JP2010282950A - グローブボックス・システム及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】グローブボックス内部の汚染を容易に防止できるグローブボックス・システム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】グローブボックス内部の汚染を容易に防止できるように、内部で工程を進めるように形成されたグローブボックス１１０、グローブボックス１１０の内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、グローブボックス１１０の一面に配されて開閉動作を行う出入部１２０、出入部１２０の開閉を感知し、出入部１２０が開放され始めれば、出入部開放信号を発生させて伝達する開閉感知部１２５、及び、グローブボックス１１０内部の圧力を上昇又は下降させることができ、開閉感知部１２５から出入部開放信号が伝達された場合、グローブボックス１１０内部の圧力が大気圧より高くなるように圧力を上昇させる圧力制御部１３０を含むグローブボックス・システム１００を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、グローブボックス・システム及びその制御方法に関し、さらに詳細には、グローブボックス内部の汚染を容易に防止できるグローブボックス・システム及びその制御方法に関する。

最近になってディスプレイ装置は、携帯が可能な薄型の平板表示装置に代替される傾向にある。平板ディスプレイ装置のうちでも、電界発光表示装置は、自発光型ディスプレイ装置であって、視野角が広く、かつコントラストに優れるだけではなく、応答速度が速いという長所を有しており、次世代ディスプレイ装置として注目を集めている。また、発光層の形成物質が有機物から構成される有機発光表示装置は、無機発光表示装置に比べ、輝度、駆動電圧及び応答速度特性に優れ、多色化が可能であるという利点を有している。

有機発光表示装置は、有機発光素子を含む。有機発光素子は、アノード電極、カソード電極及び両電極間に配される中間層を含む。中間層は、有機発光層及びその他の有機物層を具備する。有機発光素子は、電極を介して電圧を印加し、有機発光層から可視光を発光する。

ところで、有機発光表示装置は、外部の水分と異物との混入によって劣化される特性を有している。特に、有機発光層を具備する有機発光素子は、水分と異物とに非常に脆弱である。それゆえ、外部から混入する水分と異物とから有機発光素子を保護するために、一般的に、有機発光表示装置の製造工程中には、有機発光素子の密封工程が含まれる。

一方、このような密封工程中にも、外部から水分及び異物が有機発光素子に混入するので、密封工程は、一般的にグローブボックス内で進められる。

しかし、グローブボックスの内部は、グローブボックス内で進める工程を準備するためにグローブボックスの出入部を開放するとき、外部の異物が混入して汚染されやすい。特に、有機発光素子の密封工程に使われる密封材料をグローブボックスの内部に投入するとき、外部の異物が共にグローブボックスの内部に入るために、グローブボックス内部の清潔度を維持するのには限界がある。

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、グローブボックス内部の汚染を容易に防止できるグローブボックス・システム及びその制御方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、内部で工程を進めるように形成されたグローブボックス、上記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、上記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部、上記出入部の開閉を感知して上記出入部が開放され始めれば、出入部開放信号を発生させて伝達する開閉感知部、及び上記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、上記開閉感知部から上記出入部開放信号が伝達された場合、上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように圧力を上昇させる圧力制御部を含むグローブボックス・システムが提供される。

上記グローブボックス・システムは、上記グローブボックス内部の圧力を感知する圧力感知部をさらに含み、上記圧力感知部は、上記グローブボックス内部の圧力情報を上記圧力制御部に伝達してもよい。

上記圧力制御部は、上記圧力感知部が感知した上記グローブボックス内部の圧力情報をリアルタイムで伝達され、上記出入部が開放されている間、上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持してもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、内部で工程を進めるように形成されたグローブボックス、上記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、上記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部、上記出入部の開閉を制御し、上記処理物が準備された場合、上記処理物を上記グローブボックスの内部に投入する前に、上記出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させ、上記開放準備信号を伝達する出入部制御部、上記グローブボックス内部の圧力を感知する圧力感知部、及び上記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、上記圧力感知部が感知した圧力情報を利用し、上記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部を含み、上記処理物を上記グローブボックス内に投入又は搬入しようとする場合、上記出入部制御部は、上記開放準備信号を上記圧力制御部に伝達し、上記開放準備信号を伝達された上記圧力制御部は、上記圧力感知部によって感知される上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、上記グローブボックス内部の圧力を上昇させ、上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、上記出入部制御部は、上記出入部を開放するグローブボックス・システムが提供される。

