JP2006284898A - 電気光学パネルの清浄方法および清浄装置 - Google Patents

電気光学パネルの清浄方法および清浄装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 電気光学パネルの端子形成面に付着している異物を確実に除去することのできる電気光学パネルの清浄方法および清浄装置を提供する。
【解決手段】 清浄方法は、電気光学パネル2の端子形成部5に配列された複数のパネル端子7に対して外部配線8を接続する前に、複数のパネル端子7が配列されている端子形成面6に向かって清浄気体を噴出して端子形成面6に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面6から剥離した異物を吸引する。清浄装置1は、端子形成面6に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズル17と、清浄気体によって端子形成面6から剥離した異物を吸引させる吸引管18とを設ける。
【選択図】 図3

Description

本発明は、電気光学パネルの端子形成部においてパネル端子が形成されている端子形成面に付着した異物を除去するのに好適な電気光学パネルの清浄方法および清浄装置に関する。
従来から、情報の表示を行う表示装置の一種として、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル、ELパネルなどの電気光学パネルを備えた表示装置が知られている。
このような電気光学パネル、例えば、ガラスなどの透明な素材により形成された一対の基板の間に液晶が封入された液晶表示パネルにおいては、液晶表示パネルの少なくとも一方の基板の一辺に端子形成部が張り出すように連設されており、この端子形成部の他方の基板側の表面に表示用の透明電極に連なる多数のパネル端子が配列されている。そして、液晶表示パネルに少なくとも駆動回路を加えた液晶表示モジュールを組み立てる場合、各パネル端子には、外部配線、例えば、表示画素数などが比較的少ない場合には、クリップピンが取り付けられている(例えば、特許文献1参照)。
なお、外部配線としては、TCP、FPCなどの可撓配線板を用いる構成もある。このような可撓配線板は、通常、異方性導電材を介してパネル端子に接続されている。
ところで、パネル端子に外部配線を接続する場合、端子形成部のパネル端子の形成されている端子形成面、詳しくは、端子形成部の他方の基板側の表面、および、この表面に配列されている各パネル端子の表面に塵埃などの異物が付着すると、隣位するパネル端子間において短絡が発生して歩留まりを低下させたり、パネル端子と外部配線との接続信頼性を低下させたりするという問題点があった。
そこで、パネル端子に外部配線を接続する前に、端子形成面を清浄とする必要がある。このような端子形成面を清浄にする方法としては、洗浄液による湿式洗浄や、圧縮空気などの清浄気体を吹き付けるドライな環境での乾式洗浄がある。
特開平09−318963号公報
しかしながら、湿式洗浄においては、洗浄、すすぎ、乾燥などの多くの工程を必要とし、清浄が終了するまでには相当の時間を要するので、生産性に劣るという問題点がある。また、湿式洗浄においては、電気光学パネルの全体を洗浄する場合、電気光学パネルとして液晶表示パネルを用いると、偏光膜の剥離などの不都合が生じる懸念がある。そこで、端子形成面のみを部分的に洗浄しようとすると、端子形成面の周囲を洗浄液から隔離するための隔離手段が必要となり、製造設備が大型化する。なお、湿式洗浄を行う場合には、使用後の洗浄液の排水処理設備も必要となる。
また、乾式洗浄においては、端子形成面から清浄気体によって吹き飛ばされた異物が周囲に飛散して、周囲の環境を汚染するとともに、飛散した異物が、清浄化した後の端子形成面に再付着して、確実な清浄を行うことができないという問題点があった。さらに、周囲に飛散した異物は、周囲の製造装置や、異物を除去する前の電気光学パネルに付着するという懸念がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、電気光学パネルの端子形成面に付着している異物を確実に除去することのできる電気光学パネルの清浄方法および清浄装置を提供することを目的とする。
前述した目的を達成するため、本発明に係る電気光学パネルの清浄方法の特徴は、電気光学パネルの端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する前に、前記複数のパネル端子が配列されている端子形成面に向かって清浄気体を噴出して前記端子形成面に付着している異物を剥離するとともに、前記端子形成面から剥離した異物を吸引して除去する点にある。
