JP4076991B2 - 超微粒子の膜形成方法とその装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明における第1実施形態の超微粒子の膜形成装置1の全体を示すが、エアロゾル発生装置2は密閉性容器からなっており、その内部詳細は図2で示されている。側壁部には巻き上げガス供給管3が気密に接続されている。これには不活性ガスがボンベ12から供給される。流量調整バルブ13、開閉バルブ14が接続されている。巻き上げガス供給管13内の圧力が図示する位置で圧力計15で測定される。
Claims (15)
- 密閉性容器内に超微粒子粉を収容し、前記密閉性容器に気密に接続させた巻き上げガス供給管のガス噴出口から巻き上げガスを噴出させて、前記密閉性容器内に前記超微粒子のエアロゾルを発生させ、前記密閉性容器に気密に接続させた搬送管を通って、前記エアロゾルを膜形成室内に導入して、該膜形成室内に配設された基板上に前記密閉性容器内と前記膜形成室内との差圧により前記超微粒子の膜を形成させるようにした超微粒子の膜形成方法において、
前記巻き上げガス供給管のガス噴出口を前記超微粒子粉内に埋設し、前記密閉性容器に気密に接続させた搬送ガス供給管からの搬送ガスを前記エアロゾルの流れを乱さない層流状態に整流して前記密閉性容器内に供給し、該搬送ガスにより前記搬送管を通って前記エアロゾルを前記膜形成室内に導入するようにしたことを特徴とする超微粒子の膜形成方法。 - 前記エアロゾルの前記膜形成室内への導入中は常に、前記巻き上げガス供給管のガス噴出口は前記超微粒子粉内に埋設されるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の超微粒子の膜形成方法。
- 前記巻き上げガス供給管のガス流量を調節することにより前記基板上の膜厚を制御するようにしたことを特徴とする請求項1または2に記載の超微粒子の膜形成方法。
- 前記搬送管の搬送ガスのガス供給圧力により前記差圧を調節するようにしたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の超微粒子の膜形成方法。
- 前記巻き上げガス供給管の巻き上げガスの供給停止により前記搬送管内へのエアロゾルの供給停止を行うようにしたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の超微粒子の膜形成方法。
- 前記密閉性容器に振動力を加えることにより前記巻き上げガス供給管のガス噴出口の周りには常に超微粒子粉が存在するようにしたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の超微粒子の膜形成方法。
- 前記密閉性容器内に連続的または間歇的に新規の超微粒子粉を供給するようにしたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超微粒子の膜形成方法。
- 前記密閉容器内に超微粒子粉体の溜め部を3個設け、このうち第1の溜め部には新規の超微粒子粉体が収容され、第2の溜め部にはエアロゾル発生用の超微粒子粉体が収容されて、前記巻き上げガス供給管のガスの噴出口が埋設されており、第3の溜め部には廃棄すべき超微粒子粉体が収容されるようにしたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の超微粒子の膜形成方法。
- 超微粒子粉を収容する密閉性容器と、該密閉性容器に気密に接続された巻き上げガス供給管と、前記密閉性容器に気密に接続された搬送管と、該搬送管に接続された膜形成室とを備え、前記巻き上げガス供給管の噴出口から巻き上げガスを噴出させて前記密閉性容器内にエアロゾルを発生させ、該エアロゾルを前記搬送管を通って前記膜形成室内に導入して前記膜形成室内に配設された基板上に付着させるようにした超微粒子の膜形成装置において、
前記密閉性容器には更に気密に搬送ガス供給管が接続され、該搬送ガス供給管のガス排出口には、該ガス排出口から噴出される搬送ガスを前記エアロゾルの流れを乱さない層流状態に整流するフィルタ部を有する整流器が設けられ、かつ、前記巻き上げガス供給管の噴出口は前記超微粒子粉内に埋設され、前記噴出口から噴出される巻き上げガスにより発生されるエアロゾルを前記搬送ガスにより前記搬送管内を搬送し、前記膜形成室内に配設された基板上に超微粒子の膜を付着させるようにしたことを特徴とする超微粒子の膜形成装置。 - 前記巻き上げガス供給管の噴出口からの噴出ガスにより噴出口周囲の超微粒子粉から連続的にエアロゾルを発生させるための超微粒子供給手段を設けたことを特徴とする請求項9に記載の超微粒子の膜形成装置。
- 前記超微粒子供給手段は前記密閉性容器の底部に設けられ、前記噴出口側に超微粒子粉を集める働きをする傾斜面であることを特徴とする請求項10に記載の超微粒子の膜形成装置。
- 前記超微粒子供給手段は前記密閉性容器に取り付けられた振動器であることを特徴とする請求項10または11に記載の超微粒子の膜形成装置。
- 前記搬送ガス供給管にはガス供給流量調整手段が設けられており、そのガス供給により前記密閉性容器の圧力を調整する手段が設けられていることを特徴とする請求項9乃至12のいずれかに記載の超微粒子の膜形成装置。
- 前記巻き上げガス供給管には前記密閉性容器内に巻き上げガスを供給、停止するためのバルブが接続されていることを特徴とする請求項9乃至13のいずれかに記載の超微粒子の膜形成装置。
- 前記密閉性容器内に超微粒子粉の貯蔵部を設け、該貯蔵部に外部から超微粒子粉を連続的または間歇的に供給するようにし、前記貯蔵部から連続的または間歇的に前記傾斜面上に堆積されている超微粒子粉上に超微粒子粉を供給するようにしたことを特徴とする請求項10乃至14のいずれかに記載の超微粒子の膜形成装置。
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