JPH07174777A - 気流チェッカーおよびクリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、クリーンルーム内の気流の方向
および強さを確実に、かつ、簡易に検知できる気流チェ
ッカーを得ることを目的とする。 【構成】 気流チェッカー１０は、支柱１１の軸方向に
対して直交する一平面内で同一の長さの４本の風車取付
腕１２が互いに直交するように支柱１１に垂直に取り付
けられ、４本の風車取付腕１２は、支柱１１の軸方向に
所定の間隔で、それらの取付位置が順次所定角度づつ回
転し、かつ、それらの長さが長くなって、５列に配設さ
れ、さらに風車取付腕１２のそれぞれの先端部には、風
車１３が回転自在に取り付けられて、構成されている。
そして、この気流チェッカー１０をクリーンルーム内に
設置すれば、クリーンルーム内の気流の方向および強さ
に応じて風車１３が回転し、気流の澱み等が目視にて把
握できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体を製造
する高い清浄度が必要とされるクリーンルーム内の気流
の方向や強さを検知する気流チェッカーおよびこの気流
チェッカーを配設したクリーンルームに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体等を製造するクリーンル
ーム内は、高い清浄度が必要とされている。そして、例
えば天井にＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Ai
r）と呼ばれる高性能フィルタを並べて吹出口とし、天
井全面から床に向けて垂直にクリーンエアを吹き出し、
床の全面に設けられた排気口から排気して、クリーンル
ーム内を高い清浄度に維持している。この時、クリーン
ルーム内に配設された装置類の位置関係や床の全面に設
けられた排気口の塞口状態によりクリーンエアの澱み等
が生じて、清浄度を低下させるという不具合がある。そ
こで、従来クリーンルーム内のクリーンエアの気流の乱
れを天井から吊り下げられた絹糸の振れ方向や蒸気の流
れ方向で検知し、気流の乱れの要因を解消して、高い清
浄度を維持するようにしている。

【０００３】図７は従来のクリーンルームにおける気流
の検知方法の一例を示す模式図であり、図において１は
クリーンルームの天井であり、この天井１には高性能フ
ィルタを並べて吹出口が設けられている。２はクリーン
ルームの床を構成するグレーティングであり、このグレ
ーティング２は格子構造物からなりその開口部が排気口
を形成している。３は天井１の所定の場所に一端をビニ
ールテープ４で固定された絹糸、５はグレーティング２
上に絹糸３の鉛直方向を明示するビニールテープであ
る。

【０００４】つぎに、上記従来のクリーンルームにおけ
る気流の検知方法について説明する。まず、２ｍの絹糸
３を天井１の所定の場所にビニールテープ４で固定す
る。また、絹糸３を鉛直したグレーティング２の位置に
ビニールテープ５を貼り付ける。そこで、絹糸３は天井
１からグレーティング２に向かって吹き出されたクリー
ンエアの気流方向に振れる。そして、絹糸３の鉛直線、
つまりビニールテープ４、５を結ぶ直線に対する絹糸３
の振れ幅Ｗをメジャーで計測して、気流の方向および強
さを検知する。この検知結果から、クリーンルーム内の
気流の乱れが判断されれば、気流の乱れの要因を取り除
き、正常な気流の流れに戻して清浄度の低下を防止す
る。

【０００５】図９は従来のクリーンルームにおける気流
の検知方法の他の例を示す模式図であり、図において６
はクリーンルーム内の所定の位置に配設された水蒸気発
生器、７は水蒸気発生器６から発生される水蒸気であ
る。