上記出入部制御部は、上記圧力感知部が感知した上記グローブボックス内部の圧力情報を伝達され、これを利用して上記出入部の開閉を決定してもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明のさらに別の観点によれば、内部で工程を進めるように形成されたグローブボックス、上記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、上記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部、上記出入部の開閉を制御し、上記処理物が準備された場合、上記処理物を上記グローブボックスの内部に投入する前に、上記出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる出入部制御部、上記グローブボックス内部の圧力を感知する第１圧力感知部、上記グローブボックス外部の圧力を感知する第２圧力感知部、及び上記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、上記第１圧力感知部及び上記第２圧力感知部が感知した圧力情報を利用し、上記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部を含み、上記処理物を上記グローブボックス内に投入又は搬入しようとする場合、上記出入部制御部は、上記開放準備信号を上記圧力制御部に伝達し、上記開放準備信号を伝達された上記圧力制御部は、上記第１圧力感知部によって感知される圧力値が、上記第２圧力感知部によって感知された圧力値より高くなるように、上記グローブボックス内部の圧力を上昇させ、上記グローブボックス内部の圧力が、上記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、上記出入部制御部は、上記出入部を開放するグローブボックス・システムが提供される。

上記圧力制御部は、上記第１圧力感知部が感知した上記グローブボックス内部の圧力情報と、上記第２圧力感知部が感知した上記グローブボックス外部の圧力情報とをリアルタイムで伝達され、上記出入部が開放されている間、上記グローブボックス内部の圧力を、上記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持してもよい。

上記出入部制御部は、上記第１圧力感知部が感知した上記グローブボックス内部の圧力情報と、上記第２圧力感知部が感知した上記グローブボックス外部の圧力情報とを伝達され、これらを利用して上記出入部の開閉を決定してもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明のさらに別の観点によれば、（ａ）グローブボックスに投入する処理物を準備する段階、（ｂ）上記グローブボックスの出入部を開放する段階、（ｃ）上記グローブボックスの出入部が開放され始めるときに信号を発生させ、上記信号を上記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階、及び（ｄ）上記信号によって、上記圧力制御部を介して、上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、上記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階を含むグローブボックス・システムの制御方法が提供される。

上記方法は、上記グローブボックス内部の圧力を感知する段階をさらに含んでもよい。

上記方法において、上記グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知し、上記出入部が開放されている間、上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を続けて維持してもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明のさらに別の観点によれば、（ａ）グローブボックスに投入する処理物を準備する段階、（ｂ）上記グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階、（ｃ）上記開放準備信号を上記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階、（ｄ）上記開放準備信号によって、上記圧力制御部を介して上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、上記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階、及び（ｅ）上記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、上記出入部を開放する段階を含むグローブボックス・システムの制御方法が提供される。

また、上記課題を解決するために、本発明のさらに別の観点によれば、（ａ）グローブボックスに投入する処理物を準備する段階、（ｂ）上記グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階、（ｃ）上記開放準備信号を上記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階、（ｄ）上記開放準備信号によって、上記圧力制御部を介して上記グローブボックス内部の圧力が、上記グローブボックス外部の圧力より高くなるように、上記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階、及び（ｅ）上記グローブボックス内部の圧力が、上記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、上記出入部を開放する段階を含むグローブボックス・システムの制御方法が提供される。

上記方法は、上記グローブボックス内部の圧力と、上記グローブボックス外部の圧力とを感知する段階をさらに含んでもよい。

上記方法において、上記グローブボックス内部の圧力と、上記グローブボックス外部の圧力とをリアルタイムで感知し、上記出入部が開放されている間、上記グローブボックス内部の圧力が、上記グローブボックス外部の圧力より高い状態を維持してもよい。

以上説明したように本発明によれば、グローブボックスの内部に外部の異物が混入することを防止し、グローブボックス内部の清潔度を容易に維持できる。

また、本発明によれば、グローブボックスの内部に投入する処理物の汚染を防止することができる。また、グローブボックスの内部で工程を進める製品の汚染を防止することができる。特に、グローブボックスの内部で密封工程を進める有機発光表示装置の汚染を防止し、密封特性を向上できる。

