JP2016058642A - 粒子供給装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ダスト侵入評価の際の環境条件を制御することができる粒子供給装置及び方法を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る粒子供給装置は、筐体と、粒子供給部と、を備える。筐体は、FOUPに設けられた基板搬出口と基板処理装置のロードポートに設けられた基板搬入口との空間を密閉する。粒子供給部は、筐体内に粒子を供給する。
【選択図】図1
【解決手段】一実施形態に係る粒子供給装置は、筐体と、粒子供給部と、を備える。筐体は、FOUPに設けられた基板搬出口と基板処理装置のロードポートに設けられた基板搬入口との空間を密閉する。粒子供給部は、筐体内に粒子を供給する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、粒子供給装置及び方法に関する。
従来、FOUP(Front Opening Unified Pod)とEFEM(Equipment Front End Module)のロードポートとの位置関係は、SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)規格によって規定されている。しかしながら、FOUPの加工寸法の誤差により、FOUPとロードポートとの間には隙間が生じる。そして、FOUPの蓋を開いた際、この隙間から外気が侵入し、FOUPの内部が外気中のダストにより汚染されることがある。このような汚染は、FOUPに収納された基板の欠陥の原因となるため、設備の導入時などに、FOUPの蓋を開けた際にFOUP内にどの程度のダストが侵入するかを評価する、ダスト侵入評価が実施されている。
しかしながら、従来のダスト侵入評価では、FOUPの周囲の環境を制御することができなかった。このため、評価のたびに環境条件が異なり、信頼性の高い評価を行うことが困難であった。また、複数のロードポートに対して同一の環境条件で評価をしたり、FOUPが利用されるクリーンルームと同一の環境条件で評価をしたりすることもできなかった。
ダスト侵入評価の際の環境条件を制御することができる粒子供給装置及び方法を提供する。
一実施形態に係る粒子供給装置は、筐体と、粒子供給部と、を備える。筐体は、FOUPに設けられた基板搬出口と基板処理装置のロードポートに設けられた基板搬入口との空間を密閉する。粒子供給部は、筐体内に粒子を供給する。
以下、本発明の実施形態に係る粒子供給装置及び方法について、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
第1実施形態に係る粒子供給装置及び粒子供給方法について、図1〜図4を参照して説明する。
第1実施形態に係る粒子供給装置及び粒子供給方法について、図1〜図4を参照して説明する。
まず、第1実施形態に係る粒子供給装置について、図1を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る粒子供給装置の一例を示す概略構成図である。図1に示すように、この粒子供給装置は、筐体1と、粒子供給部2と、粒子濃度計測部3と、粒子濃度制御部4と、を備える。この粒子供給装置は、FOUP5がEFEM6に搭載された状態でダスト侵入評価を行うための装置である。ここで、まず、FOUP5及びEFEM6について説明する。
FOUP5は、基板を収納する基板収納容器である。FOUP5は、FOUP筐体51と、蓋52と、を備える。FOUP筐体51は、複数の基板を収納可能に形成され、前面に開口部(基板搬出口)を有する。この開口部から基板の出し入れが行われる。図1において、FOUP筐体51の前面は、FOUP筐体51の右側の面である。蓋52は、FOUP筐体51の前面の開口部を開閉する。蓋52が閉まると、FOUP筐体51の内側は密閉される。
EFEM6は、FOUP5に収納された基板を、FOUP5から基板処理装置まで、ミニエンバイロンメント方式で搬送する。EFEM6は、搬送アーム61と、搬送室62と、ロードポート63と、を備える。搬送アーム61は、FOUP5に収納された基板を搬送する。搬送室62は、搬送アーム61を格納する。搬送アーム61によりFOUP5から取り出された基板は、搬送室62を介して、基板処理装置に搬送される。このため、搬送室62の内部は、クリーンな環境を維持される。図1には図示されていないが、EFEM6は、搬送室62内を清浄化するFFU(Fun Filter Unit)を備えるのが好ましい。
ロードポート63は、FOUP5とEFEM6との間で基板を受け渡すためのインターフェースである。ロードポート63は、テーブル64と、蓋65と、を備える。テーブル64は、FOUP5を載置する。蓋65は、基板の出入り口(基板搬入口)となる開口部を開閉する。蓋65が閉まると、搬送室62の内側は密閉される。
