JP2012241961A

JP2012241961A - クリーンルームの逆流防止装置

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Publication number: JP2012241961A
Application number: JP2011111498A
Authority: JP
Inventors: Naoya Ikeno; 直也池野; Yosuke Okui; 洋介奥井
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2011-05-18
Filing date: 2011-05-18
Publication date: 2012-12-10
Anticipated expiration: 2031-05-18
Also published as: JP5427833B2; US9217576B2; US20120295530A1; CN102788400A; CN102788400B

Abstract

【課題】クリーンルーム内の負圧箇所を解消し、クリーンルーム床下からの逆流を防止するクリーンルームの逆流防止装置を提供する。
【解決手段】床下チャンバの空気を吸引する吸込口１４と、空気を装置内の上部に供給するファン１３と、装置で床上部の側面に設置されクリーンルーム内に給気するための吹出口１２とを備えてて、床下チャンバの空気をクリーンルーム内に供給することにより、床下チャンバからクリーンルーム内への逆流を防止する。
【選択図】図１Ａ

Description

本発明は、半導体製造工場、ＦＰＤ（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙ）製造工場、精密機械工場、又は、薬品製造工場等の無塵室或いは無菌室に適用されるクリーンルームの逆流防止装置に関するものである。

従来から、清浄度の高いクリーンルームを実現する方式としては、図６に示すような全面ダウンフロー方式がある。この方式では、天井室２６４内の空気は、クリーンルーム２６２の天井に設置されたファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵ）２１７の空気取入口からクリーンルーム２６２内に流入し、内部の送風機によって昇圧され、高性能フィルタによって除塵された後、クリーンルーム２６２内に鉛直下向きに清浄な空気が流れる。次に、クリーンルーム２６２のグレーチング床２６１を通って床下チャンバ２６３に流れ込み、戻り流路２６６を経て天井室２６４に戻るという、循環流を形成する。このような循環により、同じ空気が何度も高性能フィルタにより除塵されるため、クリーンルーム２６２の運転を開始してから、ある一定時間を経過した後、クリーンルーム２６２内は高清浄度が保たれることになる。

半導体工場又はＦＰＤ製造工場においては、デバイスの高集積化に伴い、清浄度又は温湿度などの環境条件を、より高度なレベルに制御することが要求されている。さらに、近年の半導体又はＦＰＤの価格競争の激化から、クリーンルームの建設コストすなわちイニシャルコスト、及び、クリーンルーム自体のランニングコストを低減することが要求されている。そこで、ＦＦＵなどの清浄空気吹出装置の設置台数を削減するための工夫が試みられている。

クリーンルーム２６２内には、通常、ＦＦＵ又はファンのみを備えた製造装置２６５が多く設置されており、その取り込んだ空気は、外気へ排気、又は、床下チャンバ２６３へ直接排気されることが多く、クリーンルーム２６２内の空気量が減少する。そのため、クリーンルーム天井２６４に設置されているＦＦＵ２１７などの清浄空気吹出装置の設置台数を削減した場合、クリーンルーム２６２の室内の圧力が床下チャンバ２６３の圧力より低くなる箇所が発生し、床下チャンバ２６３からクリーンルーム２６２の室内へ逆流が発生することになる。

床下チャンバ２６３からクリーンルーム２６２の室内への逆流が起きると、クリーンルーム２６２の室内の鉛直下向きの空気流れを大きく乱し、クリーン度悪化の原因となる。さらに、床下チャンバ２６３内には通常、ポンプ、薬品槽、配管類などが配置されており、これらの付帯設備の表面に堆積し付着していた塵埃が逆流空気とともに舞い上がって、クリーンルーム２６２の室内に流入するので、汚染が著しく進む。このような逆流による汚染の問題は、クリーンルーム２６２の省設備化及び省エネルギー化を推し進めて、限界設計に近づけようとすればするほど避けて通れない重要な課題であった。

そこで、従来の技術として、床の近傍位置に、空気の流れ方向又は速度を検出するセンサを配置し、センサの検出値に応じて、クリーンルーム天井に設置したＦＦＵ２１７から吹き出す清浄空気の流量を調整する制御手段を設けたものがある。

