JPH1111966A - スクライブ装置及びスクライブ方法 - Google Patents
スクライブ装置及びスクライブ方法Info
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- JPH1111966A JPH1111966A JP9164394A JP16439497A JPH1111966A JP H1111966 A JPH1111966 A JP H1111966A JP 9164394 A JP9164394 A JP 9164394A JP 16439497 A JP16439497 A JP 16439497A JP H1111966 A JPH1111966 A JP H1111966A
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- Japan
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- scribing
- air
- dust
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡易な構成でスクライブ時のガラス屑の飛散
を防止し、基板にガラス屑が付着することを防ぐととも
に、作業環境を改善することができるスクライブ装置及
びスクライブ方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 基板の両側に送風手段と吸引手段とを対
向して配置することにより、基板上に横向の気流を形成
し、さらに、基板の周囲にも吸引手段を設けることによ
り、基板の周囲に下向きの気流も形成することにより、
スクライブ時に発生するガラス屑などの粉塵をこれらの
気流に沿って吸引し、これらの粉塵が基板に付着したり
周囲に飛散することを抑制することができる。また、こ
の前記送風手段は、帯電防止のための除電機構を備える
ことが望ましい。
を防止し、基板にガラス屑が付着することを防ぐととも
に、作業環境を改善することができるスクライブ装置及
びスクライブ方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 基板の両側に送風手段と吸引手段とを対
向して配置することにより、基板上に横向の気流を形成
し、さらに、基板の周囲にも吸引手段を設けることによ
り、基板の周囲に下向きの気流も形成することにより、
スクライブ時に発生するガラス屑などの粉塵をこれらの
気流に沿って吸引し、これらの粉塵が基板に付着したり
周囲に飛散することを抑制することができる。また、こ
の前記送風手段は、帯電防止のための除電機構を備える
ことが望ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スクライブ装置及
びスクライブ方法に関する。さらに詳しくは、本発明
は、液晶表示装置などに用いるガラス基板などを、スク
ライブ時に発生するガラス屑などの粉塵を基板に付着し
たり周囲に飛散させることなく切断することのできる基
板スクライブ装置及びスクライブ方法に関する。
びスクライブ方法に関する。さらに詳しくは、本発明
は、液晶表示装置などに用いるガラス基板などを、スク
ライブ時に発生するガラス屑などの粉塵を基板に付着し
たり周囲に飛散させることなく切断することのできる基
板スクライブ装置及びスクライブ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置などにおいて用いられてい
るガラスや石英製の板材部品は、１枚の大きな基板から
複数の板材部品を切り出すことにより得られる。例え
ば、ガラス基板を用いる場合について説明すると、１枚
の大きなガラス板に複数の所定のパターンを形成し、し
かる後に各基板が切り出される。
るガラスや石英製の板材部品は、１枚の大きな基板から
複数の板材部品を切り出すことにより得られる。例え
ば、ガラス基板を用いる場合について説明すると、１枚
の大きなガラス板に複数の所定のパターンを形成し、し
かる後に各基板が切り出される。
【０００３】この基板の切り出し工程においては、スク
ライブ法が広く用いられている。スクライブ法とは、ガ
ラス板の表面層をカッターで切り込むことによって、ガ
ラス板にクラック、すなわち亀裂を生じさせ、このクラ
ックに衝撃を与えることにより亀裂を進行させて、分断
する方法である。
ライブ法が広く用いられている。スクライブ法とは、ガ
ラス板の表面層をカッターで切り込むことによって、ガ
ラス板にクラック、すなわち亀裂を生じさせ、このクラ
ックに衝撃を与えることにより亀裂を進行させて、分断
する方法である。
【０００４】図７は、従来のスクライブ装置の構成を例
示する概略斜視図である。すなわち、スクライブ装置１
００は、本体ボディ１０２上にスクライブ・テーブル１
０４が設けられ、ガラス板などのスクライブ対象物をセ
