JPH07271049A

JPH07271049A - 露光焼枠用クリーナ

Info

Publication number: JPH07271049A
Application number: JP6063058A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Saito; 努斎藤
Original assignee: Seikosha KK
Current assignee: Seikosha KK
Priority date: 1994-03-31
Filing date: 1994-03-31
Publication date: 1995-10-20
Anticipated expiration: 2014-02-03
Also published as: JP2852332B2

Abstract

(57)【要約】【目的】手作業によらず自動的に露光焼枠および原版
フィルムの清掃を行う。【構成】本発明の露光焼枠用クリーナａは、１対の原
版フィルム１，２を介して基板の両面に露光する露光装
置ｂに付設されており、アーム４２，タイミングベルト
６０，軸受けアーム６１は本体フレーム４１に対し進退
可能である。アーム４２先端には、ガイド板４３を介し
てクリーンローラ５６，５７が回転自在に保持されてい
る。図示しないモータの駆動によりタイミングベルト６
０が回転し、ピニオン４４が回転すると、ピニオン４４
と噛合するラック４６，４７が移動し、これらに連結さ
れたクリーンローラ５６は上昇して上原版フィルム１
に、クリーンローラ５７は下降して下原版フィルム２
に、それぞれ圧接する。この状態で左方へ移動させるこ
とにより、クリーンローラ５６，５７は原版フィルム
１，２に圧接しつつ回転しながら塵埃を外周の粘着部に
付着させて取り除く。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、原版フィルム上のパタ
ーンを基板に露光する露光装置に付設される露光焼枠用
クリーナに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常、プリント基板を製造する際には、
まず、表裏両面に全面的に銅箔が形成された樹脂基板に
対し、所望のパターンを形成した原版フィルムを介して
紫外線を露光し、その後でエッチングを行い、紫外線の
当たった部分の銅を基板から剥離させることによって、
原版フィルムと白黒反転した状態に銅箔パターンを有す
るプリント基板が完成する。または、エッチング時に露
光部以外の部分の銅が基板から剥離し原版フィルム通り
の銅箔パターンを有するプリント基板が完成する。

【０００３】上記製造方法のうちの露光工程を行なう場
合、露光部内に塵埃などが存在するとこの塵埃が基板や
原版フィルムに付着して、所望のパターンが露光できな
くなり、その結果製造したプリント基板の配線パターン
中に導通不良の箇所が生じたりして品質の低下をもたら
すおそれがある。そこで従来は、原版フィルムを取り替
えるときに、または長時間連続運転した場合は定期的
に、作業者が手作業で上下枠や原版フィルムの清掃を行
っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の通り、従来は露
光装置の運転を停止して手作業にて上下枠や原版フィル
ムを清掃しているため、作業は面倒で完全に塵埃を取り
除くためには作業時間が長くかかる。特に、大型の基板
を露光するために大型化したり、構成が複雑化した露光
装置においては、機械内部の上下枠や原版フィルムを手
作業で清掃するのは容易ではなく、十分な清掃が行えな
いおそれがある。原版フィルムを交換する度に清掃する
必要があるため、特に多種小量生産の場合には作業効率
が悪くなる。

【０００５】そこで本発明の目的は、手作業によらず自
動的に露光装置の原版フィルムの清掃を行うための露光
焼枠用クリーナを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る露光焼枠用クリーナは、露光装置の原
版フィルムを保持する焼枠に対して進退可能なアーム
と、アームに回転自在に取り付けられており外周部に塵
埃を付着可能な粘着部を有し原版フィルムに当接して清
掃可能なクリーンローラとを備えている。

【０００７】さらに詳しくは、アームに設けられている
ガイド板と、ガイド板に沿って摺動可能な１対の上記ク
リーンローラと、一方のクリーンローラを上方へ他方の
クリーンローラを下方へそれぞれ移動させる駆動機構と
を備えている。

【０００８】また、クリーンローラと当接して粘着部に
付着した塵埃を除去可能な粘着テープロールを設けると
さらに効果的である。

【０００９】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１に本発明に係る露光焼枠用クリーナａの一実
施例の要部を、図２，３には露光装置ｂに対応してこの
露光焼枠用クリーナａを配設した状態をそれぞれ示して
いる。

