JP2014047990A - 低露点空調設備の運転方法、及び、低露点空調設備 - Google Patents

低露点空調設備の運転方法、及び、低露点空調設備 Download PDF

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Abstract

【課題】室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に保持する。
【解決手段】低露点室1を補助室2に対して開放する室間開口部3に、その室間開口部3を開閉する室間扉4を設け、除湿機5により生成される低露点空気SAを低露点室1に対する第1給気口7と、補助室2に対する第2給気口8とに送る給気路6を設け、第1給気口7からの低露点室1への低露点空気SAの供給に伴い低露点室1の室内低露点空気SA′を補助室2に流出させる室間通気路12を設けてある低露点空調設備において、室間扉4の開扉時には、第1給気口7から低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である第1給気風量Q1を、室間扉4の閉扉時における第1給気風量よりも増加させるとともに、これに背反させて、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2を、室間扉4の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる。
【選択図】図1

Description

本発明は、リチウム電池や薄膜あるいは有機ELの製造工程などにおいて必要な低露点環境を形成する低露点空調設備に関する。
詳しくは(図5参照)、低露点室1を補助室2に対して開放する室間開口部3に、その室間開口部3を開閉する室間扉4を設け、
除湿機5により生成される低露点空気SA(例えば、露点温度がマイナス数十度といった空気)を低露点室1に対する第1給気口7と、補助室2に対する第2給気口8とに送る給気路6、又は、それら第1及び第2給気口7,8に送るとともに室間開口部4の配設域に対する第3給気口19にも送る給気路6を設け、
第1給気口7からの低露点室1への低露点空気SAの供給に伴い低露点室1の室内低露点空気SA′を補助室2に流出させる室間通気路12を設け、
第2給気口8及び室間通気路12からの補助室2への低露点空気SA,SA′の供給に伴い補助室2の室内空気EAを外部へ排出する排気路15又はその室内空気RAを除湿機5に戻す還気路14を設けてある低露点空調設備に関する。
従来、この種の低露点空調設備として、特許文献1には(同図5参照)、室間扉1の開閉にかかわらず給気路6を通じて第1給気口7及び第2給気口8から低露点室1及び補助室2の夫々に定量供給する低露点空気SAとは別に、室間扉4の開扉時に、給気路6から分流した低露点空気SAを低露点室1におけるエアカーテン用の給気口(第3給気口19に相当)から室間扉4が開かれた室間開口部3に供給してエアーカーテンを形成し、これにより、低露点室1に対する物品の搬出入や低露点室1のメンテナンスなどのための室間扉4の開扉に対し、室間開口部3を通じた補助室2から低露点室1への空気侵入に伴う水分侵入を防止して、低露点室1の室内を所要の低露点環境に保つようにした設備が提案されている。
また、特許文献2には(図3参照)、共通の補助室2に対して複数の低露点室1a,1bを設けた設備構成において、それら複数の低露点室1a,1bの夫々に給気路6を通じて低露点空気SAを供給するともに、いずれかの低露点室1a,1bの室間扉4が開かれたときには、その低露点室1a,1bに対する低露点空気SAの供給風量を増加させるようにした設備が提案されている。
特開2012−52718号公報 特開2007−265880号公報
しかし、上記したいずれの従来設備しても、室間扉4の開扉時におけるエアカーテン形成用低露点空気SAの追加供給や低露点室1a,1bに供給する低露点空気SAの風量増加で、除湿機5における処理空気の風量が増加して除湿機5の除湿負荷が急に大きくなることに対し、風量増加した処理空気を増加前と同じ低露点温度に除湿処理し得る状態まで除湿機5が能力的に立ち上がるのに相応の時間が必要で、いわゆる立ち上がり遅れが生じる。
そして、この立ち上がり遅れの為、除湿機5から給気路6を通じて低露点室1,1a,1bに供給する低露点空気SAの露点温度が室間扉4の開扉後において一時的にせよ上昇し、これが原因で、低露点室1,1a,1bの室内露点温度が上昇して低露点室1,1a,1bの室内低露点環境が悪化してしまう虞がある。
特に、前述した特許文献2の設備において複数の低露点室1a,1b夫々の室間扉4がともに開かれたときには、除湿機5における処理空気の風量増加がさらに大きなものになって、除湿機5の立ち上がり遅れが一層助長されることで、上記の如き室内低露点環境の悪化が一層生じ易くなる。
また、このように複数の低露点室1a,1b夫々の室間扉4がともに開かれたときには、処理空気の増加後の必要風量が除湿機5における適正処理可能な風量の上限より大きくなり、そのことで、各低露点室1a,1bに供給する低露点空気SAの露点温度が複数の室間扉4の開扉後において継続的に高くなったり、各低露点室1a,1bに供給する低露点空気SAの供給風量そのものが複数の室間扉4の開扉後において継続的に不足する状態になり、これが原因で、各低露点室1a,1bの室内低露点環境が悪化してしまう虞もある。
この実情に鑑み本発明の主たる課題は、合理的な運転形態を採ることで、上記の如き問題を効果的に解消して、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持できるようにする点にある。
本発明の第1特徴構成は、低露点空調設備の運転方法に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口とに送る給気路を設け、
前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備の運転方法であって、
前記室間扉の開扉時には、前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させるとともに、
この第1給気風量の増加に背反させて、前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成では、基本的には先述の従来設備と同様、室間扉の開扉時には、第1給気口から低露点室に供給する低露点空気の風量(第1給気風量)を増加させることで、室間開口部を通じた補助室から低露点室への空気侵入に伴う水分侵入を防止するとともに、低露点室における水分負荷処理能力を高めて、室間開口部を通じメンテナンス作業を行なうメンテナンス要員の呼気や発汗などによる発生水分負荷にも対応できるようにし、これにより、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に保持する。
そして、この構成では、室間扉の開扉時に低露点室に対する第1給気風量を増加させるのに背反させて、第2給気口から補助室に供給する低露点空気の風量(第2給気風量)を減少させるから、第1給気風量の増加による除湿機での処理空気の風量増加を、第1給気風量の増加分と第2給気風量の減少分との相殺により抑止することができる。
したがって、処理空気の風量増加に対する除湿機の立ち上がり遅れで、低露点室に供給する低露点空気の露点温度が室間扉の開扉後において一時的にせよ上昇することや、増加後の処理空気の必要風量が除湿機における適正処理可能な風量の上限より大きくなって、低露点室に供給する低露点空気の露点温度が室間扉の開扉後において継続的に高くなったり、その供給風量そのものが室間扉の開扉後において継続的に不足する状態になることを効果的に回避することができる。
このことにより、先述の従来設備に比べ、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持することができて、低露点空調設備の性能及び信頼性を高めることができる。
また、この構成では、室間扉の開扉時に補助室に対する第2給気風量を減少させるが、室間扉の開扉時には、低露点室に対する第1給気風量の増加に伴い室間開口部や室間通気路を通じて低露点室から補助室に流入する低露点空気の流入量も増加することから、補助室の室内を準低露点室として所要の低露点環境に保つ上で、この第2給気風量の減少が特に問題になることはない。
なお、この構成の実施において、低露点室に対する第1給気風量は室間扉の開扉の際、その開扉に先立ち予め増加させるのが望ましい。
本発明の第2特徴構成は、第1特徴構成の実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記第1給気風量の増加分だけ、前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成によれば、第1給気風量の増加分と第2給気風量の減少分との相殺により、除湿機における処理空気の風量を室間扉の閉扉時及び開扉時を通じて一定化することができ、これにより、第1特徴構成による上述の効果を一層効果的かつ確実に得ることができる。
本発明の第3特徴構成は、第1又は第2特徴構成の実施において、
複数の前記低露点室を前記補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の前記室間扉とを設けた構成において、
複数の前記室間扉の開扉時には、対応する複数の前記低露点室の夫々に対する前記第1給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させるとともに、
それら複数の低露点室の夫々に対する前記第1給気風量の増加分の合計分だけ、前記第2給気風量を複数の前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成によれば、室間扉が開扉された複数の低露点室の夫々に対する第1給気風量の増加分の合計分と、補助室に対する第2給気風量の減少分との相殺により、除湿機における処理空気の風量を複数の室間扉の閉扉時及び開扉時を通じて一定化することができ、これにより、複数の低露点室夫々の室間扉がともに開かれた場合にも、第1特徴構成による上述の効果を一層効果的かつ確実に得ることができる。
本発明の第4特徴構成は、第1〜第3特徴構成のいずれかの実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室内露点温度が前記室間扉の閉扉時における前記低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる点にある。
この構成によれば、室間扉の開扉時にも低露点室の室内露点温度が室間扉の閉扉時における低露点室の室内露点温度以下となる状態(即ち、室内を所要の低露点環境に保った状態)を一層効果的に得ることができる。
なお、この構成の実施においては、設備の試運転やシミュレーションなどにより上記の露点保持風量を予め検証しておき、そして、室間扉の開扉時に第1給気風量をその検証済みの露点保持風量まで増加させる運転形態、あるいは、低露点室の室内露点温度の検出する露点検出手段の検出情報に基づき第1給気風量を調整することで、室間扉の開扉時において第1給気風量を露点保持風量まで増加させる運転形態など、種々の形態を採ることができる。
本発明の第5特徴構成は、第1〜第4特徴構成のいずれかの実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室圧が前記補助室の室圧より設定圧力差以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させる点にある。
この構成によれば、室開扉の開扉時において、補助室から低露点室への空気侵入に伴う水分浸入を一層効果的に防止することができる。
なお、この構成の実施においては、設備の試運転やシミュレーションなどにより上記の室圧保持風量を予め検証しておき、そして、室間扉の開扉時に第1給気風量をその検証済みの室圧保持風量まで増加させる運転形態、あるいは、低露点室と補助室との室圧差を検出する室内検出手段の検出情報に基づき第1給気風量を調整することで、室間扉の開扉時において第1給気風量を室圧保持風量まで増加させる運転形態など、種々の形態を採ることができる。