ットできるようにされている。また、スクライブ・テー
ブル１０４の上方には、スクライブ・ヘッド１０６が移
動可能に設けられ、その尖端にはカッターが取り付けら
れている。
示する概略斜視図である。すなわち、スクライブ装置１
００は、本体ボディ１０２上にスクライブ・テーブル１
０４が設けられ、ガラス板などのスクライブ対象物をセ
ットできるようにされている。また、スクライブ・テー
ブル１０４の上方には、スクライブ・ヘッド１０６が移
動可能に設けられ、その尖端にはカッターが取り付けら
れている。
【０００５】このように、従来用いられているスクライ
ブ装置は、独立した単体の装置である。作業者は、スク
ライブに際して、まず、ガラス板などの対象物（ａ）を
スクライブ・テーブル１０４上に設置する。そして、テ
レビ・カメラ１１０により撮影した映像をディスプレイ
１１２によってモニタしながら、ガラス板（ａ）の位置
合わせを行う。
ブ装置は、独立した単体の装置である。作業者は、スク
ライブに際して、まず、ガラス板などの対象物（ａ）を
スクライブ・テーブル１０４上に設置する。そして、テ
レビ・カメラ１１０により撮影した映像をディスプレイ
１１２によってモニタしながら、ガラス板（ａ）の位置
合わせを行う。
【０００６】次に、スクライブ・ヘッド１０６の尖端の
カッターを回転させ、スクライブ・ヘッドを移動させな
がら、ガラス板（ａ）にクラックを入れていく。この際
に、ガラス屑が飛散しやすい。そこで、エアー・ノズル
１０８からエアー・ブローを行ない、ガラス屑がカッタ
ーの回転軸に噛み込むのを防ぐ。スクライブが終わる
と、作業者は、切断されたガラス基板を取り出し、ステ
ージを清掃して、一連の作業を終了する。
カッターを回転させ、スクライブ・ヘッドを移動させな
がら、ガラス板（ａ）にクラックを入れていく。この際
に、ガラス屑が飛散しやすい。そこで、エアー・ノズル
１０８からエアー・ブローを行ない、ガラス屑がカッタ
ーの回転軸に噛み込むのを防ぐ。スクライブが終わる
と、作業者は、切断されたガラス基板を取り出し、ステ
ージを清掃して、一連の作業を終了する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のスクラ
イブ装置によりガラス板の切断を行う場合に、スクライ
ブ時に発生するガラス屑は、エアー・ブローされて飛散
する。そして、ガラス基板上に付着することも多かっ
た。このようなガラス屑を放置するとガラスの性質上、
基板に固着して除去することが困難となる。このような
ガラス屑は、光を屈折・散乱するために、液晶表示装置
の表示不良の原因となり、製造歩留まりを低下させる。
イブ装置によりガラス板の切断を行う場合に、スクライ
ブ時に発生するガラス屑は、エアー・ブローされて飛散
する。そして、ガラス基板上に付着することも多かっ
た。このようなガラス屑を放置するとガラスの性質上、
基板に固着して除去することが困難となる。このような
ガラス屑は、光を屈折・散乱するために、液晶表示装置
の表示不良の原因となり、製造歩留まりを低下させる。
【０００８】また、従来のスクライブ装置においては、
スクライブ時に発生するガラス屑は、エアー・ブローさ
れて作業空間に舞い上がる。従って、作業者は、このよ
うなガラス屑の浮遊する劣悪な環境において作業を実施
しなければならなかった。
スクライブ時に発生するガラス屑は、エアー・ブローさ
れて作業空間に舞い上がる。従って、作業者は、このよ
うなガラス屑の浮遊する劣悪な環境において作業を実施
しなければならなかった。
【０００９】特に、ガラス屑によるカッターの回転軸の
噛み込みを防ぐためには、エアー・ブローを強く行うこ
とが必要とされるために、ガラス屑の飛散がさらに助長
されることとなる。このために、作業者は、スクライブ
工程において、防塵マスクと防塵メガネとを着用するこ
とが義務づけられている。しかし、これらの保護具の着
用は、作業効率を低下させる。また、特に防塵マスク
は、いわゆる「使い捨て」にする場合が多いので、製品
のコストを上昇させる一因となっていた。
噛み込みを防ぐためには、エアー・ブローを強く行うこ
とが必要とされるために、ガラス屑の飛散がさらに助長
されることとなる。このために、作業者は、スクライブ
工程において、防塵マスクと防塵メガネとを着用するこ
とが義務づけられている。しかし、これらの保護具の着
用は、作業効率を低下させる。また、特に防塵マスク
は、いわゆる「使い捨て」にする場合が多いので、製品
のコストを上昇させる一因となっていた。
【００１０】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
ある。すなわち、本発明は簡易な構成でスクライブ時の
ガラス屑の飛散を防止し、基板にガラス屑が付着するこ
とを防ぐとともに、作業環境を改善することができるス
クライブ装置及びスクライブ方法を提供することを目的
とする。
ある。すなわち、本発明は簡易な構成でスクライブ時の