【００１０】本体フレーム４１（図２，３参照）から突
出する１対のアーム４２の先端に、ガイド板４３が一体
的に形成されている。ガイド板４３には、ピニオン４４
が回転自在に取り付けられ、ピニオン４４と噛合しガイ
ド板４３に沿って上下に摺動する１対のラック４６，４
７が取り付けてある。そして、このラック４６，４７に
連結軸４８，４９が連結され、連結軸４８，４９には保
持部材５０，５１が嵌合されるとともに、連結軸４８，
４９の外周において保持部材５０，５１とラック４６，
４７との間にバネ部材５２，５３が配設されている。保
持部材５０，５１は、連結軸４８，４９との摩擦力およ
びバネ部材５２，５３の抗力と、ストッパ４８ａ，４９
ａの作用とによって保持されている。さらに、ガイド板
４３に沿って上下に摺動可能な支持軸５４，５５が保持
部材５０，５１に固着され、支持軸５４，５５にはクリ
ーンローラ５６，５７が回転自在に支持されている。こ
のクリーンローラ５６，５７の外周は塵埃を付着可能な
粘着部となっている。ピニオン４４，ラック４６，４７
が、クリーンローラ５６，５７の駆動機構を構成してい
る。

【００１１】上記ピニオン４４を回転させるための機構
を次に説明する。ピニオン４４の中心軸４４ａは延伸さ
れており、その先端は軸受アーム６１により回転自在に
保持されている。中心軸４４ａにはプーリ４５が固着さ
れ、このプーリ４５にタイミングベルト６０の一端が掛
け回されており、タイミングベルト６０の他端は図示し
ないモータに連結されている。このアーム４２および軸
受けアーム４６は本体フレーム４１に対し進退可能であ
り、それに連動してタイミングベルト６０も進退する。

【００１２】このような構成であるため、図示しないモ
ータの駆動によってタイミングベルト６０が回転する
と、プーリ４５を介して中心軸４４ａが回転し、ピニオ
ン４４が回転する。ピニオン４４が回転すると、ラック
４６と一体的に連結軸４８，保持部材５０，支持軸５４
およびクリーンローラ５６が上昇する。同時に、ラック
４７と一体的に連結軸４９，保持部材５１，支持軸５５
およびクリーンローラ５７は下降する。また、この状態
から、図示しないモータが逆回転しタイミングベルト６
０が逆方向へ回転すると、クリーンローラ５６は下降
し、クリーンローラ５７は上昇して初期位置に復帰す
る。なお、図示しない進退駆動手段により、このような
クリーンローラユニット４０が進退する。

【００１３】露光焼枠用クリーナａには、クリーンロー
ラ５６，５７の外周のゴミを取り除くための粘着テープ
ロール５８が、固定アーム５９を介して設けられてい
る。固定アーム５９は本体フレーム４１に対し進退不能
に固定され、粘着テープロール５８はモータ６２により
回転可能になっている。

【００１４】次に、本実施例において用いた露光装置ｂ
について説明する。この露光装置ｂは、図２〜４に示す
ように、１対の原版フィルム１，２を基板３の両面に配
設した状態で両フィルム１，２上のパターンを基板３の
両面に同時露光する露光部４と、この露光部４に隣接し
て配置され、未露光の基板が供給される基板投入部５
と、露光部４と基板投入部５との間で基板３を搬送する
搬送手段６とを備えている。

【００１５】露光部４には、基台７と、基台７上に配置
され下原版フィルム１を保持する下枠８と、下枠８の上
方にこれと対向して設けられ、上原版フィルム２を保持
する上枠９と、上枠９に対する下枠８の位置を調整して
両フィルム１，２を位置合わせする第１のアライメント
手段（枠位置合わせ手段）１０と、上枠９を上下動させ
るＺ軸シリンダ１１と、１対の露光用光源１２，１３と
が設けられている。