【０００６】この図９に示した従来の気流の検知方法で
は、水蒸気発生器６より発生される水蒸気７が気流方向
に流れる。そこで、この水蒸気７の流れ方向により気流
の方向を検知し、クリーンルーム内の気流の乱れが判断
されれば、気流の乱れの要因を取り除き、正常な気流の
流れに戻して清浄度の低下を防止する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
における気流の検知方法は以上のように、天井１から絹
糸３を吊り下げ、絹糸３の振れ幅と振れ方向とから気流
の方向および強さを検知するようにしているので、天井
１の各ケ所に絹糸３を吊り下げる必要があり、しかも複
数の絹糸３を吊り下げなければ周囲の状況が把握できな
いという課題があった。また、絹糸３は所定の長さ、例
えば２ｍの長さが必要となり、クリーンルームに設置さ
れた装置類の高さによっては絹糸３を吊り下げることが
できず、クリーンルーム内の気流の流れを完全に観察で
きないという課題もあった。さらに、絹糸３の自重によ
り、絹糸３の振れ方向が気流の方向と一致しないという
課題もあった。

【０００８】また、水蒸気発生器６から発生される水蒸
気７の流れにより気流の方向を検知する方法では、水蒸
気７そのものが半導体の製造に悪影響を及ぼしてしまう
という課題があった。

【０００９】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、クリーンルーム内の気流の方向
および強さを確実に、かつ、簡易に検知できる気流チェ
ッカーを得ることを目的とする。また、ルーム内の気流
の方向および強さを確実に把握できるクリーンルームを
得ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の発明に
係る気流チェッカーは、細長の支柱と、この支柱に放射
状に、かつ、その軸方向に段差をもって取り付けられた
複数の風車取付腕と、これらの風車取付腕のそれぞれの
先端部に回転自在に取り付けられた風車と、複数の風車
取付腕のそれぞれに取り付けられて風車の回転速度を検
出する回転速度検出手段を備えたものである。

【００１１】また、この発明の第２の発明に係るクリー
ンルームは、細長の支柱に放射状に、かつ、その軸方向
に段差をもって複数の風車取付腕を取り付け、さらに複
数の風車取付腕のそれぞれの先端部に風車を回転自在に
取り付けてなる気流チェッカーを配設したものである。

【００１２】また、この発明の第３の発明に係るクリー
ンルームは、風車取付腕の先端部に風車を回転自在に取
り付けてなる気流チェッカーを複数配設したものであ
る。

【００１３】また、この発明の第４の発明に係るクリー
ンルームは、上記第２および第３の発明において、気流
チェッカーは、風車の回転速度を検出する回転速度検出
手段が複数の風車取付腕のそれぞれに取り付けられてい
るものである。

【００１４】また、この発明の第５の発明に係るクリー
ンルームは、上記第４の発明において、回転速度検出手
段からの検出信号を入力し、ルーム内の気流の流れを演
算処理する演算処理装置を備えたものである。

【００１５】

【作用】この発明の第１の発明においては、細長の支柱
に放射状に、かつ、その軸方向に段差をもって取り付け
られた複数の風車取付腕のそれぞれの先端部に回転自在
に取り付けられた風車が、気流の方向および強さに応じ
て、それぞれ回転する。そして、回転速度検出手段が、
気流の方向および強さに応じてそれぞれ回転する風車の
回転数を検出し、その検出結果から、気流の方向および
強さが数値的に検知される。

【００１６】また、この発明の第２の発明においては、
細長の支柱に放射状に、かつ、その軸方向に段差をもっ
て複数の風車取付腕を取り付け、さらに複数の風車取付
腕のそれぞれの先端部に風車を回転自在に取り付けてな
る気流チェッカーを配設しているので、気流チェッカー
の設置場所が制限されず、装置類の混み合った場所や、
高さの高い装置の周囲等にも設置でき、クリーンルーム
内の気流の方向や強さに応じて回転する風車の回転具合
によりクリーンルーム内の気流の流れを目視的に検知で
きる。そして、装置類の位置関係や床全面に設けられて
いる排気口の塞口状態等に起因するエアの澱みによりク
リーンルーム内の気流に乱れが生じても、気流の流れか
ら検知できる。そこで、クリーンルーム内の気流の流れ
を観察しながら、清浄度の低下につながる気流の乱れの
要因を取り除くことができる。