この制御手段は、クリーンルーム床の近傍に設置されたセンサが、床を境とした上下空間の差圧を検出することによって、間接的に空気の流れ方向又は速度を検出する差圧計である。制御手段は、前記差圧計で検出される差圧が一定範囲内となるように、クリーンルーム天井２６４に設置したＦＦＵ２１７から吹き出す清浄空気の流量を調整することによって、床下チャンバからの逆流を発生させずに、クリーンルーム天井２６４に設置されているＦＦＵ２１７などの清浄空気吹出装置の設置台数を削減する効果が明示されている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２００４−２１８９１９号公報

しかしながら、前記従来の構成では、床下チャンバからクリーンルーム内に逆流してくる問題は抑えることができるが、以下の課題は残っている。すなわち、逆流が発生するのは、排気を伴った機器又は装置が要因で、クリーンルーム内の空気が不足していることが本質的な要因である。天井に設置されたＦＦＵは、クリーンルーム内で空気が不足している箇所から遠い位置にあるため、空気が分散してしまい、クリーンルーム内で正味の不足している流量よりも非常に多い流量を前記ＦＦＵから供給する必要があった。そのため、天井に設置されたＦＦＵの流量を低減することができず、結果的にエネルギーコストが大幅に増大してしまう。

本発明は、上記従来の問題に鑑み、クリーンルーム内の負圧箇所を解消し、クリーンルームの床下からの逆流を防止することができるクリーンルームの逆流防止装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、天井面から吹き出した清浄空気を通気性の床で仕切られた床下チャンバに向けて気流をダウンフローで流すようにしたクリーンルームにおいて、
前記クリーンルームの前記床下チャンバの空気を吸引する吸引口と、
前記クリーンルーム内に前記空気を吹き出す吹出口と、
前記吸引口から前記床下チャンバの前記空気を吸引して前記吹出口から前記クリーンルーム内に吹き出すファンと、
前記吹出口から吹出す空気流の高さ方向の向きを調整する板状の吹出し角度調整用フィンと、
前記吹出口で装置中心から放射状に延びかつ高さ方向には互いに平行な板状の放射状空気吹出用フィンと、
前記ファンを駆動制御して、前記クリーンルームで不足している流量を前記床下チャンバから前記クリーンルーム内に供給する制御装置と、
を備えることを特徴とするクリーンルームの逆流防止装置を提供する。

以上のように、本発明のクリーンルームの逆流防止装置によれば、クリーンルーム内で不足している流量を床下チャンバからクリーンルーム内に供給することにより補うことができて、床下チャンバからの逆流を発生させることなく、循環回数を低減した省エネルギーなクリーン設計を可能とする。

本発明の実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置の概略縦断面図本発明の実施形態におけるクリーンルーム内の空気流れ図本発明の実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置の吹出口からの空気の吹出し方を示す平面図本発明の実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置の吹出口からの空気の吹出し方を示す縦断面図本発明の実施形態かかる実施例１におけるクリーンルームの逆流防止装置を設置した解析モデル図本発明の実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置の装置吹出流量と逆流面積との関係を解析した結果をグラフ形式で示す図。本発明の実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置において、流量が最小の場合の装置吹出角度と逆流面積との関係を解析した結果をグラフ形式で示す図。本発明の実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置において、流量が最大の場合の装置吹出角度と逆流面積との関係を解析した結果をグラフ形式で示す図。特許文献１における従来のクリーンルームを示す概略断面図

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１Ａは、本発明の一実施形態におけるクリーンルームの逆流防止装置１０の概略構成図を示した平面図である。このクリーンルーム６２では、天井面から吹き出した清浄空気を通気性の床６１で仕切られた床下チャンバ６３に向けて気流をダウンフローで流すようにしている。

このクリーンルームの逆流防止装置１０は、逆流防止装置１０の箇体１１と、クリーンルーム６２のグレーチング床６１よりも上部の位置の箇体１１の側面に設置された吹出口１２と、吹出口１２から離れてかつグレーチング床６１よりも下部の位置でかつ箇体１１内に設置されたＦＦＵ（ファンフィルタユニット）１３と、箇体１１の底面にＦＦＵの下方に配置された吸込口１４とで構成されている。

逆流防止装置１０の吹出口１２は、グレーチング床６１の床面からあまり高くない箇所であることが好ましい。吹出口１２の位置がグレーチング床６１の床面よりも高くなった場合、クリーンルーム６２で逆流しているグレーチング床６１の床面から遠くなってしまうため、吹出した空気が拡散してしまい、後述する逆流防止効果が薄くなってしまう。一例としては、図１Ａのように、グレーチング床６１の床面から所定寸法の高さの間に、筐体１１の側面に、吹出口１２が配置されている。