ガラス屑の飛散を防止し、基板にガラス屑が付着するこ
とを防ぐとともに、作業環境を改善することができるス
クライブ装置及びスクライブ方法を提供することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明による
装置は、スクライブ装置の基板の両側に送風手段と吸引
手段とを対向して配置することにより、基板上に横向の
気流を形成し、さらに、基板の周囲にも吸引手段を設け
ることにより、基板の周囲に下向きの気流も形成するこ
とにより、スクライブ時に発生するガラス屑などの粉塵
をこれらの気流に沿って吸引し、これらの粉塵が基板に
付着したり周囲に飛散することを抑制することができ
る。
装置は、スクライブ装置の基板の両側に送風手段と吸引
手段とを対向して配置することにより、基板上に横向の
気流を形成し、さらに、基板の周囲にも吸引手段を設け
ることにより、基板の周囲に下向きの気流も形成するこ
とにより、スクライブ時に発生するガラス屑などの粉塵
をこれらの気流に沿って吸引し、これらの粉塵が基板に
付着したり周囲に飛散することを抑制することができ
る。
【００１２】また、この前記送風手段は、前記基板及び
前記粉塵に帯電した静電気をイオン化した気体分子を照
射することにより除去するためのイオン化装置を備える
ことにより、粉塵の帯電を除去して粉塵が基板に付着す
ることを抑制するとともに、基板自体の帯電も除去する
ことによって基板を用いて組み立てた製品の静電気によ
る不良を防止することができる。
前記粉塵に帯電した静電気をイオン化した気体分子を照
射することにより除去するためのイオン化装置を備える
ことにより、粉塵の帯電を除去して粉塵が基板に付着す
ることを抑制するとともに、基板自体の帯電も除去する
ことによって基板を用いて組み立てた製品の静電気によ
る不良を防止することができる。
【００１３】また、本発明による方法は、基板の一方の
脇から前記基板の基板面に対して略水平方向に送風する
とともに、前記基板の他方の脇において前記送風を吸引
することにより前記基板の基板面と略平行な気流を形成
し、さらに、前記スクライブ・テーブルの周囲において
前記送風を下向きに吸引して前記基板の周囲に下向きの
気流を形成し、前記カッターによる前記スクライブの際
に発生する粉塵を前記略平行な気流或いは前記下向きの
気流に沿って吸引して飛散を抑制するようにしたたこと
を特徴とするものとして構成される。
脇から前記基板の基板面に対して略水平方向に送風する
とともに、前記基板の他方の脇において前記送風を吸引
することにより前記基板の基板面と略平行な気流を形成
し、さらに、前記スクライブ・テーブルの周囲において
前記送風を下向きに吸引して前記基板の周囲に下向きの
気流を形成し、前記カッターによる前記スクライブの際
に発生する粉塵を前記略平行な気流或いは前記下向きの
気流に沿って吸引して飛散を抑制するようにしたたこと
を特徴とするものとして構成される。
【００１４】さらに、この方法において、気体分子をイ
オン化して送風することにより、前記基板及び前記粉塵
に帯電した静電気を除去することにより、粉塵の帯電を
除去して粉塵が基板に付着することを抑制するととも
に、基板自体の帯電も除去することによって基板を用い
て組み立てた製品の静電気による不良を防止することが
できる。
オン化して送風することにより、前記基板及び前記粉塵
に帯電した静電気を除去することにより、粉塵の帯電を
除去して粉塵が基板に付着することを抑制するととも
に、基板自体の帯電も除去することによって基板を用い
て組み立てた製品の静電気による不良を防止することが
できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明は、既存のスクライブ装置
に容易に付設することができ、スクライブ・テーブル上
に設置されている基板をエアー・ブローすることができ
るように、テーブルの片側側面にエアー・ブロー装置を
設置する。このエアー・ブロー装置は、静電気を中和す
る除電機能を備えていることが望ましい。さらに、この
エアー・ブローを集中的に排気するための排気ダクトを
エアー・ブローと対向する他方側面と、テーブルの下と
に設ける。このようにして、基板上に気流を形成するこ
とにより、エアー・ノズルからのブローにより飛散した
ガラス屑を排気ダクト内に集中排気して、基板表面にガ
ラス屑が付着することを防ぐことができる。
に容易に付設することができ、スクライブ・テーブル上
に設置されている基板をエアー・ブローすることができ
るように、テーブルの片側側面にエアー・ブロー装置を
設置する。このエアー・ブロー装置は、静電気を中和す
る除電機能を備えていることが望ましい。さらに、この
エアー・ブローを集中的に排気するための排気ダクトを
エアー・ブローと対向する他方側面と、テーブルの下と
に設ける。このようにして、基板上に気流を形成するこ
