JP2006330167A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】画像露光品質を保証するため、設置環境温度の変動に応じて安定温度の再設定を可能とした露光装置を提供する。
【解決手段】光ビームを照射して感光材料４０を走査露光する露光手段４６と、露光手段４６に対して相対移動し、感光材料４０を走査方向に沿って搬送する搬送手段２８と、露光手段４６及び搬送手段２８が移動可能に収容された収容室１３と、露光手段４６及び搬送手段２８の少なくとも一方を含む収容室１３の複数箇所に設けられ、その温度を測定する温度測定手段と、その測定結果から複数箇所毎の温度安定度合いを判定するとともに、安定と判定された温度と複数箇所毎に予め設定された安定温度とを比較して、その複数箇所毎の安定状態を判定する判定手段１００と、判定手段１００の判定結果に基づき、安定温度を書き換える書換手段１１０と、安定温度の書き換えが必要であることを表示する表示手段１０８と、を備えた露光装置１０とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、露光装置に関し、更に詳しくは、設置環境温度の変動に対応して、画像露光品質を保証する安定温度を再設定可能とされた露光装置に関する。

副走査方向へ搬送される感光性フィルム等の感光材料に対して、レーザー光を主走査しながら照射し、所定のパターンを描画するレーザー描画装置（例えば、特許文献１参照）などの走査露光装置や、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（ＳＬＭ）を利用し、走査方向へ搬送される感光材料に対して、画像データに応じて変調した光ビームを照射して画像露光を行う画像露光装置では、光ビームを照射する露光ヘッド、回転ドラムやステージ等の感光材料搬送手段を駆動する駆動モーター、装置各部を制御する制御基板等、露光室（収容室）内に多数の発熱部品が存在している。

これら発熱部品は、通電されることにより、その周辺の温度を上昇させて行くが、通常、その温度が安定するまで（安定温度となるまで）待機してから露光処理を開始している。これは、その安定温度（安定状態）となってから露光処理を開始しなければ、画像露光品質が保証されないからである。

ところで、その安定温度は、出荷調整時に設定される。つまり、その安定温度は、出荷調整時の設置環境温度によって決められる。したがって、出荷されて設置される場所での環境温度が、出荷調整時の設置環境温度と著しく異なる場合には、安定温度の信頼性が低下するという問題がある。この場合には、その出荷後に設置される場所の環境温度での安定温度の再取得（再設定）が必要となる。
特開２００２−８２４４６号公報

そこで、本発明は、上記事実を考慮し、設置環境温度の変動に応じて、画像露光品質を保証する安定温度の再設定を可能とした露光装置を得ることを目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載の露光装置は、光ビームを照射して感光材料を走査露光する露光手段と、前記露光手段に対して相対移動し、前記感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、前記露光手段及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、前記露光手段及び前記搬送手段の少なくとも一方を含む前記収容室の複数箇所に設けられ、該複数箇所の温度を測定する温度測定手段と、前記温度測定手段による測定結果から前記複数箇所毎の温度安定度合いを判定するとともに、安定と判定された温度と該複数箇所毎に予め設定された安定温度とを比較して、該複数箇所毎の安定状態を判定する判定手段と、前記判定手段の判定結果に基づき、前記安定温度を書き換える書換手段と、を有することを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、判定手段の判定結果により、予め設定されている安定温度に再設定が必要と判断された場合には、書換手段により、その安定温度の書き換え（再設定）ができる。したがって、出荷調整時の設置環境温度と実際の設置環境温度とが著しく異なっていても、適切に対応することができる。つまり、この露光装置では、設置環境温度に応じて最適な安定温度を設定できるので、設置環境温度の変動に対する適応範囲が広くなる。

そして、請求項２に記載の露光装置は、請求項１に記載の露光装置において、前記安定温度の書き換えが必要であることを表示する表示手段を有することを特徴としている。

請求項２に記載の発明によれば、安定温度に書き換え（再設定）が必要であることを、ユーザーに容易に認識させることができる。

また、請求項３に記載の露光装置は、請求項１又は請求項２に記載の露光装置において、前記安定温度の書き換えに伴い、装置固有のパラメーターを変更する変更手段を有することを特徴としている。

請求項３に記載の発明によれば、安定温度の書き換え（再設定）に伴い、装置固有のパラメーターの変更ができる。したがって、露光装置の設置環境温度の変動に対する適応範囲を広げることができる。なお、ここで言う装置固有のパラメーターとは、露光手段における光量分布、露光量、傾き、画像つなぎ、倍率等である。

また、請求項４に記載の露光装置は、請求項３に記載の露光装置において、前記パラメーターの変更が必要であることを表示する表示手段を有することを特徴としている。

請求項４に記載の発明によれば、装置固有のパラメーターに変更が必要であることを、ユーザーに容易に認識させることができる。

以上、何れにしても本発明によれば、設置環境温度の変動に応じて、画像露光品質を保証する安定温度の再設定を可能とした露光装置を提供することができる。

以下、本発明の最良な実施の形態について、図面に示す実施例を基に詳細に説明する。図１乃至図５には本発明に係る露光装置が示されている。また、図６及び図７には本発明に係る露光装置に設けられた感光材料搬送用のステージが示されている。

図１乃至図５に示すように、露光装置１０は、装置本体２０が大型のカバー体１２に収容されて構成されており、図示の状態で、室内の温度及び湿度が管理されるとともに、室内の空気中を浮遊する塵埃や微粒子等が除去されて空気清浄度が高度に保たれたクリーンルーム等の空調環境に設置されている。

カバー体１２は、棒状の角パイプ１４（図５参照）を枠状に組み付けて形成した枠体に、内外を遮断する複数枚のパネル１６が装着されて構成されており、下面部のみが開口して、内部に装置本体２０を収容する収容室１３が形成され、下部の角パイプ１４が床面上に設置された一対の架台２４に連結されて支持されている。

このカバー体１２は、内部に収容室１３の一部を構成する露光室（チャンバー）１５が設けられ、装置本体２０の主要部が収容されている略立方体形状のカバー本体部１２Ａと、カバー本体部１２Ａの一側面に突設され、装置本体２０のステージ２８等を収容するとともに、ステージ２８に基板等の感光材料４０を着脱するためのセット部１２Ｂとで構成されている。

図５に示すように、カバー本体部１２Ａに設けられたパネル１６は、カバー本体部１２Ａの内壁面を構成して露光室１５を形成する内パネル１６Ａと、内パネル１６Ａの外側に所定の間隔で配置され、カバー本体部１２Ａの外装面を構成する外パネル１６Ｂとで構成されており、これによって、カバー体１２の壁面が２層構造とされている。また、内パネル１６Ａと外パネル１６Ｂの間には、部品収容室１７が設けられている。この部品収容室１７は、略密閉された層状空間とされて、カバー体１２の壁面に沿って形成されている。

図１乃至図３に示すように、セット部１２Ｂは、上面がカバー本体部１２Ａよりも低くされており、セット部１２Ｂの前に立つオペレーターの略腰の高さになるように設定されている。セット部１２Ｂの上面には、ステージ２８との対応部位に矩形状の開口１８が形成され、更に開口１８を開放及び閉塞する開閉パネル１９が設けられている。