本発明の一実施形態に係るグローブボックス・システムの概略図である。 本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システムの概略図である。 本発明のさらに他の実施形態に係るグローブボックス・システムを概略的に図示した図面である。 本発明の一実施形態に係るグローブボックス・システムの制御方法を概略的に図示したフローチャートである。 本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システムの制御方法を概略的に図示したフローチャートである。 本発明のさらに他の実施形態に係るグローブボックス・システムの制御方法を概略的に図示したフローチャートである。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係るグローブボックス・システムの概略図である。図１を参照すれば、本発明の一実施形態に係るグローブボックス・システム１００は、グローブボックス１１０、出入部１２０、開閉感知部１２５、圧力制御部１３０及び圧力感知部１４０を含む。

グローブボックス１１０は、その内部で作業を進める製品の大きさと形態とを考慮して設計される。製品は多様でありえる。具体的には、グローブボックス１１０の内部で工程を進める製品は、密封工程を進める有機発光表示装置の基板でありうる。この場合、基板の大きさに合うように、グローブボックス１１０の形態が決定される。図示されていないが、グローブボックス１１０には、１つ以上のグローブが付属しており、グローブボックス１１０内での工程を進めさせる。

グローブボックス１１０の一面に、出入部１２０が配される。出入部１２０は、グローブボックス１１０内に処理物を投入又は搬入できるように、開閉動作を行う。出入部１２０は、グローブボックス１１０の内部で工程を進める処理物に合うように形態が決定される。具体的には、処理物は、グローブボックス１１０内で、有機発光表示装置を密封するために使われる密封材料でありうる。しかし本発明は、これに限定されるものではない。処理物は、基板でもありうる。

出入部１２０の開閉は、開閉感知部１２５によって感知される。図１には、出入部１２０の一面に、開閉感知部１２５が配されているところが図示されている。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、開閉感知部１２５は、出入部１２０と離隔されたままで、出入部１２０の開閉を感知できる。また、開閉感知部１２５は、出入部１２０に内蔵された回路形態でもありうる。開閉感知部１２５は、グローブボックス１１０の内部に処理物を投入するために、出入部１２０を開放し始めれば、出入部開放信号（ＯＳ）を発生させ、これを圧力制御部１３０に伝達する。

圧力制御部１３０は、グローブボックス１１０内の圧力を制御できるように、ポンプ、弁、ガス注入部などの構成を含む。圧力制御部１３０は、開閉感知部１２５から出入部開放信号（ＯＳ）を伝達されれば、グローブボックス１１０内の圧力を上昇させる。具体的には、グローブボックス１１０内の圧力が大気圧より高くなるように、グローブボックス１１０内の圧力を上昇させる。

具体的に説明すれば、グローブボックス１１０の内部で、工程進行時における処理物及び製品の汚染を防止するために、グローブボックス１１０の内部は、外部の異物から遮断されねばならない。しかし、グローブボックス１１０の内部に処理物を投入するために、出入部１２０を開放すれば、出入部１２０を介してグローブボックス１１０の外部の異物が処理物と共にグローブボックス１１０の内部に混入する。このような異物は、グローブボックス１１０の内部で工程を進める間、処理物または製品を汚染させる。本実施形態では、圧力制御部１３０を介して、グローブボックス１１０内部の圧力を大気圧より高くなるようにし、出入部１２０を開放しても、グローブボックス１１０外部の異物が、グローブボックス１１０の内部に混入することを容易に防止できる。すなわち、出入部１２０を開放し始めるとき、これを感知した開閉感知部１２５で発せられた出入部開放信号（ＯＳ）を、圧力制御部１３０に伝達され、効率的にグローブボックス１１０内部の圧力を大気圧より高くする。これを介して、出入部１２０が開放され始めるとき、グローブボックス１１０の異物がグローブボックス１１０の内部に混入することが防止される。

さらに、本実施形態のグローブボックス・システム１００は、グローブボックス１１０の内部に処理物を投入するために、出入部１２０を開放している間、グローブボックス１１０内部の圧力が大気圧より高い状態を続けて維持する。このために、グローブボックス・システム１００は、圧力感知部１４０を具備する。

