KR20200103606A - 롤투롤 양면 노광 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 롤투롤 방식이고 또한 양면 노광을 행하는 노광 장치에 있어서, 마스크의 클리닝을 행할 수 있는 실용적인 구성을 제공한다.
[해결 수단] 롤형상의 시트형상 기판(S)이 반송계(1)에 의해 인출되어 노광 영역을 통과시켜 반송되고, 노광 영역의 양측에 설치된 한 쌍의 광원(2), 광학계(3) 및 마스크(41, 42)에 의해 마스크(41, 42)의 패턴으로 광이 조사되어 시트형상 기판(S)이 노광된다. 노광의 중간에, 승강 기구(51, 52)가 각 마스크(41, 42)를 승강시켜, 표면에 점착층을 갖는 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)에 각 마스크(41, 42)가 접촉한 상태로 하고, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42) 상에서 전동하면서 롤러 이동 기구(63)에 의해 일체로 이동함으로써 각 마스크(41, 42)가 클리닝된다.

Description

롤투롤 양면 노광 장치{ROLL TO ROLL BOTH SIDES EXPOSING DEVICE}

본원의 발명은, 플렉시블 프린트 기판 등의 제조용으로 사용되는 롤투롤(roll to roll) 양면 노광 장치에 관한 것이다.

소정의 패턴의 광을 대상물에 조사하여 노광하는 노광 장치는, 포토리소그래피의 핵심적인 요소 기술로서 각종의 용도로 사용되고 있다. 이 중, 플렉시블 프린트 기판과 같이 부드러운 기판(이하, 시트형상 기판이라고 한다)을 노광하는 노광 장치에 대해서는, 롤투롤로 시트형상 기판을 반송하면서 노광을 행하는 장치가 알려져 있다. 이런 종류의 장치 중에는, 시트형상 기판의 양면에 동시에 노광을 행하는 타입인 것이 있으며, 양면에 회로 형성이 이루어지는 플렉시블 프린트 기판용의 노광 장치는, 그 일례이다.

양면 노광을 행하는 롤투롤의 노광 장치는, 어느 설정된 영역에 대해 양측으로부터 소정의 패턴의 광이 조사되도록 구성된다. 그리고, 롤형상의 시트형상 기판을 인출하여 상기 영역에 순차적으로 정지시키도록 하고, 정지 중에 양측으로부터 노광을 행하도록 한다. 어느 설정된 영역은, 시트형상 기판의 두께를 고려하면, 평행한 두 개의 평면(노광면)을 갖는 영역이라는 것이 된다(이하, 노광 영역이라고 한다).

일본국 특허 공개 2007-25436호 공보 일본국 특허 공개 2015-49356호 공보

상기와 같은 노광 장치에 있어서, 형상 결함이 없는 양질인 패턴 전사를 행하기 위해서는, 마스크를 정기적으로 클리닝하는 것이 필요하게 되어 있다. 마스크에 먼지나 티끌 등의 이물이 부착되면, 조사되는 광의 패턴이 결함이 되어, 최종적인 제품 불량의 원인이 되기 쉽다. 노광 장치에 있어서는, 예를 들어 시트형상 기판의 가장자리의 약간의 거스러미가 벗겨지거나, 시트형상 기판에 도포된 레지스트가 일부 박리되어 이물이 되고, 마스크에 부착될 수 있다. 이로 인해, 마스크를 정기적으로 클리닝하는 것이 필요하게 된다.

특허 문헌 1이나 특허 문헌 2에는, 이러한 노광 장치에 있어서 마스크의 클리닝을 행하는 기술이 개시되어 있다. 이 중, 특허 문헌 1에는, 매엽식의 노광 장치에 있어서, 마스크를 점착 롤러로 제진하는 기술이 개시되어 있다. 또, 특허 문헌 2에는, 롤투롤 방식의 노광 장치에 있어서, 마스크를 클리닝 롤러로 제진하는 기술이 개시되어 있다.

이들 특허 문헌에 개시된 마스크의 제진 기술은, 모두 편면 방식의 노광 장치인 것이다. 양면 노광 장치의 경우에는, 시트형상 기판에 대해 양측에 마스크가 배치되기 때문에, 그 양방을 클리닝 할 필요가 있는데, 이들 특허 문헌은 편면 노광 방식인 것이기 때문에, 이들을 참조해도 실용적인 구조는 상도될 수 없다.

예를 들어 특허 문헌 1에서는, 클리닝 롤러는 시트형상 기판의 반출을 행하는 반출 핸드에 장착되어 있고, 시트형상 기판의 반출 동작에 동기하여 이동해 마스크의 제진을 행한다. 그러나, 롤투롤의 장치에서는, 매엽식의 장치와 같은 기판의 반입 반출 동작이나 그것을 위한 기구는 존재하지 않으므로, 참고가 되지 않는다. 또, 특허 문헌 2에서는, 시트형상 기판을 사이에 두고 마스크와는 반대측에 구동 기구가 설치되어 있으며, 이 구동 기구에 의해 클리닝 롤러를 이동시킴으로써 마스크의 제진이 이루어지도록 설명되어 있는데, 양면 노광 장치의 경우, 반대측에도 마찬가지로 마스크가 배치되어 있으며, 이러한 기구를 배치하는 것은 어렵다.

본원 발명은, 이러한 종래 기술의 상황을 감안하여 이루어진 것이고, 롤투롤 방식이고 또한 양면 노광을 행하는 노광 장치에 있어서, 마스크의 클리닝을 행할 수 있는 실용적인 구성을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본원의 청구항 1에 기재된 발명은, 롤형상의 시트형상 기판을 인출하여 상기 시트형상 기판의 양면에 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 롤투롤 양면 노광 장치로서,

롤형상의 시트형상 기판을 인출하여 노광 영역을 통과시켜 반송하는 반송계와,

노광 영역을 사이에 두고 배치된 한 쌍의 마스크와,

한 쌍의 마스크를 클리닝하는 마스크 클리닝 기구를 구비하고 있고,

마스크 클리닝 기구는,

표면에 점착층을 갖는 한 쌍의 클리닝 롤러와,

각 클리닝 롤러를 각 마스크 상에서 전동(轉動)시키면서 이동시킴으로써 각 마스크로부터 이물을 제거하는 롤러 이동 기구를 구비하고 있으며,

롤러 이동 기구는, 사이에 시트형상 기판이 존재하는 상태로 각 클리닝 롤러를 각 마스크의 한쪽측으로부터 다른쪽측으로 동시기에 이동시키는 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 2에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 롤러 이동 기구는, 상기 각 클리닝 롤러를 일체로 이동시키는 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 또는 2의 구성에 있어서, 상기 각 클리닝 롤러는, 상기 각 마스크에 접촉했을 때에 탄성을 작용시켜 마스크로의 압압력(押壓力)을 높이는 탄성체를 구비하고 있다라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 4에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 또는 2의 구성에 있어서, 상기 시트형상 기판을 향해 상기 각 마스크를 이동시킴과 더불어 상기 시트형상 기판으로부터 상기 각 마스크를 멀리하도록 이동시키는 마스크 이동 기구가 설치되어 있고,

