JP2003225625A - 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 - Google Patents
基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置Info
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- JP2003225625A JP2003225625A JP2002027686A JP2002027686A JP2003225625A JP 2003225625 A JP2003225625 A JP 2003225625A JP 2002027686 A JP2002027686 A JP 2002027686A JP 2002027686 A JP2002027686 A JP 2002027686A JP 2003225625 A JP2003225625 A JP 2003225625A
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】被洗浄物である基板又はシート等に接触するこ
となく、その表面に付着した塵埃、汚染微粒子を迅速
に、しかも簡易かつ確実に除去しようとするものであ
る。 【解決手段】 被洗浄物である基板又はシート等（２）
の表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微
粒子（６）をプラスに帯電させると共に、このプラスに
帯電した塵埃或いは汚染微粒子（６）を、帯電物体捕集
ユニット（５）内でマイナスに帯電したマイナス帯電ロ
ール（８）により電気的に吸引すると共に、エアーフロ
ー式除塵ユニット（１１）内で圧縮空気を吹き付けると
同時に減圧して剥離して浮遊した塵埃或いは汚染微粒子
（６）を吸引することで、基板又はシート等に触れるこ
となく、その種類にかかわらず塵埃或いは汚染微粒子を
迅速に、しかも簡易かつ確実に除去することができる。
となく、その表面に付着した塵埃、汚染微粒子を迅速
に、しかも簡易かつ確実に除去しようとするものであ
る。 【解決手段】 被洗浄物である基板又はシート等（２）
の表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微
粒子（６）をプラスに帯電させると共に、このプラスに
帯電した塵埃或いは汚染微粒子（６）を、帯電物体捕集
ユニット（５）内でマイナスに帯電したマイナス帯電ロ
ール（８）により電気的に吸引すると共に、エアーフロ
ー式除塵ユニット（１１）内で圧縮空気を吹き付けると
同時に減圧して剥離して浮遊した塵埃或いは汚染微粒子
（６）を吸引することで、基板又はシート等に触れるこ
となく、その種類にかかわらず塵埃或いは汚染微粒子を
迅速に、しかも簡易かつ確実に除去することができる。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】この発明は、基板又はシート
等の表面に付着する、例えば樹脂や金属の塵埃或いは汚
染微粒子を除塵してなる基板又はシート等の除塵方法
と、その方法を使用した基板又はシート等の除塵装置に
関する。
等の表面に付着する、例えば樹脂や金属の塵埃或いは汚
染微粒子を除塵してなる基板又はシート等の除塵方法
と、その方法を使用した基板又はシート等の除塵装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、基板又はシート等においては、そ
の表面に印刷されることとなる回路等のファインパター
ン化が進んでいるため、例えば、製造工程において生じ
る樹脂や金属等の塵埃或いは汚染微粒子が基板又はシー
トの表面に印刷された回路に付着してしまうことよって
発生する短絡や接続不良等が問題となっている。そのた
め、このような基板又はシート等の表面に付着すること
となる、例えば樹脂や金属等の塵埃、汚染微粒子を除去
するために、基板又はシート等のクリーンルーム内にお
ける製造、水等の溶媒による基板又はシート表面の超音
波洗浄、或いは基板又はシート表面に粘着ゴムロールを
密着させる等の方法により除塵が行われている。
の表面に印刷されることとなる回路等のファインパター
ン化が進んでいるため、例えば、製造工程において生じ
る樹脂や金属等の塵埃或いは汚染微粒子が基板又はシー
トの表面に印刷された回路に付着してしまうことよって
発生する短絡や接続不良等が問題となっている。そのた
め、このような基板又はシート等の表面に付着すること
となる、例えば樹脂や金属等の塵埃、汚染微粒子を除去
するために、基板又はシート等のクリーンルーム内にお
ける製造、水等の溶媒による基板又はシート表面の超音
波洗浄、或いは基板又はシート表面に粘着ゴムロールを
密着させる等の方法により除塵が行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法による、例えば樹脂や金属等の塵埃、汚染微粒
子の除塵において、基板又はシート等の製造そのものを
クリーンルーム内において行うことは、製造工程におい
て発生し、空気中に浮遊して基板又はシート等の表面に
付着することとなる塵埃或いは汚染微粒子の基板又はシ
ート等の表面に対する付着自体は大幅に防ぐことができ
るものとなる。しかしながら、この基板又はシート等の
製造工程を全てクリーンルーム内において行うことは、
基板又はシート等の製造設備としては大規模なものとな
り、設備コストも含む基板又はシート等の製造における
製造コストは著しい上昇を招来してしまい、大量生産を
予定する基板又はシート等の製造においては非常に不利
なものである。また、基板又はシート等を所定の大きさ
に切断する工程では、その切断に伴って基板又はシート
等自体から塵埃或いは汚染微粒子が新たに多量に発生し
まうため、クリーンルーム内において製造作業を行って
も、基板又はシート等への塵埃或いは汚染微粒子の付着
を完全には防ぐことはできないものである。
来の方法による、例えば樹脂や金属等の塵埃、汚染微粒
子の除塵において、基板又はシート等の製造そのものを
クリーンルーム内において行うことは、製造工程におい
て発生し、空気中に浮遊して基板又はシート等の表面に
付着することとなる塵埃或いは汚染微粒子の基板又はシ
ート等の表面に対する付着自体は大幅に防ぐことができ
るものとなる。しかしながら、この基板又はシート等の
製造工程を全てクリーンルーム内において行うことは、
基板又はシート等の製造設備としては大規模なものとな
り、設備コストも含む基板又はシート等の製造における
製造コストは著しい上昇を招来してしまい、大量生産を
予定する基板又はシート等の製造においては非常に不利
なものである。また、基板又はシート等を所定の大きさ
に切断する工程では、その切断に伴って基板又はシート
等自体から塵埃或いは汚染微粒子が新たに多量に発生し
まうため、クリーンルーム内において製造作業を行って
も、基板又はシート等への塵埃或いは汚染微粒子の付着
を完全には防ぐことはできないものである。
【０００４】更に、基板又はシート等の表面に付着する
こととなる塵埃或いは汚染微粒子を除塵するために、水
等の溶媒によるによる基板又はシート等の表面の超音波
洗浄を行うものにあっては、基板又はシート等の表面に
付着することとなる塵埃或いは汚染微粒子の発生自体を
抑制するものではないが、基板又はシート表面に付着し
た塵埃或いは汚染微粒子は水等の溶媒を用いて超音波洗
浄することにより、この溶媒が超音波の振動により細部
まで浸透して、簡易かつ確実に塵埃或いは汚染微粒子を
除塵することが可能となる。しかしながら、溶媒による
洗浄に際して超音波を利用することにより、基板又はシ
ート等に印刷されるファインパターン化している回路に
対して振動による断線等の不具合を与えるおそれがあ
る。そして、例えば洗浄する溶媒として水を使用した場
合には、その揮発性の低さ故に、基板又はシート等の表
面に印刷した回路等から蒸発し難く腐食をもたらすこと
がある。また逆に、揮発性の高い溶媒、例えばアルコー
ル類等の有機溶媒を使用した場合には、基板やシート表
面に付着した塵埃、汚染微粒子のみならず、不用意な接
触によって付着することとなる油分等の除去は確実に行
えるものである。しかし、この溶媒の高い揮発性によっ
て溶媒が作業環境中に広く蔓延し易く、作業者の健康や
周辺環境に悪影響を与えてしまう恐れがある。そのた
め、この揮発性の高い溶媒による作業者の健康や周辺環
境に与える悪影響を防止するべく、この高い揮発性を有
する溶媒の使用を一定空間の閉鎖系内で行おうとした
り、或いは完全な換気を実現しようとすると、クリーン
ルームと同様に設備費用が掛かるものとなり、基板又は
シート等の製造コストの著しい上昇を招いてしまうこと
となる。
こととなる塵埃或いは汚染微粒子を除塵するために、水
等の溶媒によるによる基板又はシート等の表面の超音波
洗浄を行うものにあっては、基板又はシート等の表面に
付着することとなる塵埃或いは汚染微粒子の発生自体を
抑制するものではないが、基板又はシート表面に付着し
た塵埃或いは汚染微粒子は水等の溶媒を用いて超音波洗
浄することにより、この溶媒が超音波の振動により細部
まで浸透して、簡易かつ確実に塵埃或いは汚染微粒子を
除塵することが可能となる。しかしながら、溶媒による
洗浄に際して超音波を利用することにより、基板又はシ
ート等に印刷されるファインパターン化している回路に
対して振動による断線等の不具合を与えるおそれがあ
る。そして、例えば洗浄する溶媒として水を使用した場
合には、その揮発性の低さ故に、基板又はシート等の表
面に印刷した回路等から蒸発し難く腐食をもたらすこと
がある。また逆に、揮発性の高い溶媒、例えばアルコー
ル類等の有機溶媒を使用した場合には、基板やシート表
面に付着した塵埃、汚染微粒子のみならず、不用意な接
触によって付着することとなる油分等の除去は確実に行
えるものである。しかし、この溶媒の高い揮発性によっ
て溶媒が作業環境中に広く蔓延し易く、作業者の健康や
周辺環境に悪影響を与えてしまう恐れがある。そのた
め、この揮発性の高い溶媒による作業者の健康や周辺環
境に与える悪影響を防止するべく、この高い揮発性を有
する溶媒の使用を一定空間の閉鎖系内で行おうとした
り、或いは完全な換気を実現しようとすると、クリーン
ルームと同様に設備費用が掛かるものとなり、基板又は
シート等の製造コストの著しい上昇を招いてしまうこと
となる。
【０００５】一方、基板又はシート等の表面に付着した
塵埃或いは汚染微粒子を、粘着ゴムロールをその表面に
密着させて、吸着により除去しようとするものにあって
は、塵埃或いは汚染微粒子を直接吸着することとなる粘
着ゴムロールの表面の粘着力を調節することにより、基
板又はシートの表面に付着することとなるあらゆる種類
の塵埃或いは汚染微粒子に対して対応して除塵すること
ができるものとなる。しかし、この粘着ゴムロールの吸
着による塵埃或いは汚染微粒子の除塵では、基板又はシ
ート等の表面と粘着ゴムロールとの密着が避けられない
ものであるので、基板又はシート等の表面に粘着ゴムロ
ール自体の成分の汚染微粒子が付着したり、或いはその
粘着ゴムロールに吸着された塵埃等を除去するために使
用される粘着テープの接着剤が、粘着ゴムロールを介し
て基板又はシート等の表面に付着してしまうことがあ
り、その基板又はシート等自体を不良品にしてしまう恐
れがある。更に、ファインパターン化した回路等を印刷
