JP2007231390A - エアロゾル生成装置及び方法、並びに、それを用いた成膜装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エアロゾル生成装置は、収納される粉体を導出する開口10が形成されている粉体収納室1と、粉体が開口から導出される際に粉体の導出を補助又は促進するアシストガス導入部13と、開口から導出される粉体を分散させるガスを供給する分散ガス導入部17とを含む。また、成膜装置は、そのようなエアロゾル生成装置と、基板を固定する基板ステージ7と、該エアロゾル生成装置によって生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル6とを含む。
【選択図】図1
Description
図1の(a)は、本発明の第1の実施形態に係るエアロゾル生成装置の構成を示す断面図である。また、図1の(b)は、本実施形態に係るエアロゾル生成装置の内部を示す上面図である。なお、図1の(a)は、図1の(b)の一点鎖線A−A'における断面を示している。
粉体収納室1は粉体を収納するチャンバであり、その上底部には粉体供給口1aが設けられており、下底部には開口10が形成されている。この開口10を介して、粉体収納室1とエアロゾル生成部2とが接続されている。
このような粉体収納室1に粉体を収納し、攪拌羽11によって粉体を攪拌する。それにより、粉体が開口10から落下し、エアロゾル生成部2に導出される。
回転盤14には、所定の幅及び深さを有する溝16が円周に沿って形成されている。回転盤14は、この溝16が粉体収納室1の開口10に対向するように配置されている。回転盤14は、開口10から落下した粉体を溝16によって受けながら回転することにより、粉体を一定の割合で搬送する。なお、図1の(a)において、溝16の断面形状は半円となっているが、矩形やV字型のように、半円以外の形状であっても構わない。
分散ガス導入部17は、配管及びバルブを含んでおり、配管の先には、例えば、ガスボンベが接続されている。分散ガスの種類としては、窒素(N2)、酸素(O2)、ヘリウム(He)、アルゴン(Ar)、又は、それらの混合ガス、或いは、乾燥空気等が用いられる。図1の(a)に示すように、分散ガス導入部17によってエアロゾル生成部2内に導入された分散ガスの吹き出し口は、回転盤14の溝16に対向するように設けられている。
粉体収納室1に収納された粉体は、攪拌羽11によって攪拌されながら、開口10を通って溝16に落下する。その際に、粉体収納室1にアシストガスを導入することにより、開口10内に気流を形成する。なお、アシストガスは、連続的に導入するようにしても良いし、間欠的に導入するようにしても良い。この気流が、粉体の導出を補助又は促進する駆動力として作用する。それにより、粉体は、よりスムーズに開口10から溝16に落下する。溝16に落下した粉体は、回転盤14の回転速度に応じて堆積して搬送される。
図4に示すエアロゾル生成装置は、図1の(a)に示す分散ガス導入部17及びエアロゾル導出部18の替わりに、分散ガス導入部20及びエアロゾル導出部21を有している。また、このエアロゾル生成装置には、回転盤14の溝16の一部の箇所と分散ガス導入部20とを接続する粉体導出路22が形成されている。粉体導出路22の径は、供給される粉体の径や流動性等に応じて異なるが、例えば、1mm〜3mm程度の細管である。
図5に示すように、このエアロゾル生成装置は、粉体収納室30と、分散ガス供給管31とを含んでいる。
図6に示すように、このエアロゾル生成装置は、図1の(a)に示すアシストガス導入部13の替わりに、ノッカー40を備えている。その他の構成については、図1に示すものと同様である。
このようなノッカー40を駆動して粉体収納室1に振動又は衝撃を与えることにより、粉体収納室1に収納された粉体を、よりスムーズに開口10から溝16に落下させることができる。
図7に示すように、このエアロゾル生成装置は、図5に示す粉体収納室30の替わりに、粉体収納室50を有している。その他の構成については、図5に示すものと同様である。
図8に示すように、このエアロゾル生成装置は、図5に示す粉体収納室30の替わりに、粉体収納室60を有している。その他の構成については、図5に示すものと同様である。
図9の(a)は、本実施形態に係るエアロゾル生成装置の内部を示す上面図である。図9の(a)に示すように、このエアロゾル生成装置は、図1の(b)に示す攪拌羽11の替わりに、攪拌羽70を有している。その他の構成については、図1に示すものと同様である。なお、図9には4枚の攪拌羽70が示されているが、攪拌羽の数は適宜変更しても構わない。
図9の(b)は、図9の(a)に示す攪拌羽70を示す斜視図である。各攪拌羽70は、その先端部と粉体収納室1の底面との為す角度が小さくなるように、途中から折り曲げられている。また、攪拌羽70は、例えば、ゴムや、シリコンゴムや、テフロン(登録商標)のように、柔軟性に優れた材料によって形成されている。
なお、本実施形態においても、攪拌羽70の最下部と回転盤14との間隔を1mm以下とすることが望ましい(即ち、LGAP=LDEP≦1mm)。