FOUP5から基板処理装置まで基板を搬送する場合、まず、FOUP5は、テーブル64の所定位置に、FOUP5の蓋52とロードポート63の蓋65とが対向するように配置される。この際、FOUP5の加工寸法の誤差により、FOUP5の前面とロードポート63との間に、隙間Gが生じる。この隙間Gの幅は、通常、FOUP5の公差の範囲内である。
次に、FOUP5の蓋52とロードポート63の蓋65とを開く。そして、FOUP5に収納された基板を搬送アーム61によって基板処理装置まで搬送する。これにより、基板のミニエンバイロンメント方式の搬送が行われる。
上述の通り、FOUP5は、蓋52によって密閉されているため、蓋52が開くと内側が負圧になる。FOUP5の内側が負圧になると、隙間Gから外気が流れ込み、空気中のダストがFOUP筐体51内に侵入する。ダスト侵入評価は、この際に侵入するダストの量を評価する。以下、粒子供給装置の各構成について説明する。
筐体1は、一面に開口部を有し、この開口部がFOUP5の前面側に位置するようにFOUP5を収納する。筐体1は、ダスト侵入評価を行う際、この開口部がロードポート63と密着するように配置される。これにより、筐体1の内側に、FOUP5を含む密閉空間が形成される。以下では、開口部が形成された面を筐体1の前面という。
粒子供給部2は、筐体1内に粒子Pを供給する。粒子Pは、粒子径が均一な標準粒子であるのが好ましい。粒子Pは、例えば、PLS(Polystyrene latex)粒子であるが、これに限られない。粒子Pの粒子径や材料は、用途に応じて任意に選択できる。図1において、粒子供給部2は、筐体1の上面から粒子Pを供給しているが、筐体1の背面や側面から粒子Pを供給してもよいし、筐体1の複数箇所から粒子Pを供給してもよい。粒子供給部2の具体的な構成については後述する。
粒子濃度計測部3は、筐体1内の空気を吸気し、筐体1内の粒子濃度を計測する。粒子濃度とは、単位体積あたりの粒子数のことである。粒子濃度計測部3として、例えば、PC(Particle Counter)を用いることができる。図1において、粒子濃度計測部3は、筐体1の上面から吸気しているが、筐体1の背面や側面から吸気してもよいし、筐体1の複数箇所から吸気してもよい。
粒子濃度制御部4は、筐体1内の粒子濃度が所定値となるように、粒子供給部2からの粒子Pの供給量を制御する。粒子濃度制御部4は、粒子濃度計測部3から筐体1内の粒子濃度を取得し、粒子濃度が所定値より大きい場合、粒子供給部2からの粒子Pの供給量を減少させ、粒子濃度が所定値より小さい場合、粒子供給部2からの粒子Pの供給量を増加させる。これにより、筐体1内の粒子濃度は所定値となる。
上述の所定値は、任意に設定可能である。また、所定値として、粒子濃度の上限値と下限値が設定されてもよい。この場合、粒子濃度制御部4は、筐体1内の粒子濃度が上限値から下限値までの所定範囲となるように、粒子供給部2を制御する。所定値は、例えば、FOUP5が利用されるクリーンルームなどの空間の粒子濃度の平均値や最大値であるが、これに限られない。
この粒子濃度制御部4は、コンピュータ装置により構成される。コンピュータ装置は、CPUと、主記憶装置と、外部記憶装置と、を備える。CPUが外部記憶装置に記憶された粒子濃度制御プログラムを実行することにより、上述の粒子濃度制御部4の機能が実現される。粒子濃度制御部4を構成するコンピュータ装置は、独立して設けられてもよいし、粒子濃度計測部3や粒子供給部2の制御装置と一体に設けられてもよい。
次に、本実施形態に係る粒子供給方法について、図2を参照して説明する。図2は、本実施形態に係る粒子供給方法を示すフローチャートである。
ステップS1において、評価対象となるFOUP5は、筐体1に収納され、テーブル64の所定位置に配置される。この際、筐体1の前面をロードポート63に密着させる。これにより、FOUP5を覆う密閉空間が形成される。
ステップS2において、粒子供給部2は、筐体1内の密閉空間に粒子Pの供給を開始する。この際、粒子Pの供給を開始する前に、筐体1内を清浄化しておくのが好ましい。筐体1は、例えば、筐体1内から空気を排気すると共に、筐体1内へ清浄化された空気を送気することにより、内部を清浄化することができる。筐体1内からの排気は、粒子濃度計測部3により行うことができる。また、筐体1内への送気は、搬送室62内の空気を送気することにより行うことができる。さらに、粒子供給装置に、筐体1内を清浄化する清浄化装置を設けてもよい。
ステップS3において、粒子濃度計測部3は、筐体1内の粒子濃度の計測を開始する。粒子濃度計測部3は、筐体1内の空気を吸気し、吸気した空気に含まれる粒子の数を数えることにより、粒子濃度を計測する。粒子濃度の計測は、粒子Pの供給と同時に開始されてもよい。