する基板やシート表面に対して付着した塵埃或いは汚染
微粒子の除塵作業は、粘着ゴムロールの粘着性の強度に
よっては基板又はシート等の表面に印刷された回路の剥
離などの破損をもたらす危険も考えられる。また、例え
ば液晶ガラスパネル等の表面等のように、直接的に接触
することが許されないものに対しては、使用すること自
体、不可能である。
塵埃或いは汚染微粒子を、粘着ゴムロールをその表面に
密着させて、吸着により除去しようとするものにあって
は、塵埃或いは汚染微粒子を直接吸着することとなる粘
着ゴムロールの表面の粘着力を調節することにより、基
板又はシートの表面に付着することとなるあらゆる種類
の塵埃或いは汚染微粒子に対して対応して除塵すること
ができるものとなる。しかし、この粘着ゴムロールの吸
着による塵埃或いは汚染微粒子の除塵では、基板又はシ
ート等の表面と粘着ゴムロールとの密着が避けられない
ものであるので、基板又はシート等の表面に粘着ゴムロ
ール自体の成分の汚染微粒子が付着したり、或いはその
粘着ゴムロールに吸着された塵埃等を除去するために使
用される粘着テープの接着剤が、粘着ゴムロールを介し
て基板又はシート等の表面に付着してしまうことがあ
り、その基板又はシート等自体を不良品にしてしまう恐
れがある。更に、ファインパターン化した回路等を印刷
する基板やシート表面に対して付着した塵埃或いは汚染
微粒子の除塵作業は、粘着ゴムロールの粘着性の強度に
よっては基板又はシート等の表面に印刷された回路の剥
離などの破損をもたらす危険も考えられる。また、例え
ば液晶ガラスパネル等の表面等のように、直接的に接触
することが許されないものに対しては、使用すること自
体、不可能である。
【０００６】そこで、この発明は除塵すべき基板又はシ
ートの材質や、その基板又はシートの表面に付着するこ
ととなった塵埃或いは汚染微粒子の種類に関わらず、上
記塵埃或いは汚染微粒子の除塵作業を迅速に、しかも簡
易かつ確実に行えるようにするものである。
ートの材質や、その基板又はシートの表面に付着するこ
ととなった塵埃或いは汚染微粒子の種類に関わらず、上
記塵埃或いは汚染微粒子の除塵作業を迅速に、しかも簡
易かつ確実に行えるようにするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために、基板又はシ
ート表面に付着した塵埃或いは汚染微粒子の除塵にあた
っては、被洗浄物である基板又はシート等を搬送しつ
つ、その一面に対してプラスイオンを含む空気を吹き付
けて、その空気を吹き付けられた面に付着する塵埃或い
は汚染微粒子をその空気の流れ、圧力によって基板又は
シート表面から剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯
電させると共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染
微粒子に対してマイナスに帯電した単数或いは複数のマ
イナス帯電体を近接させることによって、上記プラスに
帯電した塵埃或いは汚染微粒子を主として静電気力によ
ってマイナス帯電体に捕集、吸着させて除去した後、当
該空気を吹き付けられた面を除電して中性化してなるも
のである。
ート表面に付着した塵埃或いは汚染微粒子の除塵にあた
っては、被洗浄物である基板又はシート等を搬送しつ
つ、その一面に対してプラスイオンを含む空気を吹き付
けて、その空気を吹き付けられた面に付着する塵埃或い
は汚染微粒子をその空気の流れ、圧力によって基板又は
シート表面から剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯
電させると共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染
微粒子に対してマイナスに帯電した単数或いは複数のマ
イナス帯電体を近接させることによって、上記プラスに
帯電した塵埃或いは汚染微粒子を主として静電気力によ
ってマイナス帯電体に捕集、吸着させて除去した後、当
該空気を吹き付けられた面を除電して中性化してなるも
のである。
【０００８】そしてより具体的には、吸着ロールに対し
て粘着テープロールを密着して回転させることにより、
当該吸着ロールをマイナス帯電体とするとともに、その
吸着ロールの外表面に捕集、吸着させた塵埃或いは汚染
微粒子を更に前記粘着テープロールにて転写、除去して
なるものである。
て粘着テープロールを密着して回転させることにより、
当該吸着ロールをマイナス帯電体とするとともに、その
吸着ロールの外表面に捕集、吸着させた塵埃或いは汚染
微粒子を更に前記粘着テープロールにて転写、除去して
なるものである。
【０００９】また、被洗浄物である基板又はシート等の
一面を含んで形成される略閉鎖空間内において、該被洗
浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その略閉
鎖空間内の空気を吸引することによって減圧することに
より、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気によ
り被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離して
浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間を形
成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部から導
入される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛散さ
せることなく吸引、除去してなるものである。
一面を含んで形成される略閉鎖空間内において、該被洗
浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その略閉
鎖空間内の空気を吸引することによって減圧することに
より、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気によ
り被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離して
浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間を形
成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部から導
入される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛散さ
せることなく吸引、除去してなるものである。
【００１０】そしてより具体的には、前記略閉鎖空間内
に、隔壁により被洗浄物側と吸引側とを連通する、塵埃
或いは汚染微粒子を含む汚染空気の流路となる汚染空気
吸引導流路を設けてなるものである。
に、隔壁により被洗浄物側と吸引側とを連通する、塵埃
或いは汚染微粒子を含む汚染空気の流路となる汚染空気
吸引導流路を設けてなるものである。
【００１１】更に、基板又はシート表面に付着した塵埃
或いは汚染微粒子の除塵にあたって、上記除塵方法の他
に、それらを組み合わせ、例えば被洗浄物である基板又
はシート等を搬送しつつ、その一面に対してプラスイオ
ンを含む空気を吹き付けて、その空気を吹き付けられた
面に付着する塵埃或いは汚染微粒子を剥離させ浮遊させ
ると同時にプラスに帯電させると共に、上記プラスに帯
電した塵埃或いは汚染微粒子に対してマイナスに帯電し
た単数或いは複数のマイナス帯電体を近接させることに
よって、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子を
主として静電気力によってマイナス帯電体に捕集、吸着
させて除去した後、当該空気を吹き付けられた面を除電
して中性化してなる方法と、被洗浄物である基板又はシ
ート等の一面を含んで形成される略閉鎖空間内におい
て、該被洗浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時
に、その略閉鎖空間内の空気を吸引することによって減
圧することにより、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた
圧縮空気により被洗浄物である基板又はシート等の一面
から剥離して浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略
閉鎖空間を形成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通し
て外部から導入される空気並びに上記圧縮空気と共に、
外部に飛散させることなく吸引、除去してなる方法とを
組み合わせてなる除塵方法である。
或いは汚染微粒子の除塵にあたって、上記除塵方法の他
に、それらを組み合わせ、例えば被洗浄物である基板又
はシート等を搬送しつつ、その一面に対してプラスイオ
ンを含む空気を吹き付けて、その空気を吹き付けられた
面に付着する塵埃或いは汚染微粒子を剥離させ浮遊させ
ると同時にプラスに帯電させると共に、上記プラスに帯
電した塵埃或いは汚染微粒子に対してマイナスに帯電し
た単数或いは複数のマイナス帯電体を近接させることに
よって、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子を
主として静電気力によってマイナス帯電体に捕集、吸着
させて除去した後、当該空気を吹き付けられた面を除電
して中性化してなる方法と、被洗浄物である基板又はシ
ート等の一面を含んで形成される略閉鎖空間内におい
て、該被洗浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時
に、その略閉鎖空間内の空気を吸引することによって減
圧することにより、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた
圧縮空気により被洗浄物である基板又はシート等の一面
から剥離して浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略
閉鎖空間を形成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通し
て外部から導入される空気並びに上記圧縮空気と共に、
外部に飛散させることなく吸引、除去してなる方法とを
組み合わせてなる除塵方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】上記基板又はシート表面に付着し
た塵埃或いは汚染微粒子の除塵にあたって、被洗浄物で
ある基板又はシート等を搬送しつつ、その一面に対して
プラスイオン発生ユニットにより発生させたプラスイオ
ンを含む空気を吹き付けることで、この面に付着する塵
埃或いは汚染微粒子を被洗浄物である基板又はシート等
より剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電させると
共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子に対
してマイナスに帯電した単数或いは複数の帯電体、例え
ばアクリル系樹脂からなる粘着層を持つ粘着テープロー
ルに密着して回転することにより、その外表面に付着す