とにより、エアー・ノズルからのブローにより飛散した
ガラス屑を排気ダクト内に集中排気して、基板表面にガ
ラス屑が付着することを防ぐことができる。
【００１６】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。図１は、本発明によるスクライブ装置
の構成を表す概略斜視図である。すなわち、スクライブ
装置１０は、本体ボディ１２上にスクライブ・テーブル
１４が設けられ、ガラス板や石英板などのスクライブ対
象物をセットできるようにされている。また、スクライ
ブ・テーブル１４の上方には、スクライブ・ヘッド１６
が移動可能に設けられ、その尖端にはカッターが取り付
けられている。また、テレビ・カメラ２０とモニタ用の
ディスプレイ２２とが設けられている。
ながら説明する。図１は、本発明によるスクライブ装置
の構成を表す概略斜視図である。すなわち、スクライブ
装置１０は、本体ボディ１２上にスクライブ・テーブル
１４が設けられ、ガラス板や石英板などのスクライブ対
象物をセットできるようにされている。また、スクライ
ブ・テーブル１４の上方には、スクライブ・ヘッド１６
が移動可能に設けられ、その尖端にはカッターが取り付
けられている。また、テレビ・カメラ２０とモニタ用の
ディスプレイ２２とが設けられている。
【００１７】本発明において特徴的なことは、除電機能
が付いたエアー・ブロー装置３０、テーブル側面吸気ボ
ックス３４及びテーブル下排気チャンバ３６が設けられ
ている点である。
が付いたエアー・ブロー装置３０、テーブル側面吸気ボ
ックス３４及びテーブル下排気チャンバ３６が設けられ
ている点である。
【００１８】図２は、エアー・ブロー装置３０の取り付
け部を表す概略斜視組立図である。本発明においては、
例えば、同図に示したような取り付け台３２をスクライ
ブ装置の本体ボディ１２に固定し、その上にエアー・ブ
ロー装置３０を設置することができる。エアー・ブロー
装置３０は、スクライブ装置に合わせて特別に設計した
ものでも良く、または、送風量や送風口の形状寸法が適
切であれば他の用途に使用するものを流用しても良い。
け部を表す概略斜視組立図である。本発明においては、
例えば、同図に示したような取り付け台３２をスクライ
ブ装置の本体ボディ１２に固定し、その上にエアー・ブ
ロー装置３０を設置することができる。エアー・ブロー
装置３０は、スクライブ装置に合わせて特別に設計した
ものでも良く、または、送風量や送風口の形状寸法が適
切であれば他の用途に使用するものを流用しても良い。
【００１９】また、ガラス屑などの粉塵が帯電して静電
気によりガラス基板に付着することを防ぐために、静電
気を除去する除電機能付きのエアー・ブロー装置を用い
ることが望ましい。除電の方法としては、例えば、エア
ー・ブロー装置内に針状の電極を設け、この電極に高電
圧を印加することによって気体分子をイオン化させて送
風する方法が挙げられる。このような方法によりイオン
化した場合には、送風される気体中に、正イオンと負イ
オンとがそれぞれほぼ同数含まれている。これらの正イ
オンと負イオンとは、スクライブ時に発生する粉塵や基
板自体に帯電している負電荷または正電荷にそれぞれ作
用して、電荷を中和させる。従って、このようなイオン
化機構を備えたエアー・ブロー装置を用いることによっ
て、粉塵が静電気によって基板に付着することを防止す
ることができる。さらに、基板自体が静電気を帯電する
ことも防ぐことができ、この基板を用いて組み立てた液
晶表示装置などの静電気による不良や故障を防止するこ
ともできる。
気によりガラス基板に付着することを防ぐために、静電
気を除去する除電機能付きのエアー・ブロー装置を用い
ることが望ましい。除電の方法としては、例えば、エア
ー・ブロー装置内に針状の電極を設け、この電極に高電
圧を印加することによって気体分子をイオン化させて送
風する方法が挙げられる。このような方法によりイオン
化した場合には、送風される気体中に、正イオンと負イ
オンとがそれぞれほぼ同数含まれている。これらの正イ
オンと負イオンとは、スクライブ時に発生する粉塵や基
板自体に帯電している負電荷または正電荷にそれぞれ作
用して、電荷を中和させる。従って、このようなイオン
化機構を備えたエアー・ブロー装置を用いることによっ
て、粉塵が静電気によって基板に付着することを防止す
ることができる。さらに、基板自体が静電気を帯電する
ことも防ぐことができ、この基板を用いて組み立てた液
晶表示装置などの静電気による不良や故障を防止するこ
ともできる。
【００２０】図３は、吸気ボックス３４の取り付け部を
表す概略斜視組立図である。この吸気ボックス３４は、
エアー・ブロー装置により送られてくるガラス屑を気流
とともに吸気する役割を有する。このために、吸気ボッ
クス３４は、スクライブ・テーブル１４を挟んでエアー
・ブロー装置３０と対向して配置される。吸気ボックス
は、吸気口３４ａを有し、また、側面で排気管（ｂ）に
