JP2001099462A - クリーンルームまたはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】空調設備機器の再シミュレーションを行うこと
の出来るクリーンルーム又はクリーンブース内の特定領
域環境の最適制御解析値表示システムを提供する。 【解決手段】最適制御解析値表示システム１は、ダスト
カウンタ２と、気流測定装置７と、温度計３、湿度計
４、気圧計５、ガスセンサ６等が所定の位置に配置さ
れ、測定値モニタリング装置８により、測定結果を記
憶、表示し、クリーンルーム又はクリーンブース内に設
けられた空調設備の給排気口位置及びその能力、設置数
量、消費電力等の空調設備能力及び製造ライン装置の位
置、寸法形状、材質及び作業員の人数及び作業位置等の
環境構成要因を入力し、この入力値に基づいて計算表示
装置９にクリーンルーム又はクリーンブース内の粒子濃
度分布、気流、気温をシミュレート表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームま
たはクリーンブースにおいて、該クリーンルームまたは
クリーンブースを三次元的に領域化し、その領域毎の気
流、温度、湿度等の分布をシミュレートし、ダスト分布
やその発生場所を探索して、前記領域に応じた最適な環
境を簡便に実現するクリーンルームまたはクリーンブー
ス内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、不純物の排除、帯電防止が必
要とされる半導体、精密機器の製造、また、塵埃等の不
純物の排除、特に菌の排除が必要とされる医薬品の製造
や医療用の施設として、無発塵性、気密性、耐食性に優
れ、帯電防止がなされ、気流、温湿度等が必要に応じて
コントロールできる空調設備を有するクリーンルームま
たはクリーンブース（以下、単に「クリーンルーム」と
する場合もある。）が使用されている。

【０００３】上記のようなクリーンルームは、そのクリ
ーンルーム内の清浄度を示す特別な指数を用い、例え
ば、薬品として注射剤等の製造を行うクリーンルーム
は、クラス１０００の指数で示されるクリーンルーム
や、クラス１００００の指数で示されるクリーンルーム
では、温度２３℃±３℃、湿度４０％±５％に保たれる
ように温度湿度管理がされている。そして、このような
薬品製造においては、特に菌が問題となるため、菌のサ
ンプリングを４８時間培養して定期的に行い、これに係
る定期洗浄、定期減菌作業が１日１回程度自動的に行わ
れるようにされている。

【０００４】また、例えば、半導体チップや液晶の製造
を行うクリーンルームにあっては、そのクリーンルーム
内を、０．３μｍに換算するダスト（塵埃）が１００以
下となっていることが求められ、これをクラス１００の
指数として表現し、当該クリーンルーム内の気流、温
度、湿度、清浄度、静電気、アンモニアやノックス等の
ガス濃度の計測を定期的に行い、これらの計測値が、前
記の所定値内に収まるように常時コントロールされてい
る。このように、それぞれの目的に応じて、クリーンル
ーム内の清浄度は、一定の指数値で、その清浄度等が表
現され、常時監視を続けながら、そのクリーンルーム内
を定められた指数値内のクリーン度に保つように運用さ
れている。

【０００５】図８は、従来より使用されているクリーン
ルームの運用構成概略図であり、所定大の閉空間のクリ
ーンルーム５０の室内には、例えば、半導体や薬品等の
製造ライン等からなる製造ライン装置５０ａ、５０ｂが
適宜配置され、そして、そのクリーンルーム内の天井部
分の適宜の位置には、室内を一定の前記クリーン度を保
たせる為の清浄空調空気を吹き出す複数の空調給気口５
０ｃが設けられ、また、そのクリーンルーム内の壁面に
は、クリーンルーム５０室内の空気を排出下方吸気口５
０ｅ、上方吸気口５０ｆ等が設けらる構造をとってい
る。なお、前記給気口５０ｃには、それぞれ集塵フィル
タ５０ｄが設けられている。

【０００６】そして、クリーンルーム内の温度や湿度等
が、所定の範囲内であるかは、クリーンルーム内の複数
の所定位置に図示外の温度計、湿度計、ダストカウン
タ、室内の浮遊粒子（ダスト）が空気中を移動する移動
量や方向を視認する気流可視化装置等、当該クリーンル
ーム内の清浄度を測定する機器を必要に応じ配置し、こ
れらの機器を用いて、クリーンルーム内の環境を定期的
に計測している。

【０００７】すなわち、クリーンルーム内の温度、湿
度、清浄度等の計測は、例えば、温度計、湿度計をクリ
ーンルーム内のプロセス部近辺の重要な複数箇所に配置
し、その測定した温度や湿度が所定温度範囲、所定湿度
範囲であることを確認していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たようにクリーンルーム内での製造目的に応じて一定の
クリーン度が定められているとはいえ、そのクリーン度
およびそれが適用されるべき領域等について仔細に検討
してみると、例えば、個々の製造ライン近辺では、より
高い高度なクリーン度指数が要求されるのに対し、当該
製造ラインから離れた領域や、空気の流れが大きくない
領域においては、高いクリーン度を満たすことがなくて
も、製品に影響しないことが知りうる。すなわち、上述
するように、クリーンルームやクリーンブース内の清浄
度等の管理・制御は、前記クリーンルームまたはクリー
ンブース内の部屋全体を対象とし、かつ、求められるク
リーン度から外れることの安全性を考慮して、通常は、
その管理は、オーバースペック的な仕様で行われ、その
ためクリーンルーム全体としては、莫大なランニングコ
ストを要することもあった。すなわち、このような個々
の半導体製造や薬品製造に影響を与えない範囲で、影響
を与えない領域のクリーン度を低く設定しても、個々の
製造には、何の影響を与えないばかりか、不必要な領域
を高度なクリーン度に保つための不必要な空調能力を軽
減できることとなる。また、クリーンルーム内は、製造
ラインの変更や一部の機器のメンテナンス作業のため、
クリーンルーム内にダストが多量に発生することがあ
り、このような場合には、発生するダストを広範囲にま
き散らさないようにするため、製造ライン等の設備を全
部又は、近辺のラインは停止して行わなければならな
い。しかしながら、クリーンルーム内の気流の動き等が
完全に捕捉され、ダストの広がり等、その範囲領域、汚
染度等が完全に捕捉できるならば、製造ライン等を停止
しなくても、すなわち、製造ラインを運行しながら、上
記のライン変更や一部の機器のメンテナンスを行うこと
ができることになる。

