、及び、「クリーンルーム」からの排気のうち少なくとも一方を行う「第２ファン」を有する「第２ユニット」には、ファンフィルタユニット３，７，９，１１，１３（図２参照）が含まれる他、ファンフィルタユニット１８，２２（図５参照）も含まれる。
　図５に示す着脱室Ｒ１、前室Ｒ４，Ｒ５，Ｒ１１の空調については、前記した前室Ｒ９（図２参照）と同様であるから、説明を省略する。
　図５に示す前処理室Ｒ３の天井Ｇには、ファンフィルタユニット２０～２２が埋設されている。ファンフィルタユニット２０，２１の給気ファン２０ａ，２１ａの吸込側は、チャンバＣに連通している。一方、ファンフィルタユニット２２の排気ファン２２ａの吹出側は、外部に開放されている。また、前処理室Ｒ３には、圧力センサ４３が設けられている。そして、圧力センサ４３の検出値に基づき、前処理室Ｒ３の室圧を所定の目標値に維持するように、排気ファン２２ａの回転速度が制御される。
　なお、図５の例では、給気ファン２０ａ，２１ａの駆動によって前処理室Ｒ３に供給された空気の一部は、排気ファン２２ａによって排出される。また、前記した空気の残りは、所定の隙間ｋ３、ダクトシャフトＤＳ６、及びダクトＤ３を順次に介して、エアハンドリングユニット（図示せず）の吸込側に導かれる。なお、ダクトＤ３は、チャンバＣからエアハンドリングユニット（図示せず）に空気を導く風導管である。また、前記したエアハンドリングユニット（図示せず）は、温度等が調整された空気を、ダクトＤ３を介して供給する装置である。なお、ダクトＤ３に設けられているダンパＢ３の開度は、試運転時等に所定に設定された状態で維持される。
＜効果＞
　本実施形態によれば、例えば、給気ファン１ａ，２ａ（図２参照）から空気を供給される調製室Ｒ７（図２参照）の室圧が、還気ファン３ａの制御によって所定に維持される。したがって、調製室Ｒ７に空気を導くダクト（図示せず）や、調製室Ｒ７から外部に空気を導くダクト（図示せず）を特に設ける必要がなく、空調システムＳの構成を簡素化できる。また、チャンバＣに所定のガス配管（図示せず）を設けたり、通信線や電力線を引き回したりすることが容易になる。
　また、チャンバＣにダクト（図示せず）を設ける場合に比べて、空調システムＳを設置する際の工期を短縮し、ひいては、設置に要するコストを削減できる。また、複数の施設が入っているビルのように、設置スペースに制約がある場合にも対応しやすくなる。
　また、これまでのように、ダクト（図示せず）に設けられたダンパ（図示せず）で室圧を調整する構成では、ダクトにおける空気の圧力損失の他、ダンパの開度－風量特性の非線形性等に起因して、クリーンルームの室圧の調整において応答遅れやオーバーシュートが生じやすかった。これに対して、本実施形態では、例えば、調製室Ｒ７（図２参照）の室圧が還気ファン３ａによって調整されるため、前記した圧力損失や応答遅れが生じることがほとんどない。また、還気ファン３ａ等の回転速度－風量特性は、線形であるため（図４参照）、調製室Ｒ７の室圧を高精度に維持できる。なお、他の各部屋についても同様のことがいえる。
　また、これまでのように、ダンパ（図示せず）で室圧を調整する技術では、ダンパの開度の上限値・下限値付近で風量の微調整が困難であり、風量の可変範囲が狭いという問題があった。これに対して、本実施形態では、例えば、還気ファン３ａで風量の下限値Ｑ１（図４参照）から上限値Ｑ２（図４参照）までの範囲が比較的広く、また、下限値Ｑ１や上限値Ｑ２付近でも風量の微調整が可能である。これによって、特に、下限値Ｑ１付近の低風量での高精度な室圧制御が可能になるため、空調システムＳの消費電力量を大幅に削減できる。
　また、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａ等に直流モータを用いることで、電圧や電流に関する規定の異なる諸外国にも、その構成をほとんど変更することなく、トランス等を適宜に用いることで、空調システムＳを適用できる。
　また、簡素な構成の上、それぞれのクリーンルーム（例えば、図２の調製室Ｒ７）において、室圧を調整するための構成や制御が独立（完結）している。したがって、空調システムＳを設計する際の自由度が高く、また、増設も容易である。このように、本実施形態によれば、簡素な構成でクリーンルーム（調製室Ｒ７等）の室圧を高精度に維持する空調システムＳを提供し、社会貢献に寄与することができる。
≪変形例≫
　以上、本発明に係る空調システムＳについて実施形態により説明したが、本発明はこれらの記載に限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。