接続されている。この排気管（ｂ）は、例えば工場幹排
気ラインに接続して吸引排気することができる。或い
は、排気管（ｂ）は、独立した図示しない排気装置に接
続され、吸引排気されるようにしても良い。
表す概略斜視組立図である。この吸気ボックス３４は、
エアー・ブロー装置により送られてくるガラス屑を気流
とともに吸気する役割を有する。このために、吸気ボッ
クス３４は、スクライブ・テーブル１４を挟んでエアー
・ブロー装置３０と対向して配置される。吸気ボックス
は、吸気口３４ａを有し、また、側面で排気管（ｂ）に
接続されている。この排気管（ｂ）は、例えば工場幹排
気ラインに接続して吸引排気することができる。或い
は、排気管（ｂ）は、独立した図示しない排気装置に接
続され、吸引排気されるようにしても良い。
【００２１】排気管（ｂ）と吸気ボックス３４との間に
は、ダンパ４０が接続され、エアー・ブロー装置３０の
送風量と、排気管（ｂ）との排気量とのバランスを調節
できるようにされている。また、このように、ガラス屑
が混入した送気を吸入すると、吸入ボックス３４内にガ
ラス屑が溜まるので、例えば、吸気ボックス３４の背面
板３４ｂをねじ止めとして脱着可能とし、ボックスの内
部を簡単に清掃できる構造とすることが望ましい。
は、ダンパ４０が接続され、エアー・ブロー装置３０の
送風量と、排気管（ｂ）との排気量とのバランスを調節
できるようにされている。また、このように、ガラス屑
が混入した送気を吸入すると、吸入ボックス３４内にガ
ラス屑が溜まるので、例えば、吸気ボックス３４の背面
板３４ｂをねじ止めとして脱着可能とし、ボックスの内
部を簡単に清掃できる構造とすることが望ましい。
【００２２】図４は、テーブル下の排気チャンバ３６の
取り付け部を表す概略斜視組立図である。この排気チャ
ンバ３６は、スクライブ・テーブルの周囲に下向きの気
流を形成し、ガラス屑の巻き上げを防止する役割を有す
る。すなわち、同図に示したように、排気チャンバ３６
は、パンチング孔が設けられた蓋３８で塞がれ、パンチ
ング孔を介して吸気することにより、下向きの気流を形
成するようにされている。この場合にも、吸気したガラ
ス屑を除去できるように、蓋３８は、例えばねじ止めな
どの方法により排気チャンバ３６に対して取り外し可能
とすることが望ましい。そして排気チャンバ３６は、前
述した吸気ボックス３４の場合と同様に、吸気量調節用
のダンパ４２を介して、排気管（ｂ）に接続される。排
気管（ｂ）に接続される排気の手段は、例えば工場幹排
気ラインや図示しない排気装置とすることができる。
取り付け部を表す概略斜視組立図である。この排気チャ
ンバ３６は、スクライブ・テーブルの周囲に下向きの気
流を形成し、ガラス屑の巻き上げを防止する役割を有す
る。すなわち、同図に示したように、排気チャンバ３６
は、パンチング孔が設けられた蓋３８で塞がれ、パンチ
ング孔を介して吸気することにより、下向きの気流を形
成するようにされている。この場合にも、吸気したガラ
ス屑を除去できるように、蓋３８は、例えばねじ止めな
どの方法により排気チャンバ３６に対して取り外し可能
とすることが望ましい。そして排気チャンバ３６は、前
述した吸気ボックス３４の場合と同様に、吸気量調節用
のダンパ４２を介して、排気管（ｂ）に接続される。排
気管（ｂ）に接続される排気の手段は、例えば工場幹排
気ラインや図示しない排気装置とすることができる。
【００２３】図５及び図６は、実際のスクライブ作業時
の気流とガラス屑の流れを表す説明図である。すなわ
ち、図５は、その概略斜視説明図であり、図６は、その
概略断面説明図である。これらの図に示したように、ス
クライブ時に発生するガラス屑は、エアー・ブロー装置
３０からの送風によって吸気ボックス３４側に吹き飛ば
され、その吸気口３４ａ或いはテーブル１４下の排気チ
ャンバ３６に吸い込まれる。また、エアー・ブロー装置
３０からの送風は、除電効果を有するので、ガラス屑に
帯電した静電気は除去される。この結果として、ガラス
屑は基板（ａ）に付着しにくくなり、また、仮に付着し
ても容易に除去することができるようになる。
の気流とガラス屑の流れを表す説明図である。すなわ
ち、図５は、その概略斜視説明図であり、図６は、その
概略断面説明図である。これらの図に示したように、ス
クライブ時に発生するガラス屑は、エアー・ブロー装置
３０からの送風によって吸気ボックス３４側に吹き飛ば
され、その吸気口３４ａ或いはテーブル１４下の排気チ
ャンバ３６に吸い込まれる。また、エアー・ブロー装置
３０からの送風は、除電効果を有するので、ガラス屑に
帯電した静電気は除去される。この結果として、ガラス
屑は基板（ａ）に付着しにくくなり、また、仮に付着し
ても容易に除去することができるようになる。
【００２４】さらに、エアー・ブロー装置３０の送風の
除電効果により、基板（ａ）の静電気の帯電も除去する
ことができる。すなわち、従来は、例えばガラス基板