【００１７】また、この発明の第３の発明においては、
風車取付腕の先端部に風車を回転自在に取り付けてなる
気流チェッカーを複数配設しているので、上記第３の発
明と同様に作用する。

【００１８】また、この発明の第４の発明においては、
回転速度検出手段が、気流の方向および強さに応じてそ
れぞれ回転する風車の回転数を検出でき、その検出結果
から、気流の方向および強さが数値的に検知される。そ
こで、クリーンルーム内の気流の流れを正確に把握する
ことができる。

【００１９】また、この発明の第５の発明においては、
演算処理装置が、回転速度検出手段からの検出信号から
クリーンルーム内の気流の流れ状況を演算処理する。そ
して、その演算処理結果から、クリーンルーム内の気流
の乱れが確実にかつ、速やかに検知でき、清浄度の低下
につながる気流の乱れの要因を取り除くことができる。
さらに、クリーンルーム内の気流の流れ状況の連続的な
モニタリングが可能となる。

【００２０】

【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例１．この実施例１は、この発明の第２の発明に係
る一実施例である。図１はこの発明の実施例１に係る気
流チェッカーの構成を示すもので、（ａ）は上面図、
（ｂ）は側面図である。図において、１０は気流チェッ
カーであり、この気流チェッカー１０は、所定長さの支
柱１１の軸方向に対して直交する一平面内で同一の長さ
の４本の風車取付腕１２が互いに直交するように支柱１
１に垂直に取り付けられ、このように取り付けられた４
本の風車取付腕１２は、支柱１１の軸方向に所定の間隔
で、それらの取付位置が順次２２．５°づつ回転し、か
つ、それらの長さが順次長くなって、５列に配設され、
風車取付腕１２のそれぞれの先端部には、風車１３が回
転自在に取り付けられて、構成されている。

【００２１】つぎに、この実施例１による気流チェッカ
ーの動作について説明する。この気流チェッカー１０
が、支柱１１の軸方向と平行な気流の流れ中に位置すれ
ば、全ての風車１３はほぼ同じ速度で回転する。この
時、気流の流れの強さが不均一であれば、それぞれの風
車１３の回転速度に差が生じる。また、この気流チェッ
カー１０が、支柱１１の軸方向に所定の角度をもった気
流の流れ中に位置すれば、風車１３の位置によっては回
転しない風車があったり、その回転速度が異なったりす
る。そこで、気流チェッカー１０の風車１３の回転具合
を目視的に観察することにより、気流の方向および乱れ
を検知することができる。

【００２２】このように構成された気流チェッカー１０
をクリーンルームに設置した場合について、図２を参照
しつつ説明する。まず、気流チェッカー１０には、支柱
１０の先端部にフック１４を螺着して取り付けている。
そして、クリーンルームの天井１にフック１４を引っ掛
けて、天井１から気流チェッカー１０を吊り下げる。そ
こで、正常な状態では、クリーンエアが天井１から垂直
にまんべんなく吹き出してくる。このクリーンエアの気
流は、気流チェッカー１０の支柱１１の軸方向に平行な
気流となり、気流チェッカー１０の全ての風車１３は同
じ速度で回転している。何等かの要因でクリーンエアが
澱むと、クリーンエアの気流の方向が乱れ、強さが不均
一となる。すると、気流チェッカー１０の風車１３の回
転する数や風車１３のそれぞれの回転速度が変化し、ク
リーンルーム内の気流の乱れが目視的に検知される。そ
こで、装置類の位置関係を点検し、あるいは、グレーテ
ィング２の開口を塞いでいる状況を点検し、気流チェッ
カー１０の風車１３の回転具合を観察しつつ、それらを
修正する。そして、気流チェッカー１０の風車１３が全
て同じ速度で回転するようにし、クリーンルーム内の気
流の流れを正常な状態をする。

