CN111717664A - 粉状部件供给装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种粉状部件供给装置。解决以往的料斗能够改善堵塞，但无法以稳定的整体流供给全部量，难以以个数单位供给粉体的问题点。本发明的粉状部件供给装置(1)包括：料斗主体(12)，其在上部设有粉状部件的供给开口(12A)，在下部设有粉状部件的排出开口(12B)，随着从供给开口(12A)朝向排出开口(12B)而直径逐渐减小；盖(13)，其覆盖供给开口(12A)；以及负压产生装置(14)，其在向料斗主体(12)内装入全部量粉状部件并关闭盖(13)的状态下，在料斗主体(12)内产生负压。利用在料斗主体(12)内产生的负压，外部气体从排出开口(12B)流入，由此粉状部件的堆积压力减轻，并且不形成应破坏的搭拱、鼠洞，能够以整体流供给全部量。

Description

粉状部件供给装置
技术领域
本发明涉及能够稳定地定量且定数供给例如半导体元件、电子/电气元件这样的极小的粉状部件的粉状部件供给装置。
背景技术
近来，半导体元件、电子/电气元件变得极小，不以重量单位而以个数单位从临时收纳已经成为可以说是粉状的状态的部件的料斗进行供给变得非常困难。
供给粉体的料斗有时由于堆积于料斗内上层的粉体的压力和粉体彼此之间及粉体与料斗内壁之间的摩擦(静电)而大致发生以下的两个问题，无法进行稳定的排出。
一个问题是：在料斗内的排出口的正上部形成截面圆弧状的块(将该块称为“搭拱”)，该搭拱阻塞排出口而导致排出完全停止。
另一个问题是：仅料斗内的排出口的正上部的粉体排出(将该排出痕迹的孔称为“鼠洞”)，即鼠洞周边的粉体不流动而残留。
顺便指出，将粉体从料斗不堵塞，另外粉体不残留在料斗内而稳定地全部排出的状况称为“整体流”，另外，将仅形成鼠洞的部分排出的状况(即粉体残留那样的状况)称为“漏斗流”，将粉体无法从料斗排出的状况(即截面圆弧状的块阻塞排出口而排出停止的状况)称为“架桥”。
为了抑制上述架桥、漏斗流，存在以改善料斗内的粉体的流动特性为目的而变更料斗的形状等的方法和以抑制和破坏搭拱、鼠洞的形成为目的而对料斗施加外压的方法。
作为上述的变更料斗的形状等的方法，例如已知如下方法：增大排出口直径；将料斗的到达排出口的倾斜角度设为锐角(接近相对于排出口的开口面成为90°的角度)；将料斗内壁面(内周面)的到达排出口的局部的倾斜角度设为锐角等而产生堆积于该料斗内上层的粉体的压力的偏向；在料斗内壁涂敷例如防带电树脂、例如氟树脂，从而改善滑动。
作为上述的对料斗施加外压的方法，例如已知如下方法：在料斗的外周设置振动装置而始终使整体细微振动；在料斗的外周设置冲击施加装置而每隔一定时间施加冲击；从连接于料斗内的排出口周边的管喷射空气；从连接于料斗内的排出口周边的管流入空气，从而使料斗内成为高压。
然而，对于上述的变更料斗的形状等的方法而言，效果根据粉体的材质、粒径、量而不稳定，能够预期料斗内的粉体的流动特性的改善，但效果限于难以发生架桥、漏斗流的程度。
另一方面，对于上述的对料斗施加外压的办法而言，例如在设为尺寸比较大的矩形的粉体的情况下，粉状部件彼此不是成为仅堆积、层叠的状态，而是成为复杂地组合的状态，即使在施加振动、冲击的瞬间破坏搭拱、架桥，在其不久之后(承受下次振动、冲击之前的期间)也会再次形成搭拱、架桥，结果反复出现流量较多的状况和流量较少的状况，无法设为作为目的的整体流。
另外，例如，在专利文献1(日本特开2019－31360号公报)和专利文献2(日本特开平7－76395号公报)中公开了将上述的变更料斗的形状等的方法和对料斗施加外压的方法组合而成的结构。