圧力感知部１４０は、グローブボックス１１０内部の圧力を感知するように、圧力感知部１４０の少なくとも一部の面が、グローブボックス１１０の内部に配される。圧力感知部１４０は、グローブボックス１１０内部の圧力を感知し、感知した圧力情報を、圧力制御部１３０に伝達する。

圧力制御部１３０は、圧力感知部１４０からグローブボックス内部の圧力をリアルタイムで伝達され、出入部１２０が開放されている間、グローブボックス１１０内部の圧力が、大気圧より高い状態を維持するように動作する。例えば、処理物をグローブボックス１１０の内部に投入するために、出入部１２０が開放されていて、グローブボックス１１０内部の圧力が低下していることが圧力感知部１４０によって感知されれば、そのような情報を圧力制御部１３０が伝達され、圧力制御部１３０は、グローブボックス１１０内部の圧力を上昇させるために、弁をさらに開くような作業を行う。

以上のように、本実施形態のグローブボックス・システム１００は、出入部１２０が開放され始めてから、グローブボックス１１０内部の圧力が大気圧より高い状態を有するように制御できる。これを介して、グローブボックス１１０内部の汚染、グローブボックス１１０の内部に投入する処理物の汚染、及びグローブボックス１１０の内部で工程を進める製品の汚染などを容易に防止できる。

グローブボックス１１０内部の汚染を、さらに効率的に防止するために、圧力制御部１３０は、グローブボックス内部の圧力が大気圧より１ｂａｒ〜６ｂａｒ程度高い圧力となるようにすることが望ましい。

図２は、本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システムの概略図である。図２を参照すれば、本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システム２００は、グローブボックス２１０、出入部２２０、出入部制御部２２７、圧力制御部２３０及び圧力感知部２４０を含む。説明の便宜のために、上述の実施形態と異なる点を中心に説明する。

グローブボックス２１０の一面に、出入部２２０が配される。出入部２２０は、グローブボックス２１０内に処理物を投入又は搬入できるように、開閉動作を行う。

出入部２２０の開閉は、出入部制御部２２７によって制御される。図２には、出入部２２０の一面に、出入部制御部２２７が配されたところが図示されている。本発明は、これに限定されるものではなく、出入部制御部２２７は、出入部２２０と離隔されたままで、出入部２２０の開閉を制御できる。また、出入部制御部２２７は、出入部２２０に内蔵された回路形態でもありうる。

出入部制御部２２７は、処理物をグローブボックス２１０の内部に投入するために、出入部２２０を開放し、処理物をグローブボックス２１０内部に完全に投入した後、出入部２２０を閉鎖するように出入部２２０を制御する。

また、出入部制御部２２７は、グローブボックス２１０の内部に投入する処理物が準備されれば、出入部２２０を開放する前に、出入部２２０の開放が準備されたことを示す開放準備信号（ＰＳ）を発生させる。開放準備信号（ＰＳ）は、圧力制御部２３０に伝達される。開放準備信号（ＰＳ）が発せられても、出入部２２０は開放されない。

圧力感知部２４０は、グローブボックス２１０内部の圧力を感知するように、圧力感知部２４０の少なくとも一部の面が、グローブボックス２１０内部に配されるようにする。圧力感知部２４０は、グローブボックス２１０内部の圧力を感知し、感知した圧力情報を圧力制御部２３０に伝達する。

圧力制御部２３０は、グローブボックス２１０内の圧力を制御できるように、ポンプ、弁、ガス注入部などの構成を含む。圧力制御部２３０は、出入部制御部２２７から開放準備信号（ＰＳ）を伝達されれば、圧力感知部２４０から伝えられたグローブボックス２１０内部の圧力が大気圧より高くなるように、グローブボックス２１０内部の圧力を制御する。すなわち、グローブボックス２１０内部の圧力が、大気圧より低い状態であるならば、グローブボックス２１０内部の圧力を上昇させ、グローブボックス２１０内部の圧力が、大気圧より高い状態であるならば、かかる状態を維持するように、グローブボックス２１０内部の圧力を制御する。

そして、グローブボックス２１０内の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、出入部制御部２２７は、出入部２２０を開放する。このために、出入部制御部２２７は、圧力感知部２４０と互いに通信が可能であり、圧力感知部２４０から伝達された圧力情報を利用し、出入部２２０を開放するか否かを決定する。