【００２３】このように、この実施例１によれば、所定
長さの支柱１１の軸方向に対して直交する一平面内で同
一の長さの４本の風車取付腕１２を互いに直交するよう
に支柱１１に垂直に取り付け、このように取り付けられ
た４本の風車取付腕１２を、支柱１１の軸方向に所定の
間隔で、それらの取付位置が順次２２．５°づつ回転
し、かつ、それらの長さが順次長くなって、５列に配設
し、風車取付腕１２のそれぞれの先端部に、風車１３を
回転自在に取り付けて、気流チェッカー１０を構成して
いるので、気流チェッカー１０の風車１３の回転具合を
目視的に観察することにより、所定範囲内の気流の方向
および乱れを簡易に、かつ、確実に検知することができ
るという効果がある。

【００２４】また、この気流チェッカー１０の支柱１１
にフック１４を取り付けて、気流チェッカー１０を天井
１から吊り下げてクリーンルームに配設しているので、
気流チェッカー１０の風車１３の回転具合を目視観察す
ることにより、気流チェッカー１０回りの気流の方向お
よび強さが検知でき、何等かの原因で発生するクリーン
ルーム内の気流の乱れを簡易に、かつ、確実に検知でき
る。そこで、気流の乱れの要因を速やかに解消して、ク
リーンルーム内の気流の流れを正常な状態とし、清浄度
の低下を抑制して、半導体の歩留まりを向上できる。ま
た、気流チェッカー１０は、装置類の混み合った場所で
も、高い装置の回りでも設置が可能で、クリーンルーム
の任意な場所での気流の乱れを検知できる。

【００２５】なお、上記実施例１では、気流チェッカー
１０の支柱１１の先端にフック１４取り付け、天井１か
ら吊り下げて配置するものとしているが、図３に示すよ
うに、支柱１１の挿入孔を設けた据え付け台１５をグレ
ーティング２上に設置し、据え付け台１５の挿入孔に支
柱１１を挿入して気流チェッカー１０を配置するように
してもよい。また、気流チェッカー１０をクリーンルー
ム内に複数台設置すれば、クリーンルーム内全体の気流
の状況を把握でき、この際両者を併用すれば気流チェッ
カー１０の設置の自由度をさらに高めることができ、ク
リーンルーム内全体の気流の状態をより正確に把握でき
る。さらに、支柱１１を伸縮自在に構成すれば、気流チ
ェッカー１０の設置高さが任意に選定でき、クリーンル
ーム内の気流の状態をより正確に把握できる。

【００２６】実施例２．この実施例２は、この発明の第
１および第４の発明に係る一実施例である。図４はこの
発明の実施例２に係る気流チェッカーを示す要部拡大図
である。この実施例２による気流チェッカー１６は、各
風車１３の回転軸の回転速度を検出する回転速度検出手
段としてのパワーメータ計１７を各風車取付腕１３に取
り付けている。なお、他の構成は、上記実施例１と同様
に構成されている。

【００２７】この実施例２によれば、風車１３の回転速
度がパワーメータ計１７により検出されて、パワーメー
タ計１７の表示部１７ａにより数値表示される。そこ
で、各風車１３のポイントでの気流の強さが数値化さ
れ、上記実施例１に比べて、気流の方向や強さをより正
確に、かつ、簡易に把握することができる。

【００２８】また、この実施例２による気流チェッカー
１６をクリーンルームに設置すれば、気流チェッカー１
６回りの気流の方向および強さが数値化されて簡易に、
かつ、確実に検知でき、気流の乱れの要因を速やかに解
消して、クリーンルーム内の気流の流れを正常な状態と
し、清浄度の低下を抑制して、半導体の歩留まりを向上
できるクリーンルームが得られる。

【００２９】なお、上記実施例２では、気流チェッカー
１６を１台設置するものとしているが、クリーンルーム
内に気流チェッカー１６を複数台設置すれば、クリーン
ルーム内全体の気流の状況を把握することができる。