在专利文献1中，设为如下结构，该结构包括料斗和振动部，该料斗在下表面具有排出口，在比该排出口靠上侧的位置设有板，使板的端部与料斗内壁之间分开，设为粉体能够从该分开的部位向排出口移动，在比板靠下侧的位置设有从料斗的下表面立起，抑制粉体从排出口排出的抑制部，将连结抑制部的上端与板的端部的线段与水平方向所成的角度设为粉体的休止角以下，该振动部使该料斗振动。
在专利文献2中，设为如下结构：利用氟树脂片覆盖开闭料斗的排出口的挡板的表面，在此基础上，在料斗内设有不使粉体通过至上部但气体能够通过的滤网，由设于该滤网的上方的盖部设置吸引通路，在料斗的侧壁设有粉体注入口。
然而，在专利文献1中，设为利用振动使在抑制部与料斗侧壁之间的空间被该抑制部阻拦的粉体越过抑制部而自排出口排出的流路，因此被侧壁部阻拦的粉体残留于料斗内。
另外，在专利文献2中，将排出口端的带电的粉体的附着作为粉体为金属的情况的堵塞的主要原因，为了向料斗注入粉体而从吸引通路对料斗内进行吸引。即，在专利文献2中，料斗内的吸引的目的仅限于从粉体注入口注入新的粉体，无助于排出，因此在应用于粉体不为金属的情况的情况下排出状况没有任何变化，无法利用该吸引破坏搭拱、鼠洞。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019－31360号公报
专利文献1：日本特开平7－76395号公报
发明内容
发明要解决的问题
本发明要解决的技术问题在于，在包括专利文献1、2在内的以往的料斗的堵塞消除方法中，能够抑制搭拱、鼠洞的形成而改善堵塞，但无法以稳定的整体流供给全部量料斗内的粉体，由此，依然难以以个数单位供给粉体。
用于解决问题的方案
为了解决上述问题，本发明的粉状部件供给装置包括：料斗主体，其在上部设有粉状部件的供给开口，在下部设有粉状部件的排出开口，随着从供给开口朝向所述排出开口而直径逐渐减小；盖，其覆盖所述供给开口；以及负压产生装置，其在向所述料斗主体内装入全部量粉状部件并关闭所述盖的状态下，在料斗主体内产生负压。
发明的效果
本发明的粉状部件供给装置利用在料斗主体内产生的负压，使外部气体从排出开口流入，由此在该料斗主体的排出开口的内部始终从排出开口产生供给开口方向的气流，因此粉状部件的堆积压力减轻，不形成应破坏的搭拱、鼠洞，由此不发生堵塞，能够以整体流供给全部量。
另外，本发明的粉状部件供给装置具有如下优点：通过利用负压产生装置进行料斗主体内的负压状态和从排出开口流入的空气的调整，能够以个数单位控制从该排出开口排出(下落)的粉状部件的排出量。
附图说明
图1是表示本发明的粉状部件供给装置的实施例结构的概略图。
图2是表示本发明的粉状部件供给装置的料斗的概略图。
图3的(a)～图3的(d)是表示本发明的粉状部件供给装置的料斗的排出开口直径变更单元的一例的图。
图4的(a)、图4的(b)是表示本发明的粉状部件供给装置的料斗的排出开口直径变更单元的一例的图。
图5是表示本发明的粉状部件供给装置的给料器的概略图。
图6的(a)、图6的(b)是表示本发明的粉状部件供给装置的给料器的单独分离机构的一例的图。
图7的(a)、图7的(b)是表示本发明的粉状部件供给装置的给料器的前后反转机构的一例的图。
图8的(a)、图8的(b)是表示本发明的粉状部件供给装置的给料器的上下反转机构的一例的图。
图9的(a)～图9的(c)是表示本发明的粉状部件供给装置的给料器的方向变更机构的一例的图。
附图标记说明
1、粉状部件供给装置；2、控制部；11、料斗；12、料斗主体；12A、供给开口；12B、排出开口；13、盖；13A、过滤器；14、负压产生装置；15、摄像机(残留确认单元)；16、排出开口直径变更单元；17、通过传感器(测量单元)；21、给料器；22、给料器主体；22A、多孔板；23、正压产生装置；24、引导部；25、单独分离机构；26、前后反转机构；27、上下反转机构；28、方向转换机构。