開閉パネル１９は、カバー本体部１２Ａ側の辺縁部が図示しないヒンジを介してセット部１２Ｂに取り付けられており、オペレーターの手動操作でヒンジを中心に回動されることにより、開口１８を開閉できる構成になっている。また、開閉パネル１９の裏面には、収容室１３の温度を測定する温度センサー７２が取り付けられている。

この開閉パネル１９が開放されると、ステージ２８の上面である感光材料載置面２８Ａが開口１８を介して露出され、開閉パネル１９が閉塞されると、ステージ２８は隠蔽されて、温度センサー７２がステージ２８の上方近傍に配置され、セット部１２Ｂでは、下面部のみが開放された状態となる。なお、このステージ２８の近傍に配置された温度センサー７２は、ステージ２８に載置された直後の感光材料４０の温度を測定する非接触型の赤外線温度センサー等に代えてもよい。

また、カバー体１２の収容室１３に収容された露光装置１０の装置本体２０は、ベース部となる矩形の厚板状に形成された定盤２２を備えている。定盤２２は、カバー体１２を構成する角パイプ１４が連結された架台２４に支持されており、図示のようにセット部１２Ｂ内からカバー本体部１２Ａ内（露光室１５）に架けて配置されている。

定盤２２の上面には、長手方向（矢印Ｙ方向）に沿って直線状に延出され、互いに平行に配置された一対のガイドレール２６が敷設されている。この一対のガイドレール２６により、定盤２２上には直線状のステージ移動路が形成されている。また、一対のガイドレール２６上には、矩形の平盤状に形成されたステージ２８と、ステージ２８を移動可能に支持する基盤３０と、ステージ２８を昇降する昇降機構３２と、詳細については後述する光量測定手段、ビーム位置検出手段、カメラ校正用基準板を備える測定ユニット７０とがユニット化されて配設されている。

基盤３０は矩形の平板状とされ、下面の四隅近傍に、ガイドレール２６に摺動可能に係合した４本の脚部３４が取り付けられている。基盤３０の上面には、その基盤３０に対し、ステージ２８を所定の間隔で平行に配置するとともに、上下方向（矢印Ｚ方向）へ移動させる昇降機構３２が設けられている。また、図１乃至図３で、奥側に位置する昇降機構３２の側面部には、図５及び図６に示すように、昇降動作のための駆動力を発生するステッピングモーター３６が、昇降機構３２の側面部から突出（露出）して取り付けられている。

そして、ステージ２８は、長手方向がガイドレール２６の延出方向に沿った向きにされて定盤２２上に配置され、一対のガイドレール２６に係合した基盤３０の各脚部３４が、各ガイドレール２６に対して摺動可能であることにより、各ガイドレール２６にガイドされて、定盤２２上に直線状に設けられたステージ移動路を矢印Ｙ方向に往復移動可能とされている。

定盤２２の上面における一対のガイドレール２６の間には、ステージ移動用の駆動源となる直動型のリニアサーボモーター３８が配設されており、更に、リニアエンコーダー３７が、リニアサーボモーター３８に付設されている。リニアサーボモーター３８は、定盤２２の長手方向（矢印Ｙ方向）に沿ってガイドレール２６と平行に延設された丸棒状のステータ部（磁石部）３８Ａと、基盤３０の下面に取り付けられ、ステータ部３８Ａが挿通された筒状のコイル部３８Ｂとで構成されている（図３及び図５参照）。

図７（Ｃ）に示すように、コイル部３８Ｂの下面と両側面には、複数の放熱フィン３８Ｃが一体的に設けられており、この放熱フィン３８Ｃは、コイル部３８Ｂの軸心方向（矢印Ｙ方向）に沿って延出されている。また、基盤３０の下面に設置されたコイル部３８Ｂは、上面が基盤３０の下面に直接接触しておらず、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、リング状に形成された複数の断熱ブッシュ３９を介して、基盤３０下面との間に隙間が設けられ、更に基盤３０の下面から突出（露出）した状態で取り付けられている。なお、この断熱ブッシュ３９は、例えばガラスやセラミック等の低熱伝導性／低熱膨張性材料によって形成されている。

そして、リニアサーボモーター３８では、コイル部３８Ｂへの通電によって形成される磁界とステータ部３８Ａの磁界との磁力作用により、ステータ部３８Ａに対してコイル部３８Ｂに軸心方向への駆動力が発生するようになっている。この駆動力によって、ステージ２８は一対のガイドレール２６にガイドされ、定盤２２上のステージ移動路を矢印Ｙ方向に往復移動する（図１０参照）。なお、図中では、ステージ２８の往路移動方向（アライメント計測方向）を矢印ＹＡで示し、復路移動方向（露光方向／走査方向）を矢印ＹＢで示している。

また、リニアエンコーダー３７は、ステージ２８と共にコイル部３８Ｂがステータ部３８Ａに対して相対移動する際に、往復移動方向に対応する所定極性のパルス信号を、移動量に比例するパルス数だけ、パルスカウンターへ出力するようになっている。このリニアエンコーダー３７からのパルス信号に基づいて、ステージ２８の定速移動や反転移動、停止等の移動制御が行われる。

また、ステージ２８の上面に設けられた感光材料載置面２８Ａには、露光装置１０によって画像露光される露光対象物である、例えば配線パターン等を形成するために、そのパターン等が画像露光されるプリント配線板材料等の感光材料４０が、図示しない位置決め部により、所定の載置位置に位置決めされた状態でセットされる。

感光材料４０には、図４に示すように、露光位置の基準を示すアライメントマークＭが角部近傍に複数（本実施形態では各角部の近傍に４個）設けられており、これらアライメントマークＭは、例えば円形の貫通孔等によって形成されている。また、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａには、図示しない複数の溝部が形成されており、それら溝部内が負圧供給源によって負圧とされることにより、感光材料４０はステージ２８上に吸着されて保持される。そして、このステージ２８上への感光材料４０のセット及び取り外しは、図１乃至図４に示すように、ステージ２８が移動路の原点位置となるセット部１２Ｂ側に配置されて停止した状態で、オペレーターにより開閉パネル１９が開放されて行われる。

また、定盤２２上に設けられたステージ移動路の略中間位置で、定盤２２上面の幅方向（矢印Ｘ方向）両端部には、一対の支柱４２が立設されている。この一対の支柱４２の一方側（セット部１２Ｂ側）の上部には、ステージ２８の復路移動で走査方向（矢印ＹＢ方向）へ搬送される感光材料４０に対し、上方から光ビームを照射して走査露光する複数の露光ヘッド４６を備えた露光ユニット４４が取り付けられている。

また、他方側の上部には、幅方向（矢印Ｘ方向）に沿って移動可能とされるとともに、ステージ２８の往路移動でアライメント計測方向（矢印ＹＡ方向）へ搬送される感光材料４０に対し、アライメントマークＭの位置に合わせて配置され、上方からアライメントマークＭを撮影する複数のカメラ６２を備えたアライメントユニット６０が取り付けられている。

これら露光ユニット４４、アライメントユニット６０、及び各ユニットの両端部を支持する一対の支柱４２は、図１に示すように、ステージ移動路を跨いでステージ２８を通過可能としたゲート状に構成され、露光室１５内に配置されている。更に、図１及び図４に示すように、露光ユニット４４は、一対の支柱４２に架設されたユニットベース４８を備えており、このユニットベース４８に、ステージ２８の移動方向（矢印Ｙ方向）と直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿ってｍ行ｎ列（例えば２行４列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば８個）の露光ヘッド４６が取り付けられている。