상기 각 클리닝 롤러는, 상기 각 마스크보다 상기 시트형상 기판에 가까운 측에 위치하고 있으며,

마스크 이동 기구는, 상기 각 마스크를 상기 시트형상 기판을 향해 이동시켜 상기 각 클리닝 롤러에 접촉시킬 수 있는 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 5에 기재된 발명은, 상기 청구항 4의 구성에 있어서, 상기 각 클리닝 롤러는 탄성체를 구비하고 있고,

상기 마스크 이동 기구는, 상기 각 마스크를 상기 각 클리닝 롤러에 접촉시켰을 때, 탄성체를 압축하여 상기 각 클리닝 롤러의 상기 각 마스크로의 압압력을 높이는 위치에 상기 각 마스크를 위치시키는 것이 가능한 기구이며, 상기 각 마스크의 위치를 조절하여 탄성체의 압축량을 조절하는 것이 가능한 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 6에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 또는 2의 구성에 있어서, 상기 각 클리닝 롤러는, 상기 각 마스크보다 상기 시트형상 기판에 가까운 측에 위치하고 있고,

상기 한 쌍의 클리닝 롤러는, 프레임에 의해 서로 연결되어 있으며,

상기 마스크 이동 기구는, 상기 한 쌍의 마스크 중 한쪽을 상기 시트형상 기판에 가까워지는 방향으로 이동시켜 상기 한 쌍의 클리닝 롤러 중 한쪽에 접촉시킴과 더불어, 상기 한쪽의 마스크 및 한쪽의 클리닝 롤러를 통해 다른쪽의 클리닝 롤러를 이동시킴으로써 다른쪽의 클리닝 롤러를 다른쪽의 마스크에 접촉시키는 것이 가능한 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 7에 기재된 발명은, 상기 청구항 6의 구성에 있어서, 상기 한 쌍의 클리닝 롤러는, 탄성체를 통해 연결되어 있고,

상기 마스크 이동 기구는, 상기 한쪽의 마스크 및 상기 한쪽의 클리닝 롤러를 통해 상기 다른쪽의 클리닝 롤러를 이동시킴으로써 다른쪽의 클리닝 롤러를 상기 다른쪽의 마스크에 접촉시켰을 때, 탄성체를 압축하여 상기 각 클리닝 롤러의 상기 각 마스크로의 압압력을 높이는 위치에 상기 한쪽의 마스크를 위치시키는 것 가능한 기구이며, 상기 한쪽의 마스크의 위치를 조절하여 탄성체의 압축량을 조절하는 것이 가능한 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 8에 기재된 발명은, 상기 청구항 4 내지 7 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 마스크 이동 기구는, 상기 각 마스크를 상기 시트형상 기판에 접촉시키거나 또는 소정의 간극을 갖고 대향시키는 기구라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 9에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 8 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 한 쌍의 클리닝 롤러에 접촉 가능한 한 쌍의 이착(移着) 롤러가 설치되어 있고,

각 이착 롤러는, 상기 각 클리닝 롤러의 점착층보다 높은 점착력의 점착층을 표면에 갖고 있다라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 10에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 9 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 각 클리닝 롤러가 상기 각 마스크에 접촉하기에 앞서 상기 각 마스크의 표면을 제전(除電)하는 제전기가 설치되어 있다라고 하는 구성을 갖는다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 11에 기재된 발명은, 상기 청구항 10의 구성에 있어서, 상기 제전기는, 상기 각 마스크의 표면에 이온을 공급하여 제전하는 이오나이저이고,

이오나이저는, 상기 각 클리닝 롤러에 대해, 상기 롤러 이동 기구에 의한 이동의 방향의 전방에 배치되어 있으며,

상기 롤러 이동 기구는, 이오나이저를 상기 각 클리닝 롤러와 일체로 이동시키는 기구라고 하는 구성을 갖는다.

이하에 설명하는 대로, 본원의 청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 사이에 시트형상 기판이 존재하고 있는 상태로 한 쌍의 클리닝 롤러가 한 쌍의 마스크 상에서 전동하면서 동시기에 이동함으로써 클리닝이 행해지므로, 생산성을 저해하는 일 없이 클리닝을 행할 수 있는 실용적인 구성이 제공된다.

또, 청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 한 쌍의 클리닝 롤러가 일체로 이동하므로, 이동을 위한 기구가 간략화된다.

또, 청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 각 클리닝 롤러의 각 마스크로의 압압력을 높일 수 있으므로, 보다 클리닝의 효과가 높아진다.

또, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 각 클리닝 롤러를 각 마스크에 접촉시키는데 마스크 이동 기구가 겸용되고 있으므로, 이 점에서 기구가 간략화된다.

또, 청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 마스크 이동 기구에 의해 탄성체의 압축량이 조절되므로, 클리닝이 불충분해지거나 마스크를 손상시킬 우려가 없어진다.

또, 청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 각 클리닝 롤러를 각 마스크에 접촉시키는데 마스크 이동 기구가 겸용되고 있으므로, 이 점에서 기구가 간략화된다.

또, 청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 마스크 이동 기구에 의해 탄성체의 압축량이 조절되므로, 클리닝이 불충분해지거나 마스크를 손상시킬 우려가 없어진다. 또, 탄성체가 하나이면 되므로, 이 점에서 기구적으로 간략화된다.

또, 청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 컨택트 방식 또는 프록시미티 방식의 노광을 행하면서, 상기 각 효과를 얻을 수 있다.

또, 청구항 9에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 이착 롤러가 설치되어 있음으로써, 각 클리닝 롤러의 메인테넌스 빈도를 낮출 수 있다.

또, 청구항 10에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 클리닝에 앞서 각 마스크의 표면을 제전하는 제전기가 설치되어 있으므로, 클리닝의 효과를 보다 높일 수 있다.

또, 청구항 11에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 더해, 제전기인 이오나이저의 이동에 대해 롤러 이동 기구가 겸용되므로, 이 점에서 기구가 간략화된다.

도 1은 제1 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 정면 단면 개략도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 마스크 클리닝 기구의 사시 개략도이다.
도 3은 제1 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 동작을 도시한 정면 단면 개략도이다.
도 4는 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 주요부를 도시한 사시 개략도이다.
도 5는 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 동작을 도시한 정면 단면 개략도이다.
도 6은 제3 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 주요부의 사시 개략도이다.