【０００９】本発明は、第一義的には、上記のような従
来のクリーンルーム内の大まかな気流や清浄度をシミュ
レーション捕捉するため、そのクリーンルーム内の気
流、清浄度分布等を実測し、必要箇所の細かな気流や清
浄度を解析する。例えば、必要以上の能力を有する空調
設備機器の出力を軽減させた場合や、製造ライン等を設
置した場合の影響を再シミュレーションを行うことので
きるクリーンルームまたはクリーンブース内の特定領域
環境の最適制御解析値表示システムを提供しようという
ものである。また、本発明に係るクリーンルームまたは
クリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示
システムは、第二義的には、当該クリーンルーム内の気
流、温度、湿度、清浄度、室圧の流体シミュレーション
を行い、その結果と、実際に測定したデータを単独また
は融合して表示し、クリーンルームまたはクリーンブー
ス内を最適な環境で維持しつつ、空調能力を省エネルギ
ー化することができるクリーンルームまたはクリーンブ
ース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムを
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本願請求項１に係る発明は、クリーンルームまた
はクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表
示システムにおいて、クリーンルームまたはクリーンブ
ース内の所定の位置に配置され、前記クリーンルームの
所定空間の浮遊粒子数を計数する一又は二以上のダスト
カウンタと、前記クリーンルームまたはクリーンブース
内の所定位置に配置され、前記クリーンルームまたはク
リーンブース内の所定空間の気流の方向およびその速度
を測定する一又は二以上の気流測定装置と、前記クリー
ンルームまたはクリーンブース内の所定位置に配置さ
れ、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定
空間の気温を測定する一又は二以上の温度計と、前記測
定された所定位置の浮遊粒子数、気流の方向およびその
速度、気温の測定結果を記憶、表示する測定値モニタリ
ング装置と、前記クリーンルームまたはクリーンブース
内に設けられた空調設備の給排気口位置およびその能
力、設置数量、消費電力等の空調設備能力および製造ラ
イン装置の位置、寸法形状、材質および作業員の人数お
よび作業位置等の環境構成要因を入力し、この入力値に
基づいた前記クリーンルームまたはクリーンブース内の
粒子濃度分布、気流、気温をシミュレート表示する計算
表示装置と、からなることを特徴とする。また、本願請
求項２に係る発明は、前記請求項１に係るクリーンルー
ムまたはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解
析値表示システムにおいて、前記クリーンルームまたは
クリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示
システムは、前記クリーンルームまたはクリーンブース
内の所定位置に配置され、前記クリーンルームまたはク
リーンブース内の所定空間の湿度を測定する一又は二以
上の湿度計と、前記クリーンルームまたはクリーンブー
ス内の所定位置に配置され、前記クリーンルームまたは
クリーンブース内の所定空間の気圧を測定する一又は二
以上の気圧計とを備えてなることを特徴とする。

【００１１】そして、本願請求項３に係る発明は、前記
請求項１又は２に係るクリーンルームまたはクリーンブ
ース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムに
おいて、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の
特定領域環境の最適制御解析値表示システムは、前記ク
リーンルームまたはクリーンブース内の所定位置に配置
され、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所
定空間に存在するガスの種類およびその濃度を検出する
一又は二以上のガスセンサを備えてなることを特徴とす
る。また、本願請求項４に係る発明は、請求項１ないし
３のいずれかに係るクリーンルームまたはクリーンブー
ス内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムにお
いて、前記計算表示装置は、前記クリーンルームまたは
クリーンブース内における特定の空調設備能力における
浮遊粒子数、気流方向および気流速度、気温、湿度、気
圧等の前記環境構成要因の実測値を示す前記ダストカウ
ンタ、前記気流測定装置、前記温度計、前記湿度計、前
記気圧計の測定モニタリング値から、当該クリーンルー
ムまたはクリーンブース内への各環境構成要因への相関
関係を予め記憶しておき、クリーンルームまたはクリー
ンブース内の環境への影響をシミュレート表示すること
を特徴とする。さらに、本願請求項５に係る発明は、請
求項１ないし３のいずれかに係るクリーンルームまたは
クリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示
システムにおいて、前記計算表示装置は、前記クリーン
ルームまたはクリーンブース内における特定の空調設備
能力を変化させた条件における浮遊粒子数、気流方向お
よび気流速度、気温、湿度、気圧等の前記環境構成要因
の実測値を示す前記ダストカウンタ、前記気流測定装
置、前記温度計、前記湿度計、前記気圧計の測定モニタ
リング値および前記シミュレート表示値から、その変化
に応じた当該クリーンルームまたはクリーンブース内の
各環境構成要因への相関関係を予め記憶しておき、その
空調設備能力を変化させた際のクリーンルームまたはク
リーンブース内の環境への影響をシミュレート表示する
ことを特徴とする。そして、本願請求項６に係る発明
は、請求項１ないし３のいずれかに係るクリーンルーム
またはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析
値表示システムにおいて、前記計算表示装置は、前記ク
リーンルームまたはクリーンブース内における所定の作
業に基づいて発生するダスト数、気流、温度の前記ダス
トカウンタ、前記気流測定装置、前記温度計、前記湿度
計、前記気圧計の実測値から、その作業に応じた当該ク
リーンルームまたはクリーンブース内の各環境構成要因
への影響の相関関係を予め記憶しておき、作業員数、作
業時間を入力することにより、クリーンルームまたはク
リーンブース内の特定の作業に対して、クリーンルーム
またはクリーンブース内の環境への影響をシミュレート
表示することを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーンルー
ムまたはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解
析値表示システムについて図面を参照して説明する。図
１は、本発明に係るクリーンルーム内の特定領域環境の
最適制御解析値表示システムの一実施の形態の構成図で
あり、符号１は、本システム全体を示し、符号２は、前
記クリーンルーム５０室内の浮遊粒子（粒径０．３μｍ
程度のダスト）数を計数するダストカウンタであり、前
記クリーンルーム５０内の複数の位置に配置される。ま
た、符号３は、室内の温度を測定する温度計、４は、湿
度を測定する湿度計、５は、室圧を測定する気圧計、６
は、ガスセンサであり、これら温度計３、湿度計４、気
圧計５、ガスセンサ６も、前記同様、前記クリーンルー
ム５０室内の所定位置に必要に応じて置かれる。