また、図１及び図２に示すように、カバー本体部１２Ａの他側部には、露光室１５とは区画構成された部品収容室４９が設けられており、この部品収容室４９には光源ユニット５０や、電源ユニット７４及び制御ユニット７６等、露光装置１０の動作時に発熱する多数の発熱部品が収容されている。また、カバー本体部１２Ａの側面（外パネル１６Ｂ）には、部品収容室４９内の空気（高温空気）を外部に排気し、部品収容室４９内の温度上昇を抑える送風ファン７８が取り付けられている。

光源ユニット５０には、複数のレーザー光源（半導体レーザー）が内蔵されており、各レーザー光源から出射されるレーザー光は、図示しない光ファイバーを介して露光ユニット４４の各露光ヘッド４６に導かれるようになっている。各露光ヘッド４６は、光源ユニット５０から入射されたレーザー光を画像データに応じて画素毎に変調する空間光変調素子としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）を備えている（図示省略）。

したがって、各露光ヘッド４６では、このＤＭＤによって、光源ユニット５０からの入射光（レーザー光）が画素単位で変調され、露光ビーム（レーザービーム）として出射される。これにより、露光ユニット４４は、露光装置１０の露光動作において、ステージ２８が一定速度で下方を通過する際に、各露光ヘッド４６から所定のタイミングでステージ２８上の感光材料４０の表面に、それぞれ光ビームを照射し、画素パターンを露光（画像露光）する。

図８（Ｂ）に示すように、各露光ヘッド４６から照射された光ビームで露光される各露光エリア５２は、走査方向を短辺とする矩形状であり、走査方向に対して所定角度傾斜している。また、ステージ２８の移動に伴い、図８（Ａ）に示すように、感光材料４０には露光ヘッド４６毎に帯状の露光済み領域５４が形成される。

図９に示すように、アライメントユニット６０は、一対の支柱４２に取り付けられるユニットベース６４を備えており、このユニットベース６４は、図３にも示すように、断面がＴ字状に形成されている。ユニットベース６４における露光ユニット４４側の面には、ステージ２８の移動方向（矢印Ｙ方向）と直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿って、一対のガイドレール６６が延設されており、各カメラ６２は、この一対のガイドレール６６に摺動可能にガイドされるとともに、各々に個別に用意されたボールねじ機構６８及びそれを駆動する図示しないステッピングモーター等の駆動源により駆動されて、ステージ２８の移動方向と直交する方向に独立して移動する構成である。

また、各カメラ６２は、カメラ本体６２Ａの先端に設けられたレンズ部６２Ｂを下方へ向けるとともに、レンズ光軸が略垂直になる姿勢で配置されており、このレンズ部６２Ｂの先端部には、リング状のストロボ光源（ＬＥＤストロボ光源）６２Ｃが取り付けられている。各カメラ６２は、感光材料４０のアライメントマークＭを撮影する際に、上記の駆動源及びボールねじ機構６８により矢印Ｘ方向に移動されて、それぞれ所定の撮影位置に配置される。

すなわち、レンズ光軸が、ステージ２８によって搬送される感光材料４０のアライメントマークＭの通過位置に合うように配置され、アライメントマークＭが所定の撮影位置に至ったタイミングで、ストロボ光源６２Ｃを発光させ、感光材料４０へ照射したストロボ光の感光材料４０上面での反射光を、レンズ部６２Ｂを介してカメラ本体６２Ａに入力させることにより、アライメントマークＭを撮影する。

また、上述したように、露光ユニット４４の各露光ヘッド４６では、光源ユニット５０から入射されたレーザー光をＤＭＤにより変調し、その光ビームを感光材料４０に照射して画像露光を行うが、その動作中に生じる外乱、あるいは経時的な変化等により、ＤＭＤで反射されて出射される光ビームにおいて、走査方向に直交する方向に対する光量分布が不均一になり、感光材料４０上における所定の露光量の値で露光されるべき各部分の露光量が、所定の露光量の値から変化してしまう場合がある。

そのため、この露光装置１０では、光量分布を均一化するシェーディング調整と露光量調整をするために、ＤＭＤ側から出射される光ビームにおける光量分布と露光量を測定するための光量測定器（光量測定手段）が備えられている。

また、各露光ヘッド４６では、光源から結像面に至るまでに多数の光学部材や機構部材等が設けられているため、温度変化による熱膨張や熱収縮、及び長期間使用による経時変化の蓄積等により、各露光ヘッド４６からの光ビームにより形成される画像（露光済み領域５４）が、つなぎ目において無視できない程度のずれを起こし、画像品質が低下する場合がある。

そのため、この露光装置１０では、複数の露光ヘッド４６が出射する光ビームによって形成される各画像（露光エリア５２）のつなぎを補正するために、各光ビームの露光位置を検出するためのビーム位置検出用基準板及び受光素子（ビーム位置検出手段）が備えられている。

更に、アライメント機能を備える露光装置１０では、アライメントユニット６０の各カメラ６２が移動する際にローリング、ピッチング、及びヨーイングして姿勢変化を起こし、撮影位置に配置された状態で、レンズ部６２Ｂの光軸中心が正規の位置からずれる場合がある。したがって、その影響により、アライメント機能を用いて露光位置を補正して画像露光を行っても、露光位置が適正位置からずれて許容範囲を超えてしまう場合がある。

そのため、この露光装置１０では、各カメラ６２の姿勢変化による光軸ずれ要因により精度が影響されるアライメント機能を校正するため、各カメラ６２によって撮影される校正用マークが複数設けられたカメラ校正用基準板が備えられている。そして、これら光量測定手段、ビーム位置検出手段、及びカメラ校正用基準板は、ステージ２８の前端部に取り付けられた測定ユニット７０に設けられて一体に構成されている。

なお、シェーディング調整及び露光量調整のための光量測定動作と、各露光ヘッド４６が出射する光ビームによって形成される各画像のつなぎを補正するための各光ビームの露光位置検出動作は、露光装置１０の露光動作における所定のタイミング（例えば、所定数の感光材料に対する露光動作後等）に実施され、アライメント機能の校正については、露光装置１０の製造時やメンテナンス時、あるいは露光動作における所定のタイミングに実施される。

また、図１に示すように、露光装置１０は、装置本体２０を収容したカバー体１２内の収容室１３を空調する空調機８０を備えている。空調機８０はカバー本体部１２Ａ内の露光室１５と円筒状のダクト８２によって連通されており、吸気口８４から吸い込んだ設置環境の空気（外気）を、内蔵されたＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air Filter）８８を通過させることによって塵埃や微粒子を捕集して清浄化し、更に所定の温度及び湿度に調整してダクト８２へ噴出するようになっている。そして、吸気口８４には、空調機８０に吸い込まれる外気の温度を測定する温度センサー８６が取り付けられている。

ダクト８２は、図３に示すように、露光室１５内における露光ユニット４４が近接配置された内壁面と対向する内壁面１５Ａに、先端部８２Ａが取り付けられており、この先端部８２Ａは、内壁面１５Ａの上部位置で、かつ、図４に示すように、露光室１５の幅方向（矢印Ｘ方向）における略中央に配置されている。

ダクト８２の吹出口８２Ｂは円形開口とされ、空調機８０からの冷却空気が略真下へ吹き出されるように下方へ向けられている。また、ダクト８２の先端部８２Ａは直線状に形成されており、この直線状部の長さ（吹出口８２Ｂまでの長さ：Ｌ）は所定の寸法に設定されている。