ステップS4において、粒子濃度制御部4は、粒子濃度計測部3が計測した筐体1内の粒子濃度を取得し、筐体1内の粒子濃度が所定範囲内であるか判定する。粒子濃度が所定範囲外の場合(ステップS4のNO)、ステップS5に進み、粒子濃度が所定範囲内の場合(ステップS4のYES)、ステップS6に進む。
ステップS5において、粒子濃度制御部4は、筐体1内の粒子濃度が所定範囲内となるように、粒子供給部2からの粒子Pの供給量を制御する。以降、粒子濃度が所定範囲内となるまで、ステップS3〜ステップS5を繰り返す。
ステップS6において、粒子濃度計測部3は、FOUP5内の粒子濃度の計測を開始する。FOUP5内の粒子濃度は、例えば、FOUP5に設けられたPCにより計測することができる。なお、FOUP5内の粒子濃度の計測は、ステップS6までの間の任意のタイミングで開始することができる。
ステップS7において、FOUP5の蓋52及びEFEM6の蓋65が開かれる。上述の通り、FOUP5の蓋52を開くと、隙間GからFOUP5に外気が侵入する。この際、FOUP5の周囲には、筐体1による密閉空間が形成されているため、FOUP5には、粒子濃度や粒子径を制御された筐体1内の空気が侵入する。
ステップS8において、蓋52を開く前のFOUP5内の粒子濃度と、蓋52を開いた後のFOUP5内の粒子濃度と、が比較される。これにより、蓋52を開くことにより隙間Gからどの程度の粒子Pが侵入したかを評価することができる。
以上説明した通り、本実施形態に係る粒子供給装置及び方法によれば、筐体1内の粒子Pの材料、粒子径、及び粒子濃度などを制御することができる。したがって、本実施形態に係る粒子供給装置及び方法を用いることにより、環境条件を制御した状態でダスト侵入評価を行うことができる。これにより、例えば、ダスト侵入評価の際の環境条件を一定にし、信頼性の高い評価を行うことができる。また、複数のロードポート63に対して同一の環境条件で評価をしたり、FOUP5が利用されるクリーンルームと同一の環境条件で評価をしたりすることが可能である。
なお、本実施形態において、筐体1により形成される密閉空間は、FOUP5の前面とロードポート63との間の隙間Gを覆うように形成されればよい。このため、筐体1は、隙間Gを覆う密閉空間を形成可能であれば、図3に示すように、FOUP5の一部を収納するように構成されてもよい。
ここで、図4は、本実施形態に係る粒子供給部2の具体例を示す概略構成図である。図4の粒子供給部2は、インレット21と、粒子発生器22と、荷電中和器23と、粒子径フィルタ24と、を備える。
インレット21は、微粒子フィルタを備える。インレット21は、吸気した空気を微粒子フィルタによって清浄化し、清浄化した空気を粒子発生器22に送気する。インレット21は、例えば、クリーンルームや搬送室62の空気を吸気して、粒子発生器22に送気する。
粒子発生器22は、粒子Pを発生させる。粒子発生器22は、粒子Pを含む懸濁液25を貯留し、毛細管チューブ26によって懸濁液25を吸い上げる。懸濁液25は、毛細管チューブ26で吸い上げられる間に気化し、粒子Pが発生する。
荷電中和器23は、粒子発生器22が発生させた粒子Pを、所定の電荷に帯電させる。
粒子径フィルタ24は、荷電中和器23が帯電させた粒子Pを粒子径によって選別する。具体的には、粒子径フィルタ24は、粒子Pを電界中に放出する。粒子Pは、帯電しているため、電界中での移動量が粒子径(質量)に応じて変化する。粒子径フィルタ24は、電界中での移動量ごとに粒子Pを取り出すことにより、粒子Pを粒子径によって選別することができる。粒子径フィルタ24は、所定の粒子径の粒子Pを選別し、筐体1内に供給する。これにより、均一な粒子径を有する粒子Pを筐体1内に供給することができる。
粒子供給部2がこのように構成された場合、粒子濃度制御部4は、例えば、インレット21の送気量などを制御することにより、粒子供給部2からの粒子Pの供給量を変化させ、筐体1内の粒子濃度を制御することができる。
(第2実施形態)
第2実施形態に係る粒子供給装置及び粒子供給方法について、図5及び図6を参照して説明する。まず、本実施形態に係る粒子供給装置について、図5を参照して説明する。図5は、本実施形態に係る粒子供給装置の一例を示す概略構成図である。図5に示すように、この粒子供給装置は、送風部7を更に備える。他の構成は第1実施形態と同様である。
第2実施形態に係る粒子供給装置及び粒子供給方法について、図5及び図6を参照して説明する。まず、本実施形態に係る粒子供給装置について、図5を参照して説明する。図5は、本実施形態に係る粒子供給装置の一例を示す概略構成図である。図5に示すように、この粒子供給装置は、送風部7を更に備える。他の構成は第1実施形態と同様である。
送風部7は、筐体1内に設けられ、筐体1内に任意の気流を発生させる。送風部7は、例えば、FOUP5が利用されるクリーンルームの気流を模擬した気流を発生させる。送風部7は、ファン71と、ルーバ72と、を備える。