本発明の第6特徴構成は、低露点空調設備の運転方法に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備の運転方法であって、
前記室間扉の開扉時には、前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量に保った状態で、
前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
この第3給気風量の増加に背反させて、前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成においても、基本的には先述の従来設備と同様、室間扉の開扉時には、第1給気口から低露点室に供給する低露点空気の風量(第1給気風量)を室間扉の閉扉時における風量に保った状態で、第3給気口から室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量(第3給気風量)を増加させることで、室間開口部を通じた補助室から低露点室への空気侵入に伴う水分侵入を防止するとともに、室間開口部の配設域における水分負荷処理能力を高めて、室間開口部を通じメンテナンス作業を行なうメンテナンス要員の呼気や発汗などによる発生水分負荷にも対応できるようにし、これにより、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に保持する。
そして、この構成では、室間扉の開扉時に室間開口部の配設域に対する第3給気風量を増加させるのに背反させて、第2給気口から補助室に供給する低露点空気の風量(第2給気風量)を減少させるから、第3給気風量の増加による除湿機での処理空気の風量増加を、第3給気風量の増加分と第2給気風量の減少分との相殺により抑止することができる。
したがって、既述の第1特徴構成と同様、処理空気の風量増加に対する除湿機の立ち上がり遅れで、低露点室に供給する低露点空気の露点温度が室間扉の開扉後において一時的にせよ上昇することや、増加後の処理空気の必要風量が除湿機における適正処理可能な風量の上限より大きくなって、低露点室に供給する低露点空気の露点温度が室間扉の開扉後において継続的に高くなったり、その供給風量そのものが室間扉の開扉後において継続的に不足する状態になることを効果的に回避することができる。
このことにより、先述の従来設備に比べ、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持することができて、低露点空調設備の性能及び信頼性を高めることができる。
また、この構成でも、室間扉の開扉時に補助室に対する第2給気風量を減少させるが、室間扉の開扉時には、室間開口部に対する第3給気風量の増加に伴い室間開口部の配設域から補助室に流入する低露点空気の流入量も増加することから、補助室の室内を準低露点室として所要の低露点環境に保つ上で、この第2給気風量の減少が特に問題になることはない。
なお、この構成の実施においても、室間開口部の配設域に対する第3給気風量は室間扉の開扉の際、その開扉に先立ち予め増加させるのが望ましい。
また、この構成の実施において室間扉の閉扉時には室間開口部の配設域に対する第3給気口からの低露点空気の供給を遮断しておく(即ち、室間扉の閉扉時における第3給気風量をゼロにしておく)ようにしてもよい。
本発明の第7特徴構成は、第6特徴構成の実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記第3給気風量の増加分だけ、前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成によれば、既述の第2特徴構成と同様、第3給気風量の増加分と第2給気風量の減少分との相殺により、除湿機における処理空気の風量を室間扉の閉扉時及び開扉時を通じて一定化することができ、これにより、第6特徴構成による上述の効果を一層効果的かつ確実に得ることができる。
本発明の第8特徴構成は、第6又は第7特徴構成の実施において、
複数の前記低露点室を前記補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の前記室間扉とを設けた構成において、
それら複数の前記室間扉の開扉時には、対応する複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
それら複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量の増加分の合計分だけ、前記第2給気風量を複数の前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成によれば、既述の第3特徴構成と同様、室間扉が開扉された複数の室間開口部夫々の配設域に対する第3給気風量の増加分の合計分と、補助室に対する第2給気風量の減少分との相殺により、除湿機における処理空気の風量を複数の室間扉の閉扉時及び開扉時を通じて一定化することができ、これにより、複数の低露点室夫々の室間扉がともに開かれた場合にも、第6特徴構成による上述の効果を一層効果的かつ確実に得ることができる。
本発明の第9特徴構成は、第6〜第8特徴構成のいずれかの実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記室間開口部の配設域に対する前記第3給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室内露点温度が前記室間扉の閉扉時における前記低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる点にある。
この構成によれば、室間扉の開扉時にも低露点室の室内露点温度が室間扉の閉扉時における低露点室の室内露点温度以下となる状態(即ち、室内を所要の低露点環境に保った状態)を一層効果的に得ることができる。
なお、この構成の実施においては、設備の試運転やシミュレーションなどにより上記の露点保持風量を予め検証しておき、そして、室間扉の開扉時に第3給気風量をその検証済みの露点保持風量まで増加させる運転形態、あるいは、低露点室の室内露点温度の検出する露点検出手段の検出情報に基づき第3給気風量を調整することで、室間扉の開扉時において第3給気風量を露点保持風量まで増加させる運転形態など、種々の形態を採ることができる。
本発明の第10特徴構成は、低露点空調設備の運転方法に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備の運転方法であって、
前記室間扉の開扉時には、前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させ、かつ、前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
これら第1給気風量及び第3給気風量の増加に背反させて、前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成では、室間扉の開扉時に、第1給気口から低露点室に供給する低露点空気の風量(第1給気風量)を増加させるとともに、第3給気口から室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量(第3給気風量)も増加させることで、室間開口部を通じた補助室から低露点室への空気侵入に伴う水分侵入を一層確実に防止するとともに、低露点室及び室間開口部の配設域の夫々における水分負荷処理能力を高めて、室間開口部を通じメンテナンス作業を行なうメンテナンス要員の呼気や発汗などによる発生水分負荷にも一層効果的に対応できるようにし、これにより、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実に保持できるようにする。
そして、この構成では、室間扉の開扉時に低露点室に対する第1給気風量及び室間開口部の配設域に対する第3給気風量を増加させるのに背反させて、第2給気口から補助室に供給する低露点空気の風量(第2給気風量)を減少させるから、第1給気風量及び第3給気風量の増加による除湿機での処理風量の増加を、第1及び第3給気風量夫々の増加分の合算分と第2給気風量の減少分との相殺により抑止することができる。
したがって、既述の第1特徴構成や第6特徴構成と同様、処理空気の風量増加に対する除湿機の立ち上がり遅れで、低露点室に供給する低露点空気の露点温度が室間扉の開扉後において一時的にせよ上昇することや、増加後の処理空気の必要風量が除湿機における適正処理可能な風量の上限より大きくなって、低露点室に供給する低露点空気の露点温度が室間扉の開扉後において継続的に高くなったり、その供給風量そのものが室間扉の開扉後において継続的に不足する状態になることを効果的に回避することができる。
このことにより、先述の従来設備に比べ、室間扉の開扉にかかわらず低露点室の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持することができて、低露点空調設備の性能及び信頼性を高めることができる。
また、この構成でも、室間扉の開扉時に補助室に対する第2給気風量を減少させるが、室間扉の開扉時には、低露点室に対する第1給気風量の増加及び室間開口部の配設域に対する第3給気風量の増加に伴い、低露点室や室間開口部の配設域から補助室に流入する低露点空気の流入量も増加することから、補助室の室内を準低露点室として所要の低露点環境に保つ上で、この第2給気風量の減少が特に問題になることはない。
なお、この構成の実施においても、低露点室に対する第1給気風量及び室間開口部の配設域に対する第3給気風量は室間扉の開扉の際、その開扉に先立ち予め増加させるのが望ましい。
また、この構成の実施において室間扉の閉扉時には室間開口部の配設域に対する第3給気口からの低露点空気の供給を遮断しておく(即ち、室間扉の閉扉時における第3給気風量をゼロにしておく)ようにしてもよい。
本発明の第11特徴構成は、第10特徴構成の実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記第1給気風量の増加分と前記第3給気風量の増加分との合算分だけ、前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成によれば、既述の第2特徴構成や第7特徴構成と同様、第1及び第3給気風量夫々の増加分の合算分と第2給気風量の減少分との相殺により、除湿機における処理空気の風量を室間扉の閉扉時及び開扉時を通じて一定化することができ、これにより、第10特徴構成による上述の効果を一層効果的かつ確実に得ることができる。
本発明の第12特徴構成は、第10又は第11特徴構成の実施において、
複数の前記低露点室を前記補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の前記室間扉とを設けた構成において、
それら複数の前記室間扉の開扉時には、対応する複数の前記低露点室の夫々に対する前記第1給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させ、かつ、対応する複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
それら複数の低露点室の夫々に対する前記第1給気風量の増加分の合計分と、それら複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量の増加分の合計分との合算分だけ、前記第2給気風量を複数の前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる点にある。
この構成によれば、既述の第3特徴構成や第8特徴構成と同様、室間扉が開扉された複数の低露点室の夫々に対する第1給気風量の増加分の合計分と、室間扉が開扉された複数の室間開口部夫々の配設域に対する第3給気風量の増加分の合計分との合算分に対して、その合算分と補助室に対する第2給気風量の減少分との相殺により、除湿機における処理空気の風量を複数の室間扉の閉扉時及び開扉時を通じて一定化することができ、これにより、複数の低露点室夫々の室間扉がともに開かれた場合にも、第7特徴構成による上述の効果を一層効果的かつ確実に得ることができる。