【００３０】実施例３．この実施例３は、この発明の第
５の発明に係る一実施例である。図５はこの発明の実施
例３に係るクリーンルームの要部を示す構成図であり、
図において１８はクリーンルーム内に設置された気流チ
ェッカー１６のパワーメータ計１７に接続され、パワー
メータ計１７からの検出信号を入力して気流チェッカー
１６回りの気流の方向や強さを演算処理する演算処理装
置としてのパソコンである。この場合、パワーメータ計
１７に表示機能は必要としない。

【００３１】この実施例３では、気流チェッカー１６を
据え付け台１５を用いてクリーンルーム内の所定の場所
に設置している。そこで、気流チェッカー１６のパワー
メータ計１７で検出された各風車１３の回転数のデータ
はパソコン１８に送られ、パソコン１８にて演算処理さ
れる。そして、パソコン１８の表示部にリアルタイムに
各風車１３のポイントでの気流の方向や強さを矢印の方
向や長さで表示する。そこで、パソコン１８の表示部の
表示内容から気流チェッカー１６回りの気流の乱れが検
知されると、該表示内容を観察しつつ気流の乱れの要因
を速やかに解消して、クリーンルーム内の気流の流れを
正常な状態とする。

【００３２】この実施例３によれば、風車１３の回転速
度を検出するパワーメータ計１７を装備した気流チェッ
カー１６をクリーンルーム内に設置し、パソコン１８を
パワーメータ計１７に接続しているので、気流チェッカ
ー１６回りの気流の状況を常時監視でき、気流の乱れを
確実に検知できる。そして、気流の乱れが検知されれ
ば、その要因を速やかに解消して、清浄度の低下を抑制
し、半導体の歩留まりを向上できる。また、パソコン１
８の表示部にリアルタイムに各風車１３のポイントでの
気流の方向や強さを矢印の方向や長さで表示するように
すれば、時々刻々の気流の状況が目視的に観察でき、気
流の乱れの検知や該乱れの要因の解消作業が簡易に、か
つ、確実にできる。さらに、パソコン１８にて各データ
を集計し、グラフ化すれば、気流の状況を連続的にモニ
タリングすることができる。

【００３３】なお、上記実施例３では、気流チェッカー
１６を１台設置するものとしているが、クリーンルーム
内に気流チェッカー１６を複数台設置すれば、クリーン
ルーム内全体の気流の状況を把握することができる。

【００３４】実施例４．この実施例４は、この発明の第
５の発明に係る他の実施例である。図６はこの発明の実
施例４に係るクリーンルームの要部を示す構成図であ
り、図において１９は集中監視室２０内に設置された演
算処理装置としてのワークステーションである。この実
施例４では、クリーンルームの天井１に気流チェッカー
１６を複数台設置し、気流チェッカー１６の各パワーメ
ータ計１７とワークステーション１９とを電気配線２１
により連結している。

【００３５】この実施例４によれば、クリーンルーム内
に設置された複数台の気流チェッカー１６の各パワーメ
ータ計１７からの出力信号が時々刻々ワークステーショ
ン１９に入力される。そこで、ワークステーション１９
により各パワーメータ計１７のデータを演算処理して、
クリーンルーム内の気流の状況をリアルタイムに把握で
きる。その結果、クリーンルーム内の気流の状況を連続
的に監視でき、気流の乱れが発生すれば、簡易に、か
つ、確実に検知でき、その要因を速やかに解消して、清
浄度の低下を抑制できる。

【００３６】ここで、上記実施例４では、パワーメータ
計１７とワークステーション１９とを連結する電気配線
２１に代えて光ケーブルを用いてもよい。この場合、パ
ワーメータ計１７に光−電気変換器を設置する必要があ
る。