しかし、本発明は、これに限定されるものではない。具体的に、出入部制御部２２７は、圧力感知部２４０と直接通信せずに、圧力感知部２４０が感知した圧力に関する情報を圧力制御部２３０から伝達されることも可能である。

本実施形態のグローブボックス・システム２００は、出入部２２０を開放する前に、グローブボックス２１０内部の圧力が、大気圧より高い状態を維持するように制御する。そして、グローブボックス２１０内部の圧力が、大気圧より高い状態を維持すれば、出入部２２０を開放する。かかる構成により、出入部２２０を開放しても、大気圧状態であるグローブボックス２１０外部の異物が、グローブボックス２１０内部に混入することを防止できる。

さらに、本実施形態のグローブボックス・システム２００は、グローブボックス２１０の内部に処理物を投入するために、出入部２２０を開放している間、グローブボックス２１０内部の圧力が大気圧より高い状態を続けて維持する。圧力制御部２３０は、圧力感知部２４０からグローブボックス内部の圧力をリアルタイムで伝達され、出入部２２０が開放されている間、グローブボックス２１０内部の圧力が大気圧より高い状態を維持するように動作する。例えば、処理物をグローブボックス２１０内部に投入するために、出入部２２０が開放されていて、グローブボックス２１０内部の圧力が低下していることが圧力感知部２４０によって感知されれば、かかる情報は圧力制御部２３０に伝達され、圧力制御部２３０は、グローブボックス２１０内部の圧力を上昇させるために、弁をさらに開くような作業を行う。

グローブボックス２１０内部の汚染をさらに効率的に防止するために、圧力制御部２３０は、グローブボックス内部の圧力が、大気圧より１ｂａｒ〜６ｂａｒ程度高い圧力となるようにすることが望ましい。

図３は、本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システムを概略的に図示した図面である。図３を参照すれば、本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システム３００は、グローブボックス３１０、出入部３２０、出入部制御部３２７、圧力制御部３３０、第１圧力感知部３４０及び第２圧力感知部３５０を含む。説明の便宜のために、上述の実施形態と異なる点を中心に説明する。

グローブボックス３１０の一面に、出入部３２０が配される。出入部３２０は、グローブボックス３１０内に処理物を投入又は搬入できるように、開閉動作を行う。

出入部３２０の開閉は、出入部制御部３２７によって制御される。図３には、出入部３２０の一面に、出入部制御部３２７が配されたところが図示されている。本発明は、これに限定されるものではなく、出入部制御部３２７は、出入部３２０と離隔されたままで出入部３２０の開閉を制御できる。また、出入部制御部３２７は、出入部３２０に内蔵された回路形態でもありうる。

出入部制御部３２７は、処理物をグローブボックス３１０内部に投入するために、出入部３２０を開放し、処理物をグローブボックス３１０内部に完全に投入した後、出入部３２０を閉鎖するように出入部３２０を制御する。

また、出入部制御部３２７は、グローブボックス３１０内部に投入する処理物が準備されれば、出入部３２０を開放する前に、出入部３２０の開放準備信号（ＰＳ）を発生させる。開放準備信号（ＰＳ）は、圧力制御部３３０に伝達される。

第１圧力感知部３４０は、グローブボックス３１０内部の圧力を感知するように、圧力感知部３４０の少なくとも一部の面が、グローブボックス３１０内部に配される。第１圧力感知部３４０は、グローブボックス３１０内部の圧力を感知し、感知した圧力情報を圧力制御部３３０に伝達する。

第２圧力感知部３５０は、グローブボックス３１０外部の圧力を感知する。第２圧力感知部３５０は、感知したグローブボックス３１０外部の圧力情報を、圧力制御部３３０に伝達する。

圧力制御部３３０は、グローブボックス３１０内の圧力を制御できるように、ポンプ、弁、ガス注入部などの構成を含む。圧力制御部３３０は、出入部制御部３２７から開放準備信号（ＰＳ）を伝達されれば、第１圧力感知部３４０から伝達されたグローブボックス３１０内部の圧力値が、第２圧力感知部３５０から伝達されたグローブボックス３１０外部の圧力値より高くなるように制御する。すなわち、圧力制御部３３０は、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３１０外部の圧力より低ければ、グローブボックス３１０内部の圧力を上昇させ、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３１０外部の圧力より高い状態であるならば、かかる状態を維持するように、グローブボックス３１０内部の圧力を制御する。