る塵埃或いは汚染微粒子を該粘着テープロールに転写さ
せて除去すると同時に、粘着テープロールとの摩擦によ
りマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマイナス帯
電ロールを近接させることによって、上記プラスに帯電
した塵埃或いは汚染微粒子を捕集、吸着して除去した
後、更に高周波放電式除電ユニットにより発生させたマ
イナスイオンを含む空気を上記被洗浄物である基板又は
シート等の当該一面に吹き付けて中性化してなるので、
基板又はシート表面に付着した塵埃或いは汚染微粒子を
迅速に、しかも簡易かつ確実に除塵し、その上、除塵後
の基板又はシート等の表面からのスパークも防止するこ
とができる。
た塵埃或いは汚染微粒子の除塵にあたって、被洗浄物で
ある基板又はシート等を搬送しつつ、その一面に対して
プラスイオン発生ユニットにより発生させたプラスイオ
ンを含む空気を吹き付けることで、この面に付着する塵
埃或いは汚染微粒子を被洗浄物である基板又はシート等
より剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電させると
共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子に対
してマイナスに帯電した単数或いは複数の帯電体、例え
ばアクリル系樹脂からなる粘着層を持つ粘着テープロー
ルに密着して回転することにより、その外表面に付着す
る塵埃或いは汚染微粒子を該粘着テープロールに転写さ
せて除去すると同時に、粘着テープロールとの摩擦によ
りマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマイナス帯
電ロールを近接させることによって、上記プラスに帯電
した塵埃或いは汚染微粒子を捕集、吸着して除去した
後、更に高周波放電式除電ユニットにより発生させたマ
イナスイオンを含む空気を上記被洗浄物である基板又は
シート等の当該一面に吹き付けて中性化してなるので、
基板又はシート表面に付着した塵埃或いは汚染微粒子を
迅速に、しかも簡易かつ確実に除塵し、その上、除塵後
の基板又はシート等の表面からのスパークも防止するこ
とができる。
【００１３】また、被洗浄物である基板又はシート等の
一面を含んで形成される略閉鎖空間内において、該被洗
浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その略閉
鎖空間内の空気を吸引することによって減圧することに
より、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気によ
り被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離して
浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間を形
成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部から導
入される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛散さ
せることなく吸引空気の圧力差を利用し高速の流れ（風
速）により除去することで、同様に基板又はシート表面
に付着した塵埃或いは汚染微粒子、特にプラスに帯電す
ることのない例えば非絶縁性金属の塵埃或いは汚染微粒
子を迅速に、しかも簡易かつ確実に除塵することができ
る。そして特に、前記略閉鎖空間内に、適切な間隔を提
供する隔壁により被洗浄物側と吸引側とを連通する汚染
空気吸引導流路を設けることにより、より確実に、上記
略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気により被洗浄物
である基板又はシート等の一面から剥離して浮遊する塵
埃或いは汚染微粒子を吸引、除去することができるもの
である。
一面を含んで形成される略閉鎖空間内において、該被洗
浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その略閉
鎖空間内の空気を吸引することによって減圧することに
より、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気によ
り被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離して
浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間を形
成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部から導
入される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛散さ
せることなく吸引空気の圧力差を利用し高速の流れ（風
速）により除去することで、同様に基板又はシート表面
に付着した塵埃或いは汚染微粒子、特にプラスに帯電す
ることのない例えば非絶縁性金属の塵埃或いは汚染微粒
子を迅速に、しかも簡易かつ確実に除塵することができ
る。そして特に、前記略閉鎖空間内に、適切な間隔を提
供する隔壁により被洗浄物側と吸引側とを連通する汚染
空気吸引導流路を設けることにより、より確実に、上記
略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気により被洗浄物
である基板又はシート等の一面から剥離して浮遊する塵
埃或いは汚染微粒子を吸引、除去することができるもの
である。
【００１４】更に、基板又はシート表面に付着した塵埃
或いは汚染微粒子の除塵にあたって、上記被洗浄物であ
る基板又はシート等を搬送しつつ、その一面に対してプ
ラスイオン発生ユニットにより発生させたプラスイオン
を含む空気を吹き付けることで、この面に付着する塵埃
或いは汚染微粒子を剥離させ浮遊させると同時にプラス
に帯電させると共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは
汚染微粒子に対してマイナスに帯電した単数或いは複数
の帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着テープロ
ールに密着して回転することにより、その外表面に付着
する塵埃或いは汚染微粒子を該粘着テープロールに転写
させて除去すると同時に、粘着テープロールとの摩擦に
よりマイナスに帯電するシリコン樹脂（なお、シリコン
樹脂は接触した相手をプラスの帯電にさせ、自身はマイ
ナスの帯電を起こす帯電列に位置する典型的な材料であ
る。）からなるマイナス帯電ロールを近接させることに
よって、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子を
捕集、吸着して除去した後、更に高周波放電式除電ユニ
ットにより発生させたマイナスイオンを含む空気を吹き
付けて上記被洗浄物である基板又はシート等の当該面を
中性化してなる方法と、被洗浄物である基板又はシート
等の一面を含んで形成される略閉鎖空間内において、該
被洗浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その
略閉鎖空間内の空気を吸引することによって減圧するこ
とにより、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気
により被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離
して浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間
を形成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部か
ら導入される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛
散させることなく吸引、除去してなる方法とを組み合わ
せることにより、被洗浄物である基板又はシート等の表
面に付着することとなる塵埃或いは汚染微粒子の種類に
関わりなく、より迅速に、しかも簡易かつ確実に、更に
安全を確保しつつ除塵することができるものとなる。
或いは汚染微粒子の除塵にあたって、上記被洗浄物であ
る基板又はシート等を搬送しつつ、その一面に対してプ
ラスイオン発生ユニットにより発生させたプラスイオン
を含む空気を吹き付けることで、この面に付着する塵埃
或いは汚染微粒子を剥離させ浮遊させると同時にプラス
に帯電させると共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは
汚染微粒子に対してマイナスに帯電した単数或いは複数
の帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着テープロ
ールに密着して回転することにより、その外表面に付着
する塵埃或いは汚染微粒子を該粘着テープロールに転写
させて除去すると同時に、粘着テープロールとの摩擦に
よりマイナスに帯電するシリコン樹脂（なお、シリコン
樹脂は接触した相手をプラスの帯電にさせ、自身はマイ
ナスの帯電を起こす帯電列に位置する典型的な材料であ
る。）からなるマイナス帯電ロールを近接させることに
よって、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子を
捕集、吸着して除去した後、更に高周波放電式除電ユニ
ットにより発生させたマイナスイオンを含む空気を吹き
付けて上記被洗浄物である基板又はシート等の当該面を
中性化してなる方法と、被洗浄物である基板又はシート
等の一面を含んで形成される略閉鎖空間内において、該
被洗浄物の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その
略閉鎖空間内の空気を吸引することによって減圧するこ
とにより、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気
により被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離
して浮遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間
を形成する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部か
ら導入される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛
散させることなく吸引、除去してなる方法とを組み合わ
せることにより、被洗浄物である基板又はシート等の表
面に付着することとなる塵埃或いは汚染微粒子の種類に
関わりなく、より迅速に、しかも簡易かつ確実に、更に
安全を確保しつつ除塵することができるものとなる。
【００１５】
【実施例】この発明を図に示す実施例により更に説明す
る。図１において示す（１）は、この発明の第１実施例
である基板又はシート等の除塵装置であり、この基板又
はシート等の除塵装置（１）は、前処理工程より被洗浄
物である基板又はシート等（２）を搬送し、又、後処理
工程へ当該被洗浄物を搬送する搬送機構（１８）の間に