なお、逆流防止装置１０の別の構成として、吹出口１２にフィルタを設置した場合、ＦＦＵ１３の構成は、フィルタ無しのファン（送風機）のみの構成にしてもよい。また、吹出口１２にＦＦＵを設置することによって、逆流防止装置１０は、筐体１１の下方にＦＦＵ１３を配置することなく、吸込口１４のみの構成にしてもよい。

ＦＦＵ１３のフィルタは、クリーンルーム６２で必要とされる清浄度によって最適なものを採用する。また、ファンは必要な吹出し量を満たすことができるものを選定して採用する。

吹出口１２は、吹出口１２から吹出した空気が、水平方向若しくは斜め下向きとなるような構造になっていることが好ましい。吹出口１２から上向き又は斜め上向きに空気が吹出した場合、周りの空気を巻き込んだ上昇気流を発生させ、それに伴って床下チャンバ６３の空気も巻上げてしまう可能性がある。そのため、クリーンルーム６２の床下チャンバ６３から逆流を誘発してしまう可能性がある。

逆流防止装置１０の下部（底部）に設置された吸込口１４から、床下チャンバ６３の空気を吸込む。その空気は、ＦＦＵ１３によって、クリーンルーム６２内の必要とされる清浄度まで上げられる。その空気は、吹出口１２までＦＦＵ１３のファンによって、逆流防止装置１０内でその上部に送風され、クリーンルーム６２のグレーチング床６１より高さが上部に位置する吹出口１２からクリーンルーム６２内に吹出され、クリーンルーム６２内で不足している空気を供給する。

ＦＦＵ１３のファンの動作方法としては、クリーンルーム６２の床下チャンバ６３から逆流が発生しているときのみ動作させ、逆流が発生していていない場合は、ファンの動作を停止させることで、逆流防止装置１０自体の省エネを図った動作方法も可能である。この動作を実現するために、グレーチング床６１を境とした上下空間の差圧を検出する差圧計１６を設置し、差圧計１６の検出値が制御装置９０に入力され、制御装置９０において、差圧計１６の検出値を基に、ＦＦＵ１３のファンをＯＮ／ＯＦＦ制御することで可能となる。一例としては、差圧計１６の検出値が閾値を越えると制御装置９０で判定するとき、逆流が発生しないようにＦＦＵ１３のファンをＯＮにし、差圧計１６の検出値が閾値以下であると制御装置９０で判定するとき、逆流が発生しないようにＦＦＵ１３のファンをＯＦＦするような制御が考えられる。

また、逆流が発生する要因は、クリーンルーム６２内の設備６５が排気していることであるため、設備６５の稼動状況の情報が制御装置９０に入力され、設備６５の稼動状況に応じて、制御装置９０の制御の下にＦＦＵ１３のファンをＯＮ／ＯＦＦ制御することも可能である。

逆流防止１０の吹出口１２の構造と吹出方法について、図２Ａと図２Ｂを用いて説明する。

図２Ａと図２Ｂに示すように、吹出口１２は、逆流防止装置１０の側面において、グレーチング床６１より上に位置する部分に設置されている。吹出口１２の高さ方向の長さは、逆流防止装置１０の上面より低い位置までである。なお、吹出口１２の最上部の位置は、グレーチング床６１から２ｍ以下が好ましい。逆流防止装置１０の吹出口１２からの吹出しがグレーチング床６１に対して高すぎる場合、吹出口１２から吹出した空気が、グレーチング床６１に到達するまでに拡散してしまうため、逆流防止の効果が弱くなる。そのため、逆流を防止するためには、より多くの吹出流量が必要となってくる。

図２Ａと図２Ｂで示すように、吹出口１２には、放射状空気吹出用フィン１８が放射状に設置されている。逆流防止装置１０が円柱形の場合、その軸中心から、逆流防止装置１０の表面から放射状に延ばした直線Ａ，Ｂの範囲内に吹出口１２及び放射状空気吹出用フィン１８が設置され、高さ方向には互いに平行な平板である。このように放射状空気吹出用フィン１８が設置されており、放射状空気吹出用フィン１８を制御装置９０の制御の下に駆動させることにより、吹出口１２からは、逆流防止装置１０の中心から放射状の向きに空気が吹出す。参照符号１０３は、吹出口１２からの幅方向の吹出し向きを示す流線である。