本実施形態に係るエアロゾル生成装置は、図1に示すエアロゾル生成装置において、粉体供給室1の替わりに、図5に示す粉体供給室30を配置したものである。その他の構成については、図1に示すものと同様である。
なお、本実施形態に係るエアロゾル生成装置の変形例として、粉体供給部30の替わりに、図7に示す粉体供給部室50や、図8に示す粉体供給室60を配置しても良い。
図11に示すように、この成膜装置は、エアロゾル生成装置100及び成膜部200を有している。エアロゾル生成装置100としては、本発明の第1〜第8の実施形態に係るエアロゾル生成装置のいずれかが適用される。
また、本実施形態によれば、濃度の安定したエアロゾルを長時間に渡って生成し、成膜部の噴射ノズルに供給することができるので、密度(気孔率)等の膜質や膜厚の安定した良質なAD膜を形成することが可能となる。
本発明の第1の実施形態に係るエアロゾル生成装置を用いて、アシストガスによる効果を確認するための実験を行った。
(i)実験方法及び評価方法
次の条件の下でエアロゾルを生成してそれを捕集し、そこに含まれる粉体の量を次の方法により計測した。即ち、図1に示すエアロゾル導出部18に、ニチアス株式会社製のPFAチューブ(内径3mm、外径4mm)の一端を接続し、水で満たした100ccの捕集瓶にPFAチューブの他端を挿入して水中にエアロゾルを吹き込むことにより、この瓶に粉体を捕集した。エアロゾルの生成中には5分ごとに捕集瓶を交換し、60分間に渡って(即ち、捕集瓶12本分)粉体を得た。粉体の捕集後、粉体が混入している水をホットプレートによって蒸発させ、実験前後の捕集瓶の重量を計測することにより粉体供給量を求め、それらの平均値を平均粉体供給量とした。また、粉体供給量の変動幅を次式(1)及び(2)を用いて算出し、絶対値が大きい方を本実験における結果として採用した。
粉体供給量の変動幅=(供給量最小値−平均供給量)/(平均供給量)…(1)
粉体供給量の変動幅=(供給量最大値−平均供給量)/(平均供給量)…(2)
試料:平均粒径が0.7μmのPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)
分散ガスの種類:純酸素(G2グレード)
アシストガスの種類:純酸素(G2グレード)
分散ガスの流量 アシストガスの流量 回転盤の回転数
実施例1−1 3リットル/分 3リットル/分 0.7回転/分
実施例1−2 2リットル/分 4リットル/分 0.7回転/分
比較例1−1 6リットル/分 0リットル/分 0.7回転/分
比較例1−2 6リットル/分 0リットル/分 5.0回転/分
比較例1−3 0リットル/分 6リットル/分 0.7回転/分
なお、上記の実施例及び比較例において、分散ガスの流量とアシストガスの流量とはトータルで同量になる。また、攪拌羽と回転盤との距離LGAPは、約0.3mmとした。
平均粉体供給量 供給量の変動幅
実施例1−1 40mg/分 ±20%
実施例1−2 100mg/分 ±10%
比較例1−1 0mg/分 −
比較例1−2 10mg/分 ±70%
比較例1−3 600mg/分 ±80%
本発明の第1の実施形態に係るエアロゾル生成装置を用いて、攪拌羽11と回転盤14のトップ14aとの間隔LGAPを規定する効果を確認するための実験を行った。
(i)実験方法及び評価方法
実験1と同様の実験方法において、図1に示す攪拌羽11の高さと回転盤14の高さを変化させた。この高さは、株式会社ミツトヨ製のデプスマイクロメータDMSを用いて測定した。また、評価方法は、実験1と同様である。
間隔LGAPと、粉体供給室1の内底面1bと回転盤14のトップ14aとの距離LDEP(図2参照)を次のように設定した。それ以外については、実験1の実施例1−2と同様の条件を用いた。
LGAP LDEP
実施例2−1 0.3mm 0.2mm
実施例2−2 0.6mm 0.5mm
実施例2−3 0.8mm 0.7mm
実施例2−4 1.0mm 0.9mm
比較例2−1 1.3mm 1.2mm
比較例2−2 1.5mm 1.4mm
なお、上記の実施例及び比較例において、攪拌羽11と粉体供給室1の内底面1bとの間隔(LGAP−LDEP)は全て0.1mmである。
平均粉体供給量 粉体供給量の変動幅
実施例2−1 100mg/分 ±10%
実施例2−2 80mg/分 ±25%
実施例2−3 60mg/分 ±30%
実施例2−4 55mg/分 ±35%
比較例2−1 25mg/分 ±90%
比較例2−2 20mg/分 ±100%
また、この結果を図12に示す。図12の横軸は間隔LGAP(mm)を示しており、左側の縦軸は平均粉体供給量(mg/分)を示しており、右側の縦軸は粉体供給量の変動幅の絶対値(%)を示している。
本発明の一実施形態に係る成膜装置において、上記の実施例1並びに比較例1及び3における条件の下で生成されたエアロゾルを用いて成膜する実験を行った。
(i)実験方法及び評価方法
最終的に10μm程度の膜を形成することを目標として、平均粉体供給量(即ち、エアロゾル濃度)に基づいて基板ステージの往復回数を設定した。そして、図11に示す成膜装置において、設定された回数だけ基板ステージを往復させることにより膜を形成した。このような成膜を、実験1の実施例1−1並びに比較例1−1及び1−3の条件の下で各々6回行い、それらの膜厚を測定して平均値を得た。また、膜厚の変動幅を、次式(3)及び(4)を用いて算出し、絶対値が大きい方を本実験における結果として採用した。