【００１６】基台７上にはＸＹθテーブル１６が固定的
に配設されており、その上面に下枠８が載置されてい
る。このＸＹθテーブル１６は、モータ１６ａ，１６
ｂ，１６ｃ（図２参照）の作動により下枠８をＸ，Ｙ，
θ方向に位置調節可能なものである。下枠８内には、ガ
ラスでできた透明板１４が保持されており、透明板１４
が前記基台７の開口部７ａと対向するように配置されて
いる。図５，６に拡大して示すように、透明板１４の上
面にＩＴＯ（インジウム・ティン・オキサイド）からな
る透明電極１５が形成されており、透明電極１５には一
部に切欠部１５ａが設けてあるとともに図示しない外部
電源の一方の電極と接続される引出部１５ｂが設けてあ
る。透明電極１５上には下原版フィルム１が配設されて
おり、さらに下原版フィルム１上において、切欠部１５
ａと対向する位置に電極板２２が配設される。電極板２
２は、下原版フィルム１上に設けてある接続板２２ａ上
に一部が重なっており、この接続板２２ａが図示しない
外部電源の他方の電極と接続される。従って、電極板２
２と透明電極１５との間に電位差が生じ、静電気が発生
する。この透明電極１５および電極板２２が、発生する
静電気により下原版フィルム１を介して基板３を透明板
１４の上面に吸着保持するための吸着保持手段として作
用するものである。

【００１７】上枠９内には、アクリル樹脂でできた透明
板９ａが保持されており、透明板９ａに上原版フィルム
２が貼着されている（図３，４参照）。

【００１８】第１のアライメント手段１０は、ＸＹθテ
ーブル１６と、１対のＣＣＤカメラ１７と、アライメン
ト用光源１８とから構成されている。ＣＣＤカメラ１７
は、基台７内において、図４に示すアライメント位置と
この位置から左右に退避した退避位置との間で移動可能
に配置されている。そして、アライメント用光源１８か
らの照明光をＣＣＤカメラ１７で受光して得られる画像
信号に基づいて、ＸＹθテーブル１６を作動することに
より、下原版フィルム１のアライメントマークが上原版
フィルム２のアライメントマークと合致するように、上
枠９に対する下枠８の位置を調節可能になっている。

【００１９】露光用光源１２は上枠９の上方に、露光用
光源１３は下枠８の下方にそれぞれ配置されている。

【００２０】前記基板投入部５には、未露光の基板３が
投入された際におおまかな位置決めを行なうための基板
外形位置合わせ手段２０が設けられている。この基板外
形位置合わせ手段２０は、基板３を後述する搬送手段６
の吸着板３０により確実に保持可能とし、搬送手段６に
設けられたＸＹθテーブル３１による微調整によって露
光部における正確なアライメントが可能になる程度に位
置合わせしておくためのものである。本実施例では、基
準位置（下原版フィルム１に対応する基準の位置で、こ
の位置から基板を一定量平行移動したときに基板が下原
版フィルム１に対して正確に位置決めされるような位
置）から誤差が±１ｍｍ程度になるように調節される。

【００２１】この基板外形位置合わせ手段２０は、基台
７上に配置されたＸ方向の度当たりピン２３と、Ｙ方向
の幅寄せピン２４およびローラコンベア２５とから構成
されている。予め判明している基板３の寸法に応じて先
端部（図２，４の右方）の基準位置を決定し、その位置
に度当たりピン２３を位置させる。そこで基板３が投入
されると、ローラコンベア２５が回転することにより基
板３を前進させ、度当たりピン２３に接触した時点で基
板３を停止させ、Ｘ方向の位置決めをする。次に、Ｙ方
向の幅寄せピン２４を同時に基板３に向けて移動させ、
基板３の両端部（図２の上端または下端）のどちらか一
方が幅寄せピン２４に接触した時点から、その幅寄せピ
ン２４により基板を押進し、基板３の他方の端部が幅寄
せピン２４に接触した時点で停止する。すなわち、基板
の両端部がいずれも幅寄せピン２４に接触する位置で停
止し、Ｙ方向の位置決めを行なう。

【００２２】次に、基板を搬送する搬送手段６につい
て、図４を参照して説明する。図示しないモータにより
回転駆動されるプーリ２８ともう１つのプーリ２９にタ
イミングベルト３９が掛け回されている。このタイミン
グベルト３９の一部にスライダ３６が固着されている。
スライダ３６にはガイド部３６ａが設けられており、こ
のガイド部３６ａはレール３８を摺動可能である。プー
リ２８，２９，レール３８は本体フレームに固定的に支
持されている。スライダ３６にはシリンダ３７が固着し
てあり、このシリンダ３７の駆動軸に小型のＸＹθテー
ブル３１が取付けられている。ＸＹθテーブル３１に
は、基板３の上面を吸着するための多数の吸引孔（図示
せず。）を有する吸着板３０が取付けられている。ま
た、吸着板３０の下面には、ＥＬ（エレクトロルミネセ
ンス）素子２６が基板吸着をさまたげないように固定さ
れている。