ファン71は、筐体1内で所定方向の気流を発生させる。ファン71を配置する位置や数、及びファン71が発生させる気流の方向は、任意に設計可能である。また、ファン71の代わりに、FFUが設けられてもよい。
ルーバ72は、ファン71が発生させた気流の方向を調節する。これにより、筐体1内に、任意の方向の気流を発生させることができる。
次に、本実施形態に係る粒子供給方法について、図6を参照して説明する。図6は、本実施形態に係る粒子供給方法を示すフローチャートである。図6に示すように、この粒子供給方法は、ステップS7の前に、ステップS9を更に備える。他の工程は、第1実施形態と同様である。
ステップS9において、送風部7は、送風を開始し、筐体1内で気流を発生させる。送風部7により、FOUP5の周囲に任意の気流は発生させることができる。このステップS9は、ステップS7より前の任意のタイミングで行うことができる。
以上説明した通り、本実施形態に係る粒子供給装置及び方法によれば、FOUP5の周囲の気流を制御することができる。例えば、FOUP5が利用されるクリーンルームの気流を再現することにより、FOUP5を実際に利用した際のダストの侵入をより高精度に評価することができる。
(第3実施形態)
第3実施形態に係る粒子供給装置及び粒子供給方法について、図7を参照して説明する。ここで、図7は、本実施形態に係る粒子供給装置の一例を示す概略構成図である。図7に示すように、この粒子供給装置は、粒子回収部8を更に備える。他の構成は第1実施形態と同様である。
第3実施形態に係る粒子供給装置及び粒子供給方法について、図7を参照して説明する。ここで、図7は、本実施形態に係る粒子供給装置の一例を示す概略構成図である。図7に示すように、この粒子供給装置は、粒子回収部8を更に備える。他の構成は第1実施形態と同様である。
粒子回収部8は、筐体1内の空気を吸気し、筐体1内の粒子Pを回収する。図7において、粒子回収部8は、筐体1の背面から吸気しているが、筐体1の上面や側面から吸気してもよいし、筐体1の複数箇所から吸気してもよい。粒子回収部8が回収した粒子Pは、粒子供給部2に送られ、粒子供給部2によって再び筐体1に供給される。
本実施形態に係る粒子供給方法では、ステップS2において、粒子供給部2は、粒子Pの供給を開始すると共に、粒子回収部8は、粒子Pの回収を開始する。他の工程は第1実施形態と同様である。
以上説明した通り、本実施形態に係る粒子供給装置及び方法によれば、粒子回収部8により筐体1内の粒子Pが回収されるため、筐体1内の粒子Pを再利用することができる。また、筐体1内への粒子Pの過供給を防ぎ、筐体1内の粒子濃度を容易に制御することができる。さらに、粒子回収部8により回収した粒子Pを再利用することができるため、粒子Pの使用量を低減し、評価コストを抑制することができる。
なお、本発明は上記各実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることによって種々の発明を形成できる。また例えば、各実施形態に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除した構成も考えられる。さらに、異なる実施形態に記載した構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1:筐体、2:粒子供給部、3:粒子濃度計測部、4:粒子濃度制御部、5:FOUP、6:EFEM、7:送風部、8:粒子回収部、21:インレット、22:粒子発生器、23:荷電中和器、24:粒子径フィルタ、25:懸濁液、26:毛細管チューブ、51:FOUP筐体、52:蓋、61:搬送アーム、62:搬送室、63:ロードポート、64:テーブル、65:蓋、71:ファン、72:ルーバ、P:粒子、G:隙間
Claims (5)
- FOUPに設けられた基板搬出口と基板処理装置のロードポートに設けられた基板搬入口との空間を密閉する筐体と、
前記筐体内に粒子を供給する粒子供給部と、
を備える粒子供給装置。 - 前記筐体内の粒子濃度を計測する粒子濃度計測部を更に備える
請求項1に記載の粒子供給装置。 - 前記筐体内の粒子濃度が所定値となるように、前記粒子供給部からの前記粒子の供給量を制御する粒子濃度制御部を更に備える
請求項1又は請求項2に記載の粒子供給装置。 - 前記筐体内に供給された前記粒子を回収する粒子回収部を更に備える
請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の粒子供給装置。 - FOUPに設けられた基板搬出口と基板処理装置のロードポートに設けられた基板搬入口との空間を密閉する工程と、
前記密閉空間内に粒子を供給する工程と、
を備える粒子供給方法。
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