TWI415695B - 乾洗器以及乾洗系統 - Google Patents

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TWI415695B
TWI415695B TW097107837A TW97107837A TWI415695B TW I415695 B TWI415695 B TW I415695B TW 097107837 A TW097107837 A TW 097107837A TW 97107837 A TW97107837 A TW 97107837A TW I415695 B TWI415695 B TW I415695B
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Hiroshi Murata
Kazuhiro Tatara
Akihiko Ema
Tetsuo Miyata
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Nisshin Eng Inc
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Description

乾洗器以及乾洗系統
本發明是關於一種用於除去被吐出物體上的附著物之乾洗器中所使用的噴嘴、具有該噴嘴的乾洗器以及具有該乾洗器的乾洗系統。
在液晶面板的組裝製造過程中,采用一種在液晶顯示裝置用面板所使用的2片玻璃基板之間,均勻地散布球形狀的粉末(襯墊(spacer)),而使2片玻璃基板的間隙保持均勻的方法。如在襯墊凝集於玻璃基板上的狀態下進行散布,則2片玻璃基板的間隙變得不均勻,所以需要除去所散布的襯墊,而重新進行散布。因此,作為除去在玻璃基板上所散布的襯墊的裝置,提出有一種除塵裝置(例如,參照日本登錄實用新案第3009694號、日本專利早期公開之特開平7-60211號公報),其包括具有超音波發生器的第1、第2噴出噴嘴和在它們之間所配置的1個吸引噴嘴,並從第1、第2噴出噴嘴向玻璃基板的表面噴出超音波氣體(air),且利用中央的吸引噴嘴來吸引襯墊。
在這種除塵裝置中,無法利用吸引噴嘴高效率地吸引從第1、第2噴出噴嘴所噴出的超音波氣體,結果,有時不能完全去除玻璃基板上所附著的襯墊。
本發明的目的是提供一種能夠良好地除去被吐出物體的表面上所附著的附著物之乾洗器中所使用的噴嘴、具 有該噴嘴的乾洗器以及具有該乾洗器的乾洗系統,其中,該附著物可為例如襯墊或小粒徑的垃圾類。
本發明的噴嘴為一種與被吐出物體保持規定的間隔而配置著,並用於沿著對前述被吐出物體大致直交的方向吐出壓縮空氣之噴嘴,其特徵在於,在內部具有貯留前述壓縮空氣的貯留部,並具有與該貯留部連通的狹縫狀的吐出口,且作為與前述吐出口的形成位置上的前述吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,而且,前述吐出口被設置在前述凸形狀的與前述被吐出物體最接近的位置上。
如利用本發明的噴嘴,則作為與吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,所以藉由使壓縮空氣從吐出口沿著對被吐出物體大致直交的方向吐出,而使被吐出物體表面的附著物剝離,並使含有剝離了的附著物的壓縮空氣利用附壁效應,而沿著具有規定曲率的凸形狀行進。因此,能夠防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。
而且,本發明的噴嘴為一種與被吐出物體保持規定的間隔而配置著,並用於沿著對前述被吐出物體大致直交的方向吐出壓縮空氣之噴嘴,其特徵在於,在內部具有貯留前述壓縮空氣的貯留部,並具有與該貯留部連通的狹縫狀的吐出口,且與前述吐出口形成位置上的前述吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,為平面形狀和與其連續而形成的具有規定曲率的凸形狀,而且,前述吐出口被設置在前述 平面形狀的大致中央部。