【００２３】このような構成であるため、プーリ２８を
回転駆動することによってスライダ３６は図４左右方向
に移動可能であり、シリンダ３７の作動によりスライダ
３６に対しＸＹθテーブル３１を上下動可能であり、Ｘ
Ｙθテーブル３１の作動により吸着板３０をＸ，Ｙ，θ
方向に位置調節可能である。

【００２４】ＥＬ素子２６，ＸＹθテーブル３１，１対
のＣＣＤカメラ１７が、基板３を下枠８に対して位置合
わせする第２のアライメント手段（基板位置合わせ手
段）１９を構成している。

【００２５】上記構成の露光装置の露光対象となる基板
３の一般的な構成について、図５を参照して説明する。
この基板３は、エポキシ樹脂などからなる基板本体の表
裏両面に全面的に銅箔が形成されており、この銅箔を覆
う薄い樹脂製のドライフィルムが貼着され、さらにこの
両面にポリエステルなどからなる保護フィルム３４が貼
着されている。保護フィルム３４は基板３全体を覆うの
ではなく、基板３の外周各辺からそれぞれ５ｍｍ程度間
隔をおいて貼着されている。なお、図面では基板本体と
銅箔とドライフィルムとを一体的に示しているが、この
ドライフィルムが感光性を有するフォトレジストとして
の作用を果たす。

【００２６】次に、上記実施例の作動を説明する。ま
ず、上下枠８，９を露光装置に取り付ける前に、下原版
フィルム１を下枠８の透明板１４上に、上原版フィルム
２を上枠９の透明板９ａ上にそれぞれ粘着テープ等で貼
り付ける。次に下原版フィルム１の上に電極板２２を貼
付する。この貼付位置は、基板３の１つの外縁部に対し
て２〜３ｍｍ程度内側に入り込むようにセットする。す
なわち、前述の通り、基板３の外周部には５ｍｍ程度ド
ライフィルム面が露出しているので、そこに電極板２２
が接触するようにするためである。

【００２７】次に、下枠８をＸＹθテーブル１６上に取
り付けて固定すると共に、上枠９を上枠保持手段２７に
取り付ける。この時、上下の原版フィルム１，２間にク
リーンローラユニット４０が通過可能なスペースを確保
するように、Ｚ軸シリンダ１１により上枠９の高さを調
整しておく。

【００２８】ここで両原版フィルム１，２の清掃を行
う。図示しない進退駆動手段によりアーム４２および軸
受アーム６１およびタイミングベルト６０を図２上方
（図３左方）へ移動する。そして、クリーンローラユニ
ット４０が両枠８，９の間に到達する時点で（例えば上
下枠に設けられている図示しない土手ゴムを通過した時
点で）、図示しないセンサ（リミットスイッチなど）が
作動して本体フレーム４１内のモータが駆動されタイミ
ングベルト６０が回転される。これによって前述の通
り、クリーンローラ５６は上昇して上原版フィルム２
に、クリーンローラ５７は下降して下原版フィルム１
に、それぞれ当接する（図３，７参照）。保持部材５
０，５１はバネ部材５２，５３によって支持されている
ので、クリーンローラ５６，５７は両原版フィルム１，
２に対し圧接する。この状態でアーム４２および軸受ア
ーム６１およびタイミングベルト６０をさらに図７左方
へ移動させることにより、クリーンローラ５６，５７は
原版フィルム１，２に圧接した状態で回転しながら、原
版フィルム１，２全域の塵埃を外周の粘着部に付着させ
て取り除く。