そして、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３２０外部の圧力より高い状態に維持されれば、出入部制御部３２７は、出入部３２０を開放する。このために、出入部制御部３２７は、第１圧力感知部３４０及び第２圧力感知部３５０と互いに通信が可能であり、第１圧力感知部３４０及び第２圧力感知部３５０から伝達された圧力情報を利用し、出入部３２０を開放するか否かを決定する。

しかし、本発明はこれに限定されるものではない。具体的に、出入部制御部３２７は、第１圧力感知部３４０及び第２圧力感知部３５０と直接通信せずに、第１圧力感知部３４０及び第２圧力感知部３５０が感知した圧力についての情報を、圧力制御部３３０から伝達されることも可能である。

本実施形態のグローブボックス・システム３００は、出入部３２０を開放する前に、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３１０外部の圧力より高い状態を維持するように制御する。そして、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３１０外部の圧力より高い状態を維持すれば、出入部３２０を開放する。かかる構成により、出入部３２０を開放しても、グローブボックス３１０外部の異物がグローブボックス３１０内部に混入することを防止できる。

さらに、本実施形態のグローブボックス・システム３００は、グローブボックス３１０内部に処理物を投入するために、出入部３２０を開放している間、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３１０外部の圧力より高い状態を維持する。圧力制御部３３０は、第１圧力感知部３４０及び第２圧力感知部３５０から、グローブボックス３１０内部及び外部の圧力をリアルタイムで伝達され、出入部３２０が開放されている間、グローブボックス３１０内部の圧力が、グローブボックス３１０外部の圧力より高い状態を続けて維持するように動作する。

グローブボックス３１０内部の汚染をさらに効率的に防止するために、圧力制御部３３０は、グローブボックス内部の圧力が、グローブボックス外部の圧力より１ｂａｒ〜６ｂａｒ程度高くなるようにすることが望ましい。

図４は、本発明の一実施形態に係るグローブボックス・システムの制御方法を概略的に図示したフローチャートである。

図４を参照すれば、グローブボックス・システムの制御方法は、グローブボックスに投入する処理物を準備する段階（ステップＳ１１）、グローブボックスの出入部を開放する段階（ステップＳ１２）、グローブボックスの出入部が開放され始めるときに信号を発生させ、発せられた信号をグローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階（ステップＳ１３）、及び上記信号によって、圧力制御部を介して、グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階（ステップＳ１４）を含む。

ステップＳ１１において、準備される処理物は、多様でありえる。具体的には、有機発光表示装置を密封する工程のための、有機発光表示装置の基板でありうる。

ステップＳ１２において、処理物をグローブボックス内に投入するために、グローブボックスの出入部を開放する。ステップＳ１３において、出入部が開放され始めるとき、出入部開放信号を発生させる。かかる出入部開放信号は、グローブボックス内部の圧力を上昇及び低下させる圧力制御部に伝達される。

ステップＳ１４において、圧力制御部は、グローブボックス内部の圧力が、大気圧より高くなるように、グローブボックス内部の圧力を上昇させる。このとき、グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知する。そして、リアルタイムで感知した圧力情報を利用し、出入部が開放されている間、グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を続けて維持させる。

図５は、本発明の他の実施形態に係るグローブボックス・システムの制御方法を概略的に図示したフローチャートである。

図５を参照すれば、グローブボックス・システムの制御方法は、グローブボックスに投入する処理物を準備する段階（ステップＳ２１）、グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階（ステップＳ２２）、開放準備信号をグローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階（ステップＳ２３）、グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階（ステップＳ２４）、及びグローブボックス内部の圧力が、大気圧より高い状態に維持されれば、出入部を開放する段階（ステップＳ２５）を含む。説明の便宜のために、上述の実施形態と異なる点を中心に説明する。

ステップＳ２１において処理物を準備した後に、ステップＳ２２において、処理物をグローブボックス内に投入するために、グローブボックスの出入部を開放する前に、開放準備信号を発生させる。開放準備信号は、出入部が開放される前の信号であり、開放準備信号によって、出入部は開放されない。