다음에, 본원 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 실시 형태)에 대해 설명한다.

도 1은, 제1 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 정면 단면 개략도이다. 도 1에 도시하는 장치는, 롤형상의 시트형상 기판(S)을 인출하여 반송하는 반송계(1)와, 광원(2)과, 인출된 시트형상 기판(S) 중 노광 영역에 위치하는 부분에 광원(2)으로부터의 광을 조사하여 노광하는 광학계(3)와, 광학계(3)와 노광 영역의 사이에 배치되는 마스크(41, 42)를 구비하고 있다.

반송계(1)는, 롤형상으로 감겨진 시트형상 기판(S)을 인출하는 핀치 롤러(11)나, 노광된 시트형상 기판(S)을 감아 꺼내는 권취(卷取) 롤러(12) 등으로 구성되어 있다. 장치는 도시 생략된 제어부를 구비하고 있고, 반송계(1)는 제어부에 의해 제어된다.

노광 영역은 수평인 노광면을 갖는 영역이며, 시트형상 기판(S)은 수평인 자세로 노광 영역에 반송된다. 반송시에 시트형상 기판(S)이 통과하는 면(이하, 반송면이라고 한다)은 수평이며, 광학계(3)의 광축은 반송면에 대해 수직이다.

반송계(1)에 의한 시트형상 기판(S)의 반송은 간헐적이고, 소정의 스트로크만큼 시트형상 기판(S)을 보내 정지시키는 동작(순차 반송 동작)이 반복된다. 소정의 스트로크는, 노광 영역의 크기에 따른 것이다. 노광은, 시트형상 기판(S)의 정지 중에 행해지고, 노광 영역 크기의 패턴의 광이 조사된다. 따라서, 순차 반송 동작의 스트로크(이하, 반송 스트로크라고 한다)는, 반송 방향에 있어서의 노광 영역의 길이에 거의 상당하고 있다.

이 실시 형태의 장치는, 양면 노광을 행하는 것이기 때문에, 광원(2), 광학계(3) 및 마스크(41, 42)는, 노광 영역을 사이에 두고 양측(이 실시 형태에서는 상측과 하측)에 한 세트씩 배치되어 있다. 이하, 설명의 형편상, 한 쌍의 마스크(41, 42)를 상측 마스크(41), 하측 마스크(42)라고 부른다.

광원(2) 및 광학계(3)는, 여러 가지의 것으로부터 임의로 선택할 수 있는데, 예를 들어 쇼트 아크형의 자외선 램프를 광원(2)으로 하고, 인터그레이터 렌즈로 균일한 강도 분포의 광속으로 한 후, 콜리메이터 렌즈로 평행광으로서 마스크(41, 42)에 조사하는 구성이 채용될 수 있다. 또한, 각 광학계(3)는, 도시 생략된 셔터를 포함하고 있으며, 각 셔터는 도시 생략된 제어부에 의해 제어된다.

또, 이 실시 형태의 장치는, 이른바 컨택트 노광을 행하는 것으로 되어 있다. 따라서, 시트형상 기판(S)에 밀착하거나 시트형상 기판(S)으로부터 떨어트리기 위한 이동을 마스크(41, 42)에 행하게 하는 마스크 이동 기구(51, 52)가 설치되어 있다. 이 실시 형태에서는, 노광 영역에 있어서의 시트형상 기판(S)은 수평 자세이므로, 마스크 이동 기구(51, 52)는 마스크(41, 42)를 상하 방향으로 이동시키는 기구로 되어 있다. 이하, 상측 마스크(41)를 승강시키는 기구(51)를 상측 승강 기구라고 부르고, 하측 마스크(42)를 승강시키는 기구(52)를 하측 승강 기구라고 부른다.

각 마스크(41, 42)는, 수평 자세의 판형상이다. 각 마스크(41, 42)의 배후에는, 마스크 대좌(411, 421)가 설치되어 있다. 각 마스크 대좌(411, 421)는, 전면에 각 마스크(41, 42)를 탑재하고 있다. 각 승강 기구(51, 52)는, 각 마스크 대좌(411, 421)를 승강시킴으로써 각 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)에 밀착시키거나 시트형상 기판(S)으로부터 떨어트리는 기구로 되어 있다.

구체적으로는, 각 승강 기구(51, 52)는, 각 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)을 향해 이동시켜 시트형상 기판(S)에 밀착시킴과 더불어, 노광 종료 후의 시트형상 기판(S)의 반송시에는 각 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)으로부터 멀리하는 방향으로 이동시키는 기구이다. 각 승강 기구(51, 52)에는, 임의의 직동 기구를 채용할 수 있는데, 이 실시 형태에서는, 각 마스크(41, 42)의 정지 위치의 자유도를 크게 하기 위해, 서보 모터와 볼 나사의 조합을 채용하고 있다. 도 1에서는 상세가 생략되어 있는데, 각 승강 기구(51, 52)는, 좌우에 상하의 구동축을 구비하고 있고, 상하 방향의 리니어 가이드를 따라 각 마스크 대좌(411, 421)를 승강시키는 기구로 되어 있다.

또한, 설명의 형편상, 수직 방향을 Z방향으로 하고, 시트형상 기판(S)의 반송 방향을 X방향, X방향에 수직인 수평 방향을 Y방향으로 한다. 각 마스크(41, 42)는, XY방향을 각 변으로 하는 방형의 판형상이다.

이러한 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치는, 각 마스크(41, 42)에 부착된 이물을 제거하는 마스크 클리닝 기구(6)를 구비하고 있다. 이하, 마스크 클리닝 기구(6)에 대해, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는, 제1 실시 형태에 있어서의 마스크 클리닝 기구의 사시 개략도이다.

마스크 클리닝 기구(6)는, 한 쌍의 마스크(41, 42)를 동시에 클리닝하는 실용적인 구성을 갖고 있다. 구체적으로는, 마스크 클리닝 기구(6)는, 표면에 점착층을 갖는 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)와, 각 마스크(41, 42)에 맞닿은 상태로 각 클리닝 롤러(61, 62)를 이동시킴으로써 클리닝을 행하는 롤러 이동 기구(63)를 구비하고 있다.

각 클리닝 롤러(61, 62)에 있어서, 표면의 점착층은, 마스크(41, 42)에 부착된 이물을 점착력에 의해 마스크(41, 42)로부터 제거할 수 있도록 충분한 점착력을 갖는다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 클리닝 롤러(61, 62)는 원통형상이며, 원기둥형상의 심봉(心棒)(부호 생략)이 삽입 통과됨으로써 심봉에 유지되어 있다. 각 클리닝 롤러(61, 62)는, Y방향을 따라 배치되어 있다.