（ａ）が帯電することにより、その基板を用いて製造し
た液晶表示装置などの製品が不良品となる場合があっ
た。しかし、本発明によれば、基板（ａ）の静電気に起
因して従来生じていた製品の不良が解消され、製造歩留
まりが改善されると共に、製品の信頼性も向上する。
除電効果により、基板（ａ）の静電気の帯電も除去する
ことができる。すなわち、従来は、例えばガラス基板
（ａ）が帯電することにより、その基板を用いて製造し
た液晶表示装置などの製品が不良品となる場合があっ
た。しかし、本発明によれば、基板（ａ）の静電気に起
因して従来生じていた製品の不良が解消され、製造歩留
まりが改善されると共に、製品の信頼性も向上する。
【００２５】スクライブ・テーブル１４の周囲で、ガラ
ス屑を除去するために、効果的な横向き及び下向きの気
流を形成するためには、エアー・ブロー装置３０の送風
量が吸気ボックス３４と排気チャンバ３６との排気量の
和を越えないように、それぞれのダンパ４０、４２を調
節することが望ましい。
ス屑を除去するために、効果的な横向き及び下向きの気
流を形成するためには、エアー・ブロー装置３０の送風
量が吸気ボックス３４と排気チャンバ３６との排気量の
和を越えないように、それぞれのダンパ４０、４２を調
節することが望ましい。
【００２６】スクライブ作業が終了して基板（ａ）を取
り除いたら、テーブル１４の上をブラシなどで清掃し、
ガラス屑をテーブル１４の脇の吸気ボックス３４或いは
排気チャンバ３６に吸引させることができる。
り除いたら、テーブル１４の上をブラシなどで清掃し、
ガラス屑をテーブル１４の脇の吸気ボックス３４或いは
排気チャンバ３６に吸引させることができる。
【００２７】そして、吸気ボックス３４や排気チャンバ
３６の内部に溜まったガラス屑は、定期メンテナンス時
に、それぞれ側面板３４ｂ、蓋３８を取り外して、除去
清掃することができる。
３６の内部に溜まったガラス屑は、定期メンテナンス時
に、それぞれ側面板３４ｂ、蓋３８を取り外して、除去
清掃することができる。
【００２８】以上、説明した装置によって、スクライブ
により発生するガラス屑などの粉塵或いはダストがスク
ライブ装置の内部や周囲の作業空間に飛散することを防
止するとができる。そして、これらのガラス屑などが基
板に付着することを防止するとともに、一端付着したガ
ラス屑も、除電されているので除去することが容易とな
る。
により発生するガラス屑などの粉塵或いはダストがスク
ライブ装置の内部や周囲の作業空間に飛散することを防
止するとができる。そして、これらのガラス屑などが基
板に付着することを防止するとともに、一端付着したガ
ラス屑も、除電されているので除去することが容易とな
る。
【００２９】以上の説明は、本発明の実施形態の一例を
示すものに過ぎない。すなわち、本発明によるスクライ
ブ装置は、ガラスや石英だけでなく、その他の種々の材
料のスクライブに用いて好適である。例えば、シリコン
やガリウム砒素などの各種半導体材料、サファイアや窒
化ボロンなどのセラミクス、その他各種誘電体材料など
についても同様に用いることができる。
示すものに過ぎない。すなわち、本発明によるスクライ
ブ装置は、ガラスや石英だけでなく、その他の種々の材
料のスクライブに用いて好適である。例えば、シリコン
やガリウム砒素などの各種半導体材料、サファイアや窒
化ボロンなどのセラミクス、その他各種誘電体材料など
についても同様に用いることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に説明する効果を奏する。
施され、以下に説明する効果を奏する。
【００３１】まず、本発明によれば、基板のスクライブ
に伴って発生するガラス屑が基板に付着することを防ぐ
ことができる。さらに、仮に基板に付着した場合でも容
易に除去することができるようになる。その結果として
液晶表示装置などの製品の不良が低減する。
に伴って発生するガラス屑が基板に付着することを防ぐ
ことができる。さらに、仮に基板に付着した場合でも容
易に除去することができるようになる。その結果として
液晶表示装置などの製品の不良が低減する。
【００３２】また、本発明によれば、基板自身の静電気
の帯電も除去することができる。従って、静電気に起因
して従来生じていた製品の不良が解消され、製造歩留ま
りが改善されると共に、製品の信頼性も向上する。
の帯電も除去することができる。従って、静電気に起因
して従来生じていた製品の不良が解消され、製造歩留ま
りが改善されると共に、製品の信頼性も向上する。
【００３３】また、本発明によれば、スクライブに伴っ
て発生するガラス屑が作業空間に飛散することを防止す
ることができる。その結果として作業環境が改善され
る。さらに、防塵マスクや防塵メガネの着用が不要とな
り、作業効率が改善される。また、従来使い捨てにされ
ていた防塵マスクが不要となり、製造コストを低減する
ことができる。
て発生するガラス屑が作業空間に飛散することを防止す