【００１３】また、符号７は、前記クリーンルーム５０
室内の特定の箇所の風向・風速を測定する風向風速計と
前記クリーンルーム５０室内の所定空間の気流の移動す
る方向とその速度を可視化する気流可視化装置とで構成
される気流測定装置である。符号８は、空調設備機器
（図示外）が所定出力電力量（例えば、定格電力量の場
合）の場合に、測定値データ８ｈ等を記憶する測定値モ
ニタリング装置である。また、９は、前記測定値モニタ
リング装置８により計算された環境データを指標化し、
所定条件のクリーンルーム５０室内への影響をシミュレ
ートして表示する例えばディスプレイ装置を備えたパー
ソナルコンピュータ等からなる計算表示装置である。

【００１４】前記計算表示装置９において、１０は、該
計算表示装置９の中枢部であり、ＣＰＵ（中央処理装
置）１０ａとオペレーティングシステムプログラム、ク
リーンルーム内の特定領域環境の最適制御解析値表示シ
ステムプログラム等が記憶されたメモリ１０ｂからな
り、１１は、前記測定値モニタリング装置８に記憶され
た測定値データ８ｈ、ダスト数データ８ａ、温度データ
８ｂ、湿度データ８ｃ、室圧データ８ｄ、気流データ８
ｅ、ガスデータ８ｆ等を取り込む測定データ取込手段、
１２は、ハードディスク等からなる記憶手段、１３は、
前記記憶手段１２に前記測定値データ８ｈが記憶され、
詳細には後述する出力電力量を変更した場合や所定の作
業を行った場合のシミュレート結果が記憶された測定値
データ、１４は、前記記憶手段１２に、前記ダスト数デ
ータ８ａ、前記温度データ８ｂ、前記湿度データ８ｃ、
前記室圧データ８ｄ、前記気流データ８ｅ、前記ガスデ
ータ８ｆ等を、ダスト数データ１４ａ、温度データ１４
ｂ、湿度データ１４ｃ、室圧データ１４ｄ、気流データ
１４ｅ、ガスデータ１４ｆとして記憶された実測データ
記憶領域である。１５は、クリーンルーム内の特定領域
環境の最適制御解析値表示を行う場合に必要なクリーン
ルーム５０の大きさ、空調設備噴気孔５０ｃの位置、製
造ライン装置５０ａ、５０ｂの設置位置や寸法形状等、
空調設備の設置数量、出力電力量等の空調設備能力、単
位電力量当たりの料金、また、クリーンルーム５０室内
での作業員の人数と作業内容、作業場所等の入力値と、
これらの入力値に基づいた表示内容指示の入力値が記憶
される環境構成要因記憶領域である。

【００１５】１６は、クリーンルーム５０室内の気流温
度、湿度、清浄度、室圧等の空調条件を満たす空調設備
機器の台数やその出力電力量の増減量が設定され、設定
した電力量と設定前の電力量、消費電力量とそのランニ
ングコストを比較表示するためデータが記憶された電力
量設定データ、１７は、クリーンルーム５０室内で行わ
れる所定作業の作業員人数、作業状態、作業位置等の作
業内容が設定入力され、設定した作業内容と前記記憶手
段１２に記憶された測定データに基づいて、その設定さ
れた作業における気流の方向とその速度、また、所定位
置の清浄度を前記計算表示装置９に表示するためのデー
タが記憶された作業内容設定データ、１８は、前記記憶
手段１２に記憶された内容に基づいて、実測値による分
布（ベクトル図、コンター図）や、前記電力量設定デー
タ１６、前記作業内容設定データ１７の結果による分布
（ベクトル図、コンター図）のなかから選択され表示さ
れる指示データが記憶された表示内容指定データであ
り、１９は、環境構成要因等を入力する入力手段、２０
は、シミュレーション表示を行う液晶ディスプレイ装
置、ＣＲＴディスプレイ装置等の表示装置である。

【００１６】前記ダストカウンタ採取口２は、前記クリ
ーンルーム５０室内の所定位置に配置され、前記測定値
モニタリング装置８に接続されたパイプの先端に取り付
けられた漏斗形状採取口であり、この漏斗形状採取口か
ら空気を吸気し、前記クリーンルーム５０に設けられた
空調設備機器（図示外）が及ぼす前記クリーンルーム５
０の所定空間の浮遊粒子（粒径０．３μｍ程度）数を計
数する。

【００１７】前記気流測定装置７は、前記クリーンルー
ム５０用に設けられた空調設備機器（図示外）の所定出
力時における気流の風向と風速を測定する。すなわち、
前記クリーンルーム５０室内を、所定空間に分割し、そ
の分割された所定の測定エリアの気流を測定する。

【００１８】前記クリーンルーム５０用に設けられた空
調設備機器（図示外）は、その出力電力量（空調設備能
力）により、空調噴気孔５０ｃから吹き出される空気の
風向風速が異なる。この出力電力量を、例えば、空調能
力の１００％出力時、８０％出力時、６０％出力時等を
クリーンルーム５０室内全体、または一部の気流の風向
と風速をシミュレーションし、必要に応じて該気流測定
装置７に表示し、該気流測定装置７に記憶するととも
に、前記測定値モニタリング装置８に記憶する。また、
前記空調能力を適宜の値に変えたときのクリーンルーム
５０室内全体、または一部の気流の風向と風速をシミュ
レーションし、必要に応じて該気流測定装置７に表示
し、該気流測定装置７に記憶するとともに、前記測定値
モニタリング装置８に記憶する。