また、図２Ａで示すように、逆流防止装置１０の中心をＯとおき、装置中心Ｏから、逆流１５が発生しているとき、その逆流１５の範囲の左端を結んだ直線をＡとする。装置中心Ｏから、逆流１５の範囲の右端を結んだ直線をＢとする。そして、∠ＡＯＢの二等分線をＣとおく。このとき、∠ＡＯＣ＝∠ＢＯＣ＝θとおく。吹出口１２は、逆流防止装置１０の表面で直線Ａと直線Ｂの範囲に設置する。

このような構造になっているため、角度θによって吹出口１２の幅が決まる構成になっている。

また、吹出口１２には、高さ方向の吹出し角度を調整する板状の吹出し角度調整用フィン１９も同様に設置されている。

この吹出し角度調整用フィン１９の角度は、水平方向から下向き方向にしか調整できないようになっている。吹出口１２から吹出した空気が上向きの場合、周りの空気を巻き込んだ上昇気流を発生させ、床下チャンバ６３からの逆流を引き起こすためである。このような構成により、吹出口１２からは、吹出し角度調整用フィンにより、空気が、水平方向より下向きの角度に向かって吹出す。参照符号１０２は、吹出口１２からの高さ方向の吹出し向きを示す流線である。

クリーンルーム６２内の不足流量は逆流している流量と等しいため、クリーンルーム６２のグレーチング床６１から逆流している流量より、クリーンルーム６２内の不足流量を、制御装置９０内に制御本体部９０ａとは別に備えられた演算部９０ｂで算出する。差圧計１６などからの検出情報及び設備６５からの情報などは制御本体部９０ａに入力される。差圧計１６などからの検出情報が制御本体部９０ａから演算部９０ｂに入力されると、演算部９０ｂは所定の演算を行う。演算部９０ｂでの演算結果に基づいて、制御本体部９０ａはファン１３を駆動制御する。

逆流１５が発生している面積をＡ（ｍ^２）とし、流速計若しくは差圧計１６の検出情報から求められる逆流している各箇所の流速をＶｉ（ｍ／ｓ）とし、逆流している流量をＱとする。すると、

の式を使用して、演算部９０ｂで、逆流している流量をＱを算出することができる。ここで、ｘ，ｙは、図２Ａの平面における直交座標のｘ座標とｙ座標である。

この算出値が、クリーンルーム６２内で不足している正味の不足流量となる。

逆流している面積又はその流速又はグレーチング床６１の上下の差圧は、各箇所を１つ又は複数の流速計若しくは差圧計１６で測定することによって把握することができる。

逆流防止装置１０の吹出口１２からの吹出流量Ｑｏｕｔを、適正量に制御することが求められる。クリーンルーム６２内で不足している流量に対して吹出流量Ｑｏｕｔが少な過ぎる場合、本来の課題である逆流防止を解決することができず、床下チャンバ６３からの逆流１５を完全に抑えることができない。また、吹出流量Ｑｏｕｔが適正量に対して多過ぎる場合、図１Ｂの矢印１０１で示すように、余剰の空気がクリーンルーム６２の床下チャンバ６３に流れて入った後、クリーンルーム６２の床下チャンバ６３を循環する過程で、逆流１５が発生する箇所が生ずる。これは、余剰の空気が、クリーンルーム６２の床下チャンバ６３に流れ入ることによって、クリーンルーム６２の床下チャンバ６３では通常よりも多い流量が流れる結果となり、床下チャンバ６３内の圧力とクリーンルーム６２内の室圧との圧力バランスが崩れる箇所が発生し、床下チャンバ６３から逆流１５が発生する。

このとき、吹出流量Ｑｏｕｔの適正量は、

の関係を保つことが好ましい。

この関係式は、図３の構成で、クリーンルーム６２内に設置された逆流防止装置１０の吹出流量Ｑｏｕｔの最適値と、クリーンルーム６２内で床６１から逆流している面積との関係を、熱流体解析ソフト（クレイドル社製のストリーム）を用いて熱流体解析を行い、その結果より得られた。