本発明に係る電気光学パネルの清浄方法においては、前記清浄気体を前記端子形成面に対して前記パネル端子の配列方向の一端側から噴出し、前記端子形成面から剥離した異物を前記パネル端子の配列方向の他端側から吸引することが好ましく、また、前記清浄気体として圧縮空気を用いることが好ましい。
本発明に係る電気光学パネルの清浄装置の特徴は、電気光学パネルの端子形成部に複数のパネル端子が配列されており、当該複数のパネル端子が配列されている端子形成面を清浄にするための電気光学パネルの清浄装置であって、前記端子形成面に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズルと、前記清浄気体によって前記端子形成面から剥離した異物を吸引させる吸引管とを有している点にある。
本発明に係る電気光学パネルの清浄装置においては、前記噴出ノズルおよび吸引管が、前記端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する接続ステージに配置されていることが好ましく、また、前記噴出ノズルの噴出口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の一端側に配置されており、前記吸引管の吸引口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の他端側に配置されている好ましく、さらに、前記清浄気体が、圧縮空気であることが好ましい。
本発明に係る電気光学パネルの清浄方法および清浄装置によれば、端子形成面からの異物の剥離および端子形成面から剥離した異物の回収を容易に行うことができる。また、本発明に係る電気光学パネルの清浄装置によれば、本発明に係る電気光学パネルの清浄方法を確実かつ容易に実施することができる。
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。
図1から図4は本発明に係る電気光学パネルの清浄方法を実施する清浄装置の実施形態を示すものであり、図1は要部を簡略化して示す概略斜視図、図2は載置台の要部の概略正面図、図3は異物除去状態における要部を簡略化して示す概略斜視図、図4は図3の要部の概略側面図である。
本実施形態の電気光学パネルの清浄装置(以下、単に、清浄装置と記す。)は、電気光学パネルとしての液晶表示パネルを液晶モジュールとする液晶モジュールの製造工程のうちの、液晶表示パネルの端子形成部の端子形成面に配列されたパネル端子に外部配線としてのクリップピンを接続する外部配線接続工程に用いるものを例示している。
図1に示すように、本実施形態の清浄装置1による清浄対象である電気光学パネルとしての液晶表示パネル2は、ガラスなどの透明な素材により形成された一対の基板3、4の間に液晶が封入されている。そして、一対の基板3、4のうちの一方の基板3、例えば観察側とは反対側に配置される図1下側に示すリア基板の少なくとも一辺は、他方の基板4、例えば観察側に配置される同図上側に示す対向基板であるフロント基板の外側に張り出すように突出されており、この突出部分が端子形成部5とされている。そして、端子形成部5のフロント基板側の表面は、端子形成面6とされており、この端子形成面6には、図示しない表示用の透明電極に連なる複数のパネル端子7が端子形成面6の長手方向に沿って配列されている。
前記液晶表示パネル2のその他の構成については、従来公知の液晶表示パネルと同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
前記液晶表示パネル2の端子形成面6に配列されたパネル端子7に接続されるクリップピン8は、ほぼ平板状に形成されたピン体9と弾性変形可能な側面ほぼコ字状に形成されたクリップ体10とを有している。そして、液晶表示パネル2の端子形成部5のパネル端子7が配置された部位に、クリップピン8のクリップ体10の開口側を端子形成部5の側方から挿入することで、クリップピン8のクリップ体10が液晶表示パネル2の端子形成部5のパネル端子7に取り付けられるようになっている。
前記クリップピン8のその他の構成については、従来公知のクリップピンと同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
なお、クリップピン8は、パネル端子7の数と同一数のクリップピン単体を当該各クリップピン単体のピン体9の先端部においてテープ状基体11に所定の間隔で連設された小クリップピン部品連12とされており、小クリップピン部品連12は、各パネル端子7と各クリップピン単体のクリップ体10との接続固定が終了した後に、ピン体9の先端部を切断することにより、テープ状基体11に連設するピン体5の先端部の一部を切り離し、個々のクリップピン8に分離されるようになっている。