膜厚の変動幅=(膜厚最小値−平均膜厚)/(平均膜厚)…(3)
膜厚の変動幅=(膜厚最大値−平均膜厚)/(平均膜厚)…(4)
基板材料:YSZ(イットリウム安定化ジルコニア)
成膜温度:室温
なお、攪拌羽と回転盤との距離LGAPは、約0.3mmとした。
平均粉体供給量 供給量変動 平均膜厚 膜厚変動
実施例1−1 40mg/分 ±20% 10μm ±20%
比較例1−1 0mg/分 − 成膜できず −
比較例1−3 600mg/分 ±80% 12μm ±70%
それに対して、実施例1−1のエアロゾルを用いた場合には、目標値(10μm)に近い膜厚を得ることができ、膜厚変動を小さく抑えることができた(±20%)。
1a、51 粉体供給口
1b 粉体収納室の内底面
2 エアロゾル生成部
5 成膜チャンバ
6 噴射ノズル
6a エアロゾル搬送管
7 基板ステージ
8 真空ポンプ
9 基板
10、32 開口
11、70 攪拌羽
11a 攪拌羽の最下部
12、15 回転軸
12a、15a O(オー)リング
13、33 アシストガス導入部
14 回転盤
14a 回転盤のトップ
16 溝
17、20 分散ガス導入部
18、21 エアロゾル導出部
22 粉体導出路
31 分散ガス供給管
34、53、63 粉体
40、52 ノッカー
51 粉体供給口
61 ピストン
62 駆動装置
Claims (26)
- 収納される粉体を導出する開口が形成されている粉体収納室と、
粉体が前記開口から導出される際に、粉体の導出を補助又は促進する補助手段と、
前記開口から導出される粉体を分散させるガスを供給するガス供給手段と、
を具備するエアロゾル生成装置。 - 前記補助手段が、前記粉体収納室内にガスを供給する、請求項1記載のエアロゾル生成装置。
- 前記補助手段が、前記粉体収納室内の圧力が前記粉体収納室の開口の外部における圧力よりも高くなるように圧力調節を行う、請求項1又は2記載のエアロゾル生成装置。
- 前記補助手段が、前記粉体収納室に振動又は衝撃を与える、請求項1〜3のいずれか1項記載のエアロゾル生成装置。
- 前記補助手段が、前記開口から粉体を押し出す、請求項1〜4のいずれか1項記載のエアロゾル生成装置。
- 前記補助手段が、前記粉体収納室内に備えられたピストンを含む、請求項5記載のエアロゾル生成装置。
- 前記補助手段が、前記粉体収納室内に備えられた押し付けヘラを含む、請求項5記載のエアロゾル生成装置。
- 前記ガス供給手段が、前記粉体収納室の開口に対応する位置に開口が形成されている管体と、該管体の内部に気流を形成する手段とを含む、請求項1〜7のいずれか1項記載のエアロゾル生成装置。
- 前記開口に対向する円周上に所定の幅及び深さを有する溝が形成されている回転体を有し、前記回転体を回転させることにより、前記開口から導出されて溝に配置される粉体を前記ガス供給手段の位置まで搬送する搬送部をさらに具備する請求項1〜7のいずれか1項記載のエアロゾル生成装置。
- 前記補助手段が、前記粉体収納室内に収納される粉体を攪拌する回転羽であって、前記回転羽の最下部と前記回転体の最上部との間の距離が1mm以下となるように前記粉体収納室内に配置されている前記回転羽を含む、
請求項9記載のエアロゾル生成装置。 - 前記ガス供給手段が、前記回転体に形成されている溝に向けてガスを吹き付ける、請求項9又は10記載のエアロゾル生成装置。
- 前記搬送部によって搬送される粉体を前記溝から導出する通路をさらに具備し、
前記ガス供給手段が、前記通路を通って導出される粉体を搬送する気流を発生する、請求項9又は10記載のエアロゾル生成装置。 - 原料の粉体をガスに分散させたエアロゾルを基板に向けて吹き付けることにより、原料を基板上に堆積させる成膜方法を用いる成膜装置であって、
請求項1〜12のいずれか1項記載のエアロゾル生成装置と、
基板を固定する基板ステージと、
前記エアロゾル生成装置によって生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズルと、
を具備する前記成膜装置。 - 開口が形成された粉体収納室に収納された粉体を、該粉体の導出を補助又は促進しながら前記開口から導出するステップ(a)と、
前記開口から導出された粉体をガスによって分散させるステップ(b)と、
を具備するエアロゾル生成方法。 - ステップ(a)が、前記粉体収納室にガスを供給することを含む、請求項14記載のエアロゾル生成方法。
- ステップ(a)が、前記粉体収納室内の圧力が前記粉体収納室の外部における圧力よりも高くなるように圧力調整することを含む、請求項14又は15記載のエアロゾル生成方法。
- ステップ(a)が、前記粉体収納室に振動を与えることを含む、請求項14〜16のいずれか1項記載のエアロゾル生成方法。
- ステップ(a)が、前記粉体収納室から粉体を押し出すことを含む、請求項14〜17のいずれか1項記載のエアロゾル生成方法。
- ステップ(a)が、ピストンを用いることにより前記粉体収納室から粉体を押し出すことを含む、請求項18記載のエアロゾル生成方法。