如利用本發明的噴嘴,則作為與吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有平面形狀和與其連續形成的規定曲率的凸形狀,所以藉由使壓縮空氣從吐出口沿著對被吐出物體大致直交的方向吐出,而使被吐出物表面的附著物剝離,並使含有剝離了的附著物的壓縮空氣沿著平面形狀及利用附壁效應而沿著具有規定曲率的凸形狀行進。因此,能夠防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。
而且,本發明的乾洗器為一種用於除去被吐出物體上的附著物的乾洗器,其特徵在於,包括:噴嘴,其與前述被吐出物體保持規定的間隔而配置著,並在內部具有貯留壓縮空氣的貯留部,且具有與該貯留部連通的狹縫狀的吐出口,而且,作為與前述吐出口形成位置上的前述吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,而且,前述吐出口被設置在前述凸形狀的與前述被吐出物體最接近的位置上;罩殼,其在內部收納前述噴嘴,並具有開口部,用於使從前述噴嘴的前述吐出口沿著對前述被吐出物體大致直交的方向吐出的前述壓縮空氣,和掃過前述被吐出物體表面的前述壓縮空氣通過,形成沿著前述噴嘴的具有規定曲率的凸形狀之前述壓縮空氣所行進的通路;以及排氣部,其用於排出前述壓縮空氣,該壓縮空氣是沿著前述具有規定曲率的凸形狀而行進。
如利用本發明的乾洗器,則是從噴嘴的吐出口對被吐 出物體沿著大致直交的方向吹噴壓縮空氣,所以能夠確實地剝離被吐出物體上所附著的附著物。而且,作為與噴嘴的吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,所以壓縮空氣是利用附壁效應而沿著具有規定曲率的凸形狀在罩殼內行進,其中,壓縮空氣是從吐出口而沿著對被吐出物體大致直交的方向吐出,並掃過被吐出物體表面,且含有從被吐出物體所剝離的附著物。因此,能夠防止剝離了的附著物向罩殼外的飛散,並可防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。
而且,本發明的乾洗器為一種用於除去被吐出物體上的附著物的乾洗器,其特徵在於,包括:噴嘴,其與前述被吐出物體保持規定的間隔而配置著,並在內部具有貯留壓縮空氣的貯留部,且具有與該貯留部連通的狹縫狀的吐出口,而且,作為與前述吐出口形成位置上的前述吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有平面形狀和與其連續形成的規定曲率的凸形狀,而且,前述吐出口被設置在前述平面形狀的大致中央部;罩殼,其在內部收納前述噴嘴,並具有開口部,用於使從前述噴嘴的前述吐出口沿著對前述被吐出物體大致直交的方向吐出的前述壓縮空氣,和掃過前述被吐出物體表面的前述壓縮空氣通過,罩殼形成沿著前述噴嘴的具有規定曲率的凸形狀之前述壓縮空氣所行進的通路;以及排氣部,其用於排出前述壓縮空氣,該壓縮空氣是沿著前述具有規定曲率的凸形狀行進。
如利用本發明的乾洗器,則是從噴嘴的吐出口對被吐出物體沿著大致直交的方向吹噴壓縮空氣,所以能夠確實地剝離被吐出物體上所附著的附著物。而且,作為與噴嘴的吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,所以壓縮空氣是沿著平面形狀,並利用附壁效應而沿著具有規定曲率的凸形狀在罩殼內行進,其中,壓縮空氣是從吐出口而沿著對被吐出物體大致直交的方向吐出,並掃過被吐出物體表面,且含有從被吐出物體所剝離的附著物。因此,能夠防止剝離了的附著物向罩殼外的飛散,並可防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。