空調機８０は、ダクト８２の吹出口８２Ｂから吹き出す冷却空気の流速や流量等が調整可能であり、本実施形態では、吹出口８２Ｂでの流速が９．４ｍ／ｓ、流量（体積流量）が１０ｍ³／ｍｉｎに設定されている。また、本実施形態のダクト８２は、先端部８２Ａ（直線状部）の長さ（Ｌ）が３０ｃｍ以上とされており、吹出口８２Ｂの直径（Ｄ）が１５ｃｍとされている。

更に、ダクト８２の吹出口８２Ｂの下方には、矩形平板状に形成された風向変更板９０が設けられている。風向変更板９０は、図４に示すように、ステージ２８と略同じ幅寸法にされて、中央部がダクト８２の吹出口８２Ｂの略真下に位置するように、露光室１５の幅方向における略中央に配置されており、図３に示すように、一方の長辺縁部（基端部）がヒンジ９２を介して露光室１５の内壁面１５Ａに取り付けられ、ヒンジ９２を中心に回動可能とされている。また、先端側が角度調整機構９４に支持されており、この角度調整機構９４を手動操作することで、傾斜角度が調整可能とされている。

そして、この風向変更板９０は、基端側から露光室１５の内方へ向けられた先端側へ架けて、所定の角度（例えば４５度程度）で下り傾斜するように、傾斜角度が調整されており、この状態で、先端部がステージ２８の移動を妨げない高さに配置されている。これにより、ダクト８２の吹出口８２Ｂから下方へ吹き出されて露光室１５内に供給された冷却空気は、風向変更板９０によって送風方向が略水平方向に変えられ、走査方向（矢印ＹＢ方向）に沿った方向へ送風される。

また、図３及び図４に示すように、ステージ２８側には導風板９６が設けられている。図６に示すように、導風板９６は、矩形平板状の板金等を長手方向にて鋭角に屈曲して作製したものであり、角部を挟んだ一方が導風板本体部９６Ａ、他方が取付板部９６Ｂとされ、取付板部９６Ｂの先端部（後端部）が基盤３０の前端部に取り付けられて、ステージ２８の前方に配置されている。

この導風板９６は、図４に示すように、幅寸法がステージ２８の幅寸法の１／２程度とされ、ステージ２８（基盤３０）に対して幅方向における略中央に配置されている。また、図３に示すように、基盤３０から前方へ突出された取付板部９６Ｂが略水平に配置され、取付板部９６Ｂの上側に位置する導風板本体部９６Ａが、基端側（角部側）からステージ２８側へ向けられた先端側へ掛けて、所定の角度（例えば４５度程度）で上り傾斜して配置されている。

また、導風板９６は、ステージ２８が図３及び図４に示す原点位置に配置されると、アライメントユニット６０に設けられたカメラ６２の略真下に配置され、図１０に示すように、ステージ２８が露光室１５内へ移動すると、露光室１５を構成する内壁面１５Ａの下部に凹設された退避空間１５Ｂに、測定ユニット７０と共に進入する。

これにより、ステージ２８が原点位置で停止しているとき、及び、原点位置と露光室１５との間を往復移動する途中では、走査方向に沿ってステージ２８側へ送風される冷却空気のうち、ステージ移動路の中央を流れるものが導風板９６によってステージ２８の上面（感光材料載置面２８Ａ）側へ導かれ、ステージ２８上を走査方向に沿って流動される。

また、原点位置に配置されたステージ２８前部の上方には、ステージ２８の幅方向に亘り、除電装置（イオナイザー）９８が配設されている。除電装置９８は、中空パイプ状の吹出部９８Ａと、吹出部９８Ａへイオン化されたエアーを供給するイオン発生部９８Ｂとで構成されており、イオン発生部９８Ｂにおいて、アース電極と放電電極との間でコロナ放電を発生させることにより、イオンを生成する構成である。

そして、このイオンを送風源によって吹出部９８Ａに供給し、吹出部９８Ａからステージ２８の感光材料載置面２８Ａに向けてイオン化されたエアーを吹き出すようになっている。これにより、ステージ２８によって搬送される感光材料４０が、除電装置９８の下方を通過する際には、静電気で感光材料４０に付着している塵埃が、吹出部９８Ａから吹き出されるイオン化されたエアーによって除電され、エアブローによって感光材料４０から剥離されて除去される。

また、図１に示すように、露光装置１０は、装置本体２０及び空調機８０等を制御するコントローラー１００を備えている。このコントローラー１００には、装置本体２０に設けられたステッピングモーター３６、リニアエンコーダー３７、リニアサーボモーター３８、露光ユニット４４の各露光ヘッド４６、アライメントユニット６０の各カメラ６２とカメラ移動用駆動源、測定ユニット７０、負圧供給源、収容室１３内に設けられた温度センサー７２、除電装置９８、部品収容室４９内に設けられた光源ユニット５０、電源ユニット７４、制御ユニット７６、及び、空調機８０と温度センサー８６等が接続されており、これらはコントローラー１００に制御されて、それぞれ動作する。

また、図５に示すように、カバー体１２の部品収容室１７には、複数の制御基板１０２（１０２Ａ〜１０２Ｅ）が収容されている。これら制御基板１０２は、それぞれ基台１０４に固定されて、内パネル１６Ａの外側面に取り付けられており、コントローラー１００と接続されている。

また、この制御基板１０２には、コントローラー１００と連動して、装置本体２０の露光ユニット４４、カメラ６２、除電装置９８等を制御する基板も含まれており、それら制御基板は、各制御対象にそれぞれ近接して配置されている。また、カバー体１２の上部に設けられた外パネル１６Ｂには、部品収容室１７内の空気（高温空気）を外部に排気し、部品収容室１７内の温度上昇を抑える送風ファン１０６が取り付けられている。

更に、この露光装置１０において、複数の主要部周辺には、温度測定手段としての温度センサー５８が取り付けられている。ここで言う主要部とは、露光ヘッド４６、カメラ６２、ステージ２８、リニアエンコーダー３７、測定ユニット７０であり、露光ヘッド４６とステージ２８の少なくとも一方を含む複数箇所、例えば図３及び図４に示すように、ユニットベース４８の上面、ユニットベース６４の下面、ステージ２８の下面、カメラ校正用基準板の端部等に、温度センサー５８が取り付けられている（本実施形態では、上記主要部の全てに温度センサー５８を取り付けている）。

そして、各温度センサー５８は、コントローラー１００に接続されており、各主要部の温度安定度合い、即ち各主要部において測定した温度が安定温度になっているか、否かを、そのコントローラー１００（判定手段）によって判定するようになっている。なお、ここで言う安定温度とは、露光装置１０での画像露光品質が保証される温度であり、全ての主要部が安定温度になっているときに画像露光を行うことにより、高精細な画像が精度よく露光される。また、この安定温度は、所定の中心値（θ℃）に対して、ある程度の範囲（±α℃）を持った温度である。

更に、このコントローラー１００は、図１で示すように、表示手段としての表示パネル１０８と、書換手段としてのキーボード１１０を備えている。表示パネル１０８には、コントローラー１００（判定手段）による判定結果が表示され、ユーザーがその判定結果を容易に認識できる構成になっている。ここで表示される判定結果とは、少なくとも安定温度と実際の測定温度との差が含まれる。キーボード１１０は、その表示された判定結果に基づいて、安定温度の再設定等の書き換え操作ができる構成になっている。