設置され、基板又はシート等（２）を上下方向から搬送
ロール（４）により挟持しつつ前進或いは後退可能とし
てなる搬送装置（３）と、この搬送装置（３）によって
適宜搬送されてくる被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表面（２’）に対して、プラスイオンを含むプ
ラスイオン圧縮空気（７’）を吹き付けることで、この
表面（２’）に付着する例えば樹脂或いは金属の塵埃或
いは汚染微粒子（６）を、プラスに帯電させるプラスイ
オン発生ユニット（７）と、被洗浄物である基板又はシ
ート等（２）の表面（２’）に付着する、例えば樹脂或
いは金属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を電気的に吸引
し、除去してなる帯電物体捕集ユニット（５）、並びに
マイナスイオンを含むマイナスイオン圧縮空気（１
０’）を吹き付けて、上記被洗浄物である基板又はシー
ト等（２）の表面（２’）を電気的に中性化してなる高
周波放電式除電ユニット（１０）から構成される。そし
て、この第１実施例においては、被洗浄物である基板又
はシート等（２）の表裏面（２’）（２”）を同時に除
塵するために、前記プラスイオン発生ユニット（７）、
帯電物体捕集ユニット（５）及び高周波放電式除電ユニ
ット（１０）がそれぞれ上下一対として設けられた上、
その上下一対の帯電物体捕集ユニット（５）（５）は並
列して２組設けられている。なお、（１６）は、基板又
はシート等の除塵装置（１）の始動、停止を操作するこ
ととなるスイッチ等が配置してある操作パネルである。
る。図１において示す（１）は、この発明の第１実施例
である基板又はシート等の除塵装置であり、この基板又
はシート等の除塵装置（１）は、前処理工程より被洗浄
物である基板又はシート等（２）を搬送し、又、後処理
工程へ当該被洗浄物を搬送する搬送機構（１８）の間に
設置され、基板又はシート等（２）を上下方向から搬送
ロール（４）により挟持しつつ前進或いは後退可能とし
てなる搬送装置（３）と、この搬送装置（３）によって
適宜搬送されてくる被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表面（２’）に対して、プラスイオンを含むプ
ラスイオン圧縮空気（７’）を吹き付けることで、この
表面（２’）に付着する例えば樹脂或いは金属の塵埃或
いは汚染微粒子（６）を、プラスに帯電させるプラスイ
オン発生ユニット（７）と、被洗浄物である基板又はシ
ート等（２）の表面（２’）に付着する、例えば樹脂或
いは金属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を電気的に吸引
し、除去してなる帯電物体捕集ユニット（５）、並びに
マイナスイオンを含むマイナスイオン圧縮空気（１
０’）を吹き付けて、上記被洗浄物である基板又はシー
ト等（２）の表面（２’）を電気的に中性化してなる高
周波放電式除電ユニット（１０）から構成される。そし
て、この第１実施例においては、被洗浄物である基板又
はシート等（２）の表裏面（２’）（２”）を同時に除
塵するために、前記プラスイオン発生ユニット（７）、
帯電物体捕集ユニット（５）及び高周波放電式除電ユニ
ット（１０）がそれぞれ上下一対として設けられた上、
その上下一対の帯電物体捕集ユニット（５）（５）は並
列して２組設けられている。なお、（１６）は、基板又
はシート等の除塵装置（１）の始動、停止を操作するこ
ととなるスイッチ等が配置してある操作パネルである。
【００１６】そして、搬送装置（３）によって適宜搬送
されてくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）に付着する、例えば樹脂或いは金
属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を電気的に吸引し、除
去するには、まず被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して、各プラスイ
オン発生ユニット（７）（７）により発生させたプラス
イオンを含むプラスイオン圧縮空気（７’）を吹き付け
ることで、この表裏面（２’）（２”）に付着する例え
ば樹脂或いは金属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を剥離
させ浮遊させると同時にプラスに帯電させる。次に、こ
れら剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電した上記
塵埃或いは汚染微粒子（６）を有する基板又はシート等
（２）が搬送ロール（４）により一対の帯電物体捕集ユ
ニット（５）（５）に搬入され、この塵埃或いは汚染微
粒子（６）に対してそれぞれマイナスに帯電したマイナ
ス帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着層を有す
る粘着テープロール（９）に密着して回転することによ
り、その外表面に付着する塵埃或いは汚染微粒子（６）
を該粘着テープロール（９）に転写させて除去すると同
時に、粘着テープロール（８）との摩擦によりマイナス
に帯電するシリコン樹脂からなるマイナス帯電ロール
（８）を近接させることによって、上記剥離させ浮遊さ
せると同時にプラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子
（６）を各マイナス帯電ロール（８）（８）に電気的に
捕集、吸着して、除去してなるものである。そして、こ
の一対の帯電物体捕集ユニット（５）（５）を更に２組
並列することによって、基板又はシート等（２）の表裏
面（２’）（２”）に付着した塵埃或いは汚染微粒子
（６）の除去を確実なものとした上、更にその後、被洗
浄物である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に対して各高周波放電式除電ユニット（１０）
（１０）により発生させたマイナスイオンを含むマイナ
スイオン圧縮空気（１０’）を吹き付けて、上記被洗浄
物である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）を電気的に中性化してなるものである。
されてくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）に付着する、例えば樹脂或いは金
属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を電気的に吸引し、除
去するには、まず被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して、各プラスイ
オン発生ユニット（７）（７）により発生させたプラス
イオンを含むプラスイオン圧縮空気（７’）を吹き付け
ることで、この表裏面（２’）（２”）に付着する例え
ば樹脂或いは金属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を剥離
させ浮遊させると同時にプラスに帯電させる。次に、こ
れら剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電した上記
塵埃或いは汚染微粒子（６）を有する基板又はシート等
（２）が搬送ロール（４）により一対の帯電物体捕集ユ
ニット（５）（５）に搬入され、この塵埃或いは汚染微
粒子（６）に対してそれぞれマイナスに帯電したマイナ
ス帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着層を有す
る粘着テープロール（９）に密着して回転することによ
り、その外表面に付着する塵埃或いは汚染微粒子（６）
を該粘着テープロール（９）に転写させて除去すると同
時に、粘着テープロール（８）との摩擦によりマイナス
に帯電するシリコン樹脂からなるマイナス帯電ロール
（８）を近接させることによって、上記剥離させ浮遊さ
せると同時にプラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子
（６）を各マイナス帯電ロール（８）（８）に電気的に
捕集、吸着して、除去してなるものである。そして、こ
の一対の帯電物体捕集ユニット（５）（５）を更に２組
並列することによって、基板又はシート等（２）の表裏
面（２’）（２”）に付着した塵埃或いは汚染微粒子
（６）の除去を確実なものとした上、更にその後、被洗
浄物である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に対して各高周波放電式除電ユニット（１０）
（１０）により発生させたマイナスイオンを含むマイナ
スイオン圧縮空気（１０’）を吹き付けて、上記被洗浄
物である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）を電気的に中性化してなるものである。
【００１７】この発明の第１実施例である基板又はシー
ト等の除塵装置（１）は、以上の構成を具えるので、搬
送装置（３）によって帯電物体捕集ユニット（５）へ搬
送される基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に例えば樹脂或いは金属の塵埃或いは汚染微粒
子（６）が付着していても、帯電物体捕集ユニット
（５）内においては、上記塵埃或いは汚染微粒子（６）
はプラスイオン発生ユニット（７）により発生させたプ
ラスイオンを含むプラスイオン圧縮空気（７’）を吹き
付けることによって、その表裏面（２’）（２”）から
剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電していること
となる。更に、これら剥離させ浮遊させると同時にプラ
スに帯電した上記塵埃或いは汚染微粒子（６）に対して
マイナスに帯電した帯電体、例えば、粘着テープロール
（９）との回転摩擦によりマイナスに帯電するシリコン
樹脂からなるマイナス帯電ロール（８）を近接させるこ
とによって、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒
子（６）は、近接するマイナス帯電ロール（８）に電気
的に捕集、吸着され、除去されることとなって、迅速
に、しかも簡易かつ確実に基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）の除塵作業を行えるものである。
なお、マイナス帯電ロール（８）に電気的に捕集、吸着
され、除去された上記塵埃或いは汚染微粒子（６）は、
このマイナス帯電ロール（８）に密着回転可能となる粘
着テープロール（９）に転写されて、マイナス帯電ロー
ル（８）の表面からは除去されるので、常にマイナス帯
電ロール（８）は清潔な状態で維持され、一度吸着した
塵埃或いは汚染微粒子（６）が再度被洗浄物である基板
或いはシート等（２）の表面に落下して汚損が発生する
という不具合を確実に防止できるものである。
ト等の除塵装置（１）は、以上の構成を具えるので、搬
送装置（３）によって帯電物体捕集ユニット（５）へ搬
送される基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に例えば樹脂或いは金属の塵埃或いは汚染微粒
子（６）が付着していても、帯電物体捕集ユニット