　例えば、実施形態では、調製室Ｒ７（図２参照）の室圧を還気ファン３ａで調整する場合や、１次更衣室Ｒ２（図５参照）の室圧を排気ファン１３ａで調整する場合等について説明したが、これに限らない。
　すなわち、クリーンルームへの給気を行う「第１ファン」と、クリーンルームの還気及び排気のうち少なくとも一方を行う「第２ファン」と、が設けられる構成において、前記した「第１ファン」を制御し（回転速度を変化させ）、「第２ファン」の回転速度を一定にしてもよい。このような構成において、クリーンルームの室圧が目標値を超えた場合、「制御部」は、「第１ファン」の回転速度を所定に低下させる。一方、クリーンルームの室圧が目標値を下回った場合、「制御部」は、「第１ファン」の回転速度を所定に上昇させる。このような構成でも、クリーンルームの室圧を高精度に維持できる。
　また、「制御部」が、前記した「第１ファン」及び「第２ファン」の両方を制御するようにしてもよい。このような構成において、クリーンルームの室圧が目標値を超えた場合、「制御部」は、例えば、「第１ファン」の回転速度を低下（又は維持）させつつ、「第２ファン」の回転速度を上昇させる。一方、クリーンルームの室圧が目標値を下回った場合、「制御部」は、「第１ファン」の回転速度を上昇（又は維持）させつつ、「第２ファン」の回転速度を低下させる。このように、「制御部」が、「第１ファン」及び「第２ファン」のうち少なくとも一方の回転速度を制御するようにしてもよい。このような構成でも、クリーンルームの室圧を高精度に維持できる。
　また、ドアが設けられた壁で仕切られる３つ以上のクリーンルームが設けられ、３つ以上のクリーンルームのうち、自身に隣り合う複数のクリーンルームのいずれの設定圧力（室圧の目標値）も、自身の設定圧力よりも低い所定のクリーンルーム（例えば、図１に示すエアロックＡＬ１，ＡＬ２）が存在するようにしてもよい。前記したように、それぞれのクリーンルームの室圧が独立に制御されるため、このような部屋の配置も可能になる。このような配置において、例えば、エアロックＡＬ２（図２参照）の還気側のファンフィルタユニット７のフィルタ７ｂが、空気の通流における抵抗体としても機能するため、エアロックＡＬ２の室圧を比較的高い値で維持しやすいという利点がある。
　また、ドアが設けられた壁で仕切られる３つ以上のクリーンルームが設けられ、３つ以上のクリーンルームのうち、自身に隣り合う複数のクリーンルームのいずれの設定圧力（室圧の目標値）も、自身の設定圧力よりも高い所定のクリーンルームが存在するようにしてもよい。前記したように、それぞれのクリーンルームの室圧が独立に制御されるため、このような部屋の配置も可能になる。
　また、「第２ファン」（例えば、還気ファン３ａ：図２参照）によって、還気及び排気の両方が行われるクリーンルーム（調製室Ｒ７：図２参照）と、別の「第２ファン」（例えば、還気ファン７ａ：図２参照）によって還気が行われるクリーンルーム（エアロックＡＬ２：図２参照）と、が混在するようにしてもよい。これによって、ダクトＤ３（図５参照）を介した排気の他に、還気ファン３ａ，７ａ等による排気も行うことで、チャンバＣの圧力変動が抑制され、ひいては、各室の室圧をさらに高精度で維持できる。また、各室の還気を行うことで、清浄度の高い空気を再利用できる。
　また、「第２ファン」（例えば、還気ファン３ａ：図２参照）によって、還気及び排気の両方が行われるクリーンルーム（調製室Ｒ７：図２参照）と、別の「第２ファン」（例えば、排気ファン１３ａ：図５参照）によって排気が行われるクリーンルーム（１次更衣室Ｒ２：図５参照）と、が混在するようにしてもよい。これによって、チャンバＣの圧力変動が抑制され、ひいては、各室の室圧をさらに高精度で維持できる。
　さらに、このような構成において、還気及び排気の両方が行われるクリーンルーム（例えば、調製室Ｒ７：図２参照）の単位時間当たりの換気回数が、排気のみが行われるクリーンルーム（例えば、１次更衣室Ｒ２：図５参照）の換気回数よりも多いようにしてもよい。これによって、例えば、清浄度の高い調製室Ｒ７の空気の一部を各室の空調に再利用できる。
　また、「第２ファン」（例えば、還気ファン７ａ：図２参照）によって還気が行われるクリーンルーム（エアロックＡＬ２：図２参照）と、別の「第２ファン」（例えば、排気ファン１３ａ：図５参照）によって排気が行われるクリーンルーム（１次更衣室Ｒ２：図５参照）と、が混在するようにしてもよい。これによって、チャンバＣの圧力変動が抑制され、ひいては、各室の室圧をさらに高精度で維持できる。