ここで更に、安定温度について説明する。この安定温度は、出荷前の設置環境温度下において予め調整された温度である。通常、露光装置１０はクリーンルーム等の空調設備が備えられた室内環境に設置されるため、各主要部は、出荷前に調整した安定温度で（画像露光品質が保証された状態で）動作できるが、実際に設置した環境温度下によっては、時として、どうしてもその安定温度にならない場合がある。

その場合は、各主要部が実際には画像露光品質が充分に保証される温度になっていたとしても、出荷前に（初期）設定した安定温度にはなっていないため、画像露光品質が保証されないと判断されて、生産性の低下を招いてしまうおそれがあった。そのため、この露光装置１０では、上記したように、安定温度の再設定（書き換え）ができるように構成されている。なお、安定温度の書き換えは、キーボード１１０からの入力によるものに限定されるものではなく、コントローラー１００によって自動的に書き換えられる構成としてもよい。

また、この安定温度の再設定（書き換え）に伴い、露光装置１０における装置固有のパラメーターも変更されることがある。ここで言う装置固有のパラメーターとは、光量分布や露光量、露光ヘッド４６の傾きや各画像（露光エリア５２）のつなぎ、倍率等である。このような固有パラメーターもコントローラー１００により判断されて、変更の必要があれば、表示パネル１０８に表示される。そして、変更手段としても機能するキーボード１１０により適宜変更される。

以上のような構成の露光装置１０において、次に、その作用について説明する。すなわち、収容室１３の空調動作（室温制御動作）と、各主要部における温度安定度合いの判定及び安定温度の再設定（書き換え）等と、感光材料４０に対する露光動作について説明する。

まず、空調動作について説明する。電源が遮断された非動作状態の露光装置１０では、装置本体２０に設けられたステージ２８が、図１乃至図４に示す原点位置に配置されている。この状態で、オペレーターがコントローラー１００を操作して露光装置１０の電源を投入すると、装置本体２０の各電力供給部が通電されて発熱し、収容室１３内の空気が暖められて次第に温度上昇する。

なお、露光動作時に、特に高温となるステージ昇降用のステッピングモーター３６やステージ移動用のリニアサーボモーター３８のコイル部３８Ｂ、露光ユニット４４、アライメントユニット６０が走査方向に沿って配設されているため、室温が走査方向に沿って不均一になり、走査方向に沿って温度分布が形成されやすくなっている。

また、電源投入後に、オペレーターがコントローラー１００から、あるいは手動操作により、空調動作の開始操作を行い、空調機８０を作動させる。空調機８０は、吸気口８４から吸い込んだ外気を機内のＨＥＰＡフィルター８８を通過させて清浄化するとともに、所定の温度及び湿度に調整して空調のための冷却空気（冷気）を生成し、ダクト８２へ噴出する。

この冷却空気は、コントローラー１００によって予め設定された流速及び流量で、ダクト８２の吹出口８２Ｂから略真下へ向けて吹き出されて（図３の矢印ＡＲ１）、露光室１５に供給される。ダクト８２から下方へ吹き出された冷却空気は、風向変更板９０によって送風方向が略水平方向に変えられ、走査方向に沿った方向へ送風される（図３の矢印ＡＲ２）。

また、この冷却空気の流動に伴って、露光室１５内の上部に滞留している周辺の空気（高温空気）も走査方向に沿った方向へ流動する（図３の矢印ＡＲ３、ＡＲ４）。更に、露光室１５内の下部では、走査方向に沿った方向へ送風され、ステージ２８側へ流動する冷却空気のうち、ステージ移動路の中央を流動する空気流が導風板９６に沿って上昇流となり、露光ユニット４４の下方へ導かれる（図３の矢印ＡＲ５、ＡＲ６）。

そして、これら流動空気を伴い、冷却空気は更に走査方向に沿って送風され、アライメントユニット６０及び露光ユニット４４の下方を通過し（図３の矢印ＡＲ７）、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａ上を通過して（図３の矢印ＡＲ８）、ステージ２８の後端部に至ると、セット部１２Ｂの内壁面に沿って送風方向が下方へ変えられる（図３の矢印ＡＲ９）。

また、露光室１５内の下部におけるステージ移動路の両側部を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気は、測定ユニット７０の下側や両側に流れ込み（図３の矢印ＡＲ１０）、そのまま走査方向に沿って定盤２２と基盤３０の間や昇降機構３２の両側を流動し、それらを通過すると、やはりセット部１２Ｂの内壁面に沿って流動方向が下方へ変えられる（図３の矢印ＡＲ１１）。そして、ステージ２８上からの下降流と、昇降機構３２の両側や基盤３０下面側からの下降流は、合流してセット部１２Ｂの下面部開口を通過し、外部へ排気される。

また、コントローラー１００は、収容室１３内におけるステージ２８の上方近傍に設けられた温度センサー７２の測定温度から収容室１３の温度を把握し、空調機８０の吸気口８４に設けられた温度センサー８６が測定する外気の温度から、露光装置１０が設置されるとともに露光前の感光材料４０が置かれるクリーンルーム等の装置設置環境の温度を把握する。

そして、コントローラー１００は、これら測定温度に基づいて、収容室１３（露光室１５）に供給する空気の温度調整（空調制御）を行う。具体的には、空調機８０を制御して、収容室１３の温度（ステージ近傍の温度）が装置設置環境の温度と略同じ又は所定の温度差内（例えば±０．２℃）になるように、空調機８０が生成する冷却空気の温度を調整する。これにより、収容室１３、特にステージ２８の上方近傍では、室温が常に装置設置環境の温度と略同じ又は所定の温度差内に保たれる。

このように、露光装置１０の空調動作では、露光室１５に供給された冷却空気が露光室１５を含む収容室１３内を走査方向に沿った方向へ送風されるため、収容室１３における走査方向に沿った温度分布は略均一になり、走査方向に沿った温度変化も起こり難くなる。また、露光室１５では、室内の空気が上記冷却空気の送風によって循環され、室内全体の温度上昇が抑えられる。これにより、装置本体２０の各発熱部は空冷されて温度上昇が抑えられ、更に収容室１３内の空気中を浮遊する塵埃が室外へ排出されて、室内は空気清浄度が高度に保たれる。

一方、露光装置１０の部品収容室４９では、電源投入後に光源ユニット５０、電源ユニット７４、制御ユニット７６が通電されて発熱し、室内の空気が暖められて温度上昇する。この部品収容室４９では、送風ファン７８が作動して室内の高温空気が外部に排気され、室温及び各発熱部品の温度上昇が抑えられる。また、部品収容室１７では、各制御基板１０２が通電されて発熱し、室内の空気が暖められて温度上昇するが、送風ファン１０６が作動して室内の高温空気が外部に排気され、室温及び各発熱部品の温度上昇が抑えられる。

更に、収容室１３（露光室１５）内における各主要部の温度が温度センサー５８によって測定される。すなわち、図１１に示すフローチャートを基に説明すると、まず、ステップＳ１にて、露光ヘッド４６、カメラ６２、ステージ２８、リニアエンコーダー３７、測定ユニット７０（カメラ校正用基準板）付近の温度が温度センサー５８によって測定される。そして、ステップＳ２にて、その測定した温度が安定温度になっているか、否か（収容室１３内の温度が安定しているか、否かではない）が、判定手段としてのコントローラー１００によって判定される。