롤러 이동 기구(63)는, 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)를 유지한 프레임(64)과, 프레임(64)에 장착된 한 쌍의 슬라이더(65)와, X방향으로 서로 평행하게 연장되는 한 쌍의 리니어 가이드(66)와, 각 슬라이더(65)를 각 리니어 가이드(66)를 따라 이동시키는 직선 구동원(67) 등으로 구성되어 있다. 프레임(64)은, 직선 구동원(67)에 의한 가동이므로, 이하, 가동 프레임이라고 한다.

가동 프레임(64)은, 각 클리닝 롤러(61, 62)를 지지한 한 쌍의 지지 기둥부(이하, 제진 지지 기둥부)(641)를 갖고 있다. 각 제진 지지 기둥부(641)는, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 심봉의 양단을 베어링(부호 생략)을 통해 지지하고 있다. 따라서, 각 클리닝 롤러(61, 62)는, Y방향으로 연장되는 중심축의 둘레로 종동 회전 가능하게 되어 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 제진 지지 기둥부(641)에 의해 유지된 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)는, Z방향으로 이격되어 있고, 그 사이에 시트형상 기판(S)의 반송면이 설정되어 있다. 따라서, 장치의 동작 상태에서는 사이에 시트형상 기판(S)이 위치하고 있다.

직선 구동원(67)으로서는, 서보 모터와 볼 나사의 조합 또는 리니어 모터 등이 사용된다. 직선 구동원(67)에 의한 슬라이더(65)의 이동 스트로크는, X방향의 마스크(41, 42)의 길이보다 조금 긴 정도이다.

또, 마스크 클리닝 기구(6)는, 이착 롤러(68)를 구비하고 있다. 이착 롤러(68)는, 클리닝 롤러(61, 62)에 부착된 이물을 이착시켜, 클리닝 롤러(61, 62) 의 메인테넌스 빈도를 낮추는 목적으로 설치되어 있다.

각 이착 롤러(68)는, 클리닝 롤러(61, 62)와 마찬가지로, 표면에 점착층을 갖는 점착 롤러이다. 각 이착 롤러(68)는, 가정용의 먼지 제거용 점착 롤러와 마찬가지로, 점착 테이프(점착지)가 감겨진 구조이며, 이착 롤러(68)로의 이물의 부착량이 많아진 경우, 표면의 한 장의 점착 테이프를 벗김으로써 부착력이 재생되는 것이다. 단, 각 이착 롤러(68)의 점착력은, 클리닝 롤러(61, 62)보다 상당 정도 높은 것으로 되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 각 이착 롤러(68)는, 클리닝 롤러(61, 62)를 지지한 가동 프레임(64)과는 다른 프레임(이하, 고정 프레임이라고 한다)(681)에 의해 유지되어 있다. 고정 프레임(681)은, 한 쌍의 지지 기둥부(이하, 이착 지지 기둥부)(682)를 갖고 있다. 각 이착 롤러(68)도 심봉을 갖고 있고, 심봉의 양단은, 베어링(부호 생략)을 통해 각 이착 지지 기둥부(682)에 지지되어 있다.

각 이착 롤러(68)에는, 회전 구동원(683)이 설치되어 있고, 중심축의 둘레로 회전하도록 되어 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 상측의 이착 롤러(68)가 지지되어 있는 높이는, 상측의 클리닝 롤러(61, 62)와 거의 같은 높이이며, 하측의 이착 롤러(68)가 지지되어 있는 높이는, 하측의 클리닝 롤러(61, 62)와 거의 같은 높이이다. 따라서, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 이동함으로써 각 이착 롤러(68)는 각 클리닝 롤러(61, 62)에 접촉할 수 있다.

이러한 제1 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 동작에 대해, 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은, 제1 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 동작을 도시한 정면 단면 개략도이다.

도시 생략된 제어부는, 반송계(1)에 제어 신호를 보내, 시트형상 기판(S)을 반송 스트로크의 거리만큼 반송하여 정지시킨다. 그 후, 각 광원(2) 및 각 광학계(3)에 의해 노광이 행해진다. 즉, 제어부는, 각 승강 기구(51, 52)를 동작시켜, 도 3(1)에 도시하는 바와 같이, 각 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)에 밀착시킨다. 이 상태로, 제어부는, 각 광학계(3) 내의 셔터를 열어, 각 광원(2)으로부터의 광(L)이 각 광학계(3)에 의해 각 마스크(41, 42)를 통과시켜 시트형상 기판(S)의 양면에 조사되도록 하여 양면을 동시에 노광한다. 또한, 노광시, 각 클리닝 롤러(61, 62)는, 대기 위치에 위치하고 있다. 대기 위치는, 각 마스크(41, 42)에 대해, X방향의 한쪽측(예를 들어 도 3에 도시하는 바와 같이 좌측)에 설정되어 있다.

소정 시간의 노광이 종료하면, 제어부는, 각 승강 기구(51, 52)를 동작시켜, 도 3(2)에 도시하는 바와 같이 각 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)으로부터 이격시킨다.

다음에, 제어부는, 마스크 클리닝 기구(6)에 의해 각 마스크(41, 42)의 클리닝 동작을 행한다. 제어부는, 우선, 직선 구동원(67)을 동작시켜, 가동 프레임(64)을 X방향으로 이동시킨다. 이때의 이동 거리는, 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42)의 앞을 통과하여, 클리닝 개시 위치에 이르는데 필요한 이동 거리이다. 이 실시 형태에서는, 클리닝은, 각 마스크(41, 42) 중 노광해야 할 패턴이 형성된 영역(이하, 패턴 영역이라고 하고, 도 1에 R로 나타낸다)에 대해 행해지므로, 클리닝 개시 위치는, 다른쪽 측(각 마스크(41, 42)로부터 볼 때 대기 위치와는 반대측)의 패턴 영역(R)의 단의 조금 외측을 향하는 위치이다. 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)는, 도 3(3)에 도시하는 바와 같이, 이 클리닝 개시 위치에 이르면, 정지한다.

다음에, 제어부는, 각 승강 기구(51, 52)에 제어 신호를 보내, 각 마스크(41, 42)가 서로 접근하는 방향으로 이동시킨다. 이때의 이동 거리는, 상측 승강 기구(51)에 대해서는 상측 마스크(41)의 하면이 상측 클리닝 롤러(61)에 접촉하는 거리이며, 하측 승강 기구(52)에 대해서는, 하측 마스크(42)의 상면이 하측 클리닝 롤러(62)에 접촉하는 거리이다.