- ステップ(a)が、押し付けヘラを用いることにより前記粉体収納室から粉体を押し出すことを含む、請求項18記載のエアロゾル生成方法。
- ステップ(b)が、前記開口から導出された粉体を、内部に気流が形成されている管体に投入することを含む、
請求項14〜20のいずれか1項記載のエアロゾル生成方法。 - ステップ(a)において前記開口から導出された粉体を所定の幅及び深さを有する溝に配置して搬送するステップ(a')をさらに具備し、
ステップ(b)が、ステップ(a')において搬送された粉体にガスを吹き付けることによりエアロゾルを生成することを含む、
請求項14〜20のいずれか1項記載のエアロゾル生成方法。 - ステップ(a)において前記開口から導出された粉体を所定の幅及び深さを有する溝に配置して搬送するステップ(a')と、
ステップ(a')において搬送された粉体を前記溝から導出するステップ(a'')と、
をさらに具備し、
ステップ(b)が、前記溝から導出された粉体を搬送する気流を発生することを含む、
請求項14〜20のいずれか1項記載のエアロゾル生成方法。 - 請求項14〜23のいずれか1項記載のエアロゾル生成方法を用いることにより、原料の粉体が分散しているエアロゾルを生成するステップ(A)と、
ステップ(A)において生成されたエアロゾルをノズルから基板に向けて吹き付けて、原料の粉体を基板に衝突させることにより、原料を基板上に堆積させるステップ(B)と、
を具備する成膜方法。 - 請求項24記載の成膜方法を用いることにより形成された金属膜。
- 請求項24記載の成膜方法を用いることにより形成されたセラミックス膜。
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US11/707,118 US20070204865A1 (en) | 2006-03-02 | 2007-02-16 | Aerosol generating apparatus and method, and film forming apparatus and method using the same |
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---|---|---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008100128A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Fujifilm Corp | 成膜方法及び成膜装置 |
JP2010133031A (ja) * | 2007-10-16 | 2010-06-17 | Panasonic Corp | 成膜方法および成膜装置 |
JP2016130350A (ja) * | 2015-01-14 | 2016-07-21 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コーティング膜を備える構造体およびその製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090064996A1 (en) * | 2007-09-10 | 2009-03-12 | Rosh Melvin S | Duo chamber |
TW200942639A (en) * | 2007-12-07 | 2009-10-16 | Jusung Eng Co Ltd | Deposition material supplying module and thin film deposition system having the same |
KR101584102B1 (ko) * | 2007-12-18 | 2016-01-12 | 코닌클리케 필립스 엔.브이. | 광 결정 led |
US20100000523A1 (en) * | 2008-07-07 | 2010-01-07 | Rosh Melvin S | Unichamber |
CN102398778B (zh) * | 2011-09-30 | 2013-06-26 | 中国科学院金属研究所 | 一种用于飞机风蚀实验测试的送粉器装置和工艺 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05239627A (ja) * | 1991-05-10 | 1993-09-17 | Jeol Ltd | 粉末供給装置 |
JP2004041957A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Murofushi Yoshiko | 粉体射出方法及び装置 |
JP2004124126A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2005113261A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-28 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | エアロゾル発生装置、複合構造物作製装置、エアロゾル発生方法及び複合構造物作製方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2366379A (en) * | 1943-11-22 | 1945-01-02 | Kenneth E Bemis | Apportioning apparatus |