【００２９】こうして、クリーンローラユニット４０が
一定距離移動したことを図示しないセンサ（リミットス
イッチなど）により検知したら、原版フィルム１，２の
清掃が完了したと判断し、図示しないモータを逆転させ
てタイミングベルト６０を逆回転させ、クリーンローラ
５６を下降させるとともにクリーンローラ５７を上昇さ
せて、両原版フィルム１，２から離す（図８参照）。そ
して、アーム４２および軸受アーム６１およびタイミン
グベルト６０を右方へ移動させ、クリーンローラユニッ
ト４０を完全に後退させて、クリーンローラ５６，５７
を粘着テープロール５８に同時に接触させる（図９参
照）。そこで、モータ６２を作動させて粘着テープロー
ル５８を回転させることにより、クリーンローラ５６，
５７の外周に付着した塵埃を転写して取り除く。粘着テ
ープロール５８の粘着力が低下してきたら、粘着テープ
の塵埃が付着した部分を剥離して未使用部分を露出させ
て使用可能にする。

【００３０】以上のようにして、原版フィルム１，２の
清掃と、クリーンローラ５６，５７の清掃が完了した
ら、第１のアライメント手段１０により上枠９と下枠８
の位置合わせを行なう。すなわち、ＣＣＤカメラ１７を
図４に示すアライメント位置に位置させた状態でアライ
メント用光源１８を点灯させ、アライメント用光源１８
からの照明光をＣＣＤカメラ１７で受光して得られる画
像信号に基づいて、下原版フィルム１のアライメントマ
ークが上原版フィルム２のアライメントマークと合致す
るようにＸＹθテーブル１６を駆動することにより、上
枠９に対する下枠８の位置を調節する。

【００３１】この後、透明電極１５および電極板２２に
通電し静電気を発生させる。この静電気により、下原版
フィルム１を下枠８の透明板１４上に吸着保持する。

【００３２】一方、基板投入部５に供給された未露光の
基板３を基板外形位置合わせ手段２０によりおおまかな
位置合わせを行なう。前述の通り、基板３を度当たりピ
ン２３に接触するまで前進させてＸ方向の位置決めをす
るとともに、基板３の両端部に接触するように幅寄せピ
ン２４を移動させてＹ方向の位置決めを行なう。

【００３３】こうして基板３のおおまかな位置合わせが
完了したら、吸着板３０により基板３を真空吸着し、そ
の状態で図示しないモータを駆動してスライダ３６を所
定量平行移動して両原版フィルム１，２間に位置させ
る。そして、シリンダ３７を作動させてＸＹθテーブル
３１を下降させ、基板３と下原版フィルム１とのクリア
ランスを１ｍｍ以下にする。この状態で、第２のアライ
メント手段１９を用いて基板３と下原版フィルム１を位
置合わせする。すなわち、ＥＬ素子２６を発光させ、基
板３のマークと下原版フィルム１のマークとをＣＣＤカ
メラ１７で認識し、それらが合致するようにＸＹθテー
ブル３１により基板３の位置を調節する。

【００３４】第２のアライメント手段１９により基板３
と下原版フィルム１との位置合わせを行なった後、さら
に基板３を下降させ下原版フィルム１に密着させる。前
記の通り、透明電極１５と電極板２２との間に電位差が
生じているので静電気が発生する。具体的には、電極板
２２は基板３のドライフィルム面と接しており、このド
ライフィルムは極めて薄いもので絶縁性が比較的弱いた
め、電極板２２から銅箔に導通される。そこでこの電極
板に導通された銅箔から、保護フィルム３４、下原版フ
ィルム１を介して透明電極１５へ至る経路の静電気が発
生する。この静電気によって、基板３および下原版フィ
ルム１は透明電極１５、すなわち下枠８に吸着保持され
る。従って、基板３が位置ずれする恐れはなくなる。

【００３５】そこで、図示しないモータを駆動して吸着
板３０を基板投入部５に戻し、その後にＺ軸シリンダ１
１により上枠９を下降させて、上原版フィルム２を基板
３の上面に密着させる。こうして、下原版フィルム１を
基板３の下面に、上原版フィルム２を基板３の上面にそ
れぞれ密着させた状態で、露光部４のＣＣＤカメラ１７
を図４に示すアライメント位置から左右に退避させる。

