JP4418325B2 - Xyステージと半導体装置の製造装置 - Google Patents
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Description
(付記1) XYステージの少なくとも一方のステージが、複数の走行車輪のそれぞれに回動自在に弾接する車輪清掃ローラと複数のステージ軌道のそれぞれに回動自在に弾接する軌道清掃ローラとを有し、
該車輪清掃ローラは、走行車輪の表面に付着したパーティクルを粘着除塵し、
該軌道清掃ローラは、ステージ軌道の表面に付着したパーティクルを粘着除塵する
ことを特徴とするXYステージ(請求項1)。
(付記2) 該車輪清掃ローラと軌道清掃ローラは、表面に粘着性を有するゴム系樹脂膜が被着されている
ことを特徴とする付記1記載のXYステージ(請求項2)。
(付記3) 該車輪清掃ローラと軌道清掃ローラは、ローラ軸が軸支持部材によって弾発的に押圧されている
ことを特徴とする付記1記載のXYステージ(請求項3)。
(付記4) 該車輪清掃ローラは、走行車輪の前面部に弾接し、該軌道清掃ローラは、ステージ軌道の前後の走行車輪の中間部に弾接する
ことを特徴とする付記1記載のXYステージ。
(付記5) 付記1記載のXYステージが装備されている
ことを特徴とする半導体装置の製造装置(請求項4)。
(付記6) 該XYステージが真空チャンバーの中に装備されている
ことを特徴とする付記5記載の半導体装置の製造装置。
111 上ステージ 121 下ステージ
112 上走行車輪 122 下走行車輪
113 上ガイドローラ 123 下ガイドローラ
114 上駆動部材 124 下駆動部材
20 基盤 21 上ステージ軌道 22 下ステージ軌道
205 チャック
31 上拘束ガイド 32 下拘束ガイド
4 スクレーパ
5 車輪清掃ローラ
6 軌道清掃ローラ
7 軸支持部材
8 パーティクル
9 ウェーハ
Claims (5)
- XYステージの少なくとも一方のステージが、複数の走行車輪のそれぞれに回動自在に弾接する車輪清掃ローラと複数のステージ軌道のそれぞれに回動自在に弾接する軌道清掃ローラとを有し、
該車輪清掃ローラは、走行車輪の表面に付着したパーティクルを粘着除塵し、
該軌道清掃ローラは、ステージ軌道の表面に付着したパーティクルを粘着除塵する
ことを特徴とするXYステージ。 - 該車輪清掃ローラと軌道清掃ローラは、表面に粘着性を有するゴム系樹脂膜が被着されている
ことを特徴とする請求項1記載のXYステージ。 - 該車輪清掃ローラと軌道清掃ローラは、ローラ軸が軸支持部材によって弾発的に押圧されている
ことを特徴とする請求項1記載のXYステージ。 - 請求項1記載のXYステージが装備されている
ことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 該XYステージが真空チャンバーの中に装備されている
ことを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造装置。
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