ステップＳ２３において、開放準備信号は、グローブボックス内部の圧力を上昇及び低下させられる圧力制御部に伝達される。

ステップＳ２４において、圧力制御部は、グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、グローブボックス内部の圧力を上昇させる。そして、ステップＳ２５において、グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、出入部を開放する。

このときステップＳ２４において、グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知する。そして、リアルタイムで感知した圧力情報を利用し、ステップＳ２５において、出入部が開放されている間にも、グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を続けて維持させる。

図６は、本発明のさらに他の実施形態に係るグローブボックス・システムの制御方法を概略的に図示したフローチャートである。

図６を参照すればグローブボックス・システムの制御方法は、グローブボックスに投入する処理物を準備する段階（ステップＳ３１）、グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階（ステップＳ３２）、開放準備信号をグローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階（ステップＳ３３）、グローブボックス内部の圧力が、グローブボックス外部の圧力より高くなるように、グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階（ステップＳ３４）、及びグローブボックス内部の圧力が、グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、出入部を開放する段階（ステップＳ３５）を含む。説明の便宜のために、上述の実施形態と異なる点を中心に説明する。

ステップＳ３１において、処理物を準備した後に、ステップＳ３２において、処理物をグローブボックス内に投入するために、グローブボックスの出入部を開放する前に、開放準備信号を発生させる。開放準備信号は、出入部が開放される前の信号であり、開放準備信号によって、出入部が開放されない。

ステップＳ３３において、開放準備信号は、グローブボックス内部の圧力を上昇及び低下させられる圧力制御部に伝達される。

ステップＳ３４において、圧力制御部は、グローブボックス内部の圧力が、グローブボックス外部の圧力より高くなるように、グローブボックス内部の圧力を上昇させる。そして、ステップＳ３５において、グローブボックス内部の圧力が、大気圧より高い状態に維持されれば、出入部を開放する。

このときステップＳ３４において、グローブボックス内部の圧力及びグローブボックス外部の圧力をリアルタイムで感知する。そして、リアルタイムで感知した圧力情報を利用し、ステップＳ３５において、出入部が開放されている間にも、グローブボックス内部の圧力が、大気圧より高い状態を続けて維持させる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

１００，２００，３００ グローブボックス・システム
１１０，２１０，３１０ グローブボックス
１２０，２２０，３２０ 出入部
１２５ 開閉感知部
１３０，２３０，３３０ 圧力制御部
１４０，２４０ 圧力感知部
２２７，３２７ 出入部制御部
３４０ 第１圧力感知部
３５０ 第２圧力感知部

Claims (18)