而且,本發明的乾洗器的特徵在於,前述排氣部在前述噴嘴的上方沿著前述噴嘴的前述吐出口所延伸的方向而配置著,並具有在上部形成狹縫狀開口的圓管狀構件,且前述壓縮空氣所行進的前述通路,是以大致一定高度的通路而將前述罩殼的開口部和前述圓管狀構件的開口進行連通。
如利用本發明的乾洗器,則從罩殼的開口部所吸入的含有從被吐出物體剝離的附著物之空氣,是以大致一定的流速在通路內行進,並從圓管狀構件上部的狹縫狀開口被吸入到圓管狀構件內,所以對寬度方向可進行均勻的吸引。而且,因為含有從被吐出物體所剝離的附著物之空氣是以大致一定的流速而在通路內行進,所以能夠防止暫時剝離的附著物再次附著在通路的內壁上,另外,即使是附 著物再次附著在通路的內壁上,也能夠不輕易地落下。
而且,本發明的乾洗系統包括本發明的乾洗器和載置被吐出物體的載置部,其特徵在於,前述乾洗器的噴嘴和前述被吐出物體相互保持一定的間隔,並沿著與前述噴嘴的前述吐出口的長邊方向直交之方向而相對地移動。
而且,本發明的乾洗系統的特徵在於,包括將前述乾洗器沿著與前述噴嘴的前述吐出口的長邊方向直交之方向進行搬運的搬運裝置,或者將前述被吐出物體沿著與前述噴嘴的前述吐出口的長邊方向直交之方向進行搬運的搬運裝置。
如利用本發明的乾洗系統,則被吐出物體和噴嘴是在與噴嘴的吐出口的長邊方向直交之方向上相對地進行移動,所以即使是大型的被吐出物體,也可迅速地進行附著物的除去。
如利用本發明的噴嘴,則作為與吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有形成規定曲率的凸形狀,所以,壓縮空氣利用附壁效應而沿著具有規定曲率的凸形狀行進,其中,壓縮空氣是從吐出口而沿著對被吐出物體大致直交的方向被吐出,並掃過被吐出物體表面,且含有從被吐出物體所剝離的附著物。因此,能夠防止剝離了的附著物向罩殼外的飛散,並可防止臨時剝離的附著物再次附著在被吐出物體上。
而且,如利用本發明的乾洗器,則從噴嘴的吐出口對被吐出物體沿著大致直交的方向吹噴該壓縮空氣,所以能 夠確實地剝離被吐出物體上所附著的附著物。而且,作為與噴嘴的吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,所以壓縮空氣是利用附壁效應,而沿著具有規定曲率的凸形狀在罩殼內行進,其中,壓縮空氣是從吐出口而沿著對被吐出物體大致直交的方向吐出,並掃過被吐出物體表面,且含有從被吐出物體所剝離的附著物。因此,能夠防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。
而且,如利用本發明的乾洗系統,則被吐出物體和噴嘴是在與噴嘴的吐出口的長邊方向直交之方向上相對地進行移動,所以即使是大型的被吐出物體,也可迅速地進行附著物的除去。
以下,參照圖示,對關於本發明的第1實施形態之乾洗器進行說明。圖1所示為具有關於第1實施形態的乾洗器之乾洗系統的構成。另外,在以下的說明中,設定圖1中所示的直交座標系,並參照該XYZ直交座標系而對各構件的位置關係進行說明。XYZ直交座標系是使X軸及Y軸對基板載置部的表面成平行而設定,使Z軸沿著對基板載置部的表面成直交的方向而設定。圖中的XYZ直交座標系實際上是將XY平面設定為與水平面平行的面,使Z軸設定為垂直方向。
如圖1所示,乾洗系統2包括:乾洗器4,其設置在乾洗器設置部3中;基板載置部8,其用於載置作為被吐 出物體的液晶顯示裝置用面板的基板10。在這裏,基板10為具有大型矩形形狀的玻璃基板,且基板載置部8具有較基板10大的矩形形狀的基板載置面,以便可載置大型的基板10。