本実施形態の清浄装置1は、液晶表示パネル2の端子形成部5の端子形成面6に配列されたパネル端子7に外部配線としてのクリップピン8を接続する外部配線接続工程を実施する接続ステージ13に配設されている。この接続ステージ13には、図示しないコンベアなどの搬送手段によって液晶表示パネル2が供給されるようになっている。また、接続ステージ13には、小クリップピン部品連12を把持することのできる図示しない搬送手段によって小クリップピン部品連12が供給されるようになっている。
前記接続ステージ13には、図2に示すように、パネル載置台14が設けられている。このパネル載置台14は、接続ステージ13に供給された液晶表示パネル2を下方から支持する平坦な載置面15を有している。また、載置面15には、載置した液晶表示パネル2を載置面15上に固定するための図示しない吸引固定手段が配設されている。さらに、載置面15には、断面ほぼ矩形のストッパ16が、その長手方向をパネル端子7の配列方向と平行にして配設されており、液晶表示パネル2の端子形成部5が形成されている辺とは反対側の辺の端面をストッパ16に当接させることで、クリップピン8の装着時における図3に破線太矢印にて示す方向から端子形成部5に向かって挿入されるクリップピン8の挿入力を受け止めることができるとともに、挿入力によって液晶表示パネル2が載置面15上を図2の左方へ移動するのを防止することができるようになっている。
前記パネル載置台14は、液晶表示パネル2を載置面15に載置した場合、図2に示すように、端子形成部5が載置面15の外側に突出するように形成されており、クリップピン8の装着時に、パネル載置台14がクリップピン8に接触するのを防止することができるようになっている。
なお、パネル載置台14とストッパ16とを別々とし、ストッパ16を図示しないアクチュエータの駆動力によって載置面15上を移動するように構成してもよい。
前記パネル載置台14は、図示しないアクチュエータの駆動力によって水平方向に回転自在、かつ、上下方向に昇降自在な図示しない回転テーブル上に配設されている。そして、パネル載置台14は、液晶表示パネル2をパネル載置台14に載置する前の状態においては、載置面15が液晶表示パネル2の下面と同等もしくは若干低い位置に配置されているとともに、ストッパ16の長手方向が、図1に白抜き太矢印にて示す液晶表示パネル2の接続ステージ13への搬送方向に沿って配置されるように回転位置が規制されている。そして、パネル載置台14に液晶表示パネル2が載置された後、パネル載置台14は、上昇もしくは下降し、その後、図3に示すように、液晶表示パネル2の端子形成部5の長手方向が、液晶表示パネル2の接続ステージ13への搬送方向に対してほぼ直交する方向に位置するように水平方向へほぼ90度回転されるようになっている。
なお、パネル載置台14そのものを水平方向に回転自在かつ上下方向に昇降自在としてもよい。勿論、パネル載置台14を回転させない構成とすることもできる。
図1、図3および図4に示すように、接続ステージ13には、液晶表示パネル2の端子形成面6を清浄するための清浄装置1が配設されている。
本実施形態の清浄装置1は、端子形成面6に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズル17と、端子形成面6から剥離した異物を吸引させる吸引管18とを有している。
前記噴出ノズル17には、清浄気体が供給されるようになっており、本実施形態の噴出ノズル17は、図3および図4に示すように、噴出する清浄気体が端子形成面6に対してパネル端子7の配列方向の一端側の斜め上方から当たるように設けられている。
すなわち、噴出ノズル17の噴出口17aが、端子形成面6のパネル端子7の配列方向の一端側の斜め上方に配置されている。
なお、噴出ノズル17のノズル形状としては、断面円形状や、水平方向に直線状をなすスロット状などの各種の形状から選択することができる。また、噴出ノズル17からの清浄気体の噴出口を複数としたり、端子形成面6に対する噴出ノズル17の角度を可変としたり、噴出ノズル17からの清浄気体の噴出中に噴出ノズル17の角度を可変としたり、噴出ノズル17を端子形成面6に対してパネル端子7の配列方向に沿って移動させたり、あるいは、端子形成面6を噴出ノズル17に対してパネル端子7の配列方向に沿って移動させたりしてもよい。
また、噴出ノズル17の設置位置としては、端子形成面6を清浄気体によって清浄にできるように清浄気体を噴出できる位置であれば、その設置位置は問わない。但し、斜め上方に配置すれば、噴出される清浄気体は端子形成面6から異物を剥離した後、剥離した異物とともにパネル端子7の配列方向の他端側に向かって流動するため、吸引管18を設けない場合であっても、端子形成面6から剥離した異物が周囲に飛散して端子形成面6に再付着するおそれが少ないという利点がある。