具体实施方式
本发明利用如下结构达成抑制搭拱、鼠洞的形成、以稳定的整体流供给全部量料斗内的粉体，并且以个数单位供给粉体这样的目的，该结构包括：料斗主体，其在上部设有粉状部件的供给开口，在下部设有粉状部件的排出开口，随着从所述供给开口朝向所述排出开口而直径逐渐减小；盖，其覆盖所述供给开口；以及负压产生装置，其在向所述料斗主体内装入全部量粉状部件并关闭所述盖的状态下，在料斗主体内产生负压。
本发明的粉状部件供给装置利用如下原理抑制搭拱、鼠洞的形成，以稳定的整体流供给全部量料斗内的粉体，并且以个数单位供给粉体。
首先，例如，在向料斗主体内装入粉状部件，关闭盖(也可以打开盖)，不产生负压，即压力与大气压相同的状态的情况下，排出开口的直径缩窄，因此由于上方的粉状部件的朝向下方(排出开口)的堆积压力，粉状部件密集地结块并形成搭拱而堵塞排出开口，另外，要同时从排出开口排出的粉状部件堵塞于排出开口。
于是，例如，在向料斗主体内装入粉状部件，关闭盖并产生正压的情况下，乍一看认为料斗主体内压升高而粉状部件从排出开口呈喷射状排出，但实际由于上方的粉状部件的朝向下方(排出开口)的堆积压力也升高，结果粉状部件密集地结块并形成搭拱而堵塞排出开口，另外，要同时从排出开口排出的粉状部件堵塞于排出开口。
当在料斗主体内部产生正压的情况、设为压力与大气压相同的情况下，即使例如使料斗主体振动，施加冲击，粉状部件的从排出开口排出的排出状况也不怎么改善，即使搭拱的形成被抑制也会发生断续地形成鼠洞这样的现象。即，成为交替地反复出现从料斗主体内排出的粉状部件排出量较多的状况、从料斗主体内排出的粉状部件排出量较少的状况这样的不稳定的排出方式。
本发明鉴于上述的试验，参考所谓的沙漏的原理而构成。即，简单来说，沙漏的原理是在用窄孔连接上下的沙的容器的结构中发生如下沙与空气的交换现象：上容器的沙因重力而向下容器下落，此时，对于下容器而言，作为沙占据其容积的代替，内部空气向上容器输送(上升)。即，对于沙漏而言，在极端的情况下，当用手温暖下容器等而使该下容器的空气膨胀时，向上容器输送的空气量变得过多，妨碍上容器的沙的下落。
本发明的粉状部件供给装置设为在装入全部量粉状部件并关闭盖的状态下利用负压产生装置在料斗主体内产生负压的结构，另外，排出开口不关闭，始终以与空气连通的状态开口，因此例如在因要形成搭拱等的主要原因而导致负压升高时，结果该料斗主体内的粉状部件的堆积压力降低，另外，除了堆积压力降低以外，空气(通过与粉状部件的排出进行交换)从排出开口流入，因此能够可靠地防止搭拱、鼠洞的形成，能够如沙漏那样稳定且使每单位时间的排出个数恒定，即以整体流供给粉状部件。
另外，本发明也可以是，在上述结构中，在料斗主体内的负压产生部位与装入的粉状部件的堆积部位之间设有用于防止粉状部件的误吸入的过滤器。通过这样，即使料斗主体内的粉状部件飞扬而飘浮也不被吸入。
并且，本发明也可以是，在上述结构中，具备变更排出开口的开口直径的排出开口直径变更单元。通过这样，能够根据粉状部件的尺寸而调整从排出开口排出的粉状部件的每单位时间的个数。
另外，本发明也可以是，在上述结构中，在排出开口的下方设有计数排出的粉状部件的测量单元。根据这样，能够实时地测量排出的粉状部件的个数。
并且，本发明也可以是，在上述结构中，具备确认料斗主体内的粉状部件的残留有无的残留确认单元。通过这样，能够掌握粉状部件的残留有无，或者搭拱、鼠洞的形成的有无这样的料斗主体内的状况。
另外，本发明也可以设为如下结构，除了上述结构以外，具有接收从料斗主体的所述排出开口排出的粉状部件并将其向下一工序输送的给料器。该给料器例如包括：给料器主体，其在粉状部件的输送面设有多孔板，并且设为内部中空；正压产生装置，其连接于该给料器主体，为了从多孔板喷出空气而在该给料器主体内部产生正压；以及引导部，其设于给料器主体的与粉状部件的输送方向正交的两侧缘部中的一侧缘部的上表面，并且，设为如下结构即可：使给料器主体的输送方向的下游侧相对于上游侧向下方倾斜，并且使设有引导部的一侧相对于未设置该引导部的一侧向下方倾斜。