【００１９】図２は、前記クリーンルーム５０室内に配
置された測定値モニタリング装置８と、この測定値モニ
タリング装置８に接続された前記ダストカウンタ２、前
記温度計３、前記湿度計４、前記気圧計５、ガスセンサ
６の説明図である。前記測定値モニタリング装置８は、
クリーンルーム５０室内の環境に最も影響を及ぼさない
位置に配置され、例えば、製造ライン５０ａ近辺の所定
空間に配置された前記ダストカウンタ２は、パイプ２ａ
で接続され、製造ライン５０ｂ近辺の所定空間の前記温
度計３はコード３ａで、前記湿度計４はコード４ａで、
また、製造ライン５０ａ近辺の所定空間の前記気圧計５
はコード５ａで、製造ライン５０ｂ近辺の所定空間の前
記ガスセンサ６はコード６ａでそれぞれ接続され、これ
ら前記温度計３で温度を測定し、前記湿度計４で湿度を
測定し、前記気圧計５で室圧を測定し、前記ガスセンサ
６でガスの種類およびその濃度を測定し、前記ダストカ
ウンタ２によりサンプリングされた所定空間のダスト数
データ８ａ、前記温度計３による温度データ８ｂ、前記
湿度計４による湿度データ８ｃ、前記気圧計５による室
圧データ８ｄ、前記ガスセンサ６によるガスデータ８
ｆ、前記気流測定装置７により測定された気流データ８
ｅを、所定数に分割された空間毎に空調設備機器の出力
量別に、測定データとして記憶する。

【００２０】そして、前記気流測定装置７と同様に、前
記クリーンルーム５０用に設けられた空調設備機器（図
示外）の能力による空調噴気孔５０ｃから吹き出される
それぞれの空気の風向風速と温度、湿度、気圧により影
響を受ける所定数に分割された空間の測定値算出手段８
ｇにより求め、これを、温度データ８ｂ、湿度データ８
ｃ、室圧データ８ｄ、気流データ８ｅ、ガスデータ８ｆ
と関連づけて、クリーンルーム５０のどの位置で、温度
が何（℃）、湿度が何（％）、室圧が何（ｐａ）、気流
状態下の清浄度（個／ｆｔ^３）等を、測定値算出手段８
ｇにより算出し、前記測定値データ８ｈ（データテーブ
ル）として該測定値モニタリング装置８に記憶するとと
もに必要に応じて表示する。

【００２１】この測定値モニタリング装置８の測定値算
出手段８ｇにより、清浄度を求める計算式を次の式１に
示す。なお、クリーンルーム５０の大きさ（幅×長さ×
高さ）、クリーンルーム５０に設けられた空調噴気孔５
０ｃの位置、下方吸気口５０ｅ、上方吸気口５０ｆが設
けられている位置、クリーンルーム５０に要求される清
浄度クラス、温度、湿度、室圧と、クリーンルーム５０
に空調を行う空調設備機器の定格消費電力量、設置台
数、定格電力消費時に噴気孔５０ｃから吹き出される空
気の風速、また、空調の噴気孔５０ｃに設けられた集塵
フィルタ５０ｄの通過率、クリーンルーム５０室内に配
置された製造ライン５０ａ、５０ｂ等から発生する内部
発塵量、クリーンルーム５０室外から取り入れられる外
気の量とその清浄度は、当該クリーンルームの許容能力
に基づいて予め入力する。

【００２２】

【式１】

【００２３】前記計算表示装置９は、前記クリーンルー
ム５０用に設けられた空調設備機器の噴気孔位置とその
設置数量、消費電力、周波数、風速等の空調設備能力
と、前記クリーンルーム５０に配置された製造ライン装
置の位置、大きさ、また、前記クリーンルーム５０室内
で作業を行う作業員の人数、作業内容、作業位置等を入
力することにより、通常の作業状態における前記測定値
データ、前記温度データ、前記湿度データ、前記室圧デ
ータ、ガスデータと、前記気流データを記憶し、このデ
ータに基づいて、当該クリーンルーム５０内の環境構成
要因をシミュレート表示し、その結果に基づいて消費電
力、周波数、風速等の空調設備能力を増減した様子をベ
クトル図、コンター図として表示する。

【００２４】前記電力量設定データ１６は、前記測定値
モニタリング装置８により測定されたクリーンルーム５
０室内への空調設備能力を、どの程度削減（あるいは増
加）すると、クリーンルーム５０室内の所定位置の清浄
度がどのように変わるかを表示するためのデータが記憶
されることとなる。前記クリーンルーム５０室内全体
を、所定の清浄度に維持するために、空調設備機器が、
所定の出力電力量と、温度（℃）、湿度（％）、清浄度
（μｍ≦クラス）、圧力（Ｐａ）が保持されるように、
室内冷却負荷（Ｍｃａｌ／ｈ）、ＦＦＵの台数、消費電
力（Ｗｈ）、周波数（Ｈｚ）、風速（ｍ／ｓ）からなる
空調稼動条件を現状から所定値に変更し、変更前と変更
後の電力量を表示するためのデータとなる。

【００２５】例えば、クリーンルーム５０室内の環境条
件として、温度２３℃±１℃、湿度４５％±５％、清浄
度０．３μｍ≦クラス１００、室圧２０Ｐａ±５Ｐａ
（一般室に対するもの）を必要とする場合、現在の空調
稼動条件である室内冷却負荷（Ｍｃａｌ／ｈ）が、２２
００（Ｍｃａｌ／ｈ）、ＦＦＵの台数が３５００台、消
費電力（Ｗｈ）が１１０（Ｗｈ）、周波数（Ｈｚ）が６
０（Ｈｚ）、風速（ｍ／ｓ）が０．３５（ｍ／ｓ）であ
ったものを、室内冷却負荷（Ｍｃａｌ／ｈ）を２０２０
（Ｍｃａｌ／ｈ）、ＦＦＵの台数を３１５０台、消費電
力（Ｗｈ）を８２（Ｗｈ）、周波数（Ｈｚ）を５０（Ｈ
ｚ）、風速（ｍ／ｓ）を０．２８（ｍ／ｓ）に変更す
る。そして、前記メモリ１０ｂに記憶されたプログラム
により変更前と変更後の消費電力量と、これにより削減
される電力量を算出して表示するとともに、これに要す
るランニングコストを算出して前記計算表示装置９に表
示する。