図３で、７．４９ｍ^３／ｍｉｎの逆流１５が発生しているクリーンルーム６２において、逆流防止装置１０を設置し、逆流防止装置１０からの吹出流量Ｑｏｕｔの最適流量を熱流体解析した結果を、図４に示す。図４では、縦軸に逆流１５が発生している面積（ｍ^２）を示し、横軸に逆流防止装置１０からの吹出流量（ｍ^３／ｍｉｎ）を示す。

解析の結果、吹出流量を９ｍ^３／ｍｉｎ以上にすることによって、グレーチング床下６１からの逆流１５を防止することができた。逆に、吹出流量が２６ｍ^３／ｍｉｎ以上の場合、床下チャンバ６３から逆流１５が新たに発生する。つまり、本来、逆流している流量（７．４９ｍ^３／ｍｉｎ）に対して、１．２０倍以上かつ３．４７倍以下の流量であることが必要であることがわかった。その結果、前記（２）の式が得られた。

逆流防止装置１０の吹出口１２からの吹出しの幅方向について図２Ａを用いて説明する。

また、図２Ａで示すように、前記したように装置中心Ｏからの逆流１５の範囲の２分の一の角度をθとし、実際に吹出口１２からの吹く角度をθ’とおく。逆流している範囲（逆流１５の範囲）に対して、狭い面積しか吹かない場合、θ’＜θとなる。また、逆流している範囲（逆流１５の範囲）に対して広い面積で吹く場合、θ’＞θとなる。

このような構成により、角度θ’によって吹出口１２の吹出す幅と逆流１５に対してカバーできる範囲（逆流１５の範囲）とが決まる構成になっている。よって、角度がθ’＝θのとき、逆流防止装置１０の吹出口１２から吹出した空気の幅が、ちょうど逆流している範囲（逆流１５の範囲）と一致するような形になっている。

また、このような構成をとっているため、逆流防止装置１０を、逆流１５に対して近い距離に設置した場合と遠い距離に設置した場合とで比較すると、逆流１５に対して近い距離の場所に逆流防止装置１０を設置した方が角度θが大きくなるため、吹出口１２の吹出幅が大きくなることがわかる。しかし、逆流防止装置１０の吹出し流量は、逆流１５に対して、近い場所に逆流防止装置１０を設置した場合と、遠い場所に逆流防止装置１０を設置した場合で同じであるため、近い場所に逆流防止装置１０を設置した場合の方が必然的に流速が遅くなる（吹出流速をＶとし、吹出し面積をＤとすると、吹出流速ＶはＶ＝Ｑ／Ｄの関係式で定義され、Ｑは一定であるため、流速Ｖは吹出し面積Ｄと反比例の関係になるためである。）。

逆流防止装置１０の吹出口１２からの吹出幅には最適幅が求められる。その吹出幅は前述のように角度θ’で定義することが可能である。よって、最適な吹出角度はθとθ’の関係式 θ’／θ より

の関係を保つことが好ましい。

この関係式は、逆流防止装置１０の吹出口１２からの吹出角度θ’と逆流している面積との関係を熱流体解析ソフト（クレイドル社製ストリーム）で熱流体解析を行った結果より得られた。今回の解析モデルでは、実施形態で定義したθの値は、θ＝３３°となる。

ここで、前述の適切な吹出し量の結果より、逆流防止装置１０からの吹出口１２からの流量が最も少ないモデル１（吹出流量：９ｍ^３／ｍｉｎ）と、吹出口１２からの流量が最も多いモデル２（吹出流量：２６ｍ^３／ｍｉｎ）とのそれぞれで、熱流体解析した。図５Ａと図５Ｂとにその解析結果をそれぞれ示す。縦軸に逆流している面積（ｍ^２）を取り、横軸はθ’／θとして無次元化したものを用いている。

解析の結果、吹出流量が９ｍ^３／ｍｉｎと最小流量のモデル１の場合、θ’／θの値が０．９以上１．２以下であれば逆流を防止することができることがわかった。

また、吹出流量が２６ｍ^３／ｍｉｎと最大流量のモデル２の場合、θ’／θの値が０．７以上１．６以下であれば逆流を防止することができることがわかった。吹出流量が多いほど、逆流の発生を抑止しやすいことから、このような解析結果となっている。