이동에 의해, 도 3(4)에 도시하는 바와 같이, 각 마스크(41, 42)가 각 클리닝 롤러(61, 62)에 접촉한 상태가 된다. 이 상태로, 제어부는, 롤러 이동 기구(63)의 직선 구동원(67)에 제어 신호를 보내, 가동 프레임(64)을 역방향으로 소정의 스트로크만큼 직선 이동시킨다. 소정의 스트로크란, 각 마스크(41, 42)에 있어서의 패턴 영역(R)의 X방향의 길이보다 조금 긴 거리에 상당하는 스트로크이다. 이 결과, 각 클리닝 롤러(61, 62)는, 도 3(5)에 도시하는 바와 같이, 각 마스크(41, 42)의 패턴 영역(R)의 한쪽측의 단의 조금 외측에 이른다. 이 직선 이동시, 각 클리닝 롤러(61, 62)는 각 마스크(41, 42)에 접촉하면서 가동 프레임(64)과 일체로 직선 이동한다. 이때, 각 클리닝 롤러(61, 62)와 각 마스크(41, 42) 사이의 마찰력에 의해 각 클리닝 롤러(61, 62)는 종동 회전한다. 종동 회전하는 각 클리닝 롤러(61, 62)는, 마스크(41, 42)에 이물이 부착되어 있는 경우, 점착력에 의해 자신에게 부착시켜, 마스크(41, 42)로부터 제거한다.

또한, 도 3(2)에 도시하는 상태로부터 도 3(5)에 도시하는 상태가 될 때까지의 시간대에 있어서, 제어부는 반송계(1)에 제어 신호를 보내, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 일체 이동과 병행하여, 반송 스트로크에서의 시트형상 기판(S)의 반송을 행하게 한다. 이 결과, 시트형상 기판(S) 중 다음에 패턴의 전사를 행해야 할 영역이 노광 영역에 위치한 상태가 된다. 또한, 순차 반송에 필요로 하는 시간은, 통상, 클리닝에 필요로 하는 시간보다 짧고, 도 3(5)의 상태에서는 순차 반송은 종료되어 있다.

도 3(5)의 상태로부터, 제어부는, 상측 승강 기구(51)에 제어 신호를 보내 상측 마스크(41)를 상승시키고, 하측 승강 기구(52)에 제어 신호를 보내 하측 마스크(42)를 하강시킨다. 이 결과, 도 3(6)에 도시하는 바와 같이, 각 마스크(41, 42)는 당초의 대기 위치의 높이로 되돌아온다.

그 후, 제어부는, 가동 프레임(64)을 고정 프레임(681)측에 더 직선 이동시킨다. 이때의 이동 거리는, 도 3(6)에 도시하는 바와 같이, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 이착 롤러(68)에 접촉하는 상태가 되는 거리이다. 이 상태로, 제어부는, 각 이착 롤러(68)의 회전 구동원(683)을 동작시켜, 각 이착 롤러(68)를 회전시킨다. 각 이착 롤러(68)와 각 클리닝 롤러(61, 62) 사이에는 큰 마찰력이 존재하고 있기 때문에, 각 이착 롤러(68)의 회전에 의해, 각 클리닝 롤러(61, 62)는 종동 회전한다. 이때, 이착 롤러(68)의 표면의 점착층의 점착력은, 클리닝 롤러(61, 62)의 것보다 높기 때문에, 클리닝 롤러(61, 62)에 부착되어 있던 이물은 이착 롤러(68)로 옮겨 부착된다.

그 후, 제어부는, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 이착 롤러(68)로부터 멀어지는 방향으로 가동 프레임(64)을 이동시켜, 가동 프레임(64)을 당초의 대기 위치로 되돌린다. 한편, 각 클리닝 롤러(61, 62)에 의한 각 마스크(41, 42)의 클리닝이 종료된 직후에, 제어부는, 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)에 밀착시키고, 각 광학계(3)의 셔텨에 제어 신호를 보내 셔터를 열어, 다음의 노광 동작을 행하게 한다. 따라서, 각 이착 롤러(68)에 의한 각 클리닝 롤러(61, 62)로부터의 이물의 이착은, 다음의 노광 동작의 한중간에 행해진다. 다음의 노광 동작의 종료시까지는 이착 동작은 종료되어 있으며, 가동 프레임(64)은 당초의 위치로 되돌아와 있다. 그리고, 도 3(2)~도 3(6)에 도시하는 동작이 마찬가지로 반복된다.

이러한 구성 및 동작인 실시 형태에 의하면, 롤투롤 방식의 양면 노광 장치에 있어서, 각 마스크(41, 42)가 세정인 상태로 유지되는 실용적인 구성이 제공된다. 즉, 사이에 시트형상 기판(S)이 존재하고 있는 상태로 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42)에 맞닿아 굴러, 이물을 제거한다. 특허 문헌 1이나 특허 문헌 2의 구조를 그대로 채용하면, 시트형상 기판(S)이 방해가 되므로, 일단 시트형상 기판(S)을 감아 꺼내고 나서부터 클리닝을 행하지 않을 수 없다. 이 구성에서는, 클리닝의 개시까지 매우 시간이 걸리는데 더해, 클리닝의 빈도는 매우 낮은 것이 되지 않을 수 없다. 양질의 처리를 위해 클리닝의 빈도를 높이면, 생산성이 크게 저해되게 된다. 한편, 실시 형태의 구성에 의하면, 반송면 상에 시트형상 기판(S)이 위치하고 있는 상태로 각 마스크(41, 42)가 클리닝되므로, 각 노광의 중간(순차 반송시)에 클리닝을 행할 수 있어, 상기와 같은 문제는 없다.

또, 한쪽의 마스크(41)를 클리닝 한 후에 다른쪽의 마스크(42)를 클리닝하는 구성이면, 클리닝에 필요로 하는 전체의 시간이 길어져, 생산성에 부여하는 영향은 무시할 수 없게 된다. 그러나, 실시 형태의 장치에서는, 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)가 동시기에 이동하여 클리닝이 행해지므로, 이러한 문제는 없다.

또한, 이 실시 형태에서는, 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)를 일체로 이동시킴으로써 동시기의 클리닝을 실현하고 있는데, 이것은 반드시 필수인 것은 아니다. 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)가 따로따로 이동하지만, 그 이동이 동시기에 행해지면, 생산성 저해의 문제는 회피된다. 단, 상기 설명으로부터 알 수 있듯이, 일체로 이동하는 경우에는 하나의 기구로 양방의 클리닝 롤러(61, 62)를 이동시킬 수 있으므로, 기구가 간략화되는 이점이 있다.

또, 상기 설명에서는, 시트형상 기판(S)에 대한 매회의 노광의 중간에 클리닝이 행해지도록 설명했는데, 각 마스크(41, 42)에 대한 이물의 부착 상황에 따라 클리닝의 빈도는 조절된다. 수 회~수십 회의 노광마다 1회의 클리닝이 행해지기도 한다.

