JP5673480B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
しかしながらこの特許文献2には、各搬送路内に清浄気体を供給する手法についての記載はなく、既述の基板処理装置の小型化の制約や消費エネルギーの増大などの課題を解決する手法についての言及や示唆はない。
この第1の搬送ブロックの下方側に積層して設けられ、第2の基板処理部に対して第2の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第2の搬送ブロックと、
前記第1の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第1の搬送ブロックの上部に設けられた第1のファンフィルタユニットと、
前記第1の搬送ブロックの底部には排気口を備えた床板が設けられ、この排気口から前記ダウンフローを取り込んで前記第2の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第2の搬送ブロックの上部に設けられた第2のファンフィルタユニットと、を備え、
前記第1の基板搬送機構は、基板保持部と、前記第1の搬送ブロックの底部に設けられ、当該基板保持部を走行させるための軌道を構成する走行ガイド機構部とを備え、当該走行ガイド機構部には、前記第1の搬送ブロック内のダウンフローを前記第2のファンフィルタユニット側へ向けて通過させるための通気口が設けられていることを特徴とする。
また、第2の発明に係る基板処理装置は、第1の基板処理部に対して第1の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第1の搬送ブロックと、
この第1の搬送ブロックの下方側に積層して設けられ、第2の基板処理部に対して第2の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第2の搬送ブロックと、
前記第1の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第1の搬送ブロックの上部に設けられた第1のファンフィルタユニットと、
前記第1の搬送ブロックの底部には排気口を備えた床板が設けられ、この排気口から前記ダウンフローを取り込んで前記第2の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第2の搬送ブロックの上部に設けられた第2のファンフィルタユニットと、を備え、
前記第1の搬送ブロックの天井部には、前記第1のファンフィルタユニットから吐出された清浄気体の流れを整えるための整流板が設けられ、この整流板に形成された清浄気体の供給口の開口面積は、前記床板の排気口の開口面積よりも大きいことを特徴とする。
(a)第1の発明において、前記走行ガイド機構部には、前記通気口を通過するダウンフローを前記第2のファンフィルタユニット側へ向けて送り出すための中間ファンが設けられていること。
(b)前記第1の搬送ブロックの底部と、前記第2のファンフィルタユニットの吸込口との間を連通させる空間内に外部の雰囲気を取り込むための開口部が設けられていること。
(d)(c)において、第1の搬送ブロック及び第2の搬送ブロックの外部の圧力を検出する外部圧力検出部を備え、前記制御部は、前記内部圧力検出部及び前記外部圧力検出部の検出結果に基づいて、第1の搬送ブロック内及び第2の搬送ブロック内の圧力が外部の圧力よりも高くなるように前記風量調節部に制御信号を出力すること。
また載置ブロック11を手前としたとき、載置ブロック11、搬入出ブロック12、受け渡しブロック13、液処理ブロック14は、手前側からこの順に、隣接して設けられている。
また、上段側の第1の搬送ブロック142aに接続された液処理部2が第1の基板処理部に相当し、下段側の第2の搬送ブロック142bに接続された液処理部2が第2の基板処理部に相当する。
また特に、水平ガイド機構部16は、第1の搬送ブロック142a、第2の搬送ブロック142b内に均一なダウンフローを形成するための特別な特徴を備えているがその詳細については後述する。
第2のFFU32にて上段側のダウンフローを取り込むことにより、第1の搬送ブロック142a内に均一で乱れの少ないダウンフローが形成される。
一つ目の特徴として、既述のように第1の搬送ブロック142aの床板15には、パンチングなどにより形成された多数の貫通孔が排気口151として設けられている(図5、6参照)。これらの貫通孔の面積、開孔数などを調整することによりダウンフローが床板15を通過する際の圧力損失を調整することができる。
また、中間ファン18として、水平ガイド機構部16を通過する際の圧力損失を補う分よりも大きな昇圧能力を有する物を用い、ダウンフローが床板15を通過する際の圧力損失についても補う構成としてもよい。
また、ウエハ搬送機構143の駆動機構にて発生したパーティクルが第2のFFU32を介して第2の搬送ブロック142bに供給されるのを抑制するため、各中間ファン18の吐出側にエアフィルタを配置してもよい。
またこのとき、既述のように第1、第2の搬送ブロック142a、142b内の圧力やダウンフロー流量、流速が揃うように調整される。