本発明の第13特徴構成は、第10〜第12特徴構成のいずれかの実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量又は前記室間開口部の配設域に対する前記第3給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室内露点温度が前記室間扉の閉扉時における前記低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる点にある。
この構成によれば、室間扉の開扉時にも低露点室の室内露点温度が室間扉の閉扉時における低露点室の室内露点温度以下となる状態(即ち、室内を所要の低露点環境に保った状態)を一層効果的に得ることができる。
なお、この構成の実施においては、設備の試運転やシミュレーションなどにより上記の露点保持風量を予め検証しておき、そして、室間扉の開扉時に第1給気風量又は第3給気風量をその検証済みの露点保持風量まで増加させる運転形態、あるいは、低露点室の室内露点温度の検出する露点検出手段の検出情報に基づき第1給気風量又は第3給気風量を調整することで、室間扉の開扉時において第1給気風量又は第3給気風量を露点保持風量まで増加させる運転形態など、種々の形態を採ることができる。
本発明の第14特徴構成は、第10〜第13特徴構成のいずれかの実施において、
前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室圧が前記補助室の室圧又は前記室間開口部の配設域における域圧より設定圧力差以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させる点にある。
この構成によれば、室開扉の開扉時において、補助室から低露点室への空気侵入に伴う水分浸入を一層効果的に防止することができる。
なお、この構成の実施においては、設備の試運転やシミュレーションなどにより上記の室圧保持風量を予め検証しておき、そして、室間扉の開扉時に第1給気風量をその検証済みの室圧保持風量まで増加させる運転形態、あるいは、低露点室と補助室との室圧差を検出する室内検出手段の検出情報に基づき第1給気風量を調整することで、室間扉の開扉時において第1給気風量を室圧保持風量まで増加させる運転形態など、種々の形態を採ることができる。
本発明の第15特徴構成は、低露点空調設備に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口とに送る給気路を設け、
前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備であって、
前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を調整する第1風量調整ダンパと、
前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を調整する第2風量調整ダンパとを設けるとともに、
これら第1及び第2風量調整ダンパ夫々の開度を調整する制御手段を設け、
この制御手段は、前記室間扉の開扉を知らせる開扉信号を受信すると、
前記第1風量調整ダンパの開度を調整して前記第1給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させるとともに、
前記第2風量調整ダンパの開度を調整して前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる構成にしてある点にある。
この構成によれば、第1及び第2風量調整ダンパに対する制御手段の上記の如き制御動作により、既述した第1特徴構成の運転方法を開扉信号に基づいて自動的に実施させることができ、これにより、第1特徴構成による既述の効果を一層確実かつ簡便に得ることができる。
なお、この構成の実施において制御手段は、開扉信号を受信したとき、第1給気風量の増加分だけ、第2給気風量を室間扉の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる状態に第2風量調整ダンパの開度を調整する構成にし、これにより、既述の第2特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
また、複数の低露点室を補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の室間扉とを設けた構成において、制御手段は、開扉信号を受信したとき、複数の低露点室の夫々に対する第1給気風量の増加分の合計分だけ、第2給気風量を複数の室間扉の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる状態に第2風量調整ダンパの開度を調整する構成にし、これにより、既述の第3特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
さらに、制御手段は、開扉信号を受信したとき、低露点室に対する第1給気風量を、室間扉が開かれた状態において低露点室の室内露点温度が室間扉の閉扉時における低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる構成、あるいはまた、開扉信号を受信したとき、低露点室に対する第1給気風量を、室間扉が開かれた状態において低露点室の室圧が補助室の室圧より設定圧力差以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させる構成などにして、既述の第4特徴構成や第5特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
本発明の第16特徴構成は、低露点空調設備に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備であって、
前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を調整する第3風量調整ダンパと、
前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を調整する第2風量調整ダンパとを設けるとともに、
これら第3及び第2風量調整ダンパ夫々の開度を調整する制御手段を設け、
この制御手段は、前記室間扉の開扉を知らせる開扉信号を受信すると、
前記第3風量調整ダンパの開度を調整して前記第3給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
前記第2風量調整ダンパの開度を調整して前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる構成にしてある点にある。
この構成によれば、第3及び第2風量調整ダンパに対する制御手段の上記の如き制御動作により、既述した第6特徴構成の運転方法を開扉信号に基づいて自動的に実施させることができ、これにより、第6特徴構成による既述の効果を一層確実かつ簡便に得ることができる。
なお、この構成の実施において制御手段は、開扉信号を受信したとき、第3給気風量の増加分だけ、第2給気風量を室間扉の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる状態に第2風量調整ダンパの開度を調整する構成にし、これにより、既述の第7特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
また、複数の低露点室を補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の室間扉とを設けた構成において、制御手段は、開扉信号を受信したとき、複数の室間開口部夫々の配設域に対する第3給気風量の増加分の合計分だけ、第2給気風量を複数の室間扉の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる状態に第2風量調整ダンパの開度を調整する構成にし、これにより、既述の第8特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
さらに、制御手段は、開扉信号を受信したとき、室間開口部の配設域に対する第3給気風量を、室間扉が開かれた状態において低露点室の室内露点温度が室間扉の閉扉時における低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる構成にして、既述の第9特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
本発明の第17特徴構成は、低露点空調設備に係り、その特徴は、
低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備であって、
前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を調整する第1風量調整ダンパと、
前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を調整する第3風量調整ダンパと、
前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を調整する第2風量調整ダンパとを設けるとともに、
これら第1,第3及び第2風量調整ダンパ夫々の開度を調整する制御手段を設け、
この制御手段は、前記室間扉の開扉を知らせる開扉信号を受信すると、
前記第1風量調整ダンパの開度を調整して前記第1給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させ、
かつ、前記第3風量調整ダンパの開度を調整して前記第3給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
前記第2風量調整ダンパの開度を調整して前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる構成にしてある点にある。
この構成によれば、第1,第3及び第2風量調整ダンパに対する制御手段の上記の如き制御動作により、既述した第10特徴構成の運転方法を開扉信号に基づいて自動的に実施させることができ、これにより、第10特徴構成による既述の効果を一層確実かつ簡便に得ることができる。
なお、この構成の実施において制御手段は、開扉信号を受信したとき、第1給気風量の増加分と第3給気風量の増加分との合算分だけ、第2給気風量を室間扉の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる状態に第2風量調整ダンパの開度を調整する構成にし、これにより、既述の第11特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
また、複数の低露点室を補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の室間扉とを設けた構成において、制御手段は、開扉信号を受信したとき、複数の低露点室の夫々に対する第1給気風量の増加分の合計分と、複数の室間開口部夫々の配設域に対する第3給気風量の増加分の合計分との合算分だけ、第2給気風量を複数の室間扉の閉扉時における第2給気風量よりも減少させる状態に第2風量調整ダンパの開度を調整する構成にし、これにより、既述の第12特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
さらに、制御手段は、開扉信号を受信したとき、低露点室に対する第1給気風量又は室間開口部の配設域に対する第3給気風量を、室間扉が開かれた状態において低露点室の室内露点温度が室間扉の閉扉時における低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる構成、あるいはまた、開扉信号を受信したとき、低露点室に対する第1給気風量を、室間扉が開かれた状態において低露点室の室圧が補助室の室圧より設定圧力差以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させる構成などにして、既述の第13特徴構成や第14特徴構成の運転方法を自動的に実施させるようにしてもよい。
本発明の第18特徴構成は、第15又は第17特徴構成の実施において、
前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室へ漏出させて前記第1給気風量の増加に伴う前記低露点室の室圧上昇を緩和する差圧保持ダンパを設けてある点にある。
