JP6501679B2 - クリーンルーム用空調システム - Google Patents
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Description
図1は、第一実施形態のクリーンルーム用空調システム100の構成図である。図1に示す空調システム100では、前記の空調システム700と同様にして、複数のクリーンルームであるクリーンルーム1,2に対して給気が行われる。しかし、クリーンルーム1,2からの排気は、前記の空調システム700とは異なる方法で行われる。即ち、図1に示す空調システム100では、クリーンルーム1,2からの排気は、天井パネル6(図2参照、図1では図示しない)に取り付けられた天井排気ユニット40,40を通じて、クリーンルーム1,2の外部であって建屋4の内部である天井裏3に排気される(天井排気ユニット40については後記する)。そして、天井裏3に排気された空気が、建屋4に取り付けられた排気口73を介して、屋外に排気される。排気口73には、虫や大きな塵埃の流入を防止するためのフィルタを設置することもできる。
図4は、第二実施形態のクリーンルーム用空調システム200の構成図である。前記の第一実施形態の空調システム100では、クリーンルーム1,2に給気する空気への加湿量を制御する(蒸気調整弁31の開度を調整する)ことで、天井裏3での結露防止が図られていた。一方で、図4に示す空調システム200では、天井裏3での結露防止をよりいっそう確実に防止するため、空調システム100での蒸気調整弁31の制御に加えて、補助的に天井裏3の除湿を行う除湿機60が天井裏3に設置されている。
前記の第一実施形態の空調システム100では、クリーンルーム1,2に給気する空気への加湿量を制御する(蒸気調整弁31の開度を調整する)ことで、天井裏3での結露防止が図られていた。一方で、図6に示す空調システム300では、天井裏3での結露防止をよりいっそう確実に防止するため、空調システム100での蒸気調整弁31の制御に加えて、加湿前の温調されたエア(外気)を天井裏3に導入することで天井裏3の湿度を低下させる制御が行われる。
前記の図6に示す空調システム300では、天井裏3の露点温度が露点温度計33によって計測され、計測された露点温度に基づいて蒸気放出管11cからの加湿量制御が行われていた。しかし、第四実施形態の空調システム500では、露点温度を計測することに代えて湿度が計測され、計測された湿度に基づいて加湿量制御が行われる。
前記の各実施形態では、空調システム100〜500の全体について説明した。そして、これらの空調システム100〜500に備えられる天井排気ユニットとしては、図2に示す天井排気ユニット40に代えて、以下で説明する天井排気ユニット80も適用可能である。
前記の各実施形態では、天井裏3に排気された空気は、排気口73(適宜フィルタ等が備えられる)を通じて屋外に排気されていた。しかし、第六実施形態の空調システム600では、この排気口73に代えて、屋外への排気を促すための排気ファン21が建屋4に備えられている。
以上、本実施形態を六つの具体的な実施形態を挙げて説明したが、本実施形態は前記の例になんら制限されるものではなく、適宜変更を加えて実施可能である。
2 クリーンルーム
3 天井裏
4 建屋
10給気用ダクト
11 空調機
11c 蒸気放出管
21 排気ファン
33 露点温度計
34 温度計
35 湿度計
40 天井排気ユニット
41 排気ファン
43 気密ダンパ
44 圧力制御ダンパ
46 カバー
47a 差圧計
47b 制御器
48 下側筐体
49 上側筐体
50 コントローラ
70 温調エア短絡ダクト
71 短絡温調エア風量制御ダンパ
73 排気口
74 短絡温調エア給気ファン
80 天井排気ユニット
100 クリーンルーム用空調システム
200 クリーンルーム用空調システム
300 クリーンルーム用空調システム
500 クリーンルーム用空調システム
600 クリーンルーム用空調システム
700 クリーンルーム用空調システム
Claims (2)
- 建屋内に配置された複数のクリーンルームに前記建屋外の外気を導く給気用ダクトと、
前記給気用ダクトを通流し、前記複数のクリーンルームに外気を給気する給気装置と、
前記複数のクリーンルームに給気する外気を温調又は温調と除湿とをする温調除湿装置と、
前記複数のクリーンルームに給気する外気を加湿する加湿装置と、
前記クリーンルームに給気される外気であって前記加湿装置によって加湿される前の外気のうちの一部を、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に導く外気短絡ダクトと、
前記複数のクリーンルームからの排気を、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に排気する排気装置と、
前記排気装置によって排気が排出される空間の露点温度を計測する露点温度計測装置と、
前記露点温度計測装置により計測された露点温度に基づいて、前記複数のクリーンルームに給気する外気への加湿量を変化させるように前記加湿装置を制御する演算制御装置と、を備えることを特徴とする、クリーンルーム用空調システム。 - 前記外気短絡ダクトには、外気を通流させる短絡外気給気装置と、前記外気短絡ダクトを通流する外気の風量を制御する短絡外気風量制御装置とが備えられ、
前記演算制御装置は、前記露点温度計測装置により計測された露点温度に基づいて、前記複数のクリーンルームの外部であって前記建屋の内部に導く外気の量を変化させるように、前記短絡外気風量制御装置を制御することを特徴とする、請求項1に記載のクリーンルーム用空調システム。
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