このとき、ステップＳ３にて、各主要部の測定温度が、初期設定の安定温度となった（θ±α℃の範囲内であった）場合には、再設定（書き換え）を行わないが、各主要部のうち、何度測定しても安定温度にならない（安定温度との差が解消されない）主要部が１つでもあった場合には、この露光装置１０の実際の設置環境温度下と出荷前（出荷調整時）の設置環境温度下が乖離していると判断して、ステップＳ４にて、表示パネル１０８に安定温度の再設定（書き換え）が必要であることが表示される。

表示パネル１０８に安定温度の再設定（書き換え）が必要である旨の表示がされたら、ステップＳ５にて、書換手段としてのキーボード１１０を操作して安定温度の再取得と再設定（書き換え）を行う。具体的には、所定の時間を隔てて複数の温度を測定し、その測定した温度から新しい安定温度を算出して取得する。そして、その取得した新しい安定温度をキーボード１１０により入力して、実際の設置環境温度下での「安定温度」として再設定する。

なお、この作業は、通常サービスマンが行うが、コントローラー１００により自動的に再設定される（書き換わる）構成であってもよい。また、このようにして再設定した（書き換えた）安定温度は、再度設置環境が変わるようなことがない限り変動することはないので、通常は１回の調整で済む。何れにしても、このような構成により、露光装置１０の環境温度変動に対するマージン（適応範囲）を増加させることができる（広げることができる）。

また、これに伴い、装置固有のパラメーターが変更される場合がある。例えば、光量測定器によって光量のばらつきが測定され、シェーディングや露光量の再調整（変更）がなされたり、ビーム位置検出用基準板及び受光素子によって各ビームの露光位置や各画像（露光エリア５２）のつなぎ、露光ヘッド４６の傾き、倍率等が補正（変更）されたりする。このような固有パラメーターの変更も、キーボード１１０により入力することで行われる。

次に、露光動作について説明する。露光装置１０の露光動作は、上記した空調動作が実行されている状態で行われる。露光動作においては、まず、感光材料４０の露光パターンに応じた画像データがコントローラー１００に入力される。すると、コントローラー１００は内蔵されたメモリーに画像データを一旦記憶する。この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。

次に、オペレーターは、装置設置環境に置かれている露光対象の感光材料４０を露光装置１０にセットするため、セット部１２Ｂの開閉パネル１９を開放して装置本体２０のステージ２８上に感光材料４０を載置する。

なお、この露光装置１０によって画像露光を行う感光材料４０としては、プリント配線板や、液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板やガラスプレート等の表面に、感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布したもの、又ドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。

ここで、この感光材料４０については、製造過程で付着した塵埃等が除去しきれず、僅かに付着した状態で装置設置環境に搬入されることもある。その場合、ステージ２８上へのセット作業時に、オペレーターの手が感光材料４０に触れ、又は振動が加えられることで、感光材料４０から塵埃が落ちて収容室１３内に入りやすくなる。

これに対し、この露光装置１０では、開閉パネル１９が開放されると、ステージ２８上を走査方向に沿って送風される冷却空気が、セット部１２Ｂの開口１８を通して外部へ排気されるため（図３の矢印ＡＲ１３）、感光材料４０から落ちた塵埃がその風圧で吹き飛ばされて、収容室１３内に入り難くできる。また、仮に収容室１３内に侵入したとしても、上記の冷却空気によってステージ２８上に落下する前にステージ２８の後方へ吹き飛ばされ、そのステージ２８の後方で生じている下降流（図３の矢印ＡＲ９、ＡＲ１２）によって室外へ排出される。

また、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａは、コントローラー１００によって駆動制御されるステッピングモーター３６の駆動力で、昇降機構３２が作動することにより昇降する（図１の矢印Ｚ方向）。これにより、厚さの異なる複数種類の感光材料に対する露光などにも対応できている。

また、コントローラー１００は、このステージ昇降用のステッピングモーター３６に対し、待機状態となるパルス信号の停止時に、供給するモーター駆動電流を所定量（例えば約５０％）低下させるカレントダウン制御を行う。これにより、待機時におけるステッピングモーター３６の発熱が抑えられる。

オペレーターは、コントローラー１００からの入力操作で、露光する感光材料４０に応じた感光材料載置面２８Ａの高さ設定を完了させた後に、原点位置に停止されたステージ２８の感光材料載置面２８Ａに感光材料４０をセットし、開閉パネル１９を閉塞してコントローラー１００から露光動作の開始操作を行う。すると、コントローラー１００に制御されて負圧供給源が作動し、感光材料４０はステージ２８上に吸着されて保持される。

続いて、コントローラー１００によりリニアサーボモーター３８が駆動制御され、感光材料４０を保持したステージ２８は、ガイドレール２６に沿ってアライメント計測方向（矢印ＹＡ方向／往路移動方向）に一定速度で移動を開始する。このステージ２８の移動に伴い、感光材料４０が除電装置９８の下方を通過する際には、コントローラー１００に制御されて動作する除電装置９８からのエアブローにより、静電気で感光材料４０に付着している塵埃が取り除かれて露光面が清掃される。また、このエアブロー清掃で感光材料４０から除去された塵埃も、ステージ２８上を走査方向に沿って送風される冷却空気によってステージ後方へ吹き飛ばされて室外へ排出される。

ステージ２８が更に移動し、感光材料４０がアライメントユニット６０の下方を通過する際には、コントローラー１００に制御された各カメラ６２によって、感光材料４０の各アライメントマークＭが撮影されて、アライメント計測が行われる。このアライメント計測で、各カメラ６２は、真下（レンズ部６２Ｂの光軸上）を通過するアライメントマークＭを所定のタイミングでそれぞれ撮影し、その撮影した画像データ、即ち露光位置の基準がアライメントマークＭによって示された基準位置データを含む画像データをコントローラー１００へ出力する。

コントローラー１００は、入力された各アライメントマークＭの画像データ（基準位置データ）から判明する画像内におけるマーク位置及びマーク間ピッチ等と、リニアエンコーダー３７からのパルス信号から判明する、そのアライメントマークＭを撮影したときのステージ２８の位置、及びカメラ６２の位置から、演算処理によって、ステージ２８上における感光材料４０の載置位置のずれ、移動方向に対する感光材料４０の傾きのずれ、及び、感光材料４０の寸法精度誤差等を把握し、感光材料４０の被露光面に対する適正な露光位置を算出する。

そして、後述する露光ユニット４４による画像露光時に、メモリーに記憶されている露光パターンの画像データに基づいて生成する制御信号を、その適正な露光位置に合わせ込んで画像露光する露光位置ずれの補正（アライメント）を実行する。こうして、感光材料４０がアライメントユニット６０の下方を通過すると、アライメント計測が完了し、図１０に示すように、ステージ２８が往路移動方向における最下流位置に達すると、コントローラー１００は、リニアサーボモーター３８を制御して逆方向へ駆動させる。

ここで、ステージ２８がアライメント計測方向へ進行している途中や、図１０に示す最下流部に位置しているときも、上述した空調動作が継続されていることで、収容室１３内及びステージ２８上では常に冷却空気が走査方向に沿って送風されている。したがって、このようにステージ２８が移動しても、収容室１３における走査方向に沿った温度分布は略均一な状態に保たれ、走査方向に沿った温度変化も起こり難くされる。そして、各主要部も安定温度に維持される。