またさらに、噴出ノズル17から噴出させる清浄気体の噴出状態を一定としたり、清浄気体を間欠的に噴出させたり、流速を変化させてもよい。
さらに、端子形成面6に対する噴出ノズル17の角度、すなわち、清浄気体の噴出角度としては、15〜90度(直角)の範囲から選択することができる。勿論、清浄気体の噴出角度を90度とした場合には、噴出ノズル17を端子形成面6の直上に配置し、噴出ノズル17と液晶表示パネル2とをパネル端子7の配列方向に沿って相対的に移動させることが肝要である。
さらにまた、清浄気体としては、圧縮空気や窒素ガスなどの不活性ガスを用いることができるが、入手性、経済性などの観点から空気圧フィルタにより異物を除去した圧縮空気を用いることが好ましい。
この場合、噴出ノズル17に圧縮空気を供給するための供給手段としては、噴出ノズル17の基端に接続されるホースなどの配管、配管の基端部に配設される常時は閉状態とされたバルブ、空気圧縮機、圧縮空気の浄化に用いる空気圧フィルタなどにより簡単に構成することができる。
本実施形態の吸引管18は、パネル端子7の配列方向の他端側、すなわち、端子形成面6に当たったあとの清浄気体の流動方向の下流側に配設されている。この吸引管18の先端はラッパ状に形成されており、その先端の吸引口18aは、液晶表示パネル2と対向するように配置されている。そして、吸引管18の基端には、吸引ポンプ、送風機、ブロア、集塵機などの吸引手段が接続されており、噴出ノズル17から噴出された清浄気体により端子形成面6から剥離された異物を噴出ノズル17から噴出された清浄気体とともに吸引口18aの内部に吸引し回収することができるようになっている。
なお、吸引管18の配設位置としては、端子形成面6から剥離された異物を吸引捕捉することのできる位置に配設されていればよい。また、吸引管18の大きさ、形状、吸引量としては、液晶表示パネル2のサイズ、噴出ノズル17による清浄気体の噴出量や流速などに基づいて、端子形成面6から剥離した異物を確実に吸引することができるように決定すればよい。
また、吸引管18の吸引口18aの形状は、断面矩形、楕円形などの各種の形状から選択することができる。
さらに、吸引管18の吸引口18aのサイズとしては、対向する液晶表示パネルの面積より大きく形成することが異物を容易に吸引捕捉することができるという意味で好ましい。
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について、本実施形態の電気光学パネルの清浄方法とともに説明する。
本実施形態の電気光学パネルの清浄方法(以下、単に、清浄方法と記す。)は、前述した本実施形態の清浄装置1を用いて接続ステージ13においてパネル端子7に対して外部配線を接続する前に実施する。
すなわち、本実施形態の清浄方法は、接続ステージ13のパネル載置台14に液晶表示パネル2を載置し、載置面15に液晶表示パネル2の下面を吸着固定した後、パネル載置台14を上昇もしくは下降し、図3に示すように、液晶表示パネル2の端子形成部5の長手方向が、接続ステージ13への搬送方向に対してほぼ直交する方向に位置するように水平方向に90度程度回転した後に開始する。
なお、パネル載置台14を昇降および回転させない構成の場合には、パネル載置台14に液晶表示パネル2を載置し、載置面15に液晶表示パネル2の下面を吸着固定した後に開始するとよい。
本実施形態の清浄方法が開始されると、噴出ノズル17から清浄気体、本実施形態においては圧縮空気が図3および図4の実線矢印にて示すように噴出されるとともに、吸引管18による周囲の気体の吸引が開始され異物除去状態となる。そして、噴出ノズル17から噴出された圧縮空気は、図3および図4の実線矢印に示すように、接続ステージ13のパネル載置台14に載置されている液晶表示パネル2の端子形成面6に向かって噴出され、端子形成面6、詳しくは、端子形成部5のフロント基板側の表面、および、この表面に配列されている各パネル端子7の表面に付着している異物を剥離する。
この時、噴出ノズル17の噴出口17aがパネル端子7の配列方向の一端側の斜め上方に配置されているので、圧縮空気は、端子形成面6上をパネル端子7の配列方向に沿って一端側から他端側に向かって流動する。また、端子形成面6から剥離した異物は、清浄気体に乗って端子形成面6をパネル端子7の配列方向に沿って一端側から他端側に向かって流動する。
ついで、圧縮空気によって端子形成面6から剥離された後、圧縮空気に乗って端子形成面6の他端側に到達した異物は、図3および図4の2点鎖線矢印に示すように、端子形成面6の他端側に配置されている吸引管18の吸引口18aによって清浄気体とともに吸引され回収される。そして、噴出ノズル17から噴出される圧縮空気、および、吸引管18による吸引は、所定時間経過すると停止し、液晶表示パネル2の端子形成面6の清浄(異物の除去)が完了する。