【００３７】実施例５．この実施例５は、この発明の第
３、第４および第５の発明に係る一実施例である。図７
はこの発明の実施例５に係るクリーンルームの要部を示
す構成図であり、図において２２は気流チェッカーであ
り、この気流チェッカー２２は風車取付腕１７の先端部
に風車１３を回転自在に取り付け、さらに風車１３の回
転軸の回転速度を検出するパワーメータ計１７を風車取
付腕１７に取り付けて構成されている。この実施例５で
は、気流チェッカー２２をクリーンルームの天井１に複
数台設置し、各気流チェッカー２２のパワーメータ計１
７と集中監視室２０内に設置されたワークステーション
１９とを電気配線２１により連結している。

【００３８】この実施例５によれば、クリーンルーム内
に気流チェッカー２２を複数台設置し、各気流チェッカ
ー２２に風車１３の回転速度を検出するパワーメータ計
１７を取り付け、パワーメータ計１７とワークステーシ
ョン１９とを電気配線２１を介して連結しているので、
ワークステーション１９によりパワーメータ計１７から
のデータに基づいてクリーンルーム内の気流の方向や強
さを演算処理でき、上記実施例４と同様の効果を奏す
る。また、気流チェッカー２２が風車取付腕２３の先端
部に風車１３を回転自在に取り付けて構成されているの
で、構成が簡素となるとともに小型となり、設置スペー
スの省スペース化および低コスト化が図られる。

【００３９】ここで、上記実施例５では、風車取付腕の
先端部に風車１３を回転自在に取り付け、この風車取付
腕に風車１３の回転速度を検出するパワーメータ計１７
を取り付けて、気流チェッカー２２を構成し、パワーメ
ータ計１７の検出データを演算処理するワークステーシ
ョン１９を配設するものとしているが、特に連続的なモ
ニタリングを必要としない場合には、ワークステーショ
ン１９を取り除き、パワーメータ計１７に表示部を設
け、風車１３の回転速度を表示部にて数値化して表示さ
せ、各風車１３の回転具合を数値化して気流の乱れを検
知するようにしてもよい。また、クリーンルーム内の気
流の方向や強さの高精度な検知を必要としない場合に
は、さらにパワーメータ計１７を取り除き、単に風車取
付腕２３の先端部に風車１３を取り付けて気流チェッカ
ーを構成し、各風車１３の回転具合を目視観察して気流
の乱れを検知するようにしてもよい。

【００４０】なお、上記実施例１〜４では、所定長さの
支柱１１の軸方向に対して直交する一平面内で同一の長
さの４本の風車取付腕１２を互いに直交するように支柱
１１に垂直に取り付け、このように取り付けられた４本
の風車取付腕１２を、支柱１１の軸方向に所定の間隔
で、それらの取付位置が順次２２．５°づつ回転し、か
つ、それらの長さが順次長くなって、５列に配設し、風
車取付腕１２のそれぞれの先端部に、風車１３を回転自
在に取り付けて、気流チェッカー１０、１６を構成する
ものとしているが、気流チェッカーの構成はこれに限定
されるものではなく、細長の支柱に放射状に、かつ、そ
の軸方向に段差をもって複数の風車取付腕を取り付け、
さらに風車取付腕のそれぞれの先端部に風車を回転自在
に取り付けているものであればよい。

【００４１】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００４２】この発明の第１の発明によれば、細長の支
柱と、この支柱に放射状に、かつ、その軸方向に段差を
もって取り付けられた複数の風車取付腕と、これらの風
車取付腕のそれぞれの先端部に回転自在に取り付けられ
た風車と、複数の風車取付腕のそれぞれに取り付けられ
て風車の回転速度を検出する回転速度検出手段とを備え
ているので、風車の回転速度が数値化され、回転する風
車の位置関係および回転速度から、気流の方向および強
さを正確に、かつ、簡易に検知できる。