往路移動方向における最下流位置に達したステージ２８は、リニアサーボモーター３８の逆方向への駆動によって反転移動し、ガイドレール２６に沿って走査方向（矢印ＹＢ方向／復路移動方向）に一定速度で移動を開始する。このステージ２８の移動に伴い、感光材料４０が露光ユニット４４の下方を通過する際には、露光面の画像露光領域が露光開始位置に達すると、コントローラー１００に制御された露光ユニット４４の各露光ヘッド４６は、露光ビームを照射して感光材料４０の露光面に対する画像露光を開始する。

ここで、コントローラー１００は、メモリーに記憶された画像データを複数ライン分ずつ順次読み出し、その画像データに基づいて各露光ヘッド４６の制御信号を生成する。この制御信号には、前述した露光ビームの光量分布を均一化するシェーディング調整と露光量の調整、及びアライメント計測によって得られた感光材料４０に対する露光位置ずれの補正が加えられる。そして、この生成及び補正された制御信号に基づいて各露光ヘッド４６のＤＭＤを制御する。

また、コントローラー１００に制御された光源ユニット５０はレーザー光を出射し、このレーザー光が各露光ヘッド４６のＤＭＤに照射されると、ＤＭＤの画素毎に変調された露光ビームが各露光ヘッド４６から感光材料４０に照射され、感光材料４０の露光面がＤＭＤの使用画素数と略同数の画素単位（露光エリア）で露光される。これにより、ステージ２８と共に一定速度で移動される感光材料４０は、露光ユニット４４によって走査露光され、露光ヘッド４６毎に帯状の露光済み領域５４（図８参照）が形成される。

こうして、感光材料４０が露光ユニット４４の下方を通過すると、画像露光が完了し、ステージ２８はリニアサーボモーター３８の駆動力で、そのまま走査方向の下流側へ移動する。そして、復路移動方向における最下流位置の原点位置に戻って停止し、ステージ２８上への負圧供給源からの負圧供給が解除されて、感光材料４０に対する露光動作が終了する。

その後、オペレーターは、セット部１２Ｂの開閉パネル１９を開放して、この露光済の感光材料４０をステージ２８上から取り出し、続けて露光する場合は、新たな（未露光の）感光材料４０をステージ２８上に載置し、開閉パネル１９を閉塞して、再びコントローラー１００から露光動作の開始操作を行う。このような露光動作の手順を繰り返すことにより、露光装置１０によって複数枚の感光材料４０を連続的に露光することができ、これにより、露光済の感光材料４０が連続生産される。

以上、説明したように、本実施形態の露光装置１０では、空調動作によって空調機８０からダクト８２を通して収容室１３（露光室１５）に供給された空気は、風向変更板９０によって走査方向に沿った方向へ送風されるため、収容室１３における走査方向に沿った温度分布は均一になり、走査方向に沿った温度変化は起こり難くなる。これにより、ステージ２８によって走査方向に沿った方向へ往復搬送される感光材料４０が、その走査方向に沿った温度分布や温度変化で熱変形し、露光位置ずれなどの精度低下を招くことが抑えられる。したがって、高精度な画像露光を実現することができる。

また、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａ上や、感光材料載置面２８Ａに載置された感光材料４０上は、この走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気によって清掃され、塵埃等が蓄積することなくクリーンな状態に保たれる。これにより、感光材料載置面２８Ａに載置される感光材料４０の浮きや位置ずれ、あるいは感光材料４０上における塵埃等の蓄積が抑えられ、それらを要因とする露光精度の低下を防止することができる。

特に、ここでは、空調機８０から清浄化された冷却空気が供給されるため、収容室１３の空気清浄度が向上し、収容室１３内を浮遊する塵埃等による露光への悪影響を防止できる。また、この清浄化された冷却空気が走査方向に沿った方向へ送風されることにより、ステージ２８の感光材料載置面２８Ａや測定ユニット７０、ステージ移動路上、更には露光ユニット４４やアライメントユニット６０等の塵埃等による汚染がより確実に防止される。

また、本実施形態では、ダクト８２から下方へ吹き出された冷却空気の送風方向を、風向変更板９０によって走査方向に沿った方向へ変更しており、これによって、例えば収容室１３内に配設される装置構成部との関係で、ダクト８２の設置位置や吹き出し方向が制限されるような場合でも、ダクト８２から吹き出された空気を、風向変更板９０によって容易に走査方向に沿った方向へ変更して送風することができる。

また、本実施形態のように風向変更板９０を可動式として傾斜角度を調整可能とした構成であれば、送風方向を微調整するようなことも可能となる。更に、本実施形態では、空調機８０からの冷却空気が、ダクト８２の先端部８２Ａ（直線状部）を通過して吹出口８２Ｂから吹き出されるため、吹出口８２Ｂ以降の空気の流れ（送風方向）が安定し、所望の方向（風向変更板９０側）に正確に送風することができる。

また、前述した流速（９．４ｍ／ｓ）及び流量（１０ｍ³／ｍｉｎ）の元では、本実施形態のようにダクト８２の直線状部の長さを３０ｃｍ以上に設定することにより、上記の効果が得られる。但し、流速や流量は空調条件に応じて適宜設定されるものであるため、例えば流速及び流量が上記の値より大きくされる場合でも充分な効果が得られるようにするためには、直線状に形成するダクト８２の先端部８２Ａの長さ（Ｌ）は長いほど好ましい。

また、本実施形態では、ステージ２８の前方、すなわち、感光材料載置面２８Ａに対し、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流動方向における上流側に設けられた導風板９６によって、上記の冷却空気がより多く載置面上へ導かれるようになるため、感光材料載置面２８Ａ、及び感光材料載置面２８Ａに載置された感光材料４０の温度変化が、更に起こり難くされ、温度の安定性が高められる。更に、感光材料載置面２８Ａ上の送風量が増加することにより、送風による感光材料載置面２８Ａ上の清掃性も向上する。

また、本実施形態では、感光材料４０に対する露光位置を補正するために感光材料４０に設けられたアライメントマークＭを読み取る複数のカメラ６２は、ユニットベース６４に取り付けられてステージ移動路上に配設されている。このユニットベース６４は、断面がＴ字状とされて上部以外はフラットであり、特に下部側に突起等が存在しない形状とされている。

そのため、このユニットベース６４の下方をステージ２８が往復移動しても、図３及び図１０のＢ部（一点鎖線の四角）に示すように、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気の流れ（流動状態）はユニットベース６４によって変化されずに略一定となり、ユニットベース６４及びカメラ６２の空冷状態が安定する。

このように、ユニットベース６４は、ステージ２８が移動しても走査方向に沿った方向へ送風される空気の流れを略変化させない形状とされているため、ユニットベース６４及びカメラ６２の温度変化が抑えられて温度は一定に保たれ、この温度変化を要因とするカメラ６２の位置ずれ、即ちアライメントマークＭの読取位置の精度低下が抑えられる。更に、ステージ２８によって搬送され、ユニットベース６４及びカメラ６２に対して相対移動する感光材料４０の空冷状態も安定し、熱変形が抑えられる。