【００２６】すなわち、これらの空調稼動条件におい
て、現在の室内冷却負荷であるターボ冷凍機の年間消費
電力量は６．４×１０^６（ｋＷｈ）、ＦＦＵの消費電力
量は３．４×１０^６（ｋＷｈ）となり、その消費電力量
の合計は９．８×１０^６（ｋＷｈ）であり、変更後の室
内冷却負荷は、ターボ冷凍機の年間消費電力量が６．１
×１０^６（ｋＷｈ）、ＦＦＵの消費電力量は２．３×１
０^６（ｋＷｈ）、消費電力量の合計は８．４×１０
^６（ｋＷｈ）となり、このとき削減されたターボ冷凍機
の年間消費電力量が．３×１０^６（ｋＷｈ）、ＦＦＵの
削減消費電力量が１．１×１０^６（ｋＷｈ）、合計削減
電力量が１．４×１０^６（ｋＷｈ）として得られる。な
お、上記した変更後の状態において、空調設備噴気孔能
力が変更後の値より５％下回った場合と、仮想発塵源の
発塵量が５％を上回った場合とを想定して、クリーンル
ーム５０室内の清浄度のシミュレーションを行い、その
結果を清浄度コンター図として表示し、所定位置の清浄
度が維持されていることが視認できるようにする。

【００２７】また、該電力量設定データ１６は、現在の
前記空調稼動条件下におけるクリーンルーム５０室内の
環境（清浄度、気流分布、温度分布、湿度分布等）をシ
ミュレートして、所定断面の清浄度コンター図や気流分
布ベクトル図、気流分布コンター図、温度分布コンター
図、湿度分布コンター図を作成し、前記計算表示装置９
に表示するデータとなる。また、変更後の前記空調稼動
条件下におけるクリーンルーム５０室内の環境について
も同様にシミュレートして、所定断面の清浄度コンター
図や気流分布ベクトル図等を表示するデータとなる。

【００２８】また、上記した空調設備機器の能力を、そ
れぞれ現在の状態と、変更した状態において金額換算
し、消費電力の削減によるコストダウン可能な金額表示
が行われる。図３は、電力量設定データ１６により前記
計算表示装置９に表示される特定領域の環境構成要因を
示した説明図であり、図３（ａ）は、電力量を軽減する
前、図３（ｂ）は、電力量を軽減した後のシミュレーシ
ョン結果と実測値を表示した表示画面の説明図である。
図３（ａ）、（ｂ）によると、クリーンルーム５０室内
の特に重要とされる７箇所について環境構成要因を実測
し、これに基づいて、電力量設定データ１６による電力
量を軽減したときのシミュレーション結果と、特に重要
な７箇所（例えば、環境構成要因が上記値に維持されな
ければならない製造ライン装置５０ａ、５０ｂが配置さ
れた位置近辺）の清浄度等の実測を必要に応じて行う。
その結果を前記シミュレーション結果による例えばコン
ター図上に、実測値を重ねて表示し、例えば、図３中の
に注目すると、電力量を軽減する前の環境構成要因の
実測値は、４０（個／ｆｔ^３）であり、軽減後の清浄度
の実測値は、３９（個／ｆｔ^３）であることから、環境
構成要因の上限濃度に適合することが得られる。このよ
うに、空調稼動条件の変更にともなうクリーンルーム５
０の室内環境（清浄度、気流分布、温度分布、湿度分布
等）のコンター図やベクトル図に、実測値を重ねて表示
することで、現状と変更後の環境の差違を視認すること
ができる。

【００２９】作業内容設定データ１７は、前記クリーン
ルーム５０室内の測定値データ１３、ダスト数データ１
４ａ、温度データ１４ｂ、湿度データ１４ｃ、気流デー
タ１４ｅ、ガスデータ１４ｆに基づいて、現在のクリー
ンルーム５０の室内の清浄度シミュレーションを行い、
また、クリーンルーム５０室内の所定位置で、例えば製
造ライン装置５０ａ、５０ｂのメンテナンス等の作業を
行った場合に気流がとのように変化するかを得るための
ものである。すなわち、所定作業時の作業量、道具から
のダスト発生量に応じた仮想ダスト数と、大きさ、寸
法、発熱量、作業人数とその作業位置に応じた気流発生
源を入力し、そのときの作業時の気流および清浄度をシ
ミュレートして、結果を気流分布ベクトル図、清浄度コ
ンター図として前記計算表示装置９に表示する。

【００３０】作業内容設定データ内容として、例えば、
メンテナンスＡ作業は、作業状態が「立姿で、手首を動
かす」状態で、その時の発塵量が、５００，０００（個
／分）、発塵位置がＸ＝１０００ｍｍ、Ｙ＝１０００ｍ
ｍ、Ｚ＝１２５０ｍｍと入力し、この入力内容に基づい
て、清浄度シミュレーションを行い、その作業が行われ
ているときに、ダスト影響を及ぼす箇所を視認する清浄
度コンター図等を表示するためのデータである。

【００３１】図４（ａ）、（ｂ）は、該作業内容設定デ
ータ１７により、計算表示装置９に表示されたクリーン
ルーム５０室内の清浄度コンター図であり、同（ａ）
は、メンテナンスＡ作業を行う前の清浄度コンター図、
同（ｂ）は、メンテナンスＡ作業中の清浄度コンター図
である。

【００３２】図４（ａ）によると、作業を行う前は、所
定の清浄度を要するＢ位置は、何ら影響を受けることな
く、清浄度は必要とされる所定値が表示される。つぎ
に、図４（ｂ）は、Ａ位置で作業を行った場合を該作業
内容設定データ１７によりシミュレートした結果であ
る。この図４（ａ）と図４（ｂ）が得られることによ
り、Ｂ位置の清浄度に変化が見られ、ダスト影響（清浄
度の影響）を受けていることから、Ｂ位置に重要な製造
ライン装置（ダスト影響を受けてはならない設備）が配
置されている場合には、Ａ位置でのメンテナンスＡ作業
は望ましくないことが視認できる。つまり、作業員がＡ
位置で作業を行う場合に、Ｂ位置にダスト影響を及ぼす
ようであれば、作業員の立つ位置の変更、作業内容の変
更を事前に対処することができる。