（５）内においては、上記塵埃或いは汚染微粒子（６）
はプラスイオン発生ユニット（７）により発生させたプ
ラスイオンを含むプラスイオン圧縮空気（７’）を吹き
付けることによって、その表裏面（２’）（２”）から
剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電していること
となる。更に、これら剥離させ浮遊させると同時にプラ
スに帯電した上記塵埃或いは汚染微粒子（６）に対して
マイナスに帯電した帯電体、例えば、粘着テープロール
（９）との回転摩擦によりマイナスに帯電するシリコン
樹脂からなるマイナス帯電ロール（８）を近接させるこ
とによって、上記プラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒
子（６）は、近接するマイナス帯電ロール（８）に電気
的に捕集、吸着され、除去されることとなって、迅速
に、しかも簡易かつ確実に基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）の除塵作業を行えるものである。
なお、マイナス帯電ロール（８）に電気的に捕集、吸着
され、除去された上記塵埃或いは汚染微粒子（６）は、
このマイナス帯電ロール（８）に密着回転可能となる粘
着テープロール（９）に転写されて、マイナス帯電ロー
ル（８）の表面からは除去されるので、常にマイナス帯
電ロール（８）は清潔な状態で維持され、一度吸着した
塵埃或いは汚染微粒子（６）が再度被洗浄物である基板
或いはシート等（２）の表面に落下して汚損が発生する
という不具合を確実に防止できるものである。
【００１８】更に、この発明の第１実施例である基板又
はシート等の除塵装置（１）においては、上記各プラス
イオン発生ユニット（７）により発生させたプラスイオ
ンを含むプラスイオン圧縮空気（７’）を基板又はシー
ト等（２）の表裏面（２’）（２”）に吹き付けること
によってその表裏面（２’）（２”）から剥離させ浮遊
させると同時にプラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子
（６）を、一対の帯電物体捕集ユニット（５）（５）内
において、それぞれアクリル系樹脂からなる粘着層を有
する粘着テープロール（９）に密着して回転することに
よりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマイナス
帯電ロール（８）の外表面に電気的な吸引により捕集、
吸着させ、しかもこの一対の帯電物体捕集ユニット
（５）（５）を２組並列させて除塵作業を確実なものと
した後に、改めて被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して各高周波放電
式除電ユニット（１０）（１０）により発生させたマイ
ナスイオンを含むマイナスイオン圧縮空気（１０’）を
吹き付けることで、上記被洗浄物である基板又はシート
等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化
し、この除塵作業後の製造工程において、新たな塵埃或
いは汚染微粒子（６）を付着させたり、スパークを発生
させたりする等の不具合を防止することができるもので
ある。因みに、１個のシリコン樹脂からなるマイナス帯
電ロール（８）を有する帯電物体捕集ユニット（５）を
使用した際の実験結果は、以下の通り良好なものであ
る。すなわち、シリコン樹脂からなるマイナス帯電ロー
ル（８）表面の帯電量を−２．３ｋｖ、被洗浄物である
基板又はシート等（２）としてガラス基板を使用し、マ
イナス帯電ロール（８）表面とガラス基板との間隔を２
ｍｍとした上で、当該ガラス基板上のアクリル等の絶縁
性の塵埃或いは汚染微粒子（６）をマイナス帯電ロール
（８）に吸着させたところ、当該塵埃或いは汚染微粒子
（６）の径が４００μｍの場合には約８２％、又、１０
０μｍの場合には約８８％の除塵率であり、２００μｍ
及び１５０μｍの場合にはいずれも１００％の除塵率で
あった。
はシート等の除塵装置（１）においては、上記各プラス
イオン発生ユニット（７）により発生させたプラスイオ
ンを含むプラスイオン圧縮空気（７’）を基板又はシー
ト等（２）の表裏面（２’）（２”）に吹き付けること
によってその表裏面（２’）（２”）から剥離させ浮遊
させると同時にプラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子
（６）を、一対の帯電物体捕集ユニット（５）（５）内
において、それぞれアクリル系樹脂からなる粘着層を有
する粘着テープロール（９）に密着して回転することに
よりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマイナス
帯電ロール（８）の外表面に電気的な吸引により捕集、
吸着させ、しかもこの一対の帯電物体捕集ユニット
（５）（５）を２組並列させて除塵作業を確実なものと
した後に、改めて被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して各高周波放電
式除電ユニット（１０）（１０）により発生させたマイ
ナスイオンを含むマイナスイオン圧縮空気（１０’）を
吹き付けることで、上記被洗浄物である基板又はシート
等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化
し、この除塵作業後の製造工程において、新たな塵埃或
いは汚染微粒子（６）を付着させたり、スパークを発生
させたりする等の不具合を防止することができるもので
ある。因みに、１個のシリコン樹脂からなるマイナス帯
電ロール（８）を有する帯電物体捕集ユニット（５）を
使用した際の実験結果は、以下の通り良好なものであ
る。すなわち、シリコン樹脂からなるマイナス帯電ロー
ル（８）表面の帯電量を−２．３ｋｖ、被洗浄物である
基板又はシート等（２）としてガラス基板を使用し、マ
イナス帯電ロール（８）表面とガラス基板との間隔を２
ｍｍとした上で、当該ガラス基板上のアクリル等の絶縁
性の塵埃或いは汚染微粒子（６）をマイナス帯電ロール
（８）に吸着させたところ、当該塵埃或いは汚染微粒子
（６）の径が４００μｍの場合には約８２％、又、１０
０μｍの場合には約８８％の除塵率であり、２００μｍ
及び１５０μｍの場合にはいずれも１００％の除塵率で
あった。
【００１９】また、図４において示す（１’）は、この
発明の第２実施例である基板又はシート等の除塵装置で
あり、この基板又はシート等の除塵装置（１’）は、基
板又はシート等（２）を上下方向から搬送ロール（４）
により挟持しつつ前進或いは後退可能としてなる搬送装
置（３）と、上下一対に対向して設けられ、それぞれ被
洗浄物である基板又はシート等（２）の表面（２’）あ
るいは裏面（２”）を含んで略閉鎖空間を形成するエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）から構成され
る。そして、この搬送装置（３）によって適宜搬送され
てくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に付着する、例えば樹脂或いは金属の
塵埃或いは汚染微粒子（６）を、各エアーフロー式除塵
ユニット（１１）（１１）に設けられた圧縮空気ノズル
（１５）によって圧縮空気（１５’）を吹き付けること
で浮遊させると共に、各エアーフロー式除塵ユニット
（１１）（１１）の被洗浄物である基板又はシート等
（２）と対向する側において、ポンプ等（図示せず。）
の動力源に連通してその内部を減圧することで、吸引、
除去するものである。そして更に、この発明の第２実施
例である基板又はシート等の除塵装置（１’）において
は、圧縮空気ノズル（１５）から圧縮空気（１５’）を
被洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に吹き付けることとなる上下一対のエ
アーフロー式除塵ユニット（１１）の下流に、被洗浄物
である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に残存する塵埃或いは汚染微粒子（６）をその
外表面に電気的な吸引により吸着させるためのマイナス
に帯電した帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着
層を有する粘着テープロール（９）に密着して回転する
ことによりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマ
イナス帯電ロール（８）をそれぞれ有する上下一対の帯
電物体捕集ユニット（５）（５）を配置し、更にその下
流に一対の高周波放電式除電ユニット（１０）（１０）
を設けて、プラス帯電した上記被洗浄物である基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中
性化するものとしている。
発明の第２実施例である基板又はシート等の除塵装置で
あり、この基板又はシート等の除塵装置（１’）は、基
板又はシート等（２）を上下方向から搬送ロール（４）
により挟持しつつ前進或いは後退可能としてなる搬送装
置（３）と、上下一対に対向して設けられ、それぞれ被
洗浄物である基板又はシート等（２）の表面（２’）あ
るいは裏面（２”）を含んで略閉鎖空間を形成するエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）から構成され
る。そして、この搬送装置（３）によって適宜搬送され
てくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に付着する、例えば樹脂或いは金属の
塵埃或いは汚染微粒子（６）を、各エアーフロー式除塵
ユニット（１１）（１１）に設けられた圧縮空気ノズル
（１５）によって圧縮空気（１５’）を吹き付けること
で浮遊させると共に、各エアーフロー式除塵ユニット
（１１）（１１）の被洗浄物である基板又はシート等
（２）と対向する側において、ポンプ等（図示せず。）
の動力源に連通してその内部を減圧することで、吸引、
除去するものである。そして更に、この発明の第２実施
例である基板又はシート等の除塵装置（１’）において
は、圧縮空気ノズル（１５）から圧縮空気（１５’）を
被洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に吹き付けることとなる上下一対のエ
アーフロー式除塵ユニット（１１）の下流に、被洗浄物
である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に残存する塵埃或いは汚染微粒子（６）をその
外表面に電気的な吸引により吸着させるためのマイナス
に帯電した帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着
層を有する粘着テープロール（９）に密着して回転する
ことによりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマ
イナス帯電ロール（８）をそれぞれ有する上下一対の帯
電物体捕集ユニット（５）（５）を配置し、更にその下
流に一対の高周波放電式除電ユニット（１０）（１０）