この構成によれば、室間扉の開扉時において低露点室に対する第1給気風量を増加させたときに、その第1給気風量の増加により低露点室の室圧が急激に増大して室構造や室内機器あるいは室内物品などに悪影響を与えることを効果的に回避することができ、特に室間扉の開扉の際、その開扉に先立ち第1給気風量を増加させる場合に有効である。
また、第1給気風量の増加に伴う低露点室の室圧上昇を緩和するには、別法として、室間扉の開き動作の進行に伴い第1風量調整ダンパの開度を徐々に増大させることも考えられるが、この場合、室間扉の開度と第1風量調整ダンパの開度との連係が必要になることで、第1風量調整ダンパを制御する制御手段の構成が煩雑になる。
この点、上記構成によれば、室圧上昇の緩和については差圧保持ダンパが担うことから、制御手段は室間扉の開度とは無関係に開扉信号の受信に基づいて第1風量調整ダンパを制御するだけのものにすることができ、その分、制御手段を簡素化することもできる。
本発明の第19特徴構成は、第16又は第17特徴構成の実施において、
前記第3給気口は、低露点空気を供給する前記室間開口部の配設域として、前記補助室の側における前記室間開口部の対向箇所に低露点空気を供給する状態に配置してある点にある。
この構成によれば、室間扉の開扉時においてメンテナンス要員が補助室の側における室間開口部の対向箇所に位置した状態で室間開口部を通じ低露点室の室内をメンテナンスする場合に、そのメンテナンス要員の呼気や発汗による発生水分負荷を、第3給気口から補助室の側における室間開口部の対向箇所に供給する低露点空気により集中的に効率良く処理することができ、これにより、メンテナンスのために室間扉が開かれた低露点室の室内を所要の低露点環境に保つことをさらに効果的に達成することができる。
第1実施形態を示す低露点空調設備の設備構成図 第1実施形態での各給気風量の増減関係を示す表 第2実施形態を示す低露点空調設備の設備構成図 第2実施形態における各給気風量の増減関係を示す表 第3実施形態を示す低露点空調設備の設備構成図 第3実施形態における各給気風量の増減関係を示す表 他の実施形態における各給気風量の増減関係を示す表 第4実施形態を示す低露点空調設備の設備構成図 第4実施形態における各給気風量の増減関係を示す表 他の実施形態における各給気風量の増減関係を示す表
(第1実施形態)
図1は低露点空調設備を示し、1は室内での生産作業や物品の室内保管などにおいて室内を低露点環境に保つことが要求される低露点室、2は低露点室1に対する物品の搬出入や低露点室1に対するメンテナンスなどを行なう補助室であり、この補助室2は準低露点室として低露点室1に次ぐ室内低露点環境が要求される。
低露点室1には、低露点室1の室内を補助室2に対して開放する室間開口部3を設けるとともに、この室間開口部3を開閉する室間扉4を設けてあり、通常はこの室間扉4を閉じておくことで低露点室1の室内低露点環境を保全し、必要時に室間扉4を開くことで室間開口部3を通じて低露点室1に対する物品の搬出入や低露点室1の室内に対するメンテナンスなどを行なう。
5は、設定給気露点温度ts(例えば−60℃DP)の低露点空気SAを生成する除湿機であり、低露点室1には、除湿機5により生成されて給気路6により導かれる低露点空気SAを低露点室1に供給する第1給気口7を設けてあり、本実施形態では、この第1給気口7として主給気口7aと補助給気口7bとを設けてある。
補助室2には、同じく除湿機5により生成されて給気路6により導かれる低露点空気SAを補助室2に供給する第2給気口8を設けてある。
また、給気路6のうち低露点室1の主給気口7aに接続する端末部分6aには、主給気口7aから低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である主給気風量qaを設定主給気風量xに自動調整(qa=x)する定風量装置9を介装してある。
給気路6のうち低露点室1の補助給気口7bに接続する端末部分6bには、補助給気口7bから低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である補助給気風量qbを調整する第1風量調整ダンパ10を介装してある。
給気路6のうち補助室2の第2給気口8に接続する端末部分6cには、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2を調整する第2風量調整ダンパ11を介装してある。
即ち、低露点室1に対する第1給気口7(7a,7b)から低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である第1給気風量Q1(=qa(x)+qb)は、第1風量調整ダンパ10の開度を調整して補助給気口7bからの補助給気風量qbを調整することで調整される。
低露点室1には、第1給気口7(7a,7b)からの低露点空気SAの供給に伴い成り行き風量qtの室内低露点空気SA′を補助室2に流出させる室間通気路12を設けてある。
また、低露点室1には、低露点室1から補助室2への室内低露点空気SA′の漏出風量qpを自動調整することで、室間扉4の閉扉時において低露点室1の室圧p1が補助室2の室圧p2よりも設定室圧差Δpa以上に上昇することを回避する差圧保持ダンパ13を設けてある。
従って、室間扉4の閉扉時において低露点室1からは、上記第1給気風量Q1(=qa(x)+qb)と等しい風量(qt+qp)の室内低露点空気SA′が室間通気路12及び差圧保持ダンパ13を通じて補助室2に流出する。
換言すれば、室間扉4の閉扉時において補助室2には、第2給気口8から第2給気風量Q2の低露点空気SAが供給されるのに加えて、室間通気口12及び差圧保持ダンパ13を通じて低露点室1に対する第1給気風量Q1と等しい風量(qt+qp)の室内低露点空気SA′が低露点室1から供給される。
補助室2には、還気路14及び排気路15を接続してあり、第2給気口8、室間通気路12並びに差圧保持ダンパ13からの補助室2に対する低露点空気SA,SA′の供給に伴い、その供給風量(Q2+qt+qp)の一部に相当する風量qrの室内空気が還気空気RAとして還気路14を通じ補助室2から除湿機5に戻される。
また、第2給気口8、室間通気路12並びに差圧保持ダンパ13からの補助室2に対する低露点空気SA,SA′の供給に伴い、その供給風量(Q2+qt+qp)の残部に相当する風量qeの室内空気が排気空気EAとして排気路15を通じ補助室2から外部に排出される。
除湿機5には、補助室2からの排気空気EAの風量qeに相当する風量qo(=qe)の外気OAを取り入れる外気導入路16を上記還気路14とともに接続してある。
即ち、除湿機5は、還気路14を通じ導入される還気空気RAと外気導入路16を通じ導入される外気OAとの合流空気を処理空気として、それら導入される処理空気RA,OAを除湿処理することにより、設定給気露点温度tsで、第1給気風量Q1と第2給気風量Q2との和に等しい風量(Q1+Q2=qr+qo)の低露点空気SAを連続的に生成する。
主給気口7aからの供給風量である設定主給気風量x(即ち、定風量装置9に対する設定風量)については、室間扉4の閉扉時において、その設定主給気風量xの低露点空気SAを低露点室1に供給するだけで、差圧保持ダンパ13の室圧保持機能により低露点室1の室圧p1が補助室2の室圧p2よりも設定室圧差Δpaだけ高く保たれた状態で、低露点室1の室内が設定第1露点温度t1(例えば−40℃DP)以下の低露点環境に保たれる風量を設定してある。
なお、この状態において差圧保持ダンパ13は、低露点室1の室内低露点空気SA′が若干風量qpだけ差圧保持ダンパ13を通じて補助室2へ定常的に漏洩する状態になる。
つまり、この風量設定により、室間扉4の閉扉時には(参照:図2の表)、主給気口7aからの供給風量である設定主給気風量xを閉扉時第1給気風量として、補助給気口7bからの低露点空気SAの供給を第1風量調整ダンパ10の全閉操作により遮断した状態で(Qb=0)、低露点室1に対する第1給気風量Q1を主給気口7aからの設定主給気風量xに制限しても(Q1=x)、低露点室1の室内が設定第1露点温度t1以下の低露点環境に保たれるようにしてある。
また、このように室間扉4の閉扉時において低露点室1に対する第1給気風量Q1を閉扉時第1給気風量としての設定主給気風量xに制限したとき(Q1=x)、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2については、補助室2の室内が設定第2露点温度t2(例えば−25℃DP)以下の低露点環境に保たれる風量yを閉扉時第2給気風量として、第2風量調整ダンパ11の調整により第2給気口8からの供給風量である第2給気風量Q2を、その閉扉時第2給気風量yに調整する(Q2=y)。
即ち、第2給気口8から供給する閉扉時第2給気風量yの低露点空気SAと、室間通気路12及び差圧保持ダンパ13を通じて低露点室1から補助室2に流入する室内低露点空気SA′とにより得られる補助室2の水分負荷処理機能により、収容人員の呼気や発汗などによる補助室2での発生水分負荷を処理して、補助室2の室内を設定第2露点温度t2以下の低露点環境に保持するようにする。
ここで、17は補助室2の側で室間扉4の近傍に配置した管理器であり、この管理器17には開扉信号osを管理器17から発信させる開扉スイッチ17a、及び、閉扉信号ssを管理器17から発信させる閉扉スイッチ17bを設けてある。
また、18は第1及び第2風量調整ダンパ10,11の開度を調整する制御手段としての制御器であり、この制御器18は、管理器17から送信される開扉信号os及び閉扉信号ssに応じて第1及び第2風量調整ダンパ10,11の開度を調整することで、補助給気口7bからの供給風量である補助給気風量qbを調整して低露点室1に対する第1給気風量Q1(=x+qb)を自動調整するとともに、補助室2に対する第2給気風量Q2を自動調整する。
具体的には、この制御器18は次のA1〜A3の制御を実行するものにしてある(参照:図2の表)。
A1:基本制御として、室間扉4の閉扉時には、第1風量調整ダンパ10を全閉に保持して、補助給気口7bからの低露点空気SAの供給を遮断する(qb=0)。
これにより、第1給気口7(7a,7b)から低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である第1給気風量Q1を、予め設定してある前記の閉扉時第1給気風量x(即ち、定風量装置9に対する設定主給気風量)に調整する(Q1=x)。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2を、前記の閉扉時第2給気風量yに調整する(Q2=y)。
即ち、この基本制御により、室間扉4の閉扉時において、既述の如く低露点室1の室内を設定第1露点温度室t1以下の低露点環境に保つとともに、補助室2の室内を設定第2露点温度t2以下の低露点環境に保つ。
A2:室間扉4の開扉の際、その開扉に先立ちメンテナンス要員により管理器17の開扉スイッチ17aが操作され、その操作により管理器17から発信される開扉信号osを受信すると、開扉時制御として、第1風量調整ダンパ10を開くとともにその開度を調整して、補助給気口7bから低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である補助給気風量qbを、予め設定してある設定補助給気風量zに調整する(qb=z)。
これにより、低露点室1に対する第1給気風量Q1を、閉扉時第1給気風量x(設定主給気風量)から設定補助給気風量zだけ増加させる(Q1=x+z)。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、上記A1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから低露点室1に対する第1給気風量Q1の増加分zだけ減少させる(Q2=y−z)。
即ち、この開扉時制御により、開扉スイッチ17aの操作に続き室間扉4が開かれた状態においても、第1給気風量Q1の増加(x⇒x+z)により低露点室1の室内を設定第1露点温度t1以下の低露点環境に保持する。
なお、第1給気風量Q1の増加分である設定補助給気風量zとしては、室間扉4が開かれた状態においても、低露点室1の室圧p1を補助室2の室圧p2より設定開扉時室圧差Δpb以上に高く保持でき、かつ、室間開口部3を通じメンテナンス作業を行なうメンテナンス要員の呼気や発汗などによる開扉時の発生水分負荷も十分に処理し得る風量を設定してある。