US4177941A (en) * | 1977-11-02 | 1979-12-11 | International Research And Development Corporation | Metering device |
FR2575825B1 (fr) * | 1985-01-04 | 1987-04-17 | Saint Gobain Vitrage | Procede et dispositif pour le dosage de matieres pulverulentes |
US4751948A (en) * | 1985-10-30 | 1988-06-21 | Kendall Mcgaw Laboratories, Inc. | Method and apparatus for the accurate delivery of powders |
US5082148A (en) * | 1990-10-09 | 1992-01-21 | Dunning Walter B | Powder dispenser |
US6029661A (en) * | 1991-08-26 | 2000-02-29 | 3M Innovative Properties Company | Powder dispenser |
CA2212430A1 (en) * | 1997-08-07 | 1999-02-07 | George Volgyesi | Inhalation device |
US7579251B2 (en) * | 2003-05-15 | 2009-08-25 | Fujitsu Limited | Aerosol deposition process |
-
2006
- 2006-03-02 JP JP2006056316A patent/JP2007231390A/ja active Pending
-
2007
- 2007-02-16 US US11/707,118 patent/US20070204865A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05239627A (ja) * | 1991-05-10 | 1993-09-17 | Jeol Ltd | 粉末供給装置 |
JP2004041957A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Murofushi Yoshiko | 粉体射出方法及び装置 |
JP2004124126A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2005113261A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-28 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | エアロゾル発生装置、複合構造物作製装置、エアロゾル発生方法及び複合構造物作製方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008100128A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Fujifilm Corp | 成膜方法及び成膜装置 |
JP4741447B2 (ja) * | 2006-10-17 | 2011-08-03 | 富士フイルム株式会社 | 成膜方法及び成膜装置 |
JP2010133031A (ja) * | 2007-10-16 | 2010-06-17 | Panasonic Corp | 成膜方法および成膜装置 |
JP4521062B2 (ja) * | 2007-10-16 | 2010-08-11 | パナソニック株式会社 | 成膜方法および成膜装置 |
JPWO2009050835A1 (ja) * | 2007-10-16 | 2011-02-24 | パナソニック株式会社 | 成膜方法および成膜装置 |
US8399045B2 (en) | 2007-10-16 | 2013-03-19 | Panasonic Corporation | Film formation method and film formation apparatus |
JP2016130350A (ja) * | 2015-01-14 | 2016-07-21 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コーティング膜を備える構造体およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070204865A1 (en) | 2007-09-06 |
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