を設けて、プラス帯電した上記被洗浄物である基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中
性化するものとしている。
【００２０】そして、搬送装置（３）によって適宜搬送
されてくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）に付着する、例えば樹脂或いは金
属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を吸引、除去してなる
上下一対の対向して設けられるエアーフロー式除塵ユニ
ット（１１）（１１）は、各エアーフロー式除塵ユニッ
ト（１１）内においてガイド板（１２）を配設すること
によりエアーフロー式除塵ユニット（１１）の内壁面
（１１’）との間に狭小な汚染空気吸引導流路（１３）
を形成すると共に、その対向する面の間に被洗浄物であ
る基板又はシート等（２）が搬送された際に、その基板
又はシート等（２）の表面（２’）あるいは裏面
（２”）との間に外部と連通する間隙（１４）（１
４’）を有している。そしてこの各エアーフロー式除塵
ユニット（１１）内において、搬送装置（３）により搬
送されてくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の
表面（２’）あるいは裏面（２”）に対して、上あるい
は下方向から圧縮空気ノズル（１５）により圧縮空気
（１５’）を吹き付けると同時に、上記エアーフロー式
除塵ユニット（１１）内部をポンプ等（図示せず。）に
よって減圧するものである。このとき、上記エアーフロ
ー式除塵ユニット（１１）内においては、吹き付けられ
た圧縮空気（１５’）により被洗浄物である基板又はシ
ート等（２）の表面（２’）あるいは裏面（２”）から
剥離して浮遊することとなった塵埃或いは汚染微粒子
（６）は、上記一対の各エアーフロー式除塵ユニット
（１１）（１１）における被洗浄物である基板又はシー
ト等（２）との間隙（１４）（１４’）を通して外部か
ら導入される外気（１７）、並びに吹き付けた圧縮空気
（１５’）と共に狭小な汚染空気吸引導流路（１３）を
介して吸引、除去されるものとなる。
されてくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）に付着する、例えば樹脂或いは金
属の塵埃或いは汚染微粒子（６）を吸引、除去してなる
上下一対の対向して設けられるエアーフロー式除塵ユニ
ット（１１）（１１）は、各エアーフロー式除塵ユニッ
ト（１１）内においてガイド板（１２）を配設すること
によりエアーフロー式除塵ユニット（１１）の内壁面
（１１’）との間に狭小な汚染空気吸引導流路（１３）
を形成すると共に、その対向する面の間に被洗浄物であ
る基板又はシート等（２）が搬送された際に、その基板
又はシート等（２）の表面（２’）あるいは裏面
（２”）との間に外部と連通する間隙（１４）（１
４’）を有している。そしてこの各エアーフロー式除塵
ユニット（１１）内において、搬送装置（３）により搬
送されてくる被洗浄物である基板又はシート等（２）の
表面（２’）あるいは裏面（２”）に対して、上あるい
は下方向から圧縮空気ノズル（１５）により圧縮空気
（１５’）を吹き付けると同時に、上記エアーフロー式
除塵ユニット（１１）内部をポンプ等（図示せず。）に
よって減圧するものである。このとき、上記エアーフロ
ー式除塵ユニット（１１）内においては、吹き付けられ
た圧縮空気（１５’）により被洗浄物である基板又はシ
ート等（２）の表面（２’）あるいは裏面（２”）から
剥離して浮遊することとなった塵埃或いは汚染微粒子
（６）は、上記一対の各エアーフロー式除塵ユニット
（１１）（１１）における被洗浄物である基板又はシー
ト等（２）との間隙（１４）（１４’）を通して外部か
ら導入される外気（１７）、並びに吹き付けた圧縮空気
（１５’）と共に狭小な汚染空気吸引導流路（１３）を
介して吸引、除去されるものとなる。
【００２１】この発明の第２実施例である基板又はシー
ト等の除塵装置（１’）は、以上の構成を具えるので、
搬送装置（３）によって、上下一対の対向して設けられ
るエアーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）内に搬
送される被洗浄物である基板又はシート等（２）は、そ
の表裏面（２’）（２”）に例えば樹脂或いは金属の塵
埃或いは汚染微粒子（６）が付着しているものであって
も、上記各エアーフロー式除塵ユニット（１１）内にお
いて吹き付けられる圧縮空気（１５’）により基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）から上記塵埃
或いは汚染微粒子（６）は剥離して浮遊することとな
る。そして、この各エアーフロー式除塵ユニット（１
１）内において浮遊する塵埃或いは汚染微粒子（６）
は、各エアーフロー式除塵ユニット（１１）内をこのエ
アーフロー式除塵ユニット（１１）に連通するポンプ等
（図示せず。）を作動させて減圧、吸引することによ
り、上記各エアーフロー式除塵ユニット（１１）と被洗
浄物である基板又はシート等（２）との間隙（１４）
（１４’）を通して外部から導入される外気（１７）、
及び吹き付けた圧縮空気（１５’）と共に、エアーフロ
ー式除塵ユニット（１１）内部に形成された狭小な汚染
空気吸引導流路（１３）を介して吸引されることとな
る。このため、エアーフロー式除塵ユニット（１１）内
において圧縮空気（１５’）により浮遊することとなる
塵埃或いは汚染微粒子（６）は外部に飛散することなく
除去され、迅速に、しかも簡易かつ確実に基板又はシー
ト等（２）の除塵作業を行えるものとなる。
ト等の除塵装置（１’）は、以上の構成を具えるので、
搬送装置（３）によって、上下一対の対向して設けられ
るエアーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）内に搬
送される被洗浄物である基板又はシート等（２）は、そ
の表裏面（２’）（２”）に例えば樹脂或いは金属の塵
埃或いは汚染微粒子（６）が付着しているものであって
も、上記各エアーフロー式除塵ユニット（１１）内にお
いて吹き付けられる圧縮空気（１５’）により基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）から上記塵埃
或いは汚染微粒子（６）は剥離して浮遊することとな
る。そして、この各エアーフロー式除塵ユニット（１
１）内において浮遊する塵埃或いは汚染微粒子（６）
は、各エアーフロー式除塵ユニット（１１）内をこのエ
アーフロー式除塵ユニット（１１）に連通するポンプ等
（図示せず。）を作動させて減圧、吸引することによ
り、上記各エアーフロー式除塵ユニット（１１）と被洗
浄物である基板又はシート等（２）との間隙（１４）
（１４’）を通して外部から導入される外気（１７）、
及び吹き付けた圧縮空気（１５’）と共に、エアーフロ
ー式除塵ユニット（１１）内部に形成された狭小な汚染
空気吸引導流路（１３）を介して吸引されることとな
る。このため、エアーフロー式除塵ユニット（１１）内
において圧縮空気（１５’）により浮遊することとなる
塵埃或いは汚染微粒子（６）は外部に飛散することなく
除去され、迅速に、しかも簡易かつ確実に基板又はシー
ト等（２）の除塵作業を行えるものとなる。
【００２２】なお、上記各エアーフロー式除塵ユニット
（１１）（１１）内において被洗浄物である基板又はシ
ート等（２）の表面（２’）あるいは裏面（２”）に付
着した塵埃或いは汚染微粒子（６）を剥離して、浮遊さ
せるにあたって、被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して吹き付けるこ
ととなる圧縮空気（１５’）は、上述のように被洗浄物
である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に対して、それぞれ直交する方向から吹き付け
るだけでなく、被洗浄物である基板又はシート等（２）
の表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微
粒子（６）の種類、分布又は量に応じて、図６に示すよ
うに、被洗浄物である基板又はシート等（２）の進行方
向に対して斜め方向より吹き付けるものとしても良いも
のである。
（１１）（１１）内において被洗浄物である基板又はシ
ート等（２）の表面（２’）あるいは裏面（２”）に付
着した塵埃或いは汚染微粒子（６）を剥離して、浮遊さ
せるにあたって、被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して吹き付けるこ
ととなる圧縮空気（１５’）は、上述のように被洗浄物
である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に対して、それぞれ直交する方向から吹き付け
るだけでなく、被洗浄物である基板又はシート等（２）
の表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微
粒子（６）の種類、分布又は量に応じて、図６に示すよ
うに、被洗浄物である基板又はシート等（２）の進行方
向に対して斜め方向より吹き付けるものとしても良いも
のである。
【００２３】また、この発明の第２実施例である基板又
はシート等の除塵装置（１’）においては、圧縮空気ノ
ズル（１５）から圧縮空気（１５’）を被洗浄物である
基板又はシート等（２）の表裏面（２’）（２”）に吹
き付けることとなる上下一対の対向して設けられるエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）の下流に、被
洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に残存する塵埃或いは汚染微粒子（６）をその
外表面に電気的な吸引により吸着させるためのマイナス
に帯電した帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着
層を有する粘着テープロール（９）に密着して回転する
ことによりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマ
イナス帯電ロール（８）をそれぞれ有する上下一対の帯
電物体捕集ユニット（５）（５）配置し、更にその下流
に、プラス帯電した上記被洗浄物である基板又はシート
等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化す
るために、一対の高周波放電式除電ユニット（１０）
（１０）を設けているものである。これにより、このマ
イナスに帯電したシリコン樹脂からなるマイナス帯電ロ
ール（８）を、上記上下一対の対向して設けられるエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）の間より搬送
装置（３）によって搬出される上記基板又はシート等
（２）に近接させることで、上記各エアーフロー式除塵
ユニット（１１）内において圧縮空気（１５’）を吹き
付けた際に空気帯電により発生するプラスイオンにより
プラスに帯電した基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に付着した残りの塵埃或いは汚染微粒