換言すれば、開扉信号osを受信したとき、低露点室1に対する第1給気風量Q1を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1の室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1の室内露点温度t1(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量であるとともに、室間扉4が開かれた状態において低露点室1aの室圧p1が補助室2の室圧p2より設定圧力差Δpb(設定開扉時室圧差)以上に高く保持される室圧保持風量でもある風量(=x+z)まで増加させるようにしてある。
また、上記の如く室間扉4の開扉の際、その開扉に先立ち第1給気風量Q1を増加させた場合、その風量増加により低露点室1の室圧p1が上昇するが、この室圧上昇は差圧保持ダンパ13の室圧保持機能により緩和される。
A3:その後、室間扉4が閉じられて、メンテナンス要員により管理器17の閉扉スイッチ17bが操作され、その操作により管理器17から発信される閉扉信号ssを受信すると、復帰制御として、第1風量調整ダンパ10を全閉にして補助給気口7bからの低露点空気SAの供給を遮断する(qb=0)。
これにより、低露点室1に対する第1給気風量Q1を、室間扉4の開扉時における第1給気風量(x+z)から設定補助給気風量zだけ減少させて、閉扉時第1給気風量x(設定主給気風量)に復帰させる(Q1=x)。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、室間扉4の開扉時における第2給気風量(y―z)から第1給気風量Q1の減少分zだけ増加させて閉扉時第2給気風量yに復帰させる(Q2=y)。
即ち、この復帰制御によりA1の基本制御の実行状態に復帰する。
以上、この第1実施形態の低露点空調設備では、制御器18の上記制御動作により、室間扉4の開扉時には、第1給気口7から低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である第1給気風量Q1を、室間扉4の閉扉時における第1給気風量xよりも増加(x⇒x+z)させるとともに、この第1給気風量Q1の増加に背反させて、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2を、第1給気風量Q1の増加分zだけ、室間扉4の閉扉時における第2給気風量yよりも減少(y⇒y−z)させるようにしてある。
即ち、この風量調整形態を採ることで、室間扉4の開扉時において第1給気風量Q1の増加(x⇒x+z)により除湿機5における処理空気の風量(Q1+Q2)が増加することを、第1給気風量Q1の増加分zと第2給気風量Q2の減少分zとの相殺により回避する。
そして、このように第1給気風量Q1の増加による処理空気の風量増加を回避することで、処理空気の風量増加に対する除湿機5の立ち上がり遅れで、低露点室1に供給する低露点空気SAの露点温度が室間扉4の開扉後において一時的にせよ上昇することや、増加後の処理空気の必要風量が除湿機5における適正処理可能な風量の上限より大きくなって、低露点室1に供給する低露点空気SAの露点温度が室間扉4の開扉後において継続的に高くなったり、その供給風量そのものが室間扉4の開扉後において継続的に不足する状態になることを回避し、これにより、室間扉4の開扉にかかわらず低露点室1の室内を所要の低露点環境に一層確実かつ安定的に保持し得るようにする。
なお、上記例では、定風量装置9により風量調整される主給気口7aと第1風量調整ダンパ10により風量調整される補助給気口7bとで低露点室1に対する第1給気口7を構成する例を示したが、第1風量調整ダンパ10により風量調整される単数ないし複数の給気口だけで低露点室1に対する第1給気口7を構成するようにしてもよい。
(第2実施形態)
図3に示す第2実施形態の低露点空調設備では、共通の補助室2に対して、ともに第1実施形態で示した低露点室1と同様の二室の低露点室1a,1bを配設してある。
また、各低露点室1a,1bの主給気口7a及び補助給気口7b並びに補助室2の第2給気口8には、共通の除湿機5により生成される低露点空気SAを給気路6を通じて供給するようにしてある。
低露点室1aの側の主給気口7aに対する定風量装置9は、その主給気口7aから低露点室1aに供給する低露点空気SAの風量である主給気風量qa(即ち、低露点室1aの側の閉扉時第1給気風量とする風量)を設定主給気風量xに自動調整する。
他方、低露点室1bの側の主給気口7aに対する定風量装置9は、その主給気口7aから低露点室1bに供給する低露点空気SAの風量である主給気風量qa′(即ち、低露点室1bの側の閉扉時第1給気風量とする風量)を設定主給気風量x′に自動調整する。
これに対し、両低露点室1a,1bの室間扉4がともに閉じられている状態では(参照:図4の表)、第2給気口8からの補助室2に対する低露点空気SAの供給風量である第2給気風量Q2を、第2風量調整ダンパ11の調整により閉扉時第2給気風量yに調整することで、補助室2の室内を所要の低露点環境に保持する。
なお、図3において第1実施形態と同じ符号を付したものは第1実施形態で示したのと同じものである。
この第2実施形態の低露点空調設備において、制御器18は次のB1〜B4の制御を実行するものにしてある(参照:図4の表)。
B1:基本制御として、両低露点室1a,1bの室間扉4がともに閉じられている状態では、低露点室1aの側の第1風量調整ダンパ10を全閉に保持して、低露点室1aにおける補助給気口7bからの低露点空気SAの供給を遮断する(qb=0)。
同様に、低露点室1bの側の第1風量調整ダンパ10を全閉に保持して、低露点室1bにおける補助給気口7bからの低露点空気SAの供給を遮断する(qb′=0)。
これにより、低露点室1aの側の第1給気風量Q1(=qa+qb)を予め設定してある閉扉時第1給気風量x(即ち、低露点室1aの側の定風量装置9に対する設定主給気風量)に調整するとともに、低露点室1bの側の第1給気風量Q1′(=qa′+qb′)を予め設定してある閉扉時第1給気風量x′(即ち、低露点室1bの側の定風量装置9に対する設定主給気風量)に調整する。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を前記の閉扉時第2給気風量yに調整する。
即ち、この基本制御により、低露点室1a,1b夫々の室内を所要の低露点環境に保持するとともに、補助室2の室内を準低露点室として所要の低露点環境に保持する。
B2:低露点室1aの側の管理器17から発信される開扉信号osを受信すると、低露点室1aに対する開扉時制御として、低露点室1aの側の第1風量調整ダンパ10を開くとともにその開度を調整して、低露点室1aの側の補助給気口7bから低露点室1aに供給する低露点空気SAの風量である補助給気風量qbを、予め設定してある設定補助給気風量zに調整する(qb=z)。
これにより、低露点室1aの側の第1給気風量Q1(=qa+qb)を、上記の閉扉時第1給気風量xから設定補助給気風量zだけ増加させる(Q1=x+z)

また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、上記B1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから低露点室1aの側の第1給気風量Q1の増加分zだけ減少させる(Q2=y−z)。
即ち、この低露点室1aに対する開扉時制御により、低露点室1aの室間扉4が開かれた状態においても、低露点室1aの側の第1給気風量Q1の増加(x⇒x+z)により低露点室1aの室内を所要の低露点環境に保持する。
換言すれば、低露点室1aの側の開扉信号osを受信したとき、低露点室1aの側の第1給気風量Q1を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1aの室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1の室内露点温度t1(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量であるとともに、室間扉4が開かれた状態において低露点室1aの室圧p1が補助室2の室圧p2より設定圧力差Δpb(設定開扉時室圧差)以上に高く保持される室圧保持風量でもある風量(=x+z)まで増加させるようにしてある。
そして、その後、低露点室1aの側の管理器17から発信される閉扉信号ssを受信すると、B1の基本制御の実行状態に復帰する。
B3:低露点室1bの側の管理器17から発信される開扉信号osを受信すると、低露点室1bに対する開扉時制御として、低露点室1bの側の第1風量調整ダンパ10を開くとともにその開度を調整して、低露点室1bの側の補助給気口7bから低露点室1bに供給する低露点空気SAの風量である補助給気風量qb′を、予め設定してある設定補助給気風量z′に調整する(qb′=z′)。
これにより、低露点室1bの側の第1給気風量Q1′(=qa′+qb′)を、上記の閉扉時第1給気風量x′から設定補助給気風量z′だけ増加させる(Q1′=x′+z′)

また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、B1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから低露点室1bの側の第1給気風量Q1′の増加分z′だけ減少させる(Q2=y−z′)。
即ち、この低露点室1bに対する開扉時制御により、低露点室1bの室間扉4が開かれた状態においても、低露点室1bの側の第1給気風量Q1′の増加(x′⇒x′+z′)により低露点室1bの室内を所要の低露点環境に保持する。
換言すれば、低露点室1aの側と同様、低露点室1bの側についても、低露点室1bの側の開扉信号osを受信したとき、低露点室1bの側の第1給気風量Q1′を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1bの室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1bの室内露点温度t1(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量であるとともに、室間扉4が開かれた状態において低露点室1bの室圧p1′が補助室2の室圧p2より設定圧力差Δpb′(設定開扉時室圧差)以上に高く保持される室圧保持風量でもある風量(=x+z′)まで増加させるようにしてある。
そして、その後、低露点室1bの側の管理器17から発信される閉扉信号ssを受信すると、B1の基本制御の実行状態に復帰する。
B4:低露点室1aの側の管理器17から発信される開扉信号osを受信するとともに、低露点室1bの側の管理器17から発信される開扉信号osを受信すると、B2の低露点室1aに対する開扉時制御、及び、B3の低露点室1bに対する開扉時制御の両方を実行する制御形態を採る。
具体的には、低露点室1aの側の補助給気口7bから低露点室1aに供給する低露点空気SAの風量である補助給気風量qbを設定補助給気風量zに調整して(qb=z)、低露点室1aの側の第1給気風量Q1を閉扉時第1給気風量xから設定補助給気風量zだけ増加させる(Q1=x+z)。
また、低露点室1bの側の補助給気口7bから低露点室1bに供給する低露点空気SAの風量である補助給気風量qb′を設定補助給気風量z′に調整して(qb′=z′)、低露点室1bの側の第1給気風量Q1′を閉扉時第1給気風量x′から設定補助給気風量z′だけ増加させる(Q1′=x′+z′)。
そして、補助室2については、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、B1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量y から低露点室1aの側の第1給気風量Q1の増加分zと低露点室1bの側の第1給気風量Q1′の増加分z′との合計分(z+z′)だけ減少させる(Q2=y−z−z′)。
その後、低露点室1aの側の管理器17から発信される閉扉信号ssのみを受信すると、B3の低露点室1bに対する開扉時制御の実行状態と同じ状態に移行し、また、低露点室1bの側の管理器17から発信される閉扉信号ssのみを受信すると、B2の低露点室1bに対する開扉時制御の実行状態と同じ状態に移行する。