또한, 각 마스크(41, 42)에 대해 각 클리닝 롤러(61, 62)를 접촉시키는데, 마스크 이동 기구로서의 승강 기구가 겸용되고 있다. 이 점도, 장치를 기구적으로 간략화하는데 공헌하고 있다. 각 클리닝 롤러(61, 62)를 각 마스크(41, 42)에 접촉시키는데, 승강 기구와는 다른 기구를 채용하는 것도 가능하지만, 이와 같이 하면 기구가 복잡해지고, 비용도 상승한다. 실시 형태에서는, 이러한 문제는 없다.

또한, 이 실시 형태에서는, 각 클리닝 롤러(61, 62)에 대해 이착 롤러(68)가 설치되어 있고, 각 클리닝 롤러(61, 62)에 부착된 이물이 이착 롤러(68)에 이착되므로, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 메인테넌스 주기가 길어진다. 각 클리닝 롤러(61, 62)는, 많은 이물이 부착되어 이물의 제거 능력이 저하한 경우, 떼어 내고 물로 세정하여 능력이 회복된다. 이 실시 형태에서는, 각 클리닝 롤러(61, 62)는 정기적으로 이착 롤러(68)에 접촉하여 이물의 이착이 행해진다. 이착 롤러(68)로의 이물의 부착량이 많아진 경우, 표면의 한 장의 점착 테이프를 벗기는 것 만의 메인테넌스여도 된다. 이로 인해, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 물 세정의 빈도는 낮고, 생산성에 부여하는 영향이 매우 작아져 있다.

다음에, 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치에 대해 설명한다.

도 4는, 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 주요부를 도시한 사시 개략도이다. 이 제2 실시 형태의 장치는, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 장착 구조 및 각 마스크(41, 42)에 대해 접촉하기 위한 구조가 제1 실시 형태와 상이하게 되어 있다.

구체적으로 설명하면, 제2 실시 형태에서도, 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)는, 심봉의 단부가 제진 지지 기둥부(641)에 의해 지지되어 있다. 제진 지지 기둥부(641)는, 제1 실시 형태와 상이하게, 탄성체로서의 코일 스프링(7)을 사이에 개재시킨 상태로 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)를 지지하고 있다. 즉, 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)는, 코일 스프링(7)을 통해 연결되어 있다. 또한, 도 4에 있어서, 각 이착 롤러나 그것을 지지한 고정 프레임 등의 도시는 생략되어 있다.

각 제진 지지 기둥부(641)에는, 상하에 한 쌍의 브래킷(이하, 상측 브래킷, 하측 브래킷이라고 한다)(71, 72)이 설치되어 있고, 한 쌍의 브래킷(71, 72)을 이은 상태로 코일 스프링(7)이 설치되어 있다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 브래킷(71, 72)은 제진 지지 기둥부(641)로부터 X방향으로 돌출한 상태로 설치되어 있고, Y방향으로 연장되는 심봉의 양단을 잡아 유지하고 있다.

또, 각 제진 지지 기둥부(641)에 있어서, 한 쌍의 브래킷(71, 72)이 돌출한 측의 측면은 가이드 레일로 되어 있다. 각 브래킷(71, 72)은 이 가이드 레일을 따라 상하 방향으로 활동 가능하게 되어 있다. 또한, 각 제진 지지 기둥부(641)는, 하단부에 받이판(부호 생략)을 갖고 있고, 대기 상태에서는, 받이판 위에 하측 브래킷(72)이 실려, 그것에 대해 코일 스프링(7)에 의해 상측 브래킷(71)이 연결된 구조로 되어 있다. 상측 브래킷(71) 및 지지한 상측 클리닝 롤러(61)의 중량에 의해 코일 스프링(7)은 조금 압축된 상태이지만, 거의 자유 길이의 길이로 되어 있다.

또한, 각 제진 지지 기둥부(641)의 상단에는, 한도 이상으로 하측 마스크(42)가 상승하지 않도록 하기 위해, 스토퍼(75)가 설치되어 있다.

상기 이외의 구조에 대해서는, 제2 실시 형태의 장치는, 제1 실시 형태와 기본적으로 같다. 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)는 가동 프레임(64)과 일체로 이동 가능하고, 또 고정 프레임(681) 상에는, 한 쌍의 이착 롤러(68)가 설치되어 있다.

이러한 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 동작에 대해, 도 5를 참조하여 설명한다. 도 5는, 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 동작을 도시한 정면 단면 개략도이다.

제2 실시 형태에 있어서도, 도 5(1)에 도시하는 바와 같이, 각 마스크(41, 42)를 시트형상 기판(S)에 밀착시켜, 각 광원(2)으로부터의 광(L)을 각 광학계(3)에 의해 각 마스크(41, 42)를 통과시켜 조사해 양면 노광이 행해진다. 이 1회의 노광 후, 도 5(2)에 도시하는 바와 같이, 각 마스크(41, 42)는, 시트형상 기판(S)으로부터 이격한 대기 위치로 되돌려진다. 그 후, 마스크 클리닝의 준비 작업이 행해진다.

즉, 도 5(2)에 도시하는 바와 같이, 롤러 이동 기구(63)는, 가동 프레임(64)을 X방향으로 이동시켜 한 쌍의 클리닝 롤러(61, 62)를 마스크(41, 42)의 반대측에 위치시킨다. 이 위치는, X방향에서 본 경우, 각 마스크(41, 42)에 있어서 클리닝해야 할 영역의 단의 위치이다.

이 상태로, 제어부는, 하측 승강 기구(52)에 제어 신호를 보내, 하측 마스크(42)를 소정 거리 상승시킨다. 이때, 우선, 도 5(3)에 도시하는 바와 같이, 하측 마스크(42)가 하측 클리닝 롤러(62)에 접촉한다. 하측 승강 기구(52)는, 하측 마스크(42)를 더 상승시킨다. 이때, 하측 마스크(42)가 이미 하측 클리닝 롤러(62)에 접촉되어 있고, 하측 클리닝 롤러(62)는 가동 프레임(64)에 의해 상측 클리닝 롤러(61)에 연결되어 있으므로, 하측 승강 기구(52)는, 하측 마스크(42)에 실린 하측 클리닝 롤러(62) 및 상측 클리닝 롤러(61)를 일체로 상승시키는 상태가 된다. 또한, 이때, 하측 브래킷(72)은 받이판으로부터 떨어져 상승한다.