從壓縮機5而通過供給管6以供給壓縮空氣至乾洗器4。所供給的壓縮空氣是從噴嘴16(參照圖2)的狹縫狀的吐出口16吐出,並吹噴在基板載置部8上所載置之液晶顯示裝置用面板的基板10的表面上,而將基板10上所散布的付著物亦即襯墊(及小粒徑的垃圾類,以下相同)予以除去。亦即,藉由使壓縮空氣從噴嘴16的縫隙狀的吐出口16b吐出,並吹噴至基板10的表面,而使基板10上所散布的附著物亦即襯墊從基板10剝離,且使含有剝離了的襯墊的壓縮空氣,通過排氣管12而由具有鼓風機的排氣裝置14排出,從而除去基板10上的襯墊。此時,基板載置部8沿著圖1所示的箭頭符號方向(Y方向),亦即,沿著與吐出口16b的長邊方向直交的方向而利用傳送機等來搬運,使吐出口16b和基板10相互保持一定的間隔而相對地進行移動,從而在基板10的全面範圍內除去襯墊。
圖2為用於說明乾洗器4的構成的剖面圖(與乾洗器的寬度方向的中央部之狹縫狀的吐出口直交之方向上的剖面圖)。另外,乾洗器的斷面形狀在乾洗器的寬度方向的任一位置都具有同樣的形狀。而且,圖中的箭頭符號表示基板的移動方向。
乾洗器4如圖2所示,具有噴嘴16和罩殼18,其中, 噴嘴16用於對基板10的表面10a吐出該壓縮空氣,罩殼18用於收納噴嘴16。噴嘴16具有沿著基板10的寬度方向(X方向)而延伸的形狀並具有較基板10的寬度方向稍大的寬度。噴嘴16在其內部具有貯留部16a,用於貯留從壓縮機5通過供給管6而供給的壓縮空氣。在這裏,貯留部16a是在噴嘴16內的大致全寬度內形成。而且,噴嘴16具有與貯留部16a連通之狹縫狀的吐出口16b。而且,噴嘴16如圖2所示,作為與吐出口16b形成位置上的吐出口16b所延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀16c,在將凸形狀16c的大致中央部,亦即,將噴嘴16與基板10的表面10a保持規定間隔配置的情况下,在與基板10的表面10a最接近的位置,設置吐出口16b。另外,噴嘴16所具有的規定曲率的凸形狀16c,在使吐出口16b的-Y側的曲率半徑為R1,吐出口16b的Y側的曲率半徑為R2的情况下,既可為R1=R2,也可為R1≠R2,且R1、R2的大小可分別酌情選擇最適當的大小。
罩殼18在其內部收納著噴嘴16,並在與吐出口16b對向的位置上設置沿著X方向延伸的開口部18a,以使從噴嘴16的吐出口16b朝著基板10的表面10a所吐出的壓縮空氣,和掃過基板10的表面10a的壓縮空氣通過。罩殼18形成通路18b並具有排氣部18c,其中,通路18b掃過基板10的表面10a且是通過開口部18a之壓縮空氣沿著噴嘴18的具有規定曲率的凸形狀16c所行進的通路,排氣部18c是將該壓縮空氣排出到排氣管12中。
從壓縮機5所供給的壓縮空氣通過貯留部16a,而由狹縫狀的吐出口16b朝著基板10吐出,並到達基板10的表面10a。在這裏,吐出口16b和基板表面10a的距離為0.01~30mm,較佳為0.5~5mm,且作為從狹縫狀的吐出口16b所吐出的壓縮空氣,使例如吹噴壓力為0.01~0.95MPa,較佳為0.1~0.5MPa。如圖3所示,從狹縫狀的吐出口16b所吐出的壓縮空氣是在通過罩殼18的開口部18a到達基板10的表面10a之後,將基板10的表面10a上所附著的襯墊進行剝離。然後,含有剝離了的襯墊的壓縮空氣通過開口部18a,如圖中的箭頭符號所示,沿著噴嘴16的具有規定曲率的凸形狀16c而在通路18b內行進,並通過排氣部18c及排氣管12而由排氣裝置14所吸引,且排出到例如工廠的外部。此時,藉由使載置有基板的基板載置部8沿著Y方向而移動,可在基板10的表面10a的全體範圍內除去襯墊。