今回の結果より、逆流防止装置１０の吹出口１２からの吹出角度の最適値は、今回の中で最も条件が厳しい、

の範囲を満たすことが必要であることがわかった。

逆流防止装置１０の吹出流量は、前述のように、各箇所での面積と流速若しくはグレーチング床６１の上下の差圧を測定することで把握することが可能である。しかし、クリーンルーム６２内の環境変化又は生産状況によって、吹出流量は時々刻々変化する場合もある。そのため、逆流１５が発生している範囲に、流速若しくはグレーチング床６１の上下の差圧を測定するセンサ（流速計若しくは差圧計）１６を複数個設置する。そして、逆流１５を示したセンサ（流速計若しくは差圧計）１６の範囲から逆流している面積を算出し、また各センサで測定される流速若しくは差圧から演算部９０ｂで算出される流速から、逆流している流量を演算部９０ｂで算出する。そして、その逆流している流量に基づいて、逆流防止装置１０のＦＦＵ１３の流量を制御装置９０で制御する。このような機構を設けることにより、時々刻々変化する逆流面積又は逆流の流速に対応することが可能となる。

以上のように、実施形態に係るクリーンルーム６２によれば、クリーンルーム６２内で空気が不足している領域に、床下チャンバ６３から直接その不足流量を供給することで、クリーンルーム天井のＦＦＵ１７をさらに削減することが可能となり、従来と比べてさらに省エネルギーなクリーンルーム６２を実現することで本発明の効果が得られる。

なお、上記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明のクリーンルームの逆流防止装置によれば、床下チャンバからクリーンルーム室内への汚染空気の逆流の防止を実現できるので、クリーンルームのＦＦＵの間引きなどによる循環回数低減による省エネルギーなクリーンルームだけでなく、多くの装置排気を伴う一般的なクリーンルームの設計の用途においても有用である。

１０クリーンルームの逆流防止装置
１１筐体
１２吹出口
１３逆流防止装置内に設置のＦＦＵ
１４吸込口
１５逆流
１６センサ（流速計、若しくは、差圧計）
１７クリーンルーム天井に設置のＦＦＵ
１８放射状空気吹出用フィン
６１グレーチング床
６２クリーンルーム室内
６３床下チャンバ
６４クリーンルーム天井室
６５設備
９０制御装置
９０ｂ演算部
１０１流線
１０２高さ方向の吹出し向きを示した流線
１０３幅方向の吹出し向きを示した流線

Claims

天井面から吹き出した清浄空気を通気性の床で仕切られた床下チャンバに向けて気流をダウンフローで流すようにしたクリーンルームにおいて、
前記クリーンルームの前記床下チャンバの空気を吸引する吸引口と、
前記クリーンルーム内に前記空気を吹き出す吹出口と、
前記吸引口から前記床下チャンバの前記空気を吸引して前記吹出口から前記クリーンルーム内に吹き出すファンと、
前記吹出口から吹出す空気流の高さ方向の向きを調整する板状の吹出し角度調整用フィンと、
前記吹出口で装置中心から放射状に延びかつ高さ方向には互いに平行な板状の放射状空気吹出用フィンと、
前記ファンを駆動制御して、前記クリーンルームで不足している流量を前記床下チャンバから前記クリーンルーム内に供給する制御装置と、
を備えることを特徴とするクリーンルームの逆流防止装置。
前記吹出口からの吹出流量Ｑｏｕｔが、前記床から前記クリーンールーム内に逆流する流量Ｑに対して、
１．２０ ×Ｑ ≦ Ｑｏｕｔ ≦ ３．４７ ×Ｑとなるように、前記ファンで流量調整を行うことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの逆流防止装置。
前記吹出し角度調整用フィンの角度は、前記空気流が水平方向から下向き方向に吹き出す方向に調整されることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルームの逆流防止装置。
装置中心をＯ、前記装置中心Ｏから逆流の範囲の左端を結んだ直線をＡとし、前記装置中心Ｏから前記逆流の範囲の右端を結んだ直線をＢとし、∠ＡＯＢの二等分線をＣとし、∠ＡＯＣ＝∠ＢＯＣ＝θとし、実際に前記吹出口から吹く角度をθ’とするとき、
０．９≦（θ’／θ）≦１．２であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のクリーンルームの逆流防止装置。
前記床を境とした上下空間の差圧を検出する差圧計をさらに備え、
前記差圧計で検出された前記差圧に基づき、前記制御装置で、前記ファンを駆動制御して、前記クリーンルームで不足している流量を前記床下チャンバから前記クリーンルーム内に供給することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のクリーンルームの逆流防止装置。