JPH0199676A - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、液晶表示装置の組立工程で基板の表面をク
リーニングする装置に関する。

従来の技術 従来、液晶表示装置の組立工程で基板の表面に付着した
ダストを除去するために、排気設備を備えたペンチの中
でエアーガン等で吹き飛ばす方法がとられていた。

発明が解決しようとする問題点 しかし、このような方法で基板の表面に付着したダスト
の除去を行っても、除去したダストが空中を浮遊したの
ち再び基板の表面に付着するなどのため安定したクリー
ニング効果が得られなかったＯ そこで、本発明は、除去したダストが空中に浮遊しない
ことと、除去したダストが基板に再付着するのを防ぐよ
うにしたりｌＪ＝ング装置を提供するものである。

問題点を解決するための手段 そして上記問題点を解決する本発明の技術的な手段は、
上記クリーニング装置において、基板を吸着する吸着テ
ーブルを蓋としたクリーニングボックスに、ダストを吹
き飛ばすブローノズルと、ダストを吸引して排出する吸
引ノズルを備えるものである。

作　　用 この技術的手段による作用は次のようになる。

基板を吸着した吸着テーブルで蓋をすることによシ、密
閉状態にしたクリーニングボックスの内側で、ダストを
吸引して排出する吸引ノズルを作動してから、ダストを
吹き飛ばすブローノズルを作動させ、前記ブローノズル
が停止してから前記吸引ノズルを停止するタイミングで
基板表面に付着したダストを除去する◎又、この時前記
ブローノズルから吹き出す気体の供給量より、ダストを
吸引して排出する吸引ノズルの吸引量の方を高い値に設
定しである。このため前記クリーニングボックスの内側
の気体の流れは、第１図に示すととくダストを吹き飛ば
すブローノズル１から吹き出した気体が、吸着テーブル
２に吸着しである基板３に当り表面に付着したダストを
吹き飛ばしたのち、クリーニングボックス８の中で浮遊
することなく瞬時に吸引ノズル４と５に流れて排出され
るのである。

実施例 以下本発明の一実施例を図面にもとづいて説明する。

第２図において、吸着テーブル２は基板３を吸着するも
ので、クリーニングボックス８の上側に設けてあり、シ
ール材７を介して密着してクリーニングボックス８が密
閉できるようになっている。

プローノズ／ｌ／１は、ガイトレー）Ｖ６にガイドされ
て基板３に平行に往復移動しながらホース９から供給さ
れる圧縮空気を吹き付ける。又、ブローノズル１は基板
３に対して斜めに設けである。又、吸引ノズ／ｌ／４と
５はブローノズ／Ｌ’１が移動する方向の前後に設けで
ある。

次にこの一実施例の構成における作用を説明するＯ マス、吸着テープ／Ｖ２をクリーニングボックス８の上
側に設けであるのは、吸着した基板３の表面を下向きに
してダストを吹き飛ばすためで基板３の表面を下向きに
することにより、−旦除去したダストが再び基板の上に
乗って付着するのを防いでいる。

又、ブローノズルし１をガイトレー／Ｌ／６によす往復
移動しながらホース９から供給される圧縮空気を吹き付
けて、基板３の表面に付着しているダストを吹き飛ばす
とともに瞬時に吸引ノズ／ｌ／４と５よシダストを排出
する。この時の吸引ノズル４と６と、ブローノズ／Ｌ／
１の作動のタイミングは、第３図に示すように吸引ノズ
／Ｉ／４と６が作動してから、プローノズ／Ｌ’１が作
動する◇又プローノズル１が停止してから吸引ノズル４
，５を停止するように設定しである。更に、ブローノズ
ｚＬｚ１から吹き出す圧縮空気の供給量に比べて、ダス
トを吸引して排出する吸引ノズ）Ｖ４と５の吸引量の方
を高い値にしである。このことによシ、クリーニングボ
ックス８の内側の空気の流れは、クリーニングボックス
の内側で澱むことなく吸引ノズル４トロより瞬時に排出
される。したがってブローノズル１で吹き飛ばしたダス
トも、クリーニングボックス８の中で浮遊することなく
瞬時に吸引ノズ／Ｖ４と５の方向に流れて排出されるこ
とになる。

更にブローノズ／ｖ１を基板３に対して斜めに設けたこ
とにより、基板３の表面に付着したダストが効果的に除
去できる。又ブローノズ１ｌｚ１が移動する方向に吸引
ノズ／Ｌ／４と６を備えたことによシ、プローノズ／Ｌ
／１によシ吹き飛ばしたダストを効果的にとらまえるこ
とができる。

発明の効果 本発明は、基板を吸着テーブルを蓋としたクリーニング
ボックスに、ダストを吹き飛ばすブローノズルと、ダス
トを吸引して排出する吸引ノズルを備えたクリーニング
装置で、前記クリーニングボックスを密閉した状態で前
記ブローノズルと前記吸引ノズルの作動するタイミング
と前記ブローノズル１から吹き出す気体の供給量と前記
吸引ノズルから排出する吸引量のバランス等、技術的な
手段を講じることにより、基板の表面よシ除去したダス
トがクリーニングボックスの中で浮遊するのを防ぐとと
もに、除去したダストが基板に再付着するのを防ぐよう
にしたことによシ、安定したクリーニング効果が得られ
るのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のクリーニング装置の作用を
説明した要部拡大断面図、第２図はクリーニング装置の
構成及び動作を示した要部拡大断面図、第３図は吸引ノ
ズルとブローノズルのタイミングを示したタイミング図
である。 １・・・・・・ブローノズル、２・・・・・・吸着テー
ブル、３・・・・・・基板、４，６・・・・・・吸引ノ
ズル、８・・・・・・クリーニングボックス。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名菓　
１　図 ２吠看テーブル 第　２　図

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板を吸着する吸着テーブルを蓋としたクリーニ
   ングボックスに、ダストを吹き飛ばすブローノズルと、
   ダストを吸引して排出する吸引ノズルを備えたクリーニ
   ング装置。
2. （２）クリーニングボックスの上側に吸着テーブルを設
   けた特許請求の範囲第１項記載のクリーニング装置。
3. （３）ブローノズルを基板に対して斜めに設けた特許請
   求の範囲第１項記載のクリーニング装置。
4. （４）吸引ノズルが作動してからブローノズルが作動し
   、前記ブローノズルが停止してから、前記吸引ノズルが
   停止するタイミングを有した特許請求の範囲第１項記載
   のクリーニング装置。
5. （５）ブローノズルから吹き出す気体の供給量に比べて
   ダストを吸引して排出する吸引ノズルの吸引量の方を高
   い値に設定した特許請求の範囲第１項記載のクリーニン
   グ装置。
6. （６）ブローノズルが移動する方向に吸引ノズルを備え
   た特許請求の範囲第１項記載のクリーニング装置。