したがって、低露点室1aの側の管理器17から発信される閉扉信号ss及び低露点室1bの側の管理器17から発信される閉扉信号ssの両方を受信することで、B1の基本制御の実行状態に復帰する。
つまり、この第2実施形態の低露点空調設備では、複数の低露点室1a,1bを共通の補助室2に対して各別に開放する複数の室間開口部3と、それら複数の室間開口部3を各別に開閉する複数の室間扉4とを設けた構成において、制御器18の上記制御動作により、それら複数の室間扉14の開扉時には、対応する複数の低露点室1a,1bの夫々に対する第1給気風量Q1,Q1′を、複数の室間扉14の閉扉時における第1給気風量x,x′よりも増加(x⇒x+z、x′⇒x′+z′)させるとともに、それら複数の低露点室1a,1bの夫々に対する第1給気風量Q1,Q1′の増加分z,z′の合計分(z+z′)だけ、補助室2に対する第2給気風量Q2を複数の室間扉14の閉扉時における第2給気風量yよりも(y⇒y−z−z′)減少させるようにしてある。
即ち、この風量調整形態を採ることで、それら複数の室間扉4の開扉時において複数の低露点室1a,1bの夫々に対する第1給気風量Q1,Q1′の増加(x⇒x+z,x′⇒x′+z′)により除湿機5における処理空気の風量(Q1+Q1′+Q2)が増加することを、それら複数の低露点室1a,1b夫々の第1給気風量Q1,Q1′の増加分z,z′の合計分(z+z′)と第2給気風量Q2の減少分(z+z′)との相殺により回避する。
なお、この第2実施形態では、共通の補助室2に対して二室の低露点室1a,1bを配設した例を示したが、共通の補助室2に対して三室以上の複数の低露点室1を配設する構成において同様に各給気風量を調整するようにしてもよい。
(第3実施形態)
図5に示す第3実施形態の低露点空調設備では、第1実施形態で示した低露点室1の補助給気口7bを省略し、定風量装置9により風量調整される主給気口7aだけを、低露点室1に対して低露点空気SAを供給する第1給気口7にしてある。
一方、給気路6により導かれる低露点空気SAを室間開口部3の配設域に対して供給する給気口として、補助室2の側における室間開口部3の対向箇所(開口前箇所ms)に対して低露点空気SAを供給する第3給気口19を設けてある。
また、給気路6のうち第3給気口19に接続する端末部分6dには、第3給気口19から上記開口前箇所msに対して供給する低露点空気SAの風量である第3給気風量Q3を調整する第3風量調整ダンパ20を介装してある。
なお、21は、開口前箇所msを囲う遮風具であり、この遮風具21を設けることで、開口前箇所msにおける水分負荷を第3給気口19から供給する低露点空気SAにより集中的に効率良く処理する。
また、図5において第1実施形態と同じ符号を付したものは第1実施形態で示したものと同じものである。
この第3実施形態の低露点空調設備において、制御器18は次のC1〜C3の制御を実行するものにしてある(参照:図6の表)。
C1:基本制御として、室間扉4の閉扉時には、第3風量調整ダンパ20を全閉に保持して、第3給気口19からの低露点空気SAの供給を遮断する(Q3=0)。
換言すれば、第3給気口19から開口前箇所msに供給する低露点空気SAの風量である第3給気風量Q3を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量にする。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2を、補助室2の室内が所要の低露点環境に保持される閉扉時第2給気風量yに調整する(Q2=y)。
即ち、この基本制御により、低露点室1の室内を第1給気口7(7a)から供給する設定主給気風量x(=第1給気風量Q1)の低露点空気SAをもって所要の低露点環境に保持するとともに、補助室2を室内を準低露点室として所要の低露点環境に保持する。
C2:管理器17からの開扉信号osを受信すると、開扉時制御として、第3風量調整ダンパ20を開くとともにその開度を調整して、第3給気風量Q3を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量から予め設定してある開扉時第3給気風量zzに増加(0⇒zz)させる。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、C1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから開口前箇所msに対する第3給気風量S1の増加分zzだけ減少させる(Q2=y−zz)。
即ち、この開扉時制御により、開扉スイッチ17aの操作に続き室間扉4が開かれた状態においても、開口前箇所msに対する第3給気風量Q3の増加(0⇒zz)により低露点室1の室内を所要の低露点環境に低露点環境に保持する。
なお、第3給気風量Q3の増加分である閉扉時第3給気風量zzとしては、室間扉4が開かれた室間開口部3を通じて低露点室1の室内をメンテナンスするメンテナンス要員の呼気や発汗などによる開口前箇所msでの発生水分負荷を効率的に処理して、その発生水分が室間開口部3を通じて低露点室1に侵入することを阻止し得る風量に設定してある。
換言すれば、開扉信号osを受信したとき、開口前箇所msに対する第3給気風量Q3を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1の室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1の室内露点温度t1(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量(=zz)まで増加させるようにしてある。
C3:その後、管理器17からの閉扉信号ssを受信すると、復帰制御として、第3風量調整ダンパ20を全閉にして第3給気口19からの低露点空気SAの供給を遮断する(Q3=0)。
即ち、第3給気風量Q3を開扉時第3給気風量zzからゼロ風量に減少(zz⇒0)させる。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、開扉時の第2給気風量(y―zz)から第3給気風量Q3の減少分zzだけ増加させて閉扉時第2給気風量yに復帰させる(Q2=y)。
即ち、この復帰制御によりC1の基本制御の実行状態に復帰する。
以上、この第3実施形態の低露点空調設備では、制御器18の上記制御動作により、室間扉4の開扉時には、第1給気口7(7a)から低露点室1に供給する低露点空気SAの風量である第1給気風量Q1を室間扉4の閉扉時における第1給気風量x(定風量装置9の設定風量)に保った状態で、第3給気口19から室間開口部3の配設域msに供給する低露点空気SAの風量である第3給気風量Q3を、室間扉4の閉扉時における第3給気風量(ゼロ風量)よりも増加(0⇒zz)させるとともに、この第3給気風量Q3の増加に背反させて、第2給気口8から補助室2に供給する低露点空気SAの風量である第2給気風量Q2を、第3給気風量Q3の増加分zzだけ、室間扉4の閉扉時における第2給気風量yよりも減少(y⇒y−zz)させるようにしてある。
即ち、この風量調整形態を採ることで、室間扉4の開扉時において第3給気風量Q3の増加(0⇒zz)により除湿機5における処理空気の風量(Q1+Q2+Q3)が増加することを、第3給気風量Q3の増加分zzと第2給気風量Q2の減少分zzとの相殺により回避する。
なお、この第3実施形態では、第3給気口19を補助室2の側における室間開口部3の対向箇所msに対して低露点空気SAを供給する状態に配置する例を示したが、これに代え、室間開口部3の配設域に対して低露点空気SAを供給する第3給気口19は、低露点室1の側における室間開口部3の対向箇所(低露点室1の側の開口前箇所)に低露点空気SAを供給する状態に配置したり、あるいは、補助室2の側の開口前箇所と低露点室1の側の開口前箇所との夫々に低露点空気SAを供給する状態に配置したり、あるいはまた、室間開口部3の開口部内に低露点空気SAを供給する状態に配置するなどしてもよい。
開口前箇所msに対する遮風具21は省略してもよい。
室間扉4の閉扉時における第3給気風量Q3(閉扉時第3給気風量)はゼロ風量に限られるものではなく、室間扉4の閉扉時においても適当風量の低露点空気SAを第3給気口19から室間開口部3の配設域に供給するようにしてもよい。
また、この第3実施形態では、室間扉4の開扉時に低露点室1に対する第1給気風量Q1を室間扉4の閉扉時における第1給気風量Q1に保った状態で、室間開口部3の配設域に対する第3給気風量Q3を増加させるようにしたが、これに代え、室間扉4の開扉時に第1給気風量Q1及び第3給気風量Q3の両方を室間扉4の閉扉時における風量よりも増加させるようにしてもよい。
即ち、室間扉4の開扉時には、低露点室1に対する第1給気風量Q1及び/又は室間開口部3の配設域に対する第3給気風量Q3を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1の室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1の室内露点温度t1(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量まで増加させるとともに、低露点室1に対する第1給気風量Q1を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1aの室圧p1が補助室2の室圧p2より設定圧力差Δpb(設定開扉時室圧差)以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させるようにしてもよい。
この場合、図7の表に示す如く、室間扉4の開扉時には、第1給気風量Q1の増加分zと第3給気風量Q3の増加分zzとの合算分(z+zz)だけ、補助室2に対する第2給気風量Q2を閉扉時の第2給気風量yよりも減少(y⇒y−z−zz)させるようにする。
(第4実施形態)
図8に示す第4実施形態の低露点空調設備では、共通の補助室2に対して、ともに第3実施形態で示した低露点室1と同様の二室の低露点室1a,1bを配設してある。
また、各低露点室1a,1bの第1給気口7、補助室2の第2給気口8並びに各開口前箇所msの第3給気口19には、共通の除湿機5により生成される低露点空気SAを給気路6を通じて供給するようにしてある。
なお、図8において第3実施形態と同じ符号を付したものは第3実施形態で示したのと同じものである。
この第4実施形態の低露点空調設備において、制御器18は次のD1〜D4の制御を実行するものにしてある(参照:図9の表)。
D1:基本制御として、両低露点室1a,1bの室間扉4がともに閉じられている状態では、低露点室1aの側の第3風量調整ダンパ20を全閉に保持して、低露点室1aの側の第3給気口19からの低露点空気SAの供給を遮断する(Q3=0)。
同様に、低露点室1bの側の第3風量調整ダンパ20を全閉に保持して、低露点室1bの側の第3給気口19からの低露点空気SAの供給を遮断する(Q3′=0)。
換言すれば、各第3給気口19から各開口前箇所msに供給する低露点空気SAの風量である各第3給気風量Q3,Q3′を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量にする。
また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、補助室2の室内が所要の低露点環境に保持される閉扉時第2給気風量yに調整する(Q2=y)。
即ち、この基本制御により、各低露点室1a,1bの室内を各第1給気口7(7a)から供給する各設定主給気風量x,x′(=第1給気風量Q1,Q1′)の低露点空気SAをもって所要の低露点環境に保持するとともに、補助室2の室内を準低露点室として所要の低露点環境に保持する。
D2:低露点室1aの側の管理器17からの開扉信号osを受信すると、低露点室1aに対する開扉時制御として、低露点室1aの側の第3風量調整ダンパ20を開くとともにその開度を調整して、低露点室1aの側の第3給気風量Q3を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量から、予め設定してある低露点室1aの側の開扉時第3給気風量zzに増加させる(Q3=zz)。