【００３６】この状態で、上下の露光用光源１２，１３
を点灯することにより、両原版フィルム１，２のパター
ンを基板３の両面に同時に露光する。

【００３７】この後、露光装置から基板３を取り外し、
熱を加えて乾燥した後、保護フィルム３４を剥離してエ
ッチング液に浸すと、露光部のドライフィルムおよび銅
箔が除去される。なお、ドライフィルムの種類によって
は、露光部以外の部分のドライフィルムおよび銅箔が除
去される場合もある。このようにして銅箔パターンを形
成する。その後、ドライフィルムを完全に剥離してか
ら、銅箔パターンのうち電気部品がマウントされたり、
端子として利用される部分を除いて、保護膜（図示せ
ず。）が被覆されプリント基板が完成する。多層基板を
製造する場合は、銅箔パターン形成後ドライフィルムを
剥離した基板を複数枚重ねて固着してから、上下両面に
保護膜を貼着することになる。

【００３８】なお、詳述しないが、基板３を露光部４に
搬送した時点で、次に露光すべき基板３が基板投入部５
に供給されるように設定し、大量の基板を次々に露光す
る構成としている。

【００３９】本実施例によると、露光装置ｂに露光焼枠
用クリーナａを付設し、クリーンローラユニット４０の
移動により自動的に原版フィルム１，２の清掃が行える
ようにしたため、従来のように手作業で清掃する必要が
なく、きわめて効率よく清掃が行えるようになり、作業
時間も短縮される。また、アーム４２および軸受けアー
ム６１およびタイミングベルト６０を進退可能に設けて
おり、ピニオン４４およびラック４６，４７からなる駆
動機構により１対のクリーンローラ５６，５７を上下動
可能にしているので、通常は両クリーンローラ５６，５
７をコンパクトにまとめクリーンローラユニット４０を
後退させた状態とし、清掃時にのみ両クリーンローラ５
６，５７を広げアーム４１を前進させて原版フィルム
１，２と当接可能にすることにより、装置の大型化が防
げる。センサと連動させて、自動的に駆動機構を作動さ
せることにより、さらに作業が簡単になる。

【００４０】クリーンローラ５６，５７と当接可能な粘
着テープロール５８を設けることにより、クリーンロー
ラ５６，５７の清掃も行えるため、常に清浄な状態のク
リーンローラ５６，５７で原版フィルム１，２を清掃で
きる。

【００４１】複数の露光装置ｂを設けている場合にも、
必ずしも露光装置１台毎に露光焼枠用クリーナａを用意
する必要はなく、１台の露光焼枠用クリーナａを移動さ
せながら各露光装置を順次清掃していくことができる。

【００４２】上記実施例では、原版フィルム１，２を交
換した時点で清掃を行うようにしているが、多数の基板
露光を行う場合、定期的に所定のタイミングで原版フィ
ルム１，２の清掃を行うようにプログラムしておくこと
もできる。この場合、露光装置の自動運転を停止するこ
となく、原版フィルムの清掃が行える。また、本発明に
よると、原版フィルムを貼り付けていない状態で、クリ
ーンローラユニット４０を作動させて上枠９および下枠
８を清掃することもできる。

【００４３】従来、下原版フィルム１上に基板３を載置
する際に、両者の間隙に介在する空気の影響などによ
り、基板３は下原版フィルム１上で滑り易く位置ずれを
生じていたが、上記実施例においては静電気によって基
板３を吸着する力が働くため基板３が滑ることはなく位
置ずれを生じない。特に、基板３のドライフィルム面に
接する電極板２２と下原版フィルム１を介して基板３の
下方に位置する透明電極１５とに電界が加わり、基板３
の銅箔および下原版フィルム１を透過する経路で静電気
が生じる構成としているので、基板３および下原版フィ
ルム１に対し十分な静電吸着力を及ぼすことができる。
このように、静電気を利用しているため、メカ的に保持
するのが難しい極めて薄い基板（例えば厚さ０．４ｍｍ
程度の基板など）も容易に保持できる。さらに、透明電
極１５および電極板２２への通電のオン・オフによって
基板３の吸着，離脱が容易に行なえるため、露光後の基
板の搬送等も容易である。

【００４４】また、両原版フィルム１，２と基板３との
密着性を高めるために露光時にこれらを真空に吸引する
構成とした場合にも位置ずれを生じる恐れはない。

【００４５】図１０には露光装置の第２の実施例を示し
ている。なお、第１の実施例と共通の部分については、
説明を省略する。

【００４６】第２の実施例においては、透明板１４上に
ＩＴＯからなる透明電極１５が形成され、さらにその上
にＳｉＯ2 のスパッタリングにより保護膜３５が形成さ
れている。ＳｉＯ2 からなる保護膜３５は、透明電極１
５が設けられた透明板１４上全面を覆っている。