　また、実施形態では、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａを含む各ファンとして、軸流ファンが用いられる場合について説明したが、これに限らない。すなわち、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａを含む各ファンとして、斜流ファンや横流ファンの他、遠心ファン等が用いられてもよい。
　また、実施形態では、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａを含む各ファンの駆動源が直流モータである場合について説明したが、これに限らない。すなわち、給気ファン１ａ，２ａや還気ファン３ａを含む各ファンの駆動源として、同期モータ等の交流モータが用いられてもよい。
　また、実施形態では、ファンフィルタユニット１が備えるフィルタ１ｂとして、ＨＥＰＡやＵＬＰＡが用いられる場合について説明したが、これに限らない。その他、ＰＴＦＥ（四フッ化エチレン樹脂）を用いたフィルタ等、他の種類のフィルタを用いてもよい。
　また、実施形態では、例えば、調製室Ｒ７の空調に関して、給気ファン１ａ，２ａの制御装置（図示せず）と、還気ファン３ａの制御装置３ｃ（図３参照）と、別個に設けられる場合について説明したが、これに限らない。すなわち、給気ファン１ａ，２ａ及び還気ファン３ａが１つの制御装置（図示せず）に接続された構成であってもよい。また、複数のクリーンルームの空調に用いられる各ファンを１つの制御装置（図示せず）で制御する構成であってもよい。
　また、実施形態では、試料が扱われる前処理室Ｒ３（図１参照）や調製室Ｒ７（図１参照）の室圧が、エアロックＡＬ１，ＡＬ２（図１参照）以外の各部屋の室圧よりも高い（つまり、陽圧である）場合について説明したが、これに限らない。すなわち、医療関係や実験動物施設といった生産プロセスの作業空間として、他の部屋よりも室圧の低い（つまり、陰圧の）クリーンルームを設ける場合にも、実施形態を適用できる。
　また、実施形態では、一例として、空調システムＳが再生医療施設に用いられる場合について説明したが、これに限らない。すなわち、工業品の製造や食品産業、医薬品の製造等、他の様々な分野にも実施形態を適用できる。
　また、各実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に記載したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されない。また、実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
　また、前記した機構や構成は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての機構や構成を示しているとは限らない。
　１，２，４，５，６，８，１０，１２，１４，１５，１６，１７，１９，２０，２１　ファンフィルタユニット（第１ユニット）
　３，７，９，１１，１３，１８，２２　ファンフィルタユニット（第２ユニット）
　１ａ，２ａ，４ａ，５ａ，６ａ，８ａ，１０ａ，１２ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａ，１７ａ，１９ａ，２０ａ，２１ａ　給気ファン（第１ファン）
　１ｂ，２ｂ，４ｂ，５ｂ，６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１２ｂ，１４ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ｂ，１９ｂ，２０ｂ，２１ｂ　フィルタ（第１フィルタ）
　３ａ，７ａ，９ａ，１１ａ　還気ファン（第２ファン）
　３ｂ，７ｂ，９ｂ，１１ｂ　フィルタ（第２フィルタ）
　１３ａ，１８ａ，２２ａ　排気ファン（第２ファン）
　１３ｂ，１８ｂ，２２ｂ　フィルタ（第２フィルタ）
　３１，３２，３３，３４，３５，３６，３７，３８，３９，４０，４１，４２，４３　圧力センサ
　３ｃ　制御装置
　ａ１　ファン本体
　ａ２　ファンモータ（直流モータ）
　ｃ１　記憶部
　ｃ２　制御部
　ＡＬ１，ＡＬ２　エアロック（クリーンルーム）
　Ｃ　チャンバ
　Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃ，Ｄｄ，Ｄｅ，Ｄｆ，Ｄｇ，Ｄｈ，Ｄｉ，Ｄｊ，Ｄｋ，Ｄｍ，Ｄｎ，Ｄｏ，Ｄｐ，Ｄｑ，Ｄｒ，Ｄｓ，Ｄｔ，Ｄｕ，Ｄｖ，Ｄｗ，Ｄｘ，Ｄｙ，Ｄｚ，Ｄα，Ｄβ，Ｄγ　ドア