上述结构的给料器设为利用正压产生装置从多孔板喷射空气的结构，因此能够使排出到给料器主体的输送面(＝多孔板上)的粉状部件飘浮。
另外，在上述结构的给料器中，使以所述多孔板作为输送面的给料器主体的输送方向的下游侧相对于上游侧向下方倾斜，并且使设有引导部的一侧相对于未设置该引导部的一侧向下方倾斜，因此，虽然飘浮而容易移动的一个个粉状部件在前后、上下表面的方向上存在偏差，但能够使其沿着引导部侧排列，利用重力从上游(料斗侧)向下游(下一工序侧)输送。
并且，本发明也可以是，在上述结构中，在给料器主体具备将粉状部件单独分离的单独分离机构、具备调整具有前后的朝向的粉状部件的前和后的前后反转机构、具备调整具有上下的朝向的粉状部件的上和下的上下反转机构，或者具备向粉状部件的分支的输送路径变更方向的方向变更机构。
这样，在给料器中，全部或选择地具备单独分离机构、前后反转机构、上下反转机构、方向变更机构，从而容易在下游工序中处理粉状部件。
【实施例】
以下，参照附图说明本发明的粉状部件供给装置的具体的实施例。此外，图1和图2所示的后述料斗11的粉状部件与图1、图5和图6～图9所示的后述给料器21的粉状部件在实际上为相同的尺寸，但在说明上夸张(放大)地逐个表示给料器21的粉状部件。因而，也夸张地表示给料器21的后述的各机构的各结构要素。
在本实施例中，如图1所示，本发明的粉状部件供给装置1包括料斗11和给料器21，分别设为以下的结构。料斗11的详细结构如图2所示，包括在本实施例中设为透明的料斗主体12，该料斗主体12在上表面设有粉状部件的供给开口12A，在下表面设有粉状部件的排出开口12B，随着从供给开口12A朝向所述排出开口12B而直径逐渐减小。
料斗主体12设有覆盖供给开口12A的开口整个领域的开闭自如的盖13。在该盖13连接有吸引管14A的一端，在该吸引管14A的另一端连接有负压产生装置14，该负压产生装置14在向料斗主体12内装入全部量粉状部件并关闭盖13的状态下，在料斗主体内产生负压。在吸引管14A的到达负压产生装置14的部位设有控制阀14B。
另外，在料斗主体12的内部设有在盖13的正下覆盖其开口区域整个领域的开闭自如且能够通气的用于防止粉状部件的误吸入的过滤器13A。此外，过滤器13A也可以设于料斗主体12内且是负压产生部位与装入的粉状部件的堆积部位之间，例如吸引管14A的位于盖13的内侧的一端侧的开口。通过设置该过滤器13A，在产生负压的状态的料斗主体12内粉状部件不会被吸入吸引管14A。
并且，本实施例的料斗11在料斗主体12的外部的附近设有作为残留确认单元的摄像机15。此外，该残留确认单元在设为摄像机15的情况下不限于将料斗主体12设为透明并将该残留确认单元设于该料斗主体12的外部附近，例如也可以设于料斗主体12内。
另外，残留确认单元不限于摄像机15，也可以使用测量在向料斗主体12内装入粉状部件之前和排出粉状部件之后的重量(载荷)的负载传感器，或者使用设于料斗主体12的内部并利用激光或超声波扫描该料斗主体12内壁面而根据反射光或回声波进行判断的传感器。通过设置该残留确认单元(摄像机15)，能够掌握粉状部件的残存有无、搭拱、鼠洞的形成的有无这样的料斗主体内的状况。
并且，本实施例的料斗11在排出开口12B设有变更该排出开口12B的开口直径的排出开口直径变更单元16。例如，如图3所示，该排出开口直径变更单元16通过滑动式的遮板16A沿着排出开口12B的开口的直径方向滑动而如图3的(b)～图3的(d)所示那样进行调整。