【００４７】この実施例によると、下原版フィルム１を
介して基板３を静電吸着するために透明電極１５に高電
圧（５００〜２０００Ｖ）を印加しても、保護膜３５に
遮られて使用者に高電圧が伝わることはなく、安全に作
業が行なえる。

【００４８】保護膜３５は、露光用光源１３からの光を
透過可能であって、透明電極１５へ電圧を印加した際
に、基板３を吸着可能なように下原版フィルム１上に静
電気を発生し得るとともに人体に影響を与えない程度に
絶縁作用を持つものであり、ＳｉＯ2 膜以外にも、ＩＴ
Ｏを蒸着した透明な樹脂フィルムなどが使用可能であ
る。

【００４９】以上、自動両面露光機ｂに対応して露光焼
枠用クリーナａを設けた場合の例について詳細に説明し
たが、本発明の露光焼枠用クリーナａはあらゆる種類の
露光機に対して用いることができる。すなわち、本発明
の露光焼枠用クリーナａは、自動片面露光機（上記実施
例の露光機ｂから上原版フィルム２，上枠９，Ｚ軸シリ
ンダ１１，露光用光源１２などを除いたような構成とな
る。）や、手動露光機（片面用、両面用のいずれも含
む。）などにも対応可能である。

【００５０】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明では、クリー
ンローラを有する露光焼枠用クリーナにより、自動的に
原版フィルムの清掃が行えるようにしたため、従来のよ
うに手作業で清掃する必要がなく、きわめて効率よく容
易に清掃が行えるようになる。このクリーナを用いる
と、１台のクリーナを用意することによって複数の露光
装置の清掃を可能なように構成することもできる。

【００５１】また、クリーンローラユニットをクリーナ
本体から進退可能にするとともに、駆動機構により１対
のクリーンローラを上下動可能な構成にすると、清掃時
にのみ両クリーンローラを広げて原版フィルムと当接可
能にするようにして、通常は両クリーンローラをコンパ
クトにまとめてクリーナの大型化が防げる。

【００５２】さらに、クリーンローラと当接可能な粘着
テープロールを設けた構成とすると、常に清浄な状態の
クリーンローラで原版フィルムを清掃できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る露光焼枠用クリーナの要部を示す
斜視図

【図２】図１に示す露光焼枠用クリーナを露光装置近傍
に配設した状態を示す平面図

【図３】図２の一部切欠側面図

【図４】図２の正面断面図

【図５】図２に示す露光装置の下枠および基板を示す拡
大断面図

【図６】図２に示す露光装置の下枠および基板を示す一
部切欠拡大平面図

【図７】本発明に係る露光焼枠用クリーナの原版フィル
ム清掃状態を示す説明図

【図８】本発明に係る露光焼枠用クリーナの原版フィル
ム清掃後の状態を示す説明図

【図９】本発明に係る露光焼枠用クリーナのクリーンロ
ーラ清掃状態を示す説明図

【図１０】露光装置の第２の実施例の下枠および基板を
示す拡大断面図

【符号の説明】

１下原版フィルム２上原版フィルム８下枠（焼枠）９上枠（焼枠）４２アーム４３ガイド板４４ピニオン（駆動手段）４６，４７ラック（駆動手段）５６，５７クリーンローラ５８粘着テープロールａ露光焼枠用クリーナｂ露光装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光装置の原版フィルムを保持する焼枠
に対して進退可能なアームと、上記アームに回転自在に取り付けられており、外周部に
塵埃を付着可能な粘着部を有し、上記原版フィルムに当
接して清掃可能なクリーンローラとを備えていることを
特徴とする露光焼枠用クリーナ。
【請求項２】上記アームに設けられているガイド板
と、上記ガイド板に沿って摺動可能な１対の上記クリーンロ
ーラと、一方の上記クリーンローラを上方へ、他方の上記クリー
ンローラを下方へそれぞれ移動させる駆動機構とを備え
ていることを特徴とする請求項１に記載の露光焼枠用ク
リーナ。
【請求項３】上記クリーンローラと当接して上記粘着
部に付着した塵埃を除去可能な粘着テープロールを有す
ることを特徴とする請求項１または２に記載の露光焼枠
用クリーナ。