그리고, 도 5(4)에 도시하는 바와 같이 상측 클리닝 롤러(61)가 상측 마스크(41)에 맞닿고, 그 후 조금 상승하면, 하측 승강 기구(52)는 하측 마스크(42)의 상승을 정지시킨다. 상측 마스크(41)의 위치는 상측 승강 기구(51)에 의해 고정되어 있으므로, 상측 마스크(41)에 상측 클리닝 롤러(61)가 맞닿은 후의 상승은, 코일 스프링(7)의 탄성에 저항한 것이 된다. 즉, 상측 마스크(41)에 상측 클리닝 롤러(61)를 맞대어 코일 스프링(7)을 조금 압축하면서 하측 승강 기구(52)는 하측 마스크(42)를 조금 상승시키게 된다.

도 5(4)에 도시하는 상태에서는, 코일 스프링(7)의 탄성에 의해, 하측 클리닝 롤러(62)는 하측 마스크(42)에 눌림과 더불어, 상측 클리닝 롤러(61)는 상측 마스크(41)에 눌린 상태가 된다. 이 상태로, 제어부는, 롤러 이동 기구(63)에 제어 신호를 보내, 가동 프레임(64)을 X방향에 역방향으로 소정 거리 이동시킨다. 이때의 이동 거리는, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42)의 패턴 영역(R)을 통과하는데 필요한 거리이다. 도 5(5)에 도시하는 바와 같이, 이 거리를 이동이 완료하면, 제어부는 롤러 이동 기구(63)에 제어 신호를 보내 이동을 정지시킨다. 여기까지의 이동시, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42) 상에서 종동 회전하여, 각 마스크(41, 42)에 부착되어 있는 이물을 제거한다.

다음에, 제어부는, 하측 승강 기구(52)에 제어 신호를 보내, 도 5(6)에 도시하는 바와 같이 하측 마스크(42)를 당초의 높이까지 하강시킨다. 이 결과, 상측 클리닝 롤러(61)는 상측 마스크(41)로부터 떨어지고, 하측 클리닝 롤러(62)는, 하측 마스크(42)로부터 떨어진다. 또, 하측 브래킷(72)은 받이판에 실은 상태가 되며, 코일 스프링(7)은 거의 자유 길이가 된다.

그 후, 제어부는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 가동 프레임(64)을 X방향으로 더 이동시키고, 도 5(6)에 도시하는 바와 같이 각 클리닝 롤러(61, 62)를 각 이착 롤러(68)에 접촉시킨다. 그리고, 각 이착 롤러(68)의 회전 구동원(683)을 동작시켜, 각 클리닝 롤러(61, 62) 상의 이물을 각 이착 롤러(68)에 이착시킨다. 그 후, 제어부는, 가동 프레임(64)을 당초의 대기 위치로 되돌린다. 그리고, 다음 회의 노광이 종료하면, 같은 클리닝 동작이 반복된다. 또한, 상기 클리닝 동작은, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 매회의 노광 중간의 시트형상 기판(S)의 반송과 시간적으로 겹쳐 행해진다.

이러한 구성 및 동작에 따르는 제2 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치에 의하면, 클리닝시, 각 마스크(41, 42)에 대한 각 클리닝 롤러(61, 62)의 누름 압력이 코일 스프링(7)에 의해 적당히 조절된다. 즉, 상측 클리닝 롤러(61)가 상측 마스크(41)에 맞닿은 후의 하측 마스크(42)의 상승은, 코일 스프링(7)의 탄성에 저항한 형태가 되므로, 이 상승 거리를 적당히 조절함으로써, 코일 스프링(7)의 탄성력이 조절되어, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 각 마스크(41, 42)로의 접촉 압력이 조절된다. 이로 인해, 압력이 부족하여 이물의 제거를 충분히 할 수 없게 되거나, 과잉 압력으로 마스크(41, 42)를 손상시키는 일은 없다.

제1 실시 형태에 있어서도, 각 클리닝 롤러(61, 62)를 탄성체를 통해 제진 지지 기둥부(641)에 유지시킨 구조로 함으로써 같은 효과를 얻을 수 있다. 단, 제1 실시 형태와 비교하면, 제2 실시 형태는, 하측 승강 기구(52)로 하측 마스크(42)를 상승시키는 것만으로 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42)에 맞닿는 구조이며, 코일 스프링(7)은 1개만으로 충분하다. 이로 인해, 구조적으로 간략하게 되어 있다.

다음에, 제3 실시 형태에 대해 설명한다.

도 8은, 제3 실시 형태의 롤투롤 양면 노광 장치의 주요부의 사시 개략도이다. 제3 실시 형태의 장치는, 클리닝 장치가 제전기(81, 82)를 구비하고 있는 점에서, 제1, 제2 실시 형태와 상이하게 되어 있다. 제전기(81, 82)는, 클리닝에 앞서 각 마스크(41, 42)의 표면의 정전기를 제거하는 기구이다. 이 실시 형태에서는, 제전기(81, 82)는 이오나이저로 되어 있다. 이오나이저는, 마스크(41, 42)에 이온을 조사하여 전하를 중화시켜 제전하는 것이다. 이오나이저에는, 각종의 방식의 것이 있으며, 적당히 선정하여 사용할 수 있는데, 예를 들어 DC 또는 AC 방전에 의해 공기를 이온화하여 방출하는 타입의 것이 채용될 수 있다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 제전기(81, 82)는, 전체적으로는 봉형상의 부재이며, 이온을 방출하는 복수의 노즐(83)이 길이 방향을 따라 설치되어 있다. 이 실시 형태에서는, 상측 마스크(41)용으로 상측 제전기(81)가 설치되고, 하측 마스크(42)용으로 하측 제전기(82)가 설치되어 있다. 상측 제전기(81)는 각 노즐(83)을 상측을 향한 자세로 배치되고, 하측 제전기(82)는 각 노즐(83)을 하측을 향한 자세로 설치되어 있다. 한 쌍의 제전기(81, 82)는, 마찬가지로 가동 프레임(64)에 의해 지지되어 있고, 가동 프레임(64)의 이동에 수반하여 일체로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 한 쌍의 제전기(81, 82)는, 사이에 반송면이 위치하는 높이에 설치되어 있다. 따라서, 장치의 동작시에는 한 쌍의 제전기(81, 82)의 사이에 시트형상 기판(S)이 존재하는 상태가 된다.

제3 실시 형태에 있어서도, 각 회의 노광의 중간에 클리닝 기구(6)가 동작한다. 제어부는, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42)에 맞닿은 상태로 가동 프레임(64)을 X방향으로 이동시켜 각 클리닝 롤러(61, 62)를 종동 회전시킴으로써 클리닝을 행한다. 이때, 제어부는, 각 제전기(81, 82)를 동작시킨다. 도 6으로부터 알 수 있듯이, 각 제전기(81, 82)는, 이동 방향 전방에 설치되어 있으므로, 각 클리닝 롤러(61, 62)보다 먼저 각 제전기(81, 82)가 각 마스크(41, 42)의 앞을 통과하게 된다. 즉, 각 클리닝 롤러(61, 62)에 의한 클리닝에 앞서 각 제전기(81, 82)에 의해 각 마스크(41, 42)의 표면이 제전된다. 이로 인해, 각 클리닝 롤러(61, 62)에 의한 클리닝 효과가 보다 높아진다.