如利用關於該第1實施形態的乾洗器,則使壓縮空氣從噴嘴的吐出口對基板沿著大致直交的方向進行吹噴,所以可使基板上所附著的附著物確實地剝離。而且,作為與噴嘴的吐出口形成位置上的吐出口所延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定曲率的凸形狀,所以使壓縮空氣利用附壁效應,而沿著具有規定曲率的凸形狀在罩殼內行進,其中,該壓縮空氣是從吐出口沿著對基板大致直交的方向吐出,並掃過基板表面且含有從基板所剝離的附著物。因此,能夠防止剝離了的附著物飛散到罩殼以外,並能夠防止暫 時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。而且,含有剝離了的附著物之壓縮空氣,利用附壁效應而沿著噴嘴的凸形狀行進,所以能夠使排氣裝置的必要吸引動力減低。
下面,參照圖示,對關於本發明的第2實施形態的乾洗器進行說明。該乾洗器是與第1實施形態同樣地被應用於乾洗系統。圖4所示為用於說明乾洗器30的構成的剖面圖(與乾洗器的寬度方向的大致中央部之狹縫狀的吐出口直交的方向上的剖面圖)。另外,乾洗器的斷面形狀在乾洗器的寬度方向的任一位置上都具有同樣的形狀。而且,圖中的箭頭符號方向表示基板的移動方向。
乾洗器30如圖4所示,具有噴嘴32和用於收納噴嘴32的罩殼34,其中,該噴嘴32用於對基板10的表面10a吐出該壓縮空氣。噴嘴32具有沿著基板10的寬度方向(X方向)延伸的形狀,並具有較基板10的寬度方向稍大的寬度。噴嘴32在內部具有貯留部32a,其用於貯留從壓縮機5經由供給管6所供給的壓縮空氣。在這裏,貯留部32a是在噴嘴32內的大致全寬度內形成。而且,噴嘴32具有與貯留部32a連通之狹縫狀的吐出口32b。而且,噴嘴32如圖4所示,作為與吐出口32b形成位置上的吐出口32b所延伸之方向直交的斷面形狀,噴嘴32具有平面形狀32c和與其連續形成的具有規定曲率的凸形狀32d,且在平面形狀32c的大致中央部設置有吐出口32b。另外,噴嘴32所具有的規定的曲率的凸形狀32d,在吐出口32b的-Y側的曲率半徑為R1,吐出口32b的Y側的曲率半徑為R2 的情况下,既可為R1=R2,也可為R1≠R2,且R1、R2的大小可分別酌情選擇最適當的尺寸。
罩殼34在其內部收納著噴嘴32,並在與吐出口32b對向的位置上設置沿著X方向延伸的開口部34a,以使從噴嘴32的吐出口32b朝著基板10的表面10a所吐出的壓縮空氣,和掃過基板10的表面10a的壓縮空氣都可通過。罩殼34形成通路34b並具有排氣部34c,其中,通路34b掃過基板10的表面10a且是通過開口部34a之壓縮空氣沿著噴嘴32的具有規定的曲率的凸形狀32c所行進的通路,排氣部34c是將該壓縮空氣排出到排氣管12中。
從壓縮機5所供給的壓縮空氣是通過貯留部32a,而由狹縫狀的吐出口32b朝著基板10吐出,並到達基板10的表面10a。在這裏,吐出口32b和基板10表面10a的距離及從吐出口32b所吐出的壓縮空氣的壓力、吹噴的速度,與第1實施形態相同較佳。如圖5所示,從狹縫狀的吐出口32b所吐出的壓縮空氣是在通過罩殼34的開口部34a到達基板10的表面10a之後,將基板10的表面10a上所附著的襯墊進行剝離。然後,含有剝離了的襯墊的壓縮空氣通過開口部34a,沿著噴嘴32的平面形狀32c及具有規定曲率的凸形狀32d而在通路34b內行進,並通過排氣部34c及排氣管12而由排氣裝置14吸引,且排出到外部。此時,藉由使載置有基板的基板載置部8沿著Y方向,亦即沿著與吐出口32b的長邊方向直交的方向移動,可在基板10的表面10a的全體範圍內除去襯墊。