【００３３】表示内容指定データ１８は、前記記憶手段
１２に記憶された、気流データ１４ｅに基づいて気流分
布ベクトル図と気流コンター図を作成して計算表示装置
９に表示するためのデータである。同様に測定値データ
１３に基づいて清浄度コンター図を作成し、温度データ
１４ｂに基づいて温度コンター図を作成し、湿度データ
１４ｃに基づいて湿度コンター図を作成し、室圧データ
１４ｄに基づいて室圧コンター図を作成し、ガスデータ
１４ｆに基づいてガス濃度コンター図を作成し、また、
演算により算出した寄与率を寄与率コンター図として、
空気齢を空気齢コンター図として作成し、クリーンルー
ム５０の現在の特定領域環境の最適制御解析値を視認で
きるようにする。

【００３４】つぎに、上記構成のクリーンルームまたは
クリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示
システム１により、クリーンルームまたはクリーンブー
ス内の環境構成要因を解析してシミュレーションを行
い、空調設備機器の出力を軽減した場合や、製造ライン
等を設置した場合やクリーンルームまたはクリーンブー
ス内で作業を行った場合に、クリーンルームまたはクリ
ーンブースへの影響を再シミュレートする様子をフロー
チャートに基づいて説明する。図５は、クリーンルーム
またはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析
値表示システム１の手順を示し、図６は、電力量設定デ
ータ１６に基づいた電力量設定処理の手順を示し、図７
は、作業内容設定データ１７に基づいたダスト影響等の
作業内容設定処理手順を示したフローチャートである。
クリーンルーム５０室内の環境は、ダストカウンタ２で
ダスト数を計数し、気流測定装置７で気流の方向、速度
を測定し、温度計３で室温を、湿度計４で湿度を、気圧
計５で室圧を、ガスセンサ６でガスの種類とその濃度を
それぞれ測定し（ステップＳ１）、これらの測定した実
測データと算出した測定値データ等を測定値モニタリン
グ装置８に記憶する（ステップＳ２）。

【００３５】前記測定値モニタリング装置８に記憶され
た測定値データ等は、例えば、フロッピィ等に記憶され
て、計算表示装置９が配置された検証・解析ルームに持
ち運び、この計算表示装置９で実測データを取り込む
（ステップＳ３）と、該計算表示装置９の記憶手段１２
に確保された実測データ記憶領域１４に、それぞれダス
ト数データ１４ａ、温度データ１４ｂ、湿度データ１４
ｃ、室力データ１４ｄ、気流データ１４ｅ、ガスデータ
１４ｆとして記憶される（ステップＳ４）。

【００３６】つぎに、計算表示装置９によりクリーンル
ームまたはクリーンブース内の特定領域の最適化を行う
には、所定の選択メニューが表示された初期画面に表示
する（ステップＳ５）。計算表示装置９に表示された初
期画面の中から、前記クリーンルーム５０に係る空調設
備機器の出力量を軽減する場合には（ステップＳ６）、
電力量設定データ１６を得るための電力量設定処理（ス
テップＳ７）を選択し、クリーンルーム５０室内での所
定作業による製造ライン等へのダスト影響を得る場合は
（ステップＳ８）、作業内容設定データ１７を得るため
の作業内容設定処理（ステップＳ９）を行い、また、現
在のクリーンルーム５０室内の環境状態や、既に、前記
電力量設定処理、作業内容設定処理により、シミュレー
トした環境内容を表示する場合には（ステップＳ１
０）、表示内容指定データ１８を得るための表示内容指
定処理を行う。

【００３７】（電力量設定処理）電力量設定処理が選択
されると、画面に電力量設定メニューを表示し（ステッ
プＳ１２）、表示された内容に従って、クリーンルーム
５０として要する温度、湿度、清浄度等の環境条件を入
力し、つぎに、クリーンルーム５０の大きさや、空調給
排気口位置、吸気孔位置や大きさ、空調装置（ＦＦＵ）
の機種、大きさ、能力、配置位置、配置台数、定格消費
電力等の空調設備機器の稼動条件を入力し、（ステップ
Ｓ１３）これらの入力データを電力量設定データ１６に
記憶する（ステップＳ１４）。電力量設定処理に必要な
条件の設定入力が終了すると、前記計算表示装置９の実
測データ記憶領域に記憶されたデータに基づいて現在の
空調設備機器の稼動条件下での気流状態や清浄度のシミ
ュレートを行い（ステップＳ１５）、必要であれば（ス
テップＳ１６）、このシミュレート結果を計算表示装置
９の画面に表示する（ステップＳ１７）。

【００３８】つぎに、必要以上の能力を有する空調設備
機器の出力の軽減にあたり、例えば、空調設備機器の台
数を１０％削減して３５００台から３１５０台とし、風
速を２０％削減して０．３５ｍ／ｓから０．２８ｍ／ｓ
にした場合に、これらの設定内容を入力し（ステップＳ
１８）、この設定データに基づいて、製造ライン近辺等
の必要箇所の気流や清浄度、室温、湿度、室圧等をシミ
ュレートし（ステップＳ１９）、必要であれば（ステッ
プＳ２０）、このシミュレート結果を計算表示装置９の
画面に表示する（ステップＳ２１）。

【００３９】また、上記空調設備機器の軽減できる消費
電力量を得る場合には（ステップＳ２２）、空調設備機
器にかかる現在の消費電力量と、軽減設定後の消費電力
量を算出し（ステップＳ２３）、これらを対比した表を
作成して画面に表示する（ステップＳ２４）。つづい
て、上記空調設備機器の軽減できるランニングコストを
得る場合には（ステップＳ２５）、空調設備機器にかか
る現在のランニングコストと、軽減設定後のランニング
コストを算出し（ステップＳ２６）、前記消費電力量同
様に、これらを対比した表を作成して画面に表示する
（ステップＳ２７）。