このときも第2の搬送ブロック142bの天井面側と底部側では、第2のFFU32、排気ファン331が稼動しており、上段側の第1の搬送ブロック142aを通過したダウンフローが第2のFFU32に取り込まれる。この結果、下段側の第2の搬送ブロック142bにダウンフローが形成され、パーティクルの巻き上げなどの少ない清浄な空間内をウエハWが搬送される。
142a 第1の搬送ブロック
142b 第2の搬送ブロック
143 ウエハ搬送機構
15 床板
151 排気口
16 水平ガイド機構部
161 通気口
18 中間ファン
2 液処理部
31 第1のFFU
32 第2のFFU
331 排気ファン
4 制御部
Claims (6)
- 第1の基板処理部に対して第1の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第1の搬送ブロックと、
この第1の搬送ブロックの下方側に積層して設けられ、第2の基板処理部に対して第2の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第2の搬送ブロックと、
前記第1の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第1の搬送ブロックの上部に設けられた第1のファンフィルタユニットと、
前記第1の搬送ブロックの底部には排気口を備えた床板が設けられ、この排気口から前記ダウンフローを取り込んで前記第2の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第2の搬送ブロックの上部に設けられた第2のファンフィルタユニットと、を備え、
前記第1の基板搬送機構は、基板保持部と、前記第1の搬送ブロックの底部に設けられ、当該基板保持部を走行させるための軌道を構成する走行ガイド機構部とを備え、当該走行ガイド機構部には、前記第1の搬送ブロック内のダウンフローを前記第2のファンフィルタユニット側へ向けて通過させるための通気口が設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記走行ガイド機構部には、前記通気口を通過するダウンフローを前記第2のファンフィルタユニット側へ向けて送り出すための中間ファンが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 第1の基板処理部に対して第1の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第1の搬送ブロックと、
この第1の搬送ブロックの下方側に積層して設けられ、第2の基板処理部に対して第2の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第2の搬送ブロックと、
前記第1の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第1の搬送ブロックの上部に設けられた第1のファンフィルタユニットと、
前記第1の搬送ブロックの底部には排気口を備えた床板が設けられ、この排気口から前記ダウンフローを取り込んで前記第2の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第2の搬送ブロックの上部に設けられた第2のファンフィルタユニットと、を備え、
前記第1の搬送ブロックの天井部には、前記第1のファンフィルタユニットから吐出された清浄気体の流れを整えるための整流板が設けられ、この整流板に形成された清浄気体の供給口の開口面積は、前記床板の排気口の開口面積よりも大きいことを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1の搬送ブロックの底部と、前記第2のファンフィルタユニットの吸込口との間を連通させる空間内に外部の雰囲気を取り込むための開口部が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記第1のファンフィルタユニット及び第2のファンフィルタユニットには、送風量の調節を行うための風量調節部が設けられ、
前記第1の搬送ブロック内の圧力、及び第2の搬送ブロック内の圧力を検出する内部圧力検出部と、
これら内部圧力検出部の検出結果に基づいて、前記第1の搬送ブロック内の圧力と第2の搬送ブロック内の圧力とが揃うように前記風量調節部に制御信号を出力する制御部と、を備えることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 第1の搬送ブロック及び第2の搬送ブロックの外部の圧力を検出する外部圧力検出部を備え、
前記制御部は、前記内部圧力検出部及び前記外部圧力検出部の検出結果に基づいて、第1の搬送ブロック内及び第2の搬送ブロック内の圧力が外部の圧力よりも高くなるように前記風量調節部に制御信号を出力することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
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