また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、D1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから低露点室1aの側の第3給気風量Q3の増加分zzだけ減少させる(Q2=y−zz)。
即ち、この低露点室1aに対する開扉時制御により、低露点室1aの室間扉4が開かれた状態においても、低露点室1aの側の第3給気風量Q3の増加(0⇒zz)により低露点室1aの室内を所要の低露点環境に保持する。
換言すれば、低露点室1aの側の開扉信号osを受信したとき、低露点室1aの側の開口前箇所msに対する第3給気風量Q3を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1aの室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1の室内露点温度t1(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量まで増加させるようにしてある。
そして、その後、低露点室1aの側の管理器17からの閉扉信号ssを受信すると、D1の基本制御の実行状態に復帰する。
D3:低露点室1bの側の管理器17からの開扉信号osを受信すると、低露点室1bに対する開扉時制御として、低露点室1bの側の第3風量調整ダンパ20を開くとともにその開度を調整して、低露点室1bの側の第3給気風量Q3′を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量から、予め設定してある低露点室1bの側の開扉時第3給気風量zz′に増加させる(Q3′=zz′)。

また、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、D1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから低露点室1bの側の第3給気風量Q3′の増加分zz′だけ減少させる(Q2=y−zz′)。
即ち、この低露点室1bに対する開扉時制御により、低露点室1bの室間扉4が開かれた状態においても、低露点室1bの側の第3給気風量Q3′の増加(0⇒zz′)により低露点室1bの室内を所要の低露点環境に保持する。
換言すれば、低露点室1bの側の開扉信号osを受信したとき、低露点室1bの側の開口前箇所msに対する第3給気風量Q3′を、室間扉4が開かれた状態において低露点室1bの室内露点温度が室間扉4の閉扉時における低露点室1bの室内露点温度t1′(設定第1露点温度)以下に保持される露点保持風量まで増加させるようにしてある。
そして、その後、低露点室1bの側の管理器17からの閉扉信号ssを受信すると、D1の基本制御の実行状態に復帰する。
D4:低露点室1aの側の管理器17からの開扉信号osを受信するとともに、低露点室1bの側の管理器17からの開扉信号osを受信すると、D2の低露点室1aに対する開扉時制御、及び、D3の低露点室1bに対する開扉時制御の両方を実行する制御形態を採る。
具体的には、低露点室1aの側の第3風量調整ダンパ20を開くとともにその開度を調整して、低露点室1aの側の第3給気風量Q3を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量から、予め設定してある低露点室1aの側の開扉時第3給気風量zzに増加させる(Q3=zz)。
また、低露点室1bの側の第3風量調整ダンパ20を開くとともにその開度を調整して、低露点室1bの側の第3給気風量Q3′を閉扉時第3給気風量としてのゼロ風量から、予め設定してある低露点室1bの側の開扉時第3給気風量zz′に増加させる(Q3′=zz′)。
また、補助室2については、第2風量調整ダンパ11の開度を調整して、補助室2に対する第2給気風量Q2を、D1の基本制御の実行下における閉扉時第2給気風量yから、低露点室1aの側の第3給気風量Q3の増加分zzと低露点室1bの側の第3給気風量Q3′の増加分zz′との合計分(zz+zz′)だけ減少させる(Q2=y−zz−zz′)。
その後、低露点室1aの側の管理器17からの閉扉信号ssのみを受信すると、D3の低露点室1bに対する開扉時制御の実行状態と同じ状態に移行し、また、低露点室1bの側の管理器17からの閉扉信号ssのみを受信すると、D2の低露点室1bに対する開扉時制御の実行状態と同じ状態に移行する。
したがって、低露点室1aの側の管理器17からの閉扉信号ss及び低露点室1bの側の管理器17からの閉扉信号ssの両方を受信することで、D1の基本制御の実行状態に復帰する。
つまり、この第4実施形態の低露点空調設備では、複数の低露点室1a,1bを共通の補助室2に対して各別に開放する複数の室間開口部3と、それら複数の室間開口部3を各別に開閉する複数の室間扉4とを設けた構成において、制御器18の上記制御動作により、それら複数の室間扉4の開扉時には、対応する複数の低露点室1a,1b夫々の第1給気風量Q1,Q1′を複数の室間扉4の閉扉時における第1給気風量x,x′(定風量装置9の設定風量)に保った状態で、対応する複数の室間開口部3夫々の配設域msに対する第3給気風量Q3,Q3′を、複数の室間扉4の閉扉時における第3給気風量(ゼロ風量)よりも増加(0⇒zz,0⇒zz′)させるとともに、それら複数の室間開口部3夫々の配設域msに対する第3給気風量Q3,Q3′の増加分zz,zz′の合計分(zz+zz′)だけ、補助室2に対する第2給気風量Q2を複数の室間扉4の閉扉時における第2給気風量yよりも減少(y⇒y−zz−zz′)させるようにしてある。
即ち、この風量調整形態を採ることで、複数の室間扉4の開扉時において、対応する複数の室間開口部3夫々の配設域msに対する第3給気風量Q3,Q3′の増加(0⇒zz,0⇒zz′)により除湿機5における処理空気の風量(Q1+Q1′+Q2+Q3+Q3′)が増加することを、それら第3給気風量Q3,Q3′の増加分zz,zz′の合計分(zz+zz′)と第2給気風量Q2の減少分(zz+zz′)との相殺により回避する。
なお、この第4実施形態では、共通の補助室2に対して二室の低露点室1a,1bを配設した例を示したが、共通の補助室2に対して三室以上の複数の低露点室1を配設する構成において同様に各給気風量を調整するようにしてもよい。
また、この第4実施形態では、第3給気口19を補助室2の側における室間開口部3の対向箇所msに対して低露点空気SAを供給する状態に配置する例を示したが、これに代え、室間開口部3の配設域に対して低露点空気SAを供給する第3給気口19は、低露点室1a,1bの側における室間開口部3の対向箇所(低露点室1a,1bの側の開口前箇所)に低露点空気SAを供給する状態に配置したり、あるいは、補助室2の側の開口前箇所と低露点室1a,1bの側の開口前箇所との夫々に低露点空気SAを供給する状態に配置したり、あるいはまた、室間開口部3の開口部内に低露点空気SAを供給する状態に配置するなどしてもよい。
開口前箇所msに対する遮風具21は省略してもよい。
室間扉4の閉扉時における第3給気風量Q3,Q3′(閉扉時第3給気風量)はゼロ風量に限られるものではなく、室間扉4の閉扉時においても適当風量の低露点空気SAを第3給気口19から室間開口部3の配設域に供給するようにしてもよい。
また、この第4実施形態では、複数の室間扉4の開扉時に、対応する複数の低露点室1a,1bに対する第1給気風量Q1,Q1′を複数の室間扉4の閉扉時における第1給気風量に保った状態で、対応する複数の室間開口部3夫々の配設域に対する第3給気風量Q3,Q3′を増加させるようにしたが、これに代え、複数の室間扉4の開扉時に、対応する複数の低露点室1a,1bの夫々に対する第1給気風量Q1,Q1′、及び、対応する複数の室間開口部3夫々の配設域に対する第3給気風量Q3,Q3′の両方を複数の室間扉4の閉扉時における風量より増加させるようにしてもよい。
この場合、図10の表に示す如く、複数の室間扉4の開扉時には、各第1給気風量Q1,Q1′の増加分z,z′の合計分(z+z′)と各第3給気風量Q3,Q3′の増加分zz,zz′の合計分(zz+zz′)との合算分(z+z′+zz+zz′)だけ、補助室2に対する第2給気風量Q2を閉扉時の第2給気風量yよりも減少(y⇒y−z−z′−zz−zz′)させるようにする。
(他の実施形態)
次に本発明の他の実施形態を列記する。
低露点室1,1a,1bに対する第1給気口7、補助室2に対する第2給気口8,室間開口部3の配設域に対する第3給気口19は、夫々、単数の給気口だけで構成してもよく、また、複数の給気口で構成してもよい。
前述の各実施形態では、室間通気路12とは別に室圧保持ダンパ13を設ける例を示したが、室間通気路12に室圧保持ダンパ13を装備する形態を採ってもよい。
また、前述の各実施形態では、管理器17の開扉スイッチ17aや閉扉スイッチ17bに対する人為操作をもって開扉信号osや閉扉信号ssを発信させるようにしたが、これい代え、室間扉4の動作検出や室間扉4に対する開閉操作の検出などに基づいて開扉信号や閉扉信号ssを自動的に発信させるようにしてもよい。
室間開口部3は、物品搬出入用の開口、低露点室1,1a,1bに対するメンテナンス用の開口、あるいは、それらを兼ねる開口など、室間扉4の開閉を要する開口であれば、どのような開口であってもよい。
低露点室1,1a,1bは、生産用室や保管用室あるいは試験用室など、室内を低露点環境に保持する必要が室空間であれば、どのような用途の室空間であってもよい。
本発明による低露点空調設備の運転方法、及び、低露点空調設備は、低露点環境の形成が必要な分野であれば、各種の分野において種々の用途に利用することができる。
1,1a,1b 低露点室
2 補助室
3 室間開口部
4 室間扉
5 除湿機
SA 低露点空気
7 第1給気口
8 第2給気口
6 給気路
SA′ 室内低露点空気
12 室間通気路
RA,EA 室内空気
15 排気路
14 還気路
Q1,Q1′ 第1給気風量
x,x′ 室間扉の閉扉時における第1給気風量
z,z′ 第1給気風量の増加分
Q2 第2給気風量
y 室間扉の閉扉時における第2給気風量
ms 室間開口部の配設域,室間開口部の対向箇所
19 第3給気口
Q3,Q3′ 第3給気風量
zz,zz′ 第3給気風量の増加分
10 第1風量調整ダンパ
11 第2風量調整ダンパ
18 制御手段
os 開扉信号
20 第3風量調整ダンパ
13 差圧保持ダンパ

Claims (19)

  1. 低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
    除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口とに送る給気路を設け、
    前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
    前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備の運転方法であって、
    前記室間扉の開扉時には、前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させるとともに、
    この第1給気風量の増加に背反させて、前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる低露点空調設備の運転方法。
  2. 前記室間扉の開扉時には、前記第1給気風量の増加分だけ、前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる請求項1記載の低露点空調設備の運転方法。
  3. 複数の前記低露点室を前記補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の前記室間扉とを設けた構成において、
    それら複数の前記室間扉の開扉時には、対応する複数の前記低露点室の夫々に対する前記第1給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させるとともに、
    それら複数の低露点室の夫々に対する前記第1給気風量の増加分の合計分だけ、前記第2給気風量を複数の前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる請求項1又は2記載の低露点空調設備の運転方法。