ることができる。その結果として作業環境が改善され
る。さらに、防塵マスクや防塵メガネの着用が不要とな
り、作業効率が改善される。また、従来使い捨てにされ
ていた防塵マスクが不要となり、製造コストを低減する
ことができる。
【００３４】さらに、本発明によれば、既存のスクライ
ブ装置に簡易に取り付けることが可能であり、多大な投
資を必要とせずに前述したような種々の効果をあげるこ
とができる。
ブ装置に簡易に取り付けることが可能であり、多大な投
資を必要とせずに前述したような種々の効果をあげるこ
とができる。
【００３５】すなわち、本発明によれば、簡易な構成
で、スクライブ作業時の粉塵の飛散を防止し、同時に基
板の帯電も除去することが可能となるスクライブ装置を
提供することができるようになり、産業上のメリットは
多大である。
で、スクライブ作業時の粉塵の飛散を防止し、同時に基
板の帯電も除去することが可能となるスクライブ装置を
提供することができるようになり、産業上のメリットは
多大である。
【図１】本発明によるスクライブ装置の構成を表す概略
斜視図である。
斜視図である。
【図２】エアー・ブロー装置３０の取り付け部を表す概
略斜視組立図である。
略斜視組立図である。
【図３】吸気ボックス３４の取り付け部を表す概略斜視
組立図である。
組立図である。
【図４】テーブル下の排気チャンバ３６の取り付け部を
表す概略斜視組立図である。
表す概略斜視組立図である。
【図５】実際のスクライブ作業時の気流とガラス屑の流
れを表す概略斜視説明図である。
れを表す概略斜視説明図である。
【図６】実際のスクライブ作業時の気流とガラス屑の流
れを表す概略断面説明図である。
れを表す概略断面説明図である。
【図７】従来のスクライブ装置の構成を例示する概略斜
視図である。
視図である。
１０、１００ スクライブ装置 １２、１０２ 本体ボディ １４、１０４ スクライブ・テーブル １６、１０６ スクライブ・ヘッド １８、１０８ エアー・ノズル ２０、１１０ テレビ・カメラ ２２、１１２ ディスプレイ ３０ エアー・ブロー装置 ３２ 台 ３４ 吸気ボックス ３４ａ 吸気口 ３４ｂ 背面板 ３６ 排気チャンバ ３８ 蓋 ４０ ダンパ （ａ） 基板 （ｂ） 排気管
Claims (6)
- 【請求項１】スクライブ・テーブル上に設置された基板
を、カッターによりスクライブすることにより、液晶表
示装置の部品としてのガラス基板を得るためのスクライ
ブ装置において、 前記基板に帯電した静電気及び前記カッターによりスク
ライブする際に発生する粉塵に帯電した静電気を除去す
るために、イオン化した気体分子を送風可能とした送風
手段により前記基板の一方の側面方向から送風し、前記
基板の他方の側面および前記基板の周囲において吸気す
ることにより、前記基板上において前記基板面に対して
略平行方向に流れる気流を形成するとともに、前記基板
の周囲に吸引される下向きの気流を形成して、前記カッ
ターによる前記粉塵を吸引することにより、前記粉塵の
前記基板への付着や周囲への飛散を抑制するようにした
ことを特徴とするスクライブ装置。 - 【請求項２】スクライブ・テーブル上に設置された基板
を、カッターによりスクライブするスクライブ装置にお
いて、 前記基板の一方の側面方向から送風し、前記基板の他方
の側面および前記基板の周囲において吸気することによ
り、前記基板上において前記基板面に対して略平行方向
に流れる気流を形成するとともに、前記基板の周囲に吸
引される下向きの気流を形成して、前記カッターによる
前記スクライブの際に発生する粉塵を吸引することによ
り、前記粉塵の前記基板への付着や周囲への飛散を抑制
するようにしたことを特徴とするスクライブ装置。 - 【請求項３】スクライブ・テーブル上に設置された基板
を、カッターによりスクライブするスクライブ装置にお
いて、 前記基板の一方の脇に配置され前記基板の基板面と略垂
直な開口の送風口を有し、前記基板の基板面に対して略
水平方向に送風する送風手段と、 前記送風手段と対向して前記基板の他方の脇に配置され
前記基板の基板面と略垂直な開口の吸気口を有し、前記
送風手段から供給される送風を吸引して前記基板の基板
面と略平行な気流を形成する第１の吸引手段と、 前記スクライブ・テーブルの周囲に配置され前記基板の
基板面と略平行な開口の吸気口を有し、前記送風手段か
ら供給される送風を吸引して前記基板の周囲に下向きの
気流を形成する第２の吸引手段と、 を備え、前記カッターによる前記スクライブの際に発生
する粉塵を前記第１或いは前記第２の吸引手段により吸
引することにより、前記粉塵の前記基板への付着や周囲
への飛散を抑制するようにしたことを特徴とするスクラ
イブ装置。 - 【請求項４】前記送風手段は、前記基板及び前記粉塵に
帯電した静電気をイオン化した気体分子を照射すること
により除去するためのイオン化装置を備えたことを特徴