如利用關於該第2實施形態的乾洗器,則使壓縮空氣從噴嘴的吐出口對基板沿著大致直交的方向進行吹噴,所以可使基板上所附著的附著物確實地剝離。而且,作為與噴嘴的吐出口形成位置上的吐出口所延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定的曲率的凸形狀,所以使壓縮空氣利用附壁效應,而沿著具有規定的曲率的凸形狀在罩殼內行進,其中,該壓縮空氣是從吐出口沿著對基板大致直交的方向吐出,並掃過基板表面,且含有從基板所剝離的附著物。因此,能夠防止剝離了的附著物飛散到罩殼以外,並能夠防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。而且,含有剝離了的附著物的壓縮空氣,利用附壁效應而沿著噴嘴的凸形狀行進,所以,即使在排氣裝置的吸引動力低的情况下,也能夠確實地進行含有剝離了的附著物之壓縮空氣的排氣。
下面,參照圖示,對關於本發明的第3實施形態的乾洗器進行說明。該乾洗器是與第1實施形態同樣地被應用於乾洗系統。乾洗器50如圖6所示,具有噴嘴56和用於收納噴嘴56的罩殼58,其中,該噴嘴56用於對基板10的表面10a吐出壓縮空氣。噴嘴56具有沿著基板10的寬度方向(X方向)延伸的形狀,並具有較基板10的寬度方向稍大的寬度。噴嘴56在內部具有貯留部56a,其用於貯留從壓縮機5通過供給管6所供給的壓縮空氣。在這裏,貯留部56a是在噴嘴56內的大致全寬度內形成。而且,噴嘴56具有與貯留部56a連通之狹縫狀的吐出口56b。而 且,噴嘴56如圖6所示,作為與吐出口56b所形成的位置上的吐出口56b所延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定的曲率的凸形狀56c,且在與基板10的表面10a保持規定的間隔而配置該噴嘴56的情况下,在與基板10的表面10a最接近的位置設置著吐出口56b。另外,噴嘴56所具有的規定的曲率的凸形狀56c,在吐出口56b的-Y側的曲率半徑為R1,吐出口56b的Y側的曲率半徑為R2的情况下,既可為R1=R2,也可為R1≠R2,且R1、R2的大小可分別酌情選擇最適當的尺寸。
罩殼58在其內部收納噴嘴56,並在與吐出口56b對向的位置上設置沿著X方向延伸的開口部58a,以使從噴嘴56的吐出口56b朝著基板10的表面10a所吐出的壓縮空氣,和掃過基板10的表面10a的壓縮空氣通過。罩殼58形成具有一定高度的通路58b並具有圓管狀構件60,其中,通路58b掃過基板10的表面10a且是通過開口部58a之壓縮空氣沿著噴嘴56的具有規定曲率的凸形狀56c所行進的通路,圓管狀構件60用於將該壓縮空氣排出到排氣管12中。圓管狀構件60是在罩殼58內的噴嘴56的上方,沿著噴嘴56的吐出口56b所延伸的方向而配置著,且在上部具有狹縫狀的開口60a。
從壓縮機5所供給的壓縮空氣是通過貯留部56a,而由狹縫狀的吐出口56b朝著基板10吐出,並到達基板10的表面10a。在這裏,吐出口56b和基板表面10a的距離為0.01~30mm,較佳為0.5~5mm,且作為從狹縫狀的吐 出口56b所吐出的壓縮空氣,例如吹噴壓力為0.01~0.95MPa,較佳為0.1~0.5MPa。如圖7所示,從狹縫狀的吐出口56b所吐出的壓縮空氣是在通過罩殼58的開口部58a到達基板10的表面10a之後,將基板10的表面10a上所附著的襯墊進行剝離。然後,含有剝離了的襯墊的壓縮空氣通過開口部58a,如圖7中的箭頭符號所示,沿著噴嘴56的具有規定曲率的凸形狀56c而在通路58b內行進,並在將開口部58a和圓管狀構件60的開口60a連通之大致一定高度的通路行進,而從開口60a被吸入到圓管狀構件60內,且通過排氣管12而由排氣裝置14所吸引,並排出到例如工廠的外部。此時,藉由使載置有基板的基板載置部8沿著Y方向而移動,可在基板10的表面10a的全體範圍內除去襯墊。
如利用關於該第3實施形態的乾洗器,則使壓縮空氣從噴嘴的吐出口對基板沿著大致直交的方向進行吹噴,所以可使基板上所附著的附著物確實地剝離。而且,作為與噴嘴的吐出口所形成的位置上的吐出口所延伸之方向直交的斷面形狀,具有規定的曲率的凸形狀,所以使壓縮空氣利用附壁效應,而沿著具有規定的曲率的凸形狀在罩殼內行進,其中,該壓縮空氣是從吐出口沿著對基板大致直交的方向吐出,並掃過基板表面,且含有從基板所剝離的附著物。因此,能夠防止剝離了的附著物飛散到罩殼以外,並能夠防止暫時剝離了的附著物再次附著在被吐出物體上。而且,含有剝離了的附著物的壓縮空氣,利用附壁效 應而沿著噴嘴的凸形狀行進,所以,可使排氣裝置的必要吸引動力減低。