  4. 前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室内露点温度が前記室間扉の閉扉時における前記低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる請求項1〜3のいずれか1項に記載の低露点空調設備の運転方法。
  5. 前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室圧が前記補助室の室圧より設定圧力差以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させる請求項1〜4のいずれか1項に記載の低露点空調設備の運転方法。
  6. 低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
    除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
    前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
    前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備の運転方法であって、
    前記室間扉の開扉時には、前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量に保った状態で、
    前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
    この第3給気風量の増加に背反させて、前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる低露点空調設備の運転方法。
  7. 前記室間扉の開扉時には、前記第3給気風量の増加分だけ、前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる請求項6記載の低露点空調設備の運転方法。
  8. 複数の前記低露点室を前記補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の前記室間扉とを設けた構成において、
    それら複数の前記室間扉の開扉時には、対応する複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
    それら複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量の増加分の合計分だけ、前記第2給気風量を複数の前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる請求項6又は7記載の低露点空調設備の運転方法。
  9. 前記室間扉の開扉時には、前記室間開口部の配設域に対する前記第3給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室内露点温度が前記室間扉の閉扉時における前記低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる請求項6〜8のいずれか1項に記載の低露点空調設備の運転方法。
  10. 低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
    除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
    前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
    前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備の運転方法であって、
    前記室間扉の開扉時には、前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させ、かつ、前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
    これら第1給気風量及び第3給気風量の増加に背反させて、前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を、前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる低露点空調設備の運転方法。
  11. 前記室間扉の開扉時には、前記第1給気風量の増加分と前記第3給気風量の増加分との合算分だけ、前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる請求項10記載の低露点空調設備の運転方法。
  12. 複数の前記低露点室を前記補助室に対して各別に開放する複数の前記室間開口部と、それら複数の室間開口部を各別に開閉する複数の前記室間扉とを設けた構成において、
    それら複数の前記室間扉の開扉時には、対応する複数の前記低露点室の夫々に対する前記第1給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させ、かつ、対応する複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量を、複数の前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
    それら複数の低露点室の夫々に対する前記第1給気風量の増加分の合計分と、それら複数の前記室間開口部夫々の配設域に対する前記第3給気風量の増加分の合計分との合算分だけ、前記第2給気風量を複数の前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる請求項10又は11記載の低露点空調設備の運転方法。
  13. 前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量又は前記室間開口部の配設域に対する前記第3給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室内露点温度が前記室間扉の閉扉時における前記低露点室の室内露点温度以下に保持される露点保持風量まで増加させる請求項10〜12のいずれか1項に記載の低露点空調設備の運転方法。
  14. 前記室間扉の開扉時には、前記低露点室に対する前記第1給気風量を、前記室間扉が開かれた状態において前記低露点室の室圧が前記補助室の室圧又は前記室間開口部の配設域における域圧より設定圧力差以上に高く保持される室圧保持風量まで増加させる請求項10〜13のいずれか1項に記載の低露点空調設備の運転方法。
  15. 低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
    除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口とに送る給気路を設け、
    前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
    前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備であって、
    前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を調整する第1風量調整ダンパと、
    前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を調整する第2風量調整ダンパとを設けるとともに、
    これら第1及び第2風量調整ダンパ夫々の開度を調整する制御手段を設け、
    この制御手段は、前記室間扉の開扉を知らせる開扉信号を受信すると、
    前記第1風量調整ダンパの開度を調整して前記第1給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させるとともに、
    前記第2風量調整ダンパの開度を調整して前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる構成にしてある低露点空調設備。
  16. 低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
    除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
    前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
    前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備であって、
    前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を調整する第3風量調整ダンパと、
    前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を調整する第2風量調整ダンパとを設けるとともに、
    これら第3及び第2風量調整ダンパ夫々の開度を調整する制御手段を設け、
    この制御手段は、前記室間扉の開扉を知らせる開扉信号を受信すると、
    前記第3風量調整ダンパの開度を調整して前記第3給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
    前記第2風量調整ダンパの開度を調整して前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる構成にしてある低露点空調設備。
  17. 低露点室を補助室に対して開放する室間開口部に、その室間開口部を開閉する室間扉を設け、
    除湿機により生成される低露点空気を前記低露点室に対する第1給気口と、前記補助室に対する第2給気口と、前記室間開口部の配設域に対する第3給気口とに送る給気路を設け、
    前記第1給気口からの前記低露点室への低露点空気の供給に伴い前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室に流出させる室間通気路を設け、
    前記第2給気口及び前記室間通気路からの前記補助室への低露点空気の供給に伴い前記補助室の室内空気を外部へ排出する排気路又はその室内空気を前記除湿機に戻す還気路を設けてある低露点空調設備であって、
    前記第1給気口から前記低露点室に供給する低露点空気の風量である第1給気風量を調整する第1風量調整ダンパと、
    前記第3給気口から前記室間開口部の配設域に供給する低露点空気の風量である第3給気風量を調整する第3風量調整ダンパと、
    前記第2給気口から前記補助室に供給する低露点空気の風量である第2給気風量を調整する第2風量調整ダンパとを設けるとともに、
    これら第1,第3及び第2風量調整ダンパ夫々の開度を調整する制御手段を設け、
    この制御手段は、前記室間扉の開扉を知らせる開扉信号を受信すると、
    前記第1風量調整ダンパの開度を調整して前記第1給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第1給気風量よりも増加させ、
    かつ、前記第3風量調整ダンパの開度を調整して前記第3給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第3給気風量よりも増加させるとともに、
    前記第2風量調整ダンパの開度を調整して前記第2給気風量を前記室間扉の閉扉時における前記第2給気風量よりも減少させる構成にしてある低露点空調設備。
  18. 前記低露点室の室内低露点空気を前記補助室へ漏出させて前記第1給気風量の増加に伴う前記低露点室の室圧上昇を緩和する差圧保持ダンパを設けてある請求項15又は17記載の低露点空調設備。
  19. 前記第3給気口は、低露点空気を供給する前記室間開口部の配設域として、前記補助室の側における前記室間開口部の対向箇所に低露点空気を供給する状態に配置してある請求項16又は17記載の低露点空調設備。
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