とする請求項２または３に記載のスクライブ装置。 - 【請求項５】スクライブ・テーブル上に設置された基板
を、カッターによりスクライブすることにより液晶表示
装置の部品としてのガラス基板を得るためのスクライブ
方法において、 前記基板の一方の脇から前記基板の基板面に対して略水
平方向に送風するとともに、前記基板の他方の脇におい
て前記送風を吸引することにより前記基板の基板面と略
平行な気流を形成し、 さらに、前記スクライブ・テーブルの周囲において前記
送風を下向きに吸引して前記基板の周囲に下向きの気流
を形成し、 前記カッターによる前記スクライブの際に発生する粉塵
を前記略平行な気流或いは前記下向きの気流に沿って吸
引して、前記粉塵の前記基板への付着や周囲への飛散を
抑制するようにしたことを特徴とするスクライブ方法。 - 【請求項６】気体分子をイオン化して送風することによ
り、前記基板及び前記粉塵に帯電した静電気を除去する
ことを特徴とする請求項５記載のスクライブ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9164394A JPH1111966A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | スクライブ装置及びスクライブ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9164394A JPH1111966A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | スクライブ装置及びスクライブ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1111966A true JPH1111966A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=15792304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9164394A Pending JPH1111966A (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | スクライブ装置及びスクライブ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1111966A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004145337A (ja) * | 2002-10-22 | 2004-05-20 | Lg Philips Lcd Co Ltd | 液晶表示パネルの切断装置 |
| JP2012248268A (ja) * | 2009-12-25 | 2012-12-13 | Asahi Glass Co Ltd | 円盤状ガラス基板及び円盤状ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体用ガラス基板 |
| JP2014223701A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 川崎重工業株式会社 | クリーン機能を備えた板材切断装置 |
| CN106738400A (zh) * | 2016-12-12 | 2017-05-31 | 惠科股份有限公司 | 玻璃碎屑清洁结构及搬运机 |
| JP2019026513A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 粉塵飛散防止装置並びにこの粉塵飛散防止装置を備えた基板加工装置 |
| CN111055019A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-04-24 | 方雅晴 | 一种吸附除屑的激光材料刻痕机 |
| CN111662007A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-09-15 | 蚌埠朝阳玻璃机械有限公司 | 一种防静电玻璃切割机 |
| CN112194351A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-08 | 江门市山子玻璃有限公司 | 一种用于玻璃制造的自动裁片机 |
| CN113085028A (zh) * | 2021-04-16 | 2021-07-09 | 湖北信永辉电子科技有限公司 | 一种触摸屏生产用玻璃异形切割机 |
-
1997
- 1997-06-20 JP JP9164394A patent/JPH1111966A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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