而且,由罩殼的開口部所吸入之含有從被吐出物體剝離的附著物的空氣,因為通路具有一定的高度,所以可以一定的流速在通路內行進,並從圓管狀構件上部的狹縫狀的開口而被吸入到圓管狀構件內,所以能夠對寬度方向進行均勻的吸引。而且,含有從被吐出物體剝離的附著物之空氣是以一定的流速在通路內行進,所以,能夠防止暫時剝離了的附著物再次附著在通路的內壁上,另外,即使附著物再次附著在通路內壁上,也可難以落下。
另外,在上述的實施形態中,是使基板載置部8對乾洗器4(30、50)而沿著Y方向移動,但也可使乾洗器4(30、50)對基板載置部8而沿著Y方向移動。亦即,也可藉由使乾洗器4(30、50)利用傳送機等搬運裝置而沿著Y方向搬運,而使乾洗器4對基板載置部8而沿著Y方向移動。
而且,上述實施形態的被吐出物體10為液晶顯示裝置用面板的基板,附著物為散布在被吐出物體10上的襯墊,但被吐出物體10也可為例如安裝著電子構件的安裝基板、矽晶圓、場致發射(field emission)顯示面板、電漿顯示面板等基板、多機能薄膜等,付著物也可為例如數nm~數μm的基板切割屑、綫頭等這樣的塵埃等。
而且,在上述的實施形態中,是利用工廠設施的壓縮機而對乾洗機供給壓縮空氣,但也可在乾洗系統中設置壓 縮機,並對乾洗機供給壓縮空氣。
下面,對如上述的各實施形態那樣利用附壁效應的乾洗器,和不利用附壁效應的乾洗器中的、來自噴嘴的壓縮空氣的吹噴壓力和排氣裝置的吸引動力的關係進行說明。在這裏,圖8所示為來自噴嘴的壓縮空氣的吹出壓力和排氣裝置的吸引動力之關係的圖,圖9所示為不利用附壁效應的乾洗器的構成的剖面圖。圖9所示的乾洗器100是在罩殼110內設置著噴嘴120,但作為與噴嘴120的吐出口130所形成之位置上的吐出口130延伸的方向直交的斷面形狀,並不具有規定的曲率的凸形狀。
如圖8的圖所示,是使噴嘴的吐出口和基板的間隔(gap)在0.5~2.0(mm)之間變化,並使來自噴嘴的壓縮空氣的噴出壓力在0.2~0.5(MPa)之間變化,而測定各個情况下的排氣裝置的吸引動力(-)(將間隙設定為0.5(mm),並設利用附壁效應之情况下的吸引負荷為1.0,且使其它情况下的吸引負荷無因次化),但在任一條件下,都是利用附壁效應之情况下的排氣裝置的吸引動力小。
另外,以上所說明的實施形態是為了使本發明容易理解而進行的說明,並不是為了限定本發明而進行的說明。因此,在上述實施形態中所揭示的各要素包括屬於本發明的技術範圍之所有的設計變更或等同物。
本發明與2007年3月8日提出的日本專利申請第2007-58278號中所包含的主題有關,且其揭示的全部在這裏是作為參照事物而清楚地加入。
產業上的可利用性
如以上所說明的本發明的噴嘴、乾洗器及乾洗系統適合用於除塵裝置。
2‧‧‧乾洗系統
3‧‧‧乾洗器設置部
4‧‧‧乾洗器
5‧‧‧壓縮機
6‧‧‧供給管
8‧‧‧基板載置部
10‧‧‧基板
10a‧‧‧表面
12‧‧‧排氣管
14‧‧‧排氣裝置
16‧‧‧噴嘴
16a‧‧‧貯留部
16b‧‧‧吐出口
16c‧‧‧凸形狀
18‧‧‧罩殼
18a‧‧‧開口部
18b‧‧‧通路
18c‧‧‧排氣部
30‧‧‧乾洗器
32‧‧‧噴嘴
32a‧‧‧貯留部
32b‧‧‧吐出口
32c‧‧‧平面形狀
32d‧‧‧凸形狀
34‧‧‧罩殼
34a‧‧‧開口部
34b‧‧‧通路
34c‧‧‧排氣部
50‧‧‧乾洗器
56‧‧‧噴嘴
56a‧‧‧貯留部
56b‧‧‧吐出口
56c‧‧‧凸形狀
58‧‧‧罩殼
58a‧‧‧開口部