ついで、液晶表示パネル2の端子形成面6の清浄が完了すると、従来公知の如く、パネル端子7に対するクリップピン8、詳しくは、複数のパネル端子7に対して小クリップピン部品連12の各クリップピン単体のクリップ体10の装着および接続固定が実施される。
なお、パネル端子7に対するクリップピン8の接続固定については、従来公知のパネル端子に対するクリップピンの接続固定と同様とされているので、その詳しい説明については省略する。
ついで、パネル端子7に対するクリップピン8の接続固定が完了すると、パネル載置台14がもとの方向へほぼ90度逆回転した後、下降もしくは上昇し元の位置に復帰する。そして、パネル載置台14が元の位置に復帰すると、載置面15による液晶表示パネル2の下面の吸着固定が解除され、液晶表示パネル2は、図示しないコンベアなどの搬送手段によって搬出される。
したがって、本実施形態における外部配線接続工程は、接続ステージ13におけるパネル載置台14の載置面15に対する液晶表示パネル2のセット工程と、接続ステージ13におけるパネル載置台14の回転による清浄準備工程と、清浄装置1による液晶表示パネル2の端子形成面6の清浄工程と、端子形成面6を清浄した後の液晶表示パネル2のパネル端子7に対するクリップピン8の接続固定工程とをこの順に行うように構成されている。
このように、本実施形態の清浄方法によれば、液晶表示パネル2の端子形成部5に配列された複数のパネル端子7に対して外部配線を接続する前に、複数のパネル端子7が配列されている端子形成面6に向かって清浄気体としての圧縮空気を噴出して端子形成面6に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面6から剥離した異物を吸引除去する構成とされているので、端子形成面6に塵埃などの異物が付着しても、その異物を圧縮空気によって端子形成面6から剥離して除去することができ、しかも、圧縮空気の噴出により端子形成面6から剥離した異物を吸引しているので、圧縮空気によって端子形成面6から吹き飛ばされた異物が周囲に飛散することなく確実に回収することができる。その結果、異物による欠陥の発生を確実に防止することができるので、液晶表示モジュールの歩留まりの向上、パネル端子7と外部配線としてのクリップピン8との接続信頼性の向上をともに容易かつ確実に図ることができる。
また、本実施形態の清浄方法によれば、清浄気体としての圧縮空気を端子形成面6に対してパネル端子7の配列方向の一端側の上方から噴出し、端子形成面6から剥離した異物をパネル端子7の配列方向の他端側から吸引する構成とされているので、端子形成面6から圧縮空気によって吹き飛ばされた異物が周囲に飛散するのを防止することができるとともに、噴出された圧縮空気の流速が端子形成面6に当たった後も急速に減速することがなく、しかも、圧縮空気の流路を吸引管18の吸引口18aに向かう方向に容易に制御することができるので、異物による欠陥発生をより確実に防止することができる。
さらに、本実施形態の清浄方法によれば、清浄気体として圧縮空気が用いられているので、入手性がよく、低コスト化を図ることができる。特に、液晶表示パネル2および液晶表示モジュールの製造工場においては、各種機器の駆動などの用途に圧縮空気を用いており、その供給配管もすでに設けられているので、既存の配管からの分岐配管や、圧縮空気の供給を制御するバルブや、空気圧フィルタなどを設けるだけで清浄気体を容易に入手することができる。
また、本実施形態の清浄装置1によれば、端子形成面6に向かって清浄気体としての圧縮空気を噴出させる噴出ノズル17と、圧縮空気によって端子形成面6から剥離した異物を吸引させる吸引管18とを有しているので、端子形成面6に塵埃などの異物が付着しても、その異物を圧縮空気によって端子形成面6から剥離して除去することができ、しかも、圧縮空気の噴出により端子形成面6から剥離した異物を吸引管18で吸引しているので、圧縮空気によって端子形成面6から吹き飛ばされた異物を周囲に飛散させることなく確実に回収することができる。
さらに、本実施形態の清浄装置1によれば、噴出ノズル17および吸引管18が、端子形成部5に配列された複数のパネル端子7に対して外部配線を接続する接続ステージ13に配設されているので、液晶表示パネル2の端子形成部5に配列された複数のパネル端子7に対して外部配線を接続する前に、端子形成面6の清浄化を行うことができる。その結果、本発明の清浄方法、すなわち、電気光学パネル2の端子形成部5に配列された複数のパネル端子7に対して外部配線を接続する前に、端子形成部5のパネル端子7の形成されている端子形成面6に向かって清浄気体を噴出して端子形成面6に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面6から剥離した異物を吸引して除去する清浄方法を容易かつ確実に実施することができる。