【００４３】また、この発明の第２の発明によれば、細
長の支柱に放射状に、かつ、その軸方向に段差をもって
複数の風車取付腕を取り付け、さらに複数の風車取付腕
のそれぞれの先端部に風車を回転自在に取り付けてなる
気流チェッカーを配設しているので、気流チェッカーの
風車の回転具合を目視観察することによりクリーンルー
ム内の気流の乱れが簡易に検知できる。そして、風車の
回転具合を目視観察しつつ気流の乱れの要因を速やかに
解消でき、清浄度の低下を抑制して、半導体の歩留まり
を向上できる。

【００４４】また、この発明の第３の発明によれば、風
車取付腕の先端部に風車を回転自在に取り付けてなる気
流チェッカーを複数配設しているので、気流チェッカー
の構成が簡素化され、設置スペースの省スペース化およ
び低コスト化を図ることができる。

【００４５】また、この発明の第４の発明によれば、上
記第２および第３の発明において、気流チェッカーは、
風車の回転速度を検出する回転速度検出手段が複数の風
車取付腕のそれぞれに取り付けられているので、風車の
回転具合が数値化され、気流の乱れを確実に、かつ、簡
易に検知することができる。

【００４６】また、この発明の第５の発明によれば、上
記第４の発明において、回転速度検出手段からの検出信
号を入力し、ルーム内の気流の流れを演算処理する演算
処理装置を備えているので、クリーンルーム内の気流の
状況をリアルタイムで把握でき、気流の乱れを速やかに
検知できるとともに、自動測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１に係る気流チェッカーので
構成を示す図である。

【図２】この発明の実施例１に係るクリーンルームの要
部を示す構成図である。

【図３】この発明の実施例１の実施対応に係るクリーン
ルームの要部を示す構成図である。

【図４】この発明の実施例２に係る気流チェッカーを示
す要部拡大図である。

【図５】この発明の実施例３に係るクリーンルームの要
部を示す構成図である。

【図６】この発明の実施例４に係るクリーンルームの要
部を示す構成図である。

【図７】この発明の実施例５に係るクリーンルームの要
部を示す構成図である。

【図８】従来のクリーンルームでの気流の検知方法の一
例を示す模式図である。

【図９】従来のクリーンルームでの気流の検知方法の他
の例を示す模式図である。

【符号の説明】

１０ 気流チェッカー １１ 支柱 １２ 風車取付腕 １３ 風車 １６ 気流チェッカー １７ パワーメータ計（回転速度検出手段） １８ パソコン（演算処理装置） １９ ワークステーション（演算処理装置）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 細長の支柱と、この支柱に放射状に、か
   つ、その軸方向に段差をもって取り付けられた複数の風
   車取付腕と、これらの風車取付腕のそれぞれの先端部に
   回転自在に取り付けられた風車と、前記複数の風車取付
   腕のそれぞれに取り付けられて前記風車の回転速度を検
   出する回転速度検出手段と備えたことを特徴とする気流
   チェッカー。
2. 【請求項２】 細長の支柱に放射状に、かつ、その軸方
   向に段差をもって複数の風車取付腕を取り付け、さらに
   複数の風車取付腕のそれぞれの先端部に風車を回転自在
   に取り付けてなる気流チェッカーを配設したことを特徴
   とするクリーンルーム。
3. 【請求項３】 風車取付腕の先端部に風車を回転自在に
   取り付けてなる気流チェッカーを複数配設したことを特
   徴とするクリーンルーム。
4. 【請求項４】 気流チェッカーは、風車の回転速度を検
   出する回転速度検出手段が複数の風車取付腕のそれぞれ
   に取り付けられていることを特徴とする請求項２および
   請求項３のいずれかに記載のクリーンルーム。
5. 【請求項５】 回転速度検出手段からの検出信号を入力
   し、ルーム内の気流の流れを演算処理する演算処理装置
   を備えたことを特徴とする請求項４記載のクリーンルー
   ム。