1. 内部で工程を進めるように形成されたグローブボックスと、
   前記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、前記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部と、
   前記出入部の開閉を感知し、前記出入部が開放され始めれば、出入部開放信号を発生させて伝達する開閉感知部と、
   前記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、前記開閉感知部から前記出入部開放信号が伝達された場合、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように圧力を上昇させる圧力制御部と、
   を含むグローブボックス・システム。
2. 前記グローブボックス内部の圧力を感知する圧力感知部をさらに含み、
   前記圧力感知部は、前記グローブボックス内部の圧力情報を、前記圧力制御部に伝達することを特徴とする、
   請求項１に記載のグローブボックス・システム。
3. 前記圧力制御部は、前記圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報をリアルタイムで伝達され、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持することを特徴とする、
   請求項２に記載のグローブボックス・システム。
4. 内部で工程を進めるように形成されたグローブボックスと、
   前記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、前記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部と、
   前記出入部の開閉を制御し、前記処理物が準備された場合、前記処理物を前記グローブボックスの内部に投入する前に、前記出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させ、前記開放準備信号を伝達する出入部制御部と、
   前記グローブボックス内部の圧力を感知する圧力感知部と、
   前記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、前記圧力感知部が感知した圧力情報を利用し、前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部と、
   を含み、
   前記処理物を前記グローブボックス内に投入又は搬入しようとする場合、前記出入部制御部は、前記開放準備信号を前記圧力制御部に伝達し、前記開放準備信号を伝達された前記圧力制御部は、前記圧力感知部によって感知される前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させ、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、前記出入部制御部は、前記出入部を開放するグローブボックス・システム。
5. 前記圧力制御部は、前記圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報をリアルタイムで伝達され、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力を大気圧より高い状態に維持することを特徴とする、
   請求項４に記載のグローブボックス・システム。
6. 前記出入部制御部は、前記圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報を伝達され、これを利用して前記出入部の開閉を決定することを特徴とする、
   請求項４に記載のグローブボックス・システム。
7. 内部で工程を進めるように形成されたグローブボックスと、
   前記グローブボックスの内部で工程を進める処理物が投入又は搬入できるように、前記グローブボックスの一面に配されて開閉動作を行う出入部と、
   前記出入部の開閉を制御し、前記処理物が準備された場合、前記処理物を前記グローブボックスの内部に投入する前に、前記出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる出入部制御部と、
   前記グローブボックス内部の圧力を感知する第１圧力感知部と、
   前記グローブボックス外部の圧力を感知する第２圧力感知部と、
   前記グローブボックス内部の圧力を上昇又は下降させることができ、前記第１圧力感知部及び前記第２圧力感知部が感知した圧力情報を利用し、前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部と、を含み、
   前記処理物を前記グローブボックス内に投入又は搬入しようとする場合、前記出入部制御部は、前記開放準備信号を前記圧力制御部に伝達し、前記開放準備信号を伝達された前記圧力制御部は、前記第１圧力感知部によって感知される圧力値が、前記第２圧力感知部によって感知された圧力値より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させ、前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、前記出入部制御部は、前記出入部を開放するグローブボックス・システム。
8. 前記圧力制御部は、前記第１圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報と、前記第２圧力感知部が感知した前記グローブボックス外部の圧力情報とをリアルタイムで伝達され、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力を、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持することを特徴とする、
   請求項７に記載のグローブボックス・システム。
9. 前記出入部制御部は、前記第１圧力感知部が感知した前記グローブボックス内部の圧力情報と、前記第２圧力感知部が感知した前記グローブボックス外部の圧力情報とを伝達され、これらを利用して前記出入部の開閉を決定することを特徴とする、
   請求項７に記載のグローブボックス・システム。
10. （ａ）グローブボックスに投入する処理物を準備する段階と、
    （ｂ）前記グローブボックスの出入部を開放する段階と、
    （ｃ）前記グローブボックスの出入部が開放され始めるときに信号を発生させ、前記信号を前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階と、
    （ｄ）前記信号によって、前記圧力制御部を介して、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階と、を含むグローブボックス・システムの制御方法。
11. 前記グローブボックス内部の圧力を感知する段階をさらに含むことを特徴とする、
    請求項１０に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
12. 前記グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知し、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持する、
    請求項１１に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
13. （ａ）グローブボックスに投入する処理物を準備する段階と、
    （ｂ）前記グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階と、
    （ｃ）前記開放準備信号を前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階と、
    （ｄ）前記開放準備信号によって、前記圧力制御部を介して、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階と、
    （ｅ）前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態に維持されれば、前記出入部を開放する段階と、を含むグローブボックス・システムの制御方法。
14. 前記グローブボックス内部の圧力を感知する段階をさらに含むことを特徴とする、
    請求項１３に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
15. 前記グローブボックス内部の圧力をリアルタイムで感知し、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が大気圧より高い状態を維持する、
    請求項１４に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
16. （ａ）グローブボックスに投入する処理物を準備する段階と、
    （ｂ）前記グローブボックスの出入部の開放が準備されたことを示す開放準備信号を発生させる段階と、
    （ｃ）前記開放準備信号を、前記グローブボックス内部の圧力を制御する圧力制御部に伝達する段階と、
    （ｄ）前記開放準備信号によって、前記圧力制御部を介して、前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高くなるように、前記グローブボックス内部の圧力を上昇させる段階と、
    （ｅ）前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態に維持されれば、前記出入部を開放する段階と、を含むグローブボックス・システムの制御方法。
17. 前記グローブボックス内部の圧力と、前記グローブボックス外部の圧力とを感知する段階をさらに含むことを特徴とする、
    請求項１６に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
18. 前記グローブボックス内部の圧力と、前記グローブボックス外部の圧力とをリアルタイムで感知し、前記出入部が開放されている間、前記グローブボックス内部の圧力が、前記グローブボックス外部の圧力より高い状態を維持することを特徴とする、
    請求項１７に記載のグローブボックス・システムの制御方法。
    

Images