　ＤＳ１，ＤＳ２，ＤＳ３，ＤＳ４，ＤＳ５，ＤＳ６　ダクトシャフト
　Ｆ　床
　Ｇ　天井
　ｋ２　隙間
　Ｒ１　着脱室（クリーンルーム）
　Ｒ２　１次更衣室（クリーンルーム）
　Ｒ３　前処理室（クリーンルーム）
　Ｒ４，Ｒ５，Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１１　前室（クリーンルーム）
　Ｒ６　２次更衣室（クリーンルーム）
　Ｒ７　調製室（クリーンルーム）
　Ｒ１０　脱衣室（クリーンルーム）
　Ｓ　空調システム
　Ｗ１　壁

Claims (8)

  1. 　クリーンルームの天井裏の空間を含むチャンバから前記クリーンルームへの給気を行う第１ファンを有する第１ユニットと、
    　前記クリーンルームの空気の前記チャンバを介した還気、及び、前記クリーンルームからの排気のうち少なくとも一方を行う第２ファンを有する第２ユニットと、を備えるとともに、
    　前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、
    　前記圧力センサの検出値に基づいて、前記第１ファン及び前記第２ファンのうち少なくとも一方を制御する制御部と、を備えること
    　を特徴とする空調システム。
  2. 　前記第２ファンが、前記クリーンルームの還気及び排気の両方を行う場合において、
    　前記第２ユニットは、前記クリーンルームの壁又は床に設けられた所定の隙間を介して空気を吸い込み、吸い込んだ空気の一部をダクトシャフトを介して前記チャンバに戻し、残りの空気を排気するように配置され、
    　前記クリーンルームは、前記第１ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通するとともに、前記第２ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通していること
    　を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
  3. 　前記第２ファンが、前記クリーンルームの還気を行う場合において、
    　前記クリーンルームは、前記第１ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通するとともに、前記第２ファンの吹出側を介して、前記チャンバに連通していること
    　を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
  4. 　前記第１ユニットは、前記第１ファンから前記クリーンルームに吹き出される空気から塵埃を除去する第１フィルタを備え、
    　前記第２ユニットは、前記クリーンルームから前記第２ファンに吸い込まれる空気から塵埃を除去する第２フィルタを備えること
    　を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
  5. 　ドアが設けられた壁で仕切られる３つ以上の前記クリーンルームが設けられ、
    　３つ以上の前記クリーンルームのうち、自身に隣り合う複数のクリーンルームのいずれの設定圧力も、自身の設定圧力よりも低い所定のクリーンルームが存在していること
    　を特徴とする請求項４に記載の空調システム。
  6. 　ドアが設けられた壁で仕切られる３つ以上の前記クリーンルームが設けられ、
    　３つ以上の前記クリーンルームのうち、自身に隣り合う複数のクリーンルームのいずれの設定圧力も、自身の設定圧力よりも高い所定のクリーンルームが存在していること
    　を特徴とする請求項４に記載の空調システム。
  7. 　前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、それぞれ、ＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air Filter)、又は、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）であること
    　を特徴とする請求項４に記載の空調システム。
  8. 　前記第１ファン及び前記第２ファンの駆動源は、それぞれ、直流モータであること
    　を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
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