子（６）を電気的に吸着することができるものとなる。
そして、被洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏
面（２’）（２”）に対して各高周波放電式除電ユニッ
ト（１０）（１０）により発生させたマイナスイオンを
含むマイナスイオン圧縮空気（１０’）を吹き付けるこ
とで、プラス帯電した上記被洗浄物である基板又はシー
ト等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化
し、この除塵作業後の製造工程において、新たに塵埃或
いは汚染微粒子（６）を付着させたり、基板又はシート
等（２）においてスパークを発生させたりすることを防
止することができるものである。因みに、エアーフロー
式除塵ユニット（１１）を使用した際の実験結果は、以
下の通り良好なものである。すなわち、圧縮空気ノズル
（１５）から基板又はシート等（２）への圧縮空気（１
５’）の吹き付け圧力を５ｋｇｆ／ｃｍ２（６０ｌ／ｍ
ｉｎ）とするとともに、吸引するポンプの風量を１．８
ｍ３／ｍｉｎ、エアーフロー式除塵ユニット（１１）と
基板又はシート等（２）との間隙を２ｍｍとした上、基
板又はシート等（２）の搬送スピードを９ｍ／ｍｉｎ以
下とした場合、５０μｍから１ｍｍまでの塵埃或いは汚
染微粒子（６）を平均して９０％以上除塵しうるもので
あった。
はシート等の除塵装置（１’）においては、圧縮空気ノ
ズル（１５）から圧縮空気（１５’）を被洗浄物である
基板又はシート等（２）の表裏面（２’）（２”）に吹
き付けることとなる上下一対の対向して設けられるエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）の下流に、被
洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏面（２’）
（２”）に残存する塵埃或いは汚染微粒子（６）をその
外表面に電気的な吸引により吸着させるためのマイナス
に帯電した帯電体、例えばアクリル系樹脂からなる粘着
層を有する粘着テープロール（９）に密着して回転する
ことによりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマ
イナス帯電ロール（８）をそれぞれ有する上下一対の帯
電物体捕集ユニット（５）（５）配置し、更にその下流
に、プラス帯電した上記被洗浄物である基板又はシート
等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化す
るために、一対の高周波放電式除電ユニット（１０）
（１０）を設けているものである。これにより、このマ
イナスに帯電したシリコン樹脂からなるマイナス帯電ロ
ール（８）を、上記上下一対の対向して設けられるエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）の間より搬送
装置（３）によって搬出される上記基板又はシート等
（２）に近接させることで、上記各エアーフロー式除塵
ユニット（１１）内において圧縮空気（１５’）を吹き
付けた際に空気帯電により発生するプラスイオンにより
プラスに帯電した基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に付着した残りの塵埃或いは汚染微粒
子（６）を電気的に吸着することができるものとなる。
そして、被洗浄物である基板又はシート等（２）の表裏
面（２’）（２”）に対して各高周波放電式除電ユニッ
ト（１０）（１０）により発生させたマイナスイオンを
含むマイナスイオン圧縮空気（１０’）を吹き付けるこ
とで、プラス帯電した上記被洗浄物である基板又はシー
ト等（２）の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化
し、この除塵作業後の製造工程において、新たに塵埃或
いは汚染微粒子（６）を付着させたり、基板又はシート
等（２）においてスパークを発生させたりすることを防
止することができるものである。因みに、エアーフロー
式除塵ユニット（１１）を使用した際の実験結果は、以
下の通り良好なものである。すなわち、圧縮空気ノズル
（１５）から基板又はシート等（２）への圧縮空気（１
５’）の吹き付け圧力を５ｋｇｆ／ｃｍ２（６０ｌ／ｍ
ｉｎ）とするとともに、吸引するポンプの風量を１．８
ｍ３／ｍｉｎ、エアーフロー式除塵ユニット（１１）と
基板又はシート等（２）との間隙を２ｍｍとした上、基
板又はシート等（２）の搬送スピードを９ｍ／ｍｉｎ以
下とした場合、５０μｍから１ｍｍまでの塵埃或いは汚
染微粒子（６）を平均して９０％以上除塵しうるもので
あった。
【００２４】更に、図７において示すのは、この発明の
第３実施例である基板又はシート等の除塵装置（１”）
であり、この基板又はシート等の除塵装置（１”）は、
基板又はシート等（２）を上下方向から搬送ロール
（４）により挟持しつつ前進或いは後退可能としてなる
搬送装置（３）と、上記この発明の第１実施例に具える
帯電物体捕集ユニット（５）及びこの発明の第２実施例
に具えるエアーフロー式除塵ユニット（１１）とを組み
合わせて構成してなるものである。
第３実施例である基板又はシート等の除塵装置（１”）
であり、この基板又はシート等の除塵装置（１”）は、
基板又はシート等（２）を上下方向から搬送ロール
（４）により挟持しつつ前進或いは後退可能としてなる
搬送装置（３）と、上記この発明の第１実施例に具える
帯電物体捕集ユニット（５）及びこの発明の第２実施例
に具えるエアーフロー式除塵ユニット（１１）とを組み
合わせて構成してなるものである。
【００２５】即ち、この発明の第３実施例である基板又
はシート等の除塵装置（１”）においては、まず搬送装
置（３）によって被洗浄物である基板又はシート等
（２）は、上下一対のプラスイオン発生ユニット（７）
（７）を経て、上下一対に対向して設けられた帯電物体
捕集ユニット（５）（５）に搬送されるものである。従
って、上記被洗浄物である基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微粒子
（６）に対し、プラスイオン発生ユニット（７）により
発生させたプラスイオンを含むプラスイオン圧縮空気
（７’）を吹き付けてその表裏面（２’）（２”）から
剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電させた上、帯
電物体捕集ユニット（５）において、これらプラスに帯
電した塵埃或いは汚染微粒子（６）に対して、マイナス
に帯電した、すなわちアクリル系樹脂からなる粘着層を
有する粘着テープロール（９）に密着して回転すること
によりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマイナ
ス帯電ロール（８）を近接させることによって、上記プ
ラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子（６）はマイナス
帯電ロール（８）に捕集、吸着して、除去されるので、
迅速に、しかも簡易かつ確実に基板又はシート等（２）
の除塵作業が行なわれるものである。
はシート等の除塵装置（１”）においては、まず搬送装
置（３）によって被洗浄物である基板又はシート等
（２）は、上下一対のプラスイオン発生ユニット（７）
（７）を経て、上下一対に対向して設けられた帯電物体
捕集ユニット（５）（５）に搬送されるものである。従
って、上記被洗浄物である基板又はシート等（２）の表
裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微粒子
（６）に対し、プラスイオン発生ユニット（７）により
発生させたプラスイオンを含むプラスイオン圧縮空気
（７’）を吹き付けてその表裏面（２’）（２”）から
剥離させ浮遊させると同時にプラスに帯電させた上、帯
電物体捕集ユニット（５）において、これらプラスに帯
電した塵埃或いは汚染微粒子（６）に対して、マイナス
に帯電した、すなわちアクリル系樹脂からなる粘着層を
有する粘着テープロール（９）に密着して回転すること
によりマイナスに帯電するシリコン樹脂からなるマイナ
ス帯電ロール（８）を近接させることによって、上記プ
ラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子（６）はマイナス
帯電ロール（８）に捕集、吸着して、除去されるので、
迅速に、しかも簡易かつ確実に基板又はシート等（２）
の除塵作業が行なわれるものである。
【００２６】次に、上下一対に対向して設けられた帯電
物体捕集ユニット（５）（５）を通過した被洗浄物であ
る基板又はシート等（２）は、搬送装置（３）により上
下一対に対向して設けられたエアーフロー式除塵ユニッ
ト（１１）（１１）の間に搬送されるものとなる。従っ
て、この一対のエアーフロー式除塵ユニット（１１）
（１１）においては、被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して、それぞれ互
いに対向する上下方向から圧縮空気ノズル（１５）によ
り圧縮空気（１５’）を吹き付けると同時に、上記各エ
アーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）内をポンプ
等によって減圧することにより、上記各エアーフロー式
除塵ユニット（１１）（１１）内において、吹き付けら
れた圧縮空気（１５’）により被洗浄物である基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）から剥離して
浮遊する塵埃或いは汚染微粒子（６）を、上記各エアー
フロー式除塵ユニット（１１）（１１）と被洗浄物であ
る基板又はシート等（２）との間隙（１４）（１４’）
を通して外部から導入する外気（１７）、及びその吹き
付けた圧縮空気（１５’）と共に狭小な汚染空気吸引導
流路（１３）を介して外部に飛散することなく吸引する
ことで、それら塵埃或いは汚染微粒子（６）は基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）から迅速に、
しかも簡易かつ確実に除去されることとなる。なお、エ
アーフロー式除塵ユニット（１１）の下流には、この発
明の第２実施例で述べたように、上記各エアーフロー式
除塵ユニット（１１）内において圧縮空気（１５’）を
吹き付けた際に空気帯電により発生するプラスイオンに
よりプラスに帯電した基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に付着した残りの塵埃或いは汚染微粒
子（６）を電気的に吸着して除去するための帯電物体捕
集ユニット（５）（５）及び、基板又はシート等（２）
の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化して、塵埃
或いは汚染微粒子（６）の再付着やスパーク等を防止す
るための高周波放電式除電ユニット（１０）（１０）を
配置するものである。
物体捕集ユニット（５）（５）を通過した被洗浄物であ
る基板又はシート等（２）は、搬送装置（３）により上
下一対に対向して設けられたエアーフロー式除塵ユニッ
ト（１１）（１１）の間に搬送されるものとなる。従っ
て、この一対のエアーフロー式除塵ユニット（１１）