此外，对于排出开口直径变更单元16而言，也可以代替滑动式的遮板16A而如图4所示那样使用形成有使排出开口12B的开口从完全关闭到完全打开的多种排出孔16a～16d的旋转板16B。此外，在使用该旋转板16B的情况下，通过使排出开口12B位于排出孔16a～16d之间的区域而完全关闭排出开口12B的开口，另一方面，通过使排出开口12B位于排出孔16a而完全打开排出开口12B的开口。
另外，本实施例的料斗11在排出开口12B下方的位置设有作为计数排出的粉状部件的测量单元的通过传感器17。该通过传感器17采用当粉状部件通过收发光的区域而遮挡接收光时计数通过的传感器。
通过具备上述的排出开口直径变更单元16、通过传感器17，能够根据粉状部件的尺寸而调整从排出开口排出的粉状部件的每单位时间的个数，另外，能够实时地测量排出的粉状部件的个数。
并且，本实施例的料斗11中，上述的负压产生装置14、控制阀14B、摄像机15、排出开口直径变更单元16(遮板16A、旋转板16B)、通过传感器17连接于用于控制粉状部件供给装置1整体的控制部2。
控制部2基于装入料斗主体12的粉状部件的尺寸、量，调整由负压产生装置14产生的负压的高低，调整由控制阀14B控制的开闭量，或者基于摄像机15的拍摄结果、通过传感器17的粉状部件通过数，进行粉状部件供给装置1整体所需要的控制(省略详细)，调整由排出开口直径变更单元16变更的排出开口量。
上述结构的料斗11以如下方式进行动作。对于料斗11而言，在利用排出开口直径变更单元16关闭排出开口12B的状态下，向料斗主体12装入全部量粉状部件，关闭盖13(和过滤器13A)。然后，利用负压产生装置14在料斗主体12内产生负压，并且利用排出开口直径变更单元16将排出开口12B开口预定量而开始排出。
料斗11具有如下动作特性：在料斗主体12内，例如在因要形成搭拱等的主要原因而导致自排出开口12B流入的空气流入量减少，负压升高时，结果该料斗主体内的粉状部件的堆积压力降低，另外，除了因负压的产生而导致堆积压力降低以外，空气(通过与粉状部件的排出进行交换)自排出开口12B流入，该流入空气抑制搭拱、鼠洞的形成。由此，本发明的料斗11能够如沙漏那样以整体流稳定且将每单位时间的排出个数设为恒定地供给粉状部件。
另一方面，本实施例的粉状部件供给装置1的给料器21设为以下的结构。给料器21具有粉状部件的输送面设有多孔板22A的设为内部中空的给料器主体22。
给料器主体22的基本结构如下。如图5所示，给料器主体22在上表面(输送面)设有多孔板22A的中空壳体连接有喷出管23A的一端，该喷出管23A的另一端连结有用于借助控制阀23B在该给料器主体22内部产生正压而从多孔板22A喷出空气的正压产生装置23。另外，给料器主体22在与粉状部件的输送方向正交的两侧缘部中的一侧缘部的上表面设有引导部24。
并且，在给料器主体22中，为了调整正压产生装置23和控制阀23B为了向该给料器主体22内施加正压而供给的空气量，正压产生装置23和控制阀23B连接于控制部2。
在本发明的粉状部件供给装置1中，给料器主体22如下这样进行设置：如图1和图5的(a)所示，使输送方向的下游侧相对于上游侧(料斗主体12的排出开口12B所在的一侧)向下方倾斜，并且如图5的(b)所示，使设有引导部24的一侧相对于未设置该引导部24的一侧向下方倾斜。
上述结构的给料器21以如下方式进行动作。当利用正压产生装置23从多孔板22A喷射空气时，排出到输送面(＝多孔板上)的粉状部件飘浮，飘浮而容易移动的粉状部件以与引导部24接触的方式靠近引导部24地排列，在该状态下利用给料器主体22的倾斜和自重从上游向下游移动。
并且，本实施例的给料器21具有用于操作以下的粉状部件的附加结构。例如，如图6所示，给料器21具备将粉状部件单独分离的单独分离机构25。