したがって、本実施形態の清浄装置1によれば、異物による欠陥の発生を確実に防止し、液晶表示モジュールの歩留まりの向上、パネル端子7と外部配線としてのクリップピン8との接続信頼性の向上をともに容易かつ確実に図ることができる。
さらに、本実施形態の清浄装置1によれば、噴出ノズル17の噴出口17aが端子形成面6のパネル端子7の配列方向の一端側の斜め上方に配置されており、吸引管18の吸引口18aが端子形成面6のパネル端子7の配列方向の他端側に配置されているので、本発明の清浄方法、すなわち、清浄気体を端子形成面6に対してパネル端子7の配列方向の一端側の上方から噴出し、端子形成面6から剥離した異物をパネル端子7の配列方向の他端側から吸引する清浄方法を容易かつ確実に実施することができる。その結果、異物による欠陥の発生をより確実に防止することができる。
さらにまた、本実施形態の清浄装置1によれば、清浄気体が圧縮空気であるので、本発明の清浄方法、すなわち、清浄気体として圧縮空気を用いる清浄方法を容易に実施することができる。その結果、清浄気体の入手性がよく、低コスト化を図ることができる。特に、液晶表示パネル2および液晶表示モジュールの製造工場においては、各種機器の駆動などの用途に圧縮空気を用いており、その供給配管もすでに設けられているので、既存の配管からの分岐配管や、圧縮空気の供給を制御するバルブや、空気圧フィルタなどを設けるだけで清浄気体を容易に入手することができ、しかも、簡易な設備で安価に設置することができる。
本発明は、液晶表示パネルの端子形成部の端子形成面に配列されたパネル端子に外部配線としてのTCP、FPCなどの可撓配線板を異方性導電材を介して接続する場合にも適用することができる。
また、本発明は、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル、ELパネルなどの各種の電気光学パネルを備えた表示装置の製造に用いることができる。
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
本発明に係る電気光学パネルの清浄方法を実施する清浄装置の実施形態の要部を簡略化して示す概略斜視図 図1の接続ステージに用いられる載置台の要部の概略正面図 図1の異物除去状態における要部を簡略化して示す概略斜視図 図3の要部の概略側面図
符号の説明
1 清浄装置
2 液晶表示パネル
5 端子形成部
6 端子形成面
7 パネル端子
8 クリップピン
13 接続ステージ
14 パネル載置台
15 載置面
16 ストッパ
17 噴出ノズル
17a 噴出口
18 吸引管
18a 吸引口

Claims (7)

  1. 電気光学パネルの端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する前に、前記複数のパネル端子が配列されている端子形成面に向かって清浄気体を噴出して前記端子形成面に付着している異物を剥離するとともに、前記端子形成面から剥離した異物を吸引して除去することを特徴とする電気光学パネルの清浄方法。
  2. 前記清浄気体を前記端子形成面に対して前記パネル端子の配列方向の一端側から噴出し、前記端子形成面から剥離した異物を前記パネル端子の配列方向の他端側から吸引する請求項1に記載の電気光学パネルの清浄方法。
  3. 前記清浄気体として圧縮空気を用いる請求項1または2に記載の電気光学パネルの清浄方法。
  4. 電気光学パネルの端子形成部に複数のパネル端子が配列されており、当該複数のパネル端子が配列されている端子形成面を清浄にするための電気光学パネルの清浄装置において、
    前記端子形成面に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズルと、
    前記清浄気体によって前記端子形成面から剥離した異物を吸引させる吸引管とを有していることを特徴とする電気光学パネルの清浄装置。
  5. 前記噴出ノズルおよび吸引管が、前記端子形成部に配列された複数のパネル端子に対して外部配線を接続する接続ステージに配置されている請求項4に記載の電気光学パネルの清浄装置。
  6. 前記噴出ノズルの噴出口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の一端側に配置されており、
    前記吸引管の吸引口が、前記端子形成面のパネル端子の配列方向の他端側に配置されている請求項4または5に記載の電気光学パネルの清浄装置。
  7. 前記清浄気体が、圧縮空気である請求項4ないし6のいずれか1項に記載の電気光学パネルの清浄装置。
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