JP2010282950A - グローブボックス・システム及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】グローブボックス内部の汚染を容易に防止できるように、内部で工程を進めるように形成されたグローブボックス110、グローブボックス110の内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、グローブボックス110の一面に配されて開閉動作を行う出入部120、出入部120の開閉を感知し、出入部120が開放され始めれば、出入部開放信号を発生させて伝達する開閉感知部125、及び、グローブボックス110内部の圧力を上昇又は下降させることができ、開閉感知部125から出入部開放信号が伝達された場合、グローブボックス110内部の圧力が大気圧より高くなるように圧力を上昇させる圧力制御部130を含むグローブボックス・システム100を提供する。
【選択図】図1
Description
110,210,310 グローブボックス
120,220,320 出入部
125 開閉感知部
130,230,330 圧力制御部
140,240 圧力感知部
227,327 出入部制御部
340 第1圧力感知部
350 第2圧力感知部
Claims (18)
- 内部で工程を進めるように形成されたグローブボックスと、
前記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、前記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部と、
前記出入部の開閉を感知し、前記出入部が開放され始めれば、出入部開放信号を発生させて伝達する開閉感知部と、
前記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、前記開閉感知部から前記出入部開放信号が伝達された場合、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように圧力を上昇させる圧力制御部と、
を含むグローブボックス・システム。 - 前記グローブボックス内部の圧力を感知する圧力感知部をさらに含み、
前記圧力感知部は、前記グローブボックス内部の圧力情報を、前記圧力制御部に伝達することを特徴とする、
請求項1に記載のグローブボックス・システム。 - 前記圧力制御部は、前記圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報をリアルタイムで伝達され、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持することを特徴とする、
請求項2に記載のグローブボックス・システム。 - 内部で工程を進めるように形成されたグローブボックスと、
前記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、前記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部と、
前記出入部の開閉を制御し、前記処理物が準備された場合、前記処理物を前記グローブボックスの内部に投入する前に、前記出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させ、前記開放準備信号を伝達する出入部制御部と、
前記グローブボックス内部の圧力を感知する圧力感知部と、
前記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、前記圧力感知部が感知した圧力情報を利用し、前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部と、
を含み、
前記処理物を前記グローブボックス内に投入又は搬入しようとする場合、前記出入部制御部は、前記開放準備信号を前記圧力制御部に伝達し、前記開放準備信号を伝達された前記圧力制御部は、前記圧力感知部によって感知される前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させ、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、前記出入部制御部は、前記出入部を開放するグローブボックス・システム。 - 前記圧力制御部は、前記圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報をリアルタイムで伝達され、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力を大気圧より高い状態に維持することを特徴とする、
請求項4に記載のグローブボックス・システム。 - 前記出入部制御部は、前記圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報を伝達され、これを利用して前記出入部の開閉を決定することを特徴とする、
請求項4に記載のグローブボックス・システム。 - 内部で工程を進めるように形成されたグローブボックスと、
前記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、前記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部と、
前記出入部の開閉を制御し、前記処理物が準備された場合、前記処理物を前記グローブボックスの内部に投入する前に、前記出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる出入部制御部と、
前記グローブボックス内部の圧力を感知する第1圧力感知部と、
前記グローブボックス外部の圧力を感知する第2圧力感知部と、
前記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、前記第1圧力感知部及び前記第2圧力感知部が感知した圧力情報を利用し、前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部と、を含み、
前記処理物を前記グローブボックス内に投入又は搬入しようとする場合、前記出入部制御部は、前記開放準備信号を前記圧力制御部に伝達し、前記開放準備信号を伝達された前記圧力制御部は、前記第1圧力感知部によって感知される圧力値が、前記第2圧力感知部によって感知された圧力値より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させ、前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、前記出入部制御部は、前記出入部を開放するグローブボックス・システム。 - 前記圧力制御部は、前記第1圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報と、前記第2圧力感知部が感知した前記グローブボックス外部の圧力情報とをリアルタイムで伝達され、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力を、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持することを特徴とする、
請求項7に記載のグローブボックス・システム。 - 前記出入部制御部は、前記第1圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報と、前記第2圧力感知部が感知した前記グローブボックス外部の圧力情報とを伝達され、これらを利用して前記出入部の開閉を決定することを特徴とする、
請求項7に記載のグローブボックス・システム。 - (a)グローブボックスに投入する処理物を準備する段階と、
(b)前記グローブボックスの出入部を開放する段階と、
(c)前記グローブボックスの出入部が開放され始めるときに信号を発生させ、前記信号を前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階と、
(d)前記信号によって、前記圧力制御部を介して、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階と、を含むグローブボックス・システムの制御方法。 - 前記グローブボックス内部の圧力を感知する段階をさらに含むことを特徴とする、
請求項10に記載のグローブボックス・システムの制御方法。 - 前記グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知し、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持する、
請求項11に記載のグローブボックス・システムの制御方法。 - (a)グローブボックスに投入する処理物を準備する段階と、
(b)前記グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階と、
(c)前記開放準備信号を前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階と、
(d)前記開放準備信号によって、前記圧力制御部を介して、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階と、
(e)前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、前記出入部を開放する段階と、を含むグローブボックス・システムの制御方法。 - 前記グローブボックス内部の圧力を感知する段階をさらに含むことを特徴とする、
請求項13に記載のグローブボックス・システムの制御方法。 - 前記グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知し、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持する、
請求項14に記載のグローブボックス・システムの制御方法。 - (a)グローブボックスに投入する処理物を準備する段階と、
(b)前記グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階と、
(c)前記開放準備信号を、前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階と、
(d)前記開放準備信号によって、前記圧力制御部を介して、前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階と、
(e)前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、前記出入部を開放する段階と、を含むグローブボックス・システムの制御方法。 - 前記グローブボックス内部の圧力と、前記グローブボックス外部の圧力とを感知する段階をさらに含むことを特徴とする、
請求項16に記載のグローブボックス・システムの制御方法。 - 前記グローブボックス内部の圧力と、前記グローブボックス外部の圧力とをリアルタイムで感知し、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態を維持することを特徴とする、
請求項17に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
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---|---|---|---|---|
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0389949A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 窒素グローブボックス |
JP2007220773A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備 |
JP2009068796A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Yamatake Corp | 室圧制御装置および室圧制御方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100704455B1 (ko) * | 2000-01-18 | 2007-04-06 | 김석태 | 건강관련 기압장치 |
KR100532774B1 (ko) * | 2003-07-08 | 2005-11-30 | 한국전력공사 | 삼중수소 처리 시스템 |
KR100583730B1 (ko) * | 2004-06-29 | 2006-05-26 | 삼성전자주식회사 | 기판 이송 시스템 및 상기 시스템의 프레임 내 압력을조절하는 방법 |
KR20070051651A (ko) * | 2006-05-26 | 2007-05-18 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | 글로브 박스의 분위기 조절장치 |
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-
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0389949A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 窒素グローブボックス |
JP2007220773A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ミニエンバイロメント装置及びそれを用いたクリーンルーム設備 |
JP2009068796A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Yamatake Corp | 室圧制御装置および室圧制御方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013086183A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Als Technology Co Ltd | グローブボックスの圧力調整装置 |
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