【００４０】そして、例えば、製造ライン装置５０ａ、
５０ｂ近辺等の特に清浄度が維持されなければ成らない
重要箇所について、実測を行う場合は（ステップＳ２
８）、上述したように、必要箇所にダストカウンタ２等
を置き、その箇所の清浄度の実測を行い（ステップＳ２
９）、前記現在のシミュレーション結果と出力軽減後の
シミュレーション結果、または出力軽減後のシミュレー
ション結果と出力軽減後の実測シミュレーション結果と
を対比できるように画面に表示する（ステップＳ３
０）。

【００４１】（作業内容設定処理）前記選択メニューか
ら作業内容設定処理が選択されると、作業内容設定画面
が表示され（ステップＳ３１）、前記計算表示装置９に
記憶された測定値データ等に基づいて、クリーンルーム
５０室内の清浄度をシミュレートし（ステップＳ３
２）、その結果を気流分布ベクトル図や清浄度コンター
図として表示する（ステップＳ３３）。このクリーンル
ーム５０室内において、所定の作業を行う場合、その作
業が、製造ライン近辺等の清浄度等に、どの様な影響を
及ぼすかをシミュレートする場合は（ステップＳ３
４）、作業条件として、作業人数、作業位置、作業内
容、その作業における発塵量等を入力して、前記作業内
容設定データ１６に記憶し（ステップＳ３５）、その作
業時の清浄度をシミュレートし（ステップＳ３６）、結
果を気流分布ベクトル図、清浄度コンター図等で表示す
る（ステップＳ３７）。

【００４２】つぎに、前記シミュレートした作業時の清
浄度を実測する場合は（ステップＳ３８）、作業時にお
ける特定箇所、すなわち、作業を行うことで清浄度に影
響があってはならない製造ライン近辺等の重要箇所に、
ダストカウンタ２等を置いて清浄度を実測し（ステップ
Ｓ３９）、その実測値に基づいてクリーンルーム５０室
内をシミュレートし（ステップＳ４０）、その結果を気
流分布ベクトル図、清浄度コンター図等で表示する（ス
テップＳ４１）。そして、作業を行う前の現在の環境状
態と、作業中の環境状態の解析を行う場合は（ステップ
Ｓ４２）、特に重要箇所の作業前と作業中、あるいは作
業中と作業中の実測の気流分布ベクトル図、清浄度コン
ター図等を同一画面上に表示する（ステップＳ４３）。
これにより、前記設定した作業を行うと、クリーンルー
ム５０室内の製造ライン近辺といった何処にどの位の影
響があるかが、数値や色で視認できる図が作成される。

【００４３】（表示内容指定処理）画面に表示内容指定
処理のメニュー画面を表示する（ステップＳ４４）。こ
のメニュー画面には、実測による気流データ、温度デー
タ、湿度データ、室圧データ、清浄度データ、空調寄与
率データ、空気齢データ、ガスデータ等の選択画面と、
前記電力節減解析による気流データ、温度データ、湿度
データ、室圧データ、清浄度データ、空調寄与率デー
タ、空気齢データ、ガスデータ等の選択画面と、ダスト
影響度対策による気流データ、温度データ、湿度デー
タ、室圧データ、清浄度データ、空調寄与率データ、空
気齢データ、ガスデータ等の選択画面とが表示され、こ
れらの中から、所望とするデータを選択する（ステップ
Ｓ４４）。

【００４４】すなわち、気流データが選択された場合
は、気流ベクトル図、コンター図を表示し、温度データ
が選択された場合は、温度コンタール図を表示し、湿度
データが選択された場合は、湿度コンター図を表示し、
室圧データが選択された場合は、室圧コンター図を表示
し、清浄度データが選択された場合は、清浄度コンター
図を表示し、空調寄与率データが選択された場合は、空
調寄与率コンター図を表示し、空気齢データが選択され
た場合は、空気齢コンター図を作成・表示して（ステッ
プＳ４６）、現在のクリーンルーム５０室内の環境を確
認することができる。

【００４５】なお、上記実施の形態では、クリーンルー
ム５０室内で測定した気流データや清浄度データ、温度
データ、湿度データ、圧力データをフロッピィディスク
に記憶して、計算表示装置９に移行するとして説明した
が、クリーンルーム５０室内で実測するダストカウンタ
２や気流測定装置７、温度計３、湿度計４、気圧計５、
ガスセンサ６等をケーブル等で直接計算表示装置９に接
続して計算表示装置９からの指示信号により実測するよ
うにしてもよい。

【００４６】

【発明の効果】本発明のクリーンルームまたはクリーン
ブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システム
によると、クリーンルーム室内の気流の方向や速度に基
づいて、クリーンルームの清浄度分布、温度分布、湿度
分布をシミュレーションするようにしたため、当該製造
ラインから離れた領域で、かつ、気流の流れが大きくな
い領域においては、一定のクリーン度が得られずとも、
クリーンルームを要する製造目的に応じてより高い高度
なクリーン度指数が要求される個々の製造ライン近辺で
は、一定のクリーン度が得られる。つまり、このような
個々の半導体製造や薬品製造に影響を与えない範囲で、
影響を与えない領域のクリーン度を低く設定することが
でき、個々の製造には、何の影響を与えないばかりか、
不必要な領域を高度なクリーン度に保つための不必要な
空調能力を軽減できるといった利点がある。これによ
り、クリーンルーム室内を所定の環境に保ちつつ、空調
設備機器の消費電力を最低限に設定することができ、製
造ラインで製造される製品に影響を与えることなく、低
コストを実現できる。

【００４７】また、クリーンルーム室内の気流の方向や
速度に基づいて、クリーンルームの清浄度分布、温度分
布、湿度分布をシミュレーションするようにしたため、
クリーンルームまたはクリーンブース内での製造ライン
の変更や一部の機器のメンテナンス作業を行う場合に発
生するダストをダストを広範囲にまき散らさないよう
に、クリーンルームまたはクリーンブース内の気流の動
き等を完全に捕捉することにより、製造ライン等を完全
に停止することなく、製造ラインを運行しながら、ライ
ン変更や一部の機器のメンテナンスを行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムのブロック構成図である。