보다 구체적으로 설명하면, 마스크(41, 42)는 석영 유리와 같은 유리제이며, 대전할 수 있다. 따라서, 유전체로 이루어지는 이물이 마스크(41, 42)에 정전 흡착되어 있는 경우가 있고, 대전한 먼지과 같은 이물이 흡착되어 있는 경우도 있다. 이러한 이물의 경우, 마스크(41, 42)로의 부착력이 강하므로, 단순히 클리닝 롤러(61, 62)를 굴린 것만으로는 제거할 수 없는 경우가 있을 수 있다. 이 실시 형태에서는, 미리 제전기(81, 82)가 마스크(41, 42)의 표면의 제전을 행하므로, 이물의 정전적인 흡착은 해제되거나, 또는 매우 작은 흡착력이 된다. 이로 인해, 클리닝 롤러(61, 62)의 점착력에 의해 확실히 제거된다.

또한, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 제3 실시 형태에 있어서도, 가동 프레임(64)은, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 각 마스크(41, 42)의 패턴 영역(R)의 한쪽 단의 조금 외측을 향하는 위치까지 이동(왕로 이동)한 후, 반전 후퇴(복로 이동)할 때에 각 마스크(41, 42)에 접촉하고 나서 클리닝을 행한다. 따라서, 왕로 이동시에 각 제전기(81, 82)를 동작시켜도 되고, 왕로 이동과 복로 이동의 양방에서 동작시켜도 된다.

어쨌든, 제3 실시 형태에서는, 제진기(81, 82)의 이동에 롤러 이동 기구(63)가 겸용되고 있으므로, 이 점에서 기구가 간략화되어 있다.

상기 서술한 각 실시 형태에 있어서, 각 클리닝 롤러(61, 62)의 점착층을 갖는 부분의 길이(Y방향의 길이)는 각 마스크(41, 42)의 패턴 영역(R)의 Y방향의 길이에 상당하고 있고, 패턴 영역(R)에 대한 클리닝이 행해졌는데, 각 클리닝 롤러(61, 62)를 길게 하여, 이동 거리를 길게 함으로써, 패턴 영역(R)보다 넓은 영역에 대해 클리닝을 행해도 된다.

또한, 복로 이동뿐만 아니라 왕로 이동에 있어서도 각 클리닝 롤러(61, 62)를 각 마스크(41, 42)에 접촉시켜 클리닝을 행해도 된다. 단, 클리닝 개시 위치까지 단순히 이동하는 경우에 비하면, 클리닝시에는 각 클리닝 롤러(61, 62)는 느린 속도로 이동하게 된다. 이로 인해, 왕복 이동에서 클리닝을 행하면, 택트 타임이 길어진다. 따라서, 생산성을 고려하면, 필요가 없는 경우에는, 왕로만 또는 복로만에서의 클리닝으로 해두는 것이 바람직하다.

또, 본원 발명에 있어서, 각 마스크(41, 42)와 시트형상 기판(S) 사이를 진공 밀착 상태로 노광을 행하는 컨택트 방식이어도 된다. 진공 작업한 컨택트 방식의 경우, 주위의 이물을 끌어당겨 버리기 쉬우므로, 각 실시 형태와 같은 마스크 클리닝 기구(6)를 구비하는 것의 의의는 크다. 또한, 각 마스크(41, 42)와 시트형상 기판(S) 사이에 소정의 작은 간극을 형성하면서 노광을 행하는 프록시미티 방식의 노광을 행하는 장치에 대해서도, 본원 발명은 마찬가지로 실시할 수 있다.

또한, 상기 각 실시 형태에서는, 각 클리닝 롤러(61, 62)는 종동 회전하는 것이었는데, 회전 구동원을 구비하고 있어 능동 회전하는 것이어도 된다. 이 경우, 그러한 능동 회전의 회전 구동에 따라 각 마스크(41, 42)와의 마찰력에 의해 이동해가는 구성도 생각할 수 있다. 단, 능동 회전시키는 경우에는, 각 마스크에 큰 반동이나 마찰력이 더해지기 쉬워져, 각 마스크의 손상 등이 발생하기 쉬워지기 때문에, 종동 회전이 바람직하다. 또한, 각 클리닝 롤러(61, 62)가 회전 구동원을 구비하고 있는 경우, 각 이착 롤러(68)와의 접촉에 있어서, 각 이착 롤러(68)가 종동 롤러가 되기도 한다.

1: 반송계 2: 광원
3: 광학계 41: 상측 마스크
42: 하측 마스크 51: 상측 승강 기구
52: 하측 승강 기구 6: 마스크 클리닝 기구
61: 상측 클리닝 롤러 62: 하측 클리닝 롤러
63: 롤러 이동 기구 64: 가동 프레임
7: 탄성체로서의 코일 스프링 81: 상측 제전기
82: 하측 제전기

Claims (1)

1. 롤형상의 시트형상 기판을 인출하여 상기 시트형상 기판의 양면에 소정의 패턴의 광을 조사하여 노광하는 롤투롤(roll to roll) 양면 노광 장치로서,
   롤형상의 시트형상 기판을 인출하여 노광 영역을 통과시켜 반송하는 반송계와,
   노광 영역을 사이에 두고 배치된 한 쌍의 마스크와,
   한 쌍의 마스크를 클리닝하는 마스크 클리닝 기구를 구비하고 있고,
   마스크 클리닝 기구는,
   표면에 점착층을 갖는 한 쌍의 클리닝 롤러와,
   각 클리닝 롤러를 각 마스크 상에서 전동(轉動)시키면서 이동시킴으로써 각 마스크로부터 이물을 제거하는 롤러 이동 기구를 구비하고 있으며,
   롤러 이동 기구는, 사이에 시트형상 기판이 존재하는 상태로 각 클리닝 롤러를 각 마스크의 한쪽측으로부터 다른쪽측으로 동시기에 이동시키는 기구이고,
   한 쌍의 클리닝 롤러에 접촉 가능한 한 쌍의 이착 롤러가 설치되어 있고,
   각 이착 롤러는, 각 클리닝 롤러의 점착층보다 높은 점착력의 점착층을 표면에 가지고 있고,
   각 클리닝 롤러는 떼어 낼 수 있는 상태로 배치되어 있고, 떼어 내고 물로 세정하는 것으로 점착 능력이 회복되는 것임을 특징으로 하는 롤투롤 양면 노광 장치.

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