（１１）においては、被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に対して、それぞれ互
いに対向する上下方向から圧縮空気ノズル（１５）によ
り圧縮空気（１５’）を吹き付けると同時に、上記各エ
アーフロー式除塵ユニット（１１）（１１）内をポンプ
等によって減圧することにより、上記各エアーフロー式
除塵ユニット（１１）（１１）内において、吹き付けら
れた圧縮空気（１５’）により被洗浄物である基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）から剥離して
浮遊する塵埃或いは汚染微粒子（６）を、上記各エアー
フロー式除塵ユニット（１１）（１１）と被洗浄物であ
る基板又はシート等（２）との間隙（１４）（１４’）
を通して外部から導入する外気（１７）、及びその吹き
付けた圧縮空気（１５’）と共に狭小な汚染空気吸引導
流路（１３）を介して外部に飛散することなく吸引する
ことで、それら塵埃或いは汚染微粒子（６）は基板又は
シート等（２）の表裏面（２’）（２”）から迅速に、
しかも簡易かつ確実に除去されることとなる。なお、エ
アーフロー式除塵ユニット（１１）の下流には、この発
明の第２実施例で述べたように、上記各エアーフロー式
除塵ユニット（１１）内において圧縮空気（１５’）を
吹き付けた際に空気帯電により発生するプラスイオンに
よりプラスに帯電した基板又はシート等（２）の表裏面
（２’）（２”）に付着した残りの塵埃或いは汚染微粒
子（６）を電気的に吸着して除去するための帯電物体捕
集ユニット（５）（５）及び、基板又はシート等（２）
の表裏面（２’）（２”）を電気的に中性化して、塵埃
或いは汚染微粒子（６）の再付着やスパーク等を防止す
るための高周波放電式除電ユニット（１０）（１０）を
配置するものである。
【００２７】以上のように、この発明の第３実施例であ
る基板又はシート等の除塵装置（１”）は、基板又はシ
ート等（２）を上下方向から搬送ロール（４）により挟
持しつつ前進或いは後退可能としてなる搬送装置（３）
と、上記帯電物体捕集ユニット（５）及びエアーフロー
式除塵ユニット（１１）とを組み合わせて構成するもの
であるので、被洗浄物である基板又はシート等（２）の
表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微粒
子（６）を、迅速に、しかも簡易かつ確実に基板又はシ
ート等（２）から除塵することができると共に、プラス
イオンに帯電しない非絶縁性金属の塵埃或いは汚染微粒
子（６）が混在していても、エアーフロー式除塵ユニッ
ト（１１）により効率よく除塵を行えるものとなる。そ
して、除塵される被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは
汚染微粒子（６）は、マイナス帯電ロール（７）やエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）内における減圧によ
り、電気的に吸引又は外部からの外気（１７）及び圧縮
空気（１５’）と共に吸引されることとなるので、外部
には飛散しにくく、除塵を行った基板又はシート等
（２）が塵埃或いは汚染微粒子（６）により再汚損して
しまうことが防止できるものである。
る基板又はシート等の除塵装置（１”）は、基板又はシ
ート等（２）を上下方向から搬送ロール（４）により挟
持しつつ前進或いは後退可能としてなる搬送装置（３）
と、上記帯電物体捕集ユニット（５）及びエアーフロー
式除塵ユニット（１１）とを組み合わせて構成するもの
であるので、被洗浄物である基板又はシート等（２）の
表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは汚染微粒
子（６）を、迅速に、しかも簡易かつ確実に基板又はシ
ート等（２）から除塵することができると共に、プラス
イオンに帯電しない非絶縁性金属の塵埃或いは汚染微粒
子（６）が混在していても、エアーフロー式除塵ユニッ
ト（１１）により効率よく除塵を行えるものとなる。そ
して、除塵される被洗浄物である基板又はシート等
（２）の表裏面（２’）（２”）に付着する塵埃或いは
汚染微粒子（６）は、マイナス帯電ロール（７）やエア
ーフロー式除塵ユニット（１１）内における減圧によ
り、電気的に吸引又は外部からの外気（１７）及び圧縮
空気（１５’）と共に吸引されることとなるので、外部
には飛散しにくく、除塵を行った基板又はシート等
（２）が塵埃或いは汚染微粒子（６）により再汚損して
しまうことが防止できるものである。
【００２８】
【発明の効果】以上のとおり、基板又はシート等の除塵
装置において、被洗浄物である基板又はシートに接触す
ることなく、その表面に付着した塵埃或いは汚染微粒子
を確実に除塵することができるので、ファインパターン
化した回路等を印刷する基板又はシートにおいても、そ
の回路等を傷つけることなくその表面を除塵することが
できる上、特に絶対に表面に直接接触してはならない液
晶のガラスパネル等に対しても使用できるものであっ
て、またこの除塵装置においては被洗浄物である基板又
はシート等に対して直接プラスに帯電させた塵埃或いは
汚染微粒子をマイナスに帯電したマイナス帯電体により
電気的に吸引したり、圧縮空気の吹きつけと同時に浮遊
する塵埃或いは汚染微粒子を減圧して吸引することで除
去するので、塵埃或いは汚染微粒子の種類に関わらず基
板又はシート等の除塵作業を迅速に、しかも簡易かつ確
実に行うことができる優れた効果を有するものである。
装置において、被洗浄物である基板又はシートに接触す
ることなく、その表面に付着した塵埃或いは汚染微粒子
を確実に除塵することができるので、ファインパターン
化した回路等を印刷する基板又はシートにおいても、そ
の回路等を傷つけることなくその表面を除塵することが
できる上、特に絶対に表面に直接接触してはならない液
晶のガラスパネル等に対しても使用できるものであっ
て、またこの除塵装置においては被洗浄物である基板又
はシート等に対して直接プラスに帯電させた塵埃或いは
汚染微粒子をマイナスに帯電したマイナス帯電体により
電気的に吸引したり、圧縮空気の吹きつけと同時に浮遊
する塵埃或いは汚染微粒子を減圧して吸引することで除
去するので、塵埃或いは汚染微粒子の種類に関わらず基
板又はシート等の除塵作業を迅速に、しかも簡易かつ確
実に行うことができる優れた効果を有するものである。
【図１】この発明の第１実施例である基板又はシート等
の除塵装置の全体図である。
の除塵装置の全体図である。
【図２】この発明の第１実施例である基板又はシート等
の除塵装置の模式図である。
の除塵装置の模式図である。
【図３】この発明の第１実施例である基板又はシート等
の除塵装置の要部拡大図である。
の除塵装置の要部拡大図である。
【図４】この発明の第２実施例である基板又はシート等
の除塵装置の模式図である。
の除塵装置の模式図である。
【図５】この発明の第２実施例である基板又はシート等
の除塵装置の要部拡大図である。
の除塵装置の要部拡大図である。
【図６】この発明の第２実施例である基板又はシート等
の除塵装置の変形例の要部拡大図である
の除塵装置の変形例の要部拡大図である
【図７】この発明の第３実施例である基板又はシート等
の除塵装置の模式図である。
の除塵装置の模式図である。
１、１’、１” 基板又はシート等の除塵装置
２ 基板又はシート等
２’ （基板又はシート等の）表面
２” （基板又はシート等の）裏面
３ 搬送装置
４ 搬送ロール
５ 帯電物体捕集ユニット
６ 塵埃或いは汚染微粒子
７ プラスイオン発生ユニット
７’ プラスイオン圧縮空気
８ マイナス帯電ロール
９ 粘着テープロール
１０ 高周波放電式除電ユニット
１０’ マイナスイオン圧縮空気
１１ エアーフロー式除塵ユニット
１１’（エアーフロー式の）内壁面
１２ ガイド板
１３ 汚染空気吸引導流路
１４、１４’ 間隙（ギャップ）
１５ 圧縮空気ノズル
１５’ 圧縮空気
１６ 操作パネル
１７ 外気
１８ 搬送機構
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０５Ｋ 3/26 Ｈ０５Ｋ 3/26 Ａ
Claims (6)
- 【請求項１】 被洗浄物である基板又はシート等を搬送
しつつ、その一面に対してプラスイオンを含む空気を吹
き付けて、その空気を吹き付けられた面に付着する塵埃
或いは汚染微粒子を剥離させ浮遊させると同時にプラス
に帯電させると共に、上記プラスに帯電した塵埃或いは
汚染微粒子に対してマイナスに帯電した単数或いは複数
のマイナス帯電体を近接させることによって、上記剥
離、浮遊するプラスに帯電した塵埃或いは汚染微粒子を
マイナス帯電体に捕集、吸着させて除去した後、当該空
気を吹き付けられた面を除電して中性化してなる基板又
はシート等の除塵方法。 - 【請求項２】 吸着ロールの外表面に吸着させた塵埃或
いは汚染微粒子を更に転写、除去してなる粘着テープロ
ールを吸着ロールに対して密着して回転させることによ
り、当該吸着ロールをマイナス帯電体としてなる請求項
１記載の基板又はシート等の除塵方法。 - 【請求項３】 被洗浄物である基板又はシート等の一面
を含んで形成される略閉鎖空間内において、該被洗浄物
の一面に圧縮空気を吹き付けると同時に、その略閉鎖空
間内の空気を吸引することによって減圧することによ
り、上記略閉鎖空間内で吹き付けられた圧縮空気により
被洗浄物である基板又はシート等の一面から剥離して浮
遊する塵埃或いは汚染微粒子を、当該略閉鎖空間を形成
する壁面と被洗浄物との間の間隙を通して外部から導入
される空気並びに上記圧縮空気と共に、外部に飛散させ
ることなく吸引、除去してなる基板又はシート等の除塵
方法。 - 【請求項４】 略閉鎖空間内において、隔壁により被洗
浄物側と吸引側とを連通する汚染空気吸引導流路を設け
てなる請求項３記載の基板又はシート等の除塵方法。 - 【請求項５】 上記請求項１あるいは請求項２と、請求
項３あるいは請求項４に記載される基板又はシート等の
除塵方法を組合せてなる基板又はシート等の除塵方法。 - 【請求項６】 上記請求項１乃至請求項５に記載される
基板又はシート等の除塵方法を各々使用してなる基板又
はシート等の除塵装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002027686A JP2003225625A (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002027686A JP2003225625A (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003225625A true JP2003225625A (ja) | 2003-08-12 |
Family
ID=27749126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002027686A Withdrawn JP2003225625A (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 基板又はシート等の除塵方法とその方法を使用した基板又はシート等の除塵装置 |
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