また、このユニットベース６４は、両端部が一対の支柱４２に支持されており、この一対の支柱４２と共に、ステージ移動路上にゲート状の構造物を構成して配設されている。ユニットベース６４の下方においては、この対向して配置された一対の支柱４２が、走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気を整流する整流部（整流手段）として機能している。

すなわち、図６に示すように、ユニットベース６４付近を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気（矢印ＡＲ１４）は、対向する一対の支柱４２間を通過することで、乱流や外側へ広がる拡散流の発生が抑えられて整流される。これにより、この一対の支柱４２間を通過する冷却空気の流動状態が安定し、ユニットベース６４の温度変化及びそれを要因とする悪影響がより効果的に抑えられている。

また、本実施形態では、ステージ２８を駆動するリニアサーボモーター３８のコイル部３８Ｂが断熱ブッシュ３９を介してステージ２８を支持する基盤３０に取り付けられているため（図７参照）、例えばステージ２８を連続移動させることでコイル部３８Ｂの高温状態が継続されるような場合でも、コイル部３８Ｂから基盤３０及び昇降機構３２を介してステージ２８に伝導される熱量は断熱ブッシュ３９によって低減される。これにより、ステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられ、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられる。

また、このコイル部３８Ｂは、基盤３０の下面に露出されて取り付けられているため、ステージ２８が連続移動されることで高温となるような場合でも、図７（Ａ）に示すように、基盤３０の下面側を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気（矢印ＡＲ１５）によって効率よく冷却される。これにより、コイル部３８Ｂ及びステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられ、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられる。

また、ステージ２８を昇降するステッピングモーター３６についても、昇降機構３２の側面部に露出されて取り付けられているため、図６に示すように、昇降機構３２の側面側を走査方向に沿った方向へ送風される冷却空気（矢印ＡＲ１６）によって効率よく冷却される。これにより、ステッピングモーター３６及びステージ２８の温度上昇（温度変化）が抑えられ、ステージ２８からの熱伝導による感光材料４０の熱変形が抑えられる。

また、本実施形態では、ステージ２８近傍の温度が温度センサー７２によって測定され、その測定温度に基づいて、コントローラー１００に制御された空調機８０は収容室１３（露光室１５）に供給する冷却空気の温度調整を行っている。このように、収容室１３の空調をステージ近傍の測定温度を用いて行うことにより、装置外部からステージ２８にセットされた感光材料４０の温度（装置設置環境の温度）に即した室温制御が可能となり、例えば感光材料４０の温度に収容室１３の温度（室温）を近づけることも可能となる。これにより、ステージ２８への載置後に、装置設置環境と室温の温度差によって生じる感光材料４０の熱変形量が抑えられるようになる。

更に、ここでは、空調機８０の吸気口８４に設けた温度センサー８６によって、外気の温度を測定することにより、露光前の感光材料４０が置かれる装置設置環境の温度を把握し、その外気の測定温度及び収容室１３の測定温度に基づいて、コントローラー１００に制御された空調機８０が収容室１３（露光室１５）に供給する空気の調整温度を変更している。

このように、収容室１３の空調に装置設置環境の温度を利用することでも、装置外部からステージ２８に載置された感光材料４０の温度（装置設置環境の温度）に即した収容室１３の温度制御が可能であり、本実施形態のように、収容室１３の温度（室温）を装置設置環境の温度に近づける空調を行うことで、ステージ２８に載置された感光材料４０における装置設置環境と室温の温度差によって生じる熱変形量が抑えられるようになる。また、この場合は、ステージ２８近傍に設けた温度センサー７２による収容室１３の室温測定とは無関係に、装置設置環境の温度、即ち感光材料４０の温度が外気の温度測定を通して把握できるため、収容室１３の温度制御が迅速に行えるようになる。

また、本実施形態では、装置動作時に発熱する光源ユニット５０、電源ユニット７４、制御ユニット７６を、収容室１３とは独立して設けた部品収容室４９に収容し、また、装置動作時に発熱する制御基板１０２を、収容室１３とは独立させてカバー体１２の壁面に沿って形成した部品収容室１７に収容していることにより、収容室１３内に設けられる発熱部品（熱源）の数を少なくすることができている。これにより、収容室１３の温度変化が抑えられて空調制御が容易となり、感光材料４０の走査方向に沿って生じる温度分布や温度変化が抑制しやすくなる。

また、本実施形態では、主要部（露光ヘッド４６、カメラ６２、ステージ２８、リニアエンコーダー３７、測定ユニット７０）周辺の温度を測定し、その測定温度と安定温度との差が一向に解消されない場合には、出荷調整時の設置環境温度下と実際の設置環境温度下とが著しく乖離していると判断して、安定温度を再設定（書き換え）可能になっている。つまり、この露光装置１０の設置環境温度に対する適応範囲は広範囲とされている。したがって、実際の設置環境温度に対応して、常に適切な安定温度での（画像露光品質が保証された状態での）露光処理が実行できる。

露光装置を示す概略斜視図 装置本体がカバー体に収容された状態の露光装置を示す概略側面図 カバー体に収容された状態の装置本体を示す概略側面図 露光装置本体を示す概略平面図 カバー体に収容された状態の装置本体を示す概略背面図 露光装置本体に設けられたステージを示す概略斜視図 （Ａ）ステージを示す概略平面図、（Ｂ）ステージを示す概略正面図、（Ｃ）（Ｂ）のコイル部付近を拡大した拡大正面図 （Ａ）露光ユニットによって露光された露光パターンを示す概略平面図、（Ｂ）露光ユニットに設けられた複数の露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図 アライメントユニットを示す概略斜視図 図３の装置本体において、ステージが往路移動方向における最下流位置に配置された状態を示す概略側面図 本発明の動作を説明するフローチャート

符号の説明

１０ 露光装置
１３ 収容室
１５ 露光室
２０ 装置本体
２８ ステージ（搬送手段）
３７ リニアエンコーダー
４０ 感光材料
４４ 露光ユニット
４６ 露光ヘッド（露光手段）
５８ 温度センサー（温度測定手段）
６０ アライメントユニット
６２ カメラ
７０ 測定ユニット
７２ 温度センサー
８０ 空調機
８２ ダクト
８６ 温度センサー
９０ 風向変更板
９６ 導風板
９８ 除電装置
１００ コントローラー（判定手段）
１０８ 表示パネル（表示手段）
１１０ キーボード（書換手段／変更手段）

Claims (4)

1. 光ビームを照射して感光材料を走査露光する露光手段と、
   前記露光手段に対して相対移動し、前記感光材料を走査方向に沿って搬送する搬送手段と、
   前記露光手段及び前記搬送手段が移動可能に収容された収容室と、
   前記露光手段及び前記搬送手段の少なくとも一方を含む前記収容室の複数箇所に設けられ、該複数箇所の温度を測定する温度測定手段と、
   前記温度測定手段による測定結果から前記複数箇所毎の温度安定度合いを判定するとともに、安定と判定された温度と該複数箇所毎に予め設定された安定温度とを比較して、該複数箇所毎の安定状態を判定する判定手段と、
   前記判定手段の判定結果に基づき、前記安定温度を書き換える書換手段と、
   を有することを特徴とする露光装置。
2. 前記安定温度の書き換えが必要であることを表示する表示手段を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記安定温度の書き換えに伴い、装置固有のパラメーターを変更する変更手段を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の露光装置。
4. 前記パラメーターの変更が必要であることを表示する表示手段を有することを特徴とする請求項３に記載の露光装置。

Images