单独分离机构25在给料器主体22的输送路径中途的中空内部具有遮挡多孔板22A的用于喷出空气的孔的遮挡板25A。该遮挡板25A在俯视下也可以呈长方形或正方形，但在本实施例中，该遮挡板25A设为俯视三角形，该俯视三角形例如以宽度方向的设有引导部24的一侧作为底边，以宽度方向的未设置引导部24的一侧作为顶点。
单独分离机构25利用未图示的移动机构将该遮挡板25A配置为例如能够使用电磁部件25B在与粉状部件的输送方向正交的方向(以下称为宽度方向)上滑动。
电磁部件25B(在图1中表示为单独分离机构25)连接于控制部2，通过利用控制部2使遮挡板25A如图6的(b)所示那样在宽度方向上滑动，变更多孔板22A的空气喷出孔的遮挡面积，调整粉状部件彼此的输送方向的间隔。
此外，当遮挡板25A在俯视下呈长方形或正方形的情况下，不需要电磁部件25B那样的使遮挡板25A在宽度方向上滑动的结构(由此不与控制部2连接)，预先固定配置于多孔板22A的背面(中空内部)侧即可。在该情况下也是，能够以固定间隔将粉状部件彼此单独分离。
另外，例如，如图7所示，给料器21具有调整具有前后的朝向的粉状部件的前和后的前后反转机构26。对于前后反转机构26而言，为了掌握从料斗11排出的粉状部件的状况，在给料器主体22的上游侧的上方位置设有拍摄输送面的摄像机21A，并且，设有能够在从引导部24的输送面侧(表)到并非输送面侧的一侧(背)的范围沿着宽度方向突出和没入的例如电磁部件26A。
摄像机21A和电磁部件26A(在图1中表示为前后反转机构26)连接于控制部2，控制部2基于利用摄像机21A拍摄的数据，在前后的朝向错误的粉状部件的后端部来到电磁部件26A的位置时，使该电磁部件26A向引导部24的表侧突出。
通过利用电磁部件26A推压粉状部件的后端部，如图7的(b)所示，粉状部件在宽度方向上反转180°，此前作为后部的部位成为前部。此外，对于电磁部件26A而言，该动作仅当在摄像机21A的拍摄数据中前后错误的情况(控制部2判断出前后错误的情况)下进行工作。
另外，例如，如图8所示，给料器21具有调整具有上下的朝向的粉状部件的上和下的上下反转机构27。对于上下反转机构27而言，为了掌握从料斗11排出的粉状部件的状况，在给料器主体22的上游侧的上方位置设有拍摄输送面的摄像机21A，并且，设有能够在从多孔板22A的输送面到背面的范围突出和没入的例如电磁部件27A。
摄像机21A和电磁部件27A(在图1中表示为上下反转机构27)连接于控制部2，控制部2基于利用摄像机21A拍摄的数据，在上下的朝向错误的粉状部件的后端部来到电磁部件26A的位置时，使该电磁部件26A向多孔板22A的输送面突出。
通过利用电磁部件27A推压粉状部件的后端部，如图8的(b)所示，粉状部件在宽度方向上反转180°，此前作为背面(下)的面成为表面(上)。此外，对于电磁部件27A而言，该动作仅当在摄像机21A的拍摄数据中上下错误的情况(控制部2判断出上下错误的情况)下进行工作。
另外，例如，如图9所示，给料器21具备向粉状部件的分支的输送路径变更方向的方向变更机构28。对于方向变更机构28而言，为了掌握从料斗11排出的粉状部件的状况，在给料器主体22的上游侧的上方位置设有拍摄输送面的摄像机21A，并且，在给料器主体22的输送方向的下游部代替引导部24而设有分支板28A。
分支板28A在输送方向的长度方向的中央具有转动轴28B，该转动轴28B(在图1中表示为方向变更机构28)连接于控制部2而被控制转动，从而倾斜方向被变更。
即，控制部2基于利用摄像机21A拍摄的数据，当在输送路径保持直行输送的粉状部件的情况下，如图9的(a)所示，不使转动轴28A(转动轴28B)工作，使引导部24和分支板28A处于同一平面。