58b‧‧‧通路
60‧‧‧圓管狀構件
60a‧‧‧開口
100‧‧‧乾洗器
110‧‧‧罩殼
120‧‧‧噴嘴
130‧‧‧吐出口
圖1所示為關於第1實施形態的乾洗系統的構成。
圖2所示為關於第1實施形態的乾洗器之構成的剖面圖。
圖3為用於說明關於第1實施形態的從噴嘴所吐出之壓縮空氣的流程的圖示。
圖4所示為關於第2實施形態的乾洗器之構成的剖面圖。
圖5為用於說明關於第2實施形態的從噴嘴所吐出之壓縮空氣的流程的圖示。
圖6所示為關於第3實施形態的乾洗器之構成的剖面圖。
圖7為用於說明關於第3實施形態的從噴嘴所吐出之壓縮空氣的流程的圖示。
圖8為壓縮空氣的吹噴壓力和排氣裝置的吸引動力的關係的圖。
圖9所示為不利用附壁效應之乾洗器的構成的剖面圖。
2‧‧‧乾洗系統
3‧‧‧乾洗器設置部
4‧‧‧乾洗器
5‧‧‧壓縮機
6‧‧‧供給管
8‧‧‧基板載置部
10‧‧‧基板
12‧‧‧排氣管
14‧‧‧排氣裝置

Claims (5)

  1. 一種乾洗器,為一種用於除去被吐出物體上的附著物的乾洗器,其特徵在於,包括:噴嘴,其與前述被吐出物體保持規定的間隔而配置著,並在內部具有貯留壓縮空氣的貯留部,且具有與該貯留部連通的狹縫狀的吐出口,而且,作為與前述吐出口形成位置上的前述吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,噴嘴具有規定曲率的凸形狀,而且,前述吐出口被設置在前述凸形狀的與前述被吐出物體最接近的位置上;罩殼,其在內部收納前述噴嘴,並具有開口部,用於使從前述噴嘴的前述吐出口沿著對前述被吐出物體大致直交的方向吐出的前述壓縮空氣,和掃過前述被吐出物表面的前述壓縮空氣通過,形成前述噴嘴的沿著具有規定曲率的凸形狀之前述壓縮空氣所行進的通路;以及排氣部,其用於排出前述壓縮空氣,該壓縮空氣沿著前述具有規定曲率的凸形狀而行進。
  2. 一種乾洗器,為一種用於除去被吐出物體上的附著物的乾洗器,其特徵在於,包括:噴嘴,其與前述被吐出物體保持規定的間隔而配置著,並在內部具有貯留壓縮空氣的貯留部,且具有與該貯留部連通的狹縫狀的吐出口,而且,作為與前述吐出口形成位置上的前述吐出口延伸之方向直交的斷面形狀,噴嘴具有平面形狀和與其連續形成的規定曲率的凸形狀,而且,前述吐出口被設置在前述平面形狀的大致中央部; 罩殼,其在內部收納前述噴嘴,並具有開口部,用於使由前述噴嘴的前述吐出口沿著對前述被吐出物體大致直交的方向吐出的前述壓縮空氣,和掃過前述被吐出物表面的前述壓縮空氣通過,形成前述噴嘴的沿著具有規定曲率的凸形狀之前述壓縮空氣所行進的通路;以及排氣部,其用於排出前述壓縮空氣,該壓縮空氣沿著前述具有規定曲率的凸形狀而行進。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的乾洗器,其中,前述排氣部在前述噴嘴的上方沿著前述噴嘴的前述吐出口所延伸的方向而配置著,並具有在上部形成狹縫狀開口的圓管狀構件,且前述壓縮空氣所行進的前述通路,以大致一定高度的通路而將前述罩殼的前述開口部和前述圓管狀構件的開口進行連通。
  4. 一種乾洗系統,包括:如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的乾洗器;以及載置被吐出物體的載置部;其特徵在於,前述乾洗器的噴嘴和前述被吐出物體相互保持一定的間隔,並沿著與前述噴嘴的前述吐出口的長邊方向直交之方向而相對地移動。
  5. 如申請專利範圍第4項所述的乾洗系統,其中,包括將前述乾洗器沿著與前述噴嘴的前述吐出口的長邊方 向直交之方向進行搬運的搬運裝置,或者將前述被吐出物體沿著與前述噴嘴的前述吐出口的長邊方向直交之方向進行搬運的搬運裝置。
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