【図２】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムの測定値モニタリング装置と、これに接続
されたダストカウンタ、温度計、湿度計、気圧計、ガス
センサの説明図である。

【図３】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムにより電力量設定処理を行った場合の清浄
度をシミュレートおよび実測した説明図である。

【図４】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムにより作業内容設定を行った場合の清浄度
をシミュレートした説明図である。

【図５】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムの手順を示したフローチャートである。

【図６】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムの電力量設定処理の手順を示したフローチ
ャートである。

【図７】本発明の一実施の形態に係るクリーンルームま
たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
表示システムの作業内容設定処理の手順を示したフロー
チャートである。

【図８】クリーンルームの運用構成概略図である。

【符号の説明】

１・・クリーンルームまたはクリーンブース内の特定領
域環境の最適制御解析値表示システム ２・・ダストカウンタ ３・・温度計 ４・・湿度計 ５・・気圧計 ６・・ガスセンサ ７・・気流測定装置 ８・・測定値モニタリング装置 ９・・計算表示装置 １０・・中枢部 １１・・測定データ取込手段 １２・・記憶手段 １３・・測定値データ １４・・実測データ記憶領域 １５・・環境構成要因記憶領域 １６・・電力量設定データ １７・・作業内容設定データ １８・・表示内容指定データ １９・・入力手段 ２０・・表示装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 宜嗣 栃木県那須郡南那須町大字田野倉779番地 の１ 有限会社アヤラ産業内 Ｆターム(参考） 3L060 AA03 CC02 CC07 CC09 CC10 CC13 CC14 CC19 DD06 EE01 5H004 GA34 GA36 GB20 HA01 HA04 HA16 HB01 HB03 HB04 HB08 JA23 JB08 JB09 KC27 MA40 MA48 MA49 MA60

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームまたはクリーンブース内
   の所定の位置に配置され、前記クリーンルームの所定空
   間の浮遊粒子数を計数する一又は二以上のダストカウン
   タと、 前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置
   に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース
   内の所定空間の気流の方向およびその速度を測定する一
   又は二以上の気流測定装置と、 前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置
   に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース
   内の所定空間の気温を測定する一又は二以上の温度計
   と、 前記測定された所定位置の浮遊粒子数、気流の方向およ
   びその速度、気温の測定結果を記憶、表示する測定値モ
   ニタリング装置と、 前記クリーンルームまたはクリーンブース内に設けられ
   た空調設備の給排気口位置およびその能力、設置数量、
   消費電力等の空調設備能力および製造ライン装置の位
   置、寸法形状、材質および作業員の人数および作業位置
   等の環境構成要因を入力し、この入力値に基づいた前記
   クリーンルームまたはクリーンブース内の粒子濃度分
   布、気流、気温をシミュレート表示する計算表示装置
   と、 からなることを特徴とするクリーンルームまたはクリー
   ンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システ
   ム。
2. 【請求項２】 前記クリーンルームまたはクリーンブー
   ス内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムは、
   前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置
   に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース
   内の所定空間の湿度を測定する一又は二以上の湿度計
   と、 前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置
   に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース
   内の所定空間の気圧を測定する一又は二以上の気圧計
   と、 を備えてなることを特徴とする前記請求項１に記載のク
   リーンルームまたはクリーンブース内の特定領域環境の
   最適制御解析値表示システム。
3. 【請求項３】 前記クリーンルームまたはクリーンブー
   ス内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムは、
   前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置
   に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース
   内の所定空間に存在するガスの種類およびその濃度を検
   出する一又は二以上のガスセンサを備えてなることを特
   徴とする前記請求項１又は２に記載のクリーンルームま
   たはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値
   表示システム。
4. 【請求項４】 前記計算表示装置は、前記クリーンルー
   ムまたはクリーンブース内における特定の空調設備能力
   における浮遊粒子数、気流方向および気流速度、気温、
   湿度、気圧等の前記環境構成要因の実測値を示す前記ダ
   ストカウンタ、前記気流測定装置、前記温度計、前記湿
   度計、前記気圧計の測定モニタリング値から、当該クリ
   ーンルームまたはクリーンブース内への各環境構成要因
   への相関関係を予め記憶しておき、クリーンルームまた
   はクリーンブース内の環境への影響をシミュレート表示
   することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
   載のクリーンルームまたはクリーンブース内の特定領域
   環境の最適制御解析値表示システム。
5. 【請求項５】 前記計算表示装置は、前記クリーンルー
   ムまたはクリーンブース内における特定の空調設備能力
   を変化させた条件における浮遊粒子数、気流方向および
   気流速度、気温、湿度、気圧等の前記環境構成要因の実
   測値を示す前記ダストカウンタ、前記気流測定装置、前
   記温度計、前記湿度計、前記気圧計の測定モニタリング
   値および前記シミュレート表示値から、その変化に応じ
   た当該クリーンルームまたはクリーンブース内の各環境
   構成要因への相関関係を予め記憶しておき、その空調設
   備能力を変化させた際のクリーンルームまたはクリーン
   ブース内の環境への影響をシミュレート表示することを
   特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のクリー
   ンルームまたはクリーンブース内の特定領域環境の最適
   制御解析値表示システム。
6. 【請求項６】 前記計算表示装置は、前記クリーンルー
   ムまたはクリーンブース内における所定の作業に基づい
   て発生するダスト数、気流、温度の前記ダストカウン
   タ、前記気流測定装置、前記温度計、前記湿度計、前記
   気圧計の実測値から、その作業に応じた当該クリーンル
   ームまたはクリーンブース内の各環境構成要因への影響
   の相関関係を予め記憶しておき、作業員数、作業時間を
   入力することにより、クリーンルームまたはクリーンブ
   ース内の特定の作業に対して、クリーンルームまたはク
   リーンブース内の環境への影響をシミュレート表示する
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の
   クリーンルームまたはクリーンブース内の特定領域環境
   の最適制御解析値表示システム。