控制部2基于利用摄像机21A拍摄的数据，当向朝向纸面观察时的左侧的输送路径A输送的粉状部件的情况下，如图9的(b)所示，使转动轴28A(转动轴28B)工作，使分支板28A的输送方向的下游端向朝向纸面观察时的左侧倾斜。
控制部2基于利用摄像机21A拍摄的数据，当向朝向纸面观察时的右侧的输送路径B输送的粉状部件的情况下，如图9的(c)所示，使转动轴28A(转动轴28B)工作，使分支板28A的输送方向的下游端向朝向纸面观察时的右侧倾斜。
如上所述，在本发明中，将供给对象主要设为半导体元件、电子/电气元件这样的极小的粉状部件，但不限于尺寸极小这一点，例如在将质量极轻的物品(部件)作为供给对象的情况下也是，主要通过利用控制部2在料斗11中适当地控制负压产生装置14，在给料器21中适当地控制正压产生装置23，能够充分地应对。

Claims (10)

1.一种粉状部件供给装置，其特征在于，
该粉状部件供给装置包括：料斗主体，其在上部设有粉状部件的供给开口，在下部设有粉状部件的排出开口，随着从所述供给开口朝向所述排出开口而直径逐渐减小；盖，其覆盖所述供给开口；以及负压产生装置，其在向所述料斗主体内装入全部量粉状部件并关闭所述盖的状态下，在料斗主体内产生负压。
2.根据权利要求1所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
在所述料斗主体内的负压产生部位与装入的粉状部件的堆积部位之间设有用于防止粉状部件的误吸入的过滤器。
3.根据权利要求1或2所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
该粉状部件供给装置具备变更所述排出开口的开口直径的排出开口直径变更单元。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
在所述排出开口的下方设有计数排出的粉状部件的测量单元。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
该粉状部件供给装置具备确认所述料斗主体内的粉状部件的残留有无的残留确认单元。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
该粉状部件供给装置具有接收从所述料斗主体的所述排出开口排出的粉状部件并将其向下一工序输送的给料器，该给料器包括：给料器主体，其在粉状部件的输送面设有多孔板，并且设为内部中空；正压产生装置，其连接于该给料器主体，为了从所述多孔板喷出空气而在该给料器主体内部产生正压；以及引导部，其设于所述给料器主体的与粉状部件的输送方向正交的两侧缘部中的一侧缘部的上表面；并且，该给料器是使所述给料器主体的输送方向的下游侧相对于上游侧向下方倾斜，并且使设有所述引导部的一侧相对于未设置该引导部的一侧向下方倾斜的结构。
7.根据权利要求6所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
在所述给料器主体具备将粉状部件单独分离的单独分离机构。
8.根据权利要求6或7所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
在所述给料器主体具备调整具有前后的朝向的粉状部件的前和后的前后反转机构。
9.根据权利要求6～8中任一项所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
在所述给料器主体具备调整具有上下的朝向的粉状部件的上和下的上下反转机构。
10.根据权利要求6～9中任一项所述的粉状部件供给装置，其特征在于，
在所述给料器主体具备向粉状部件的分支的输送路径变更方向的方向变更机构。
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