KR0148518B1 - 노광장치 - Google Patents

Abstract

[목적]

한쌍의 원판 필름의 패턴을 기판의 양면에 정밀도 좋게 동시에 노광한다.

[구성]

기판(3)의 양면에 동시 노광하는 노광부(4)는 하원판 필름(1)를 보유하는 하부틀(8)과, 하부틀(8)과 대향하여 상원판 필름(2)을 보유하는 상부틀(1)과, 양틀의 상하 노광용 광원(12, 13)과, 양틀의 위치를 조정하는 제1의 얼라이먼트 수단(10)과, 하부틀(8)의 투명판(14)상의 투명전극(15)과, 투명전극(15)의 절결부(15a)와 대향적으로 하원판 필름(1) 상에 배치되는 전극판(22)을 지니고 있다. 양틀간에 반송되는 기판(3)은 제2의 얼라이먼트 수단(19)에 의해 위치맞춤된 상태로 전극판(22)과 투명전극(15)간에 전계가 인가되어 기판 해면의 동박(도시하지 않음)과 투명전극간에 발생하는 정전기에 의해 하원판 필름(1)을 거쳐서 투명판(14)에 강고하게 흡착 보유되며 위치에서 벗어날 우려가 없다. 이 상태로 광원(12, 13)을 점등하면 상하 양면에 동시로 정밀도 좋게 노광할 수 있다.

Description

노광장치

제1도는 본 발명에 따른 노광장치의 일실시예를 도시한 개략 구성도.

제2도는 제1도에 도시한 노광장치의 요부를 도시한 평면도.

제3도는 제1도에 도시한 노광장치의 하부틀 및 기판을 도시한 확대 단면도.

제4도는 제3의 일부 절결 평면도.

제5도는 본 발명의 제2실시예의 하부틀 및 기판을 도시한 확대 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 하원판 필름 2 : 상원판 필름

3 : 기판 4 : 노광부

5 : 기판 투입부 6 : 반송 수단

8 : 하부틀 9 : 상부틀

10 : 제1얼라이먼트 수단(틀 위치 맞춤 수단)

12, 13 : 노광용 광원 14 : 투명판

15 : 투명전극

19 : 제2얼라이먼트 수단(기판 위치 맞춤 수단)

22 : 전극판 35 : 보호막(SiO₂막)

[산업상의 이용분야]

본 발명은 1쌍의 원판 필름상의 패턴을 기판의 양면에 노광하는 노광장치에 관한 것이다.

[종래의 기술]

통상, 프린트 기판을 제조할 때에는 우선 결과 속의 양면에 전체적으로 동박이 형성된 수지 기판에 대해서 원하는 패턴을 형성한 원판 필름을 거쳐서 자외선을 노광하고 그 후에 에칭을 행하며 자외선을 받은 부분의 동을 기판에서 분리시킴으로써 원판 필름과 흑백 반전한 상태로 동박 패턴을 지닌 프린트 기판이 완성한다. 또는 에칭시에 노광부 이외 부분의 동이 기판에서 분리하고 원판 필름대로의 동박 패턴을 지닌 프린트 기판이 완성한다.

상기 제조 방법중의 노광 공정을 행하기 위해, 제1의 종래예에서는 제1의 노광 장치에 있어서 기판과 제1의 원판 필름을 위치 맞춤한 상태에서 자외선을 투사하고 그 원판 필름상의 패턴을 기판 상면에 노광하며, 기판 반전 후에 다음 공정으로 제1의 노광 장치와 같은 제2의 노광 장치를 이용하고, 기판을 제1의 원판 필름에 대해서 위치 맞춤하여 자외선을 투사하고 제2의 원판 필름 패턴을 기판 이면에 노광하고 있다.

제2의 실시예로서는 특개소 63-65443호 공보에서는 원판 필름중 어느한쪽을 보유하는 프린팅 프레임(예를들면 하부틀)을 이동 테이블 위에 배치하고 있다. 그리고, 노광부에서는 수동에 의해 1쌍의 원판 필름의 상대 위치 맞춤한 상태로 상하부틀에 원판 필름을 각각 흡착 보유시킨다. 그래서 하부틀을 얼라이먼트부로 이동시키고 보유 수단에 의해 보유된 기판을 하원판 필름에 근접시키고, 촬상 수단에 의해 기판의 기준 마크를 판독하여 기판과 하원판 필름의 위치맞춤을 행한다. 이렇게 하여 위치 맞춤된 상태로 기판을 원판 필름 위에 놓고 가압 클릭에서 기계적으로 고정한다. 그리고 이동 테이블을 노광부에 이동하여 상하부틀을 대향시킨 상태로 기판에 노광한다.

또, 제3의 실시예로서는 본 출원인은 특원평 5-41253호에서 정전 흡착을 이용한 노광장치를 제안하고 있다. 이것은 상하부틀에 고정된 양원판 필름은 미리 상대 위치 맞춤하여 놓고, 기판을 원판 필름에 대하여 위치 맞춤하고나서 하부틀에 설치된 1쌍의 잇달은 형상의 투명 전극에 전류를 통하게 하여 발생한 정전기에 의해 하부를 위에 원판 필름을 거쳐서 기판을 고정하는 것이다.

[발명이 해결하려고 하는 과제]

제1의 종래예와 같이 양원판 필름상의 패턴을 기판의 양면에 동시에 노광하지 않고 한면씩 노광하는 것은 장치의 대형화 및 복잡화를 초래하거나 2회로 나누어 노광하기 때문에 정밀도상의 문제가 있었다.

제2의 종래예에서는 양면 동시 노광은 가능하지만 기판의 보유나 테이블 이동등 기계 정밀도에 의존하는 바가 컸고 경시적으로 열화하지 않는 고정밀도적인 기구가 필요하다. 또 가압 클릭에 의해 고정가능한 것이 필요하므로 기판의 사이즈에는 어느정도의 제한이 있다.

제3의 종래예에서는 장치의 소형화 간략화가 가능하게 되어 있다. 프린팅 프레임을 이동할 필요가 없기 때문에 상하부틀이 위치에서 벗어날 우려가 없고 기판 사이즈의 제한도 없다. 그러나 하부틀 상면에서 평면적으로 전위차가 발생하여 정전기가 발생해도 그 상방의 기판에는 그다지 작용하지 않고 정전 흡착의 신회성에 있어서 문제를 지니고 있다.

그래서 본 발명은 어떠한 사이즈의 기판도 신뢰성 높게 하부틀에 흡착할 수 있고 양면 노광의 정밀도 향상을 도모하는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 복제를 달성하기 위하여 본 발명에 관한 노광장치는 1쌍의 원판 필름을 기판의 상하로 배치한 상태로 기판의 양면에 동시 노광 가능한 노광부를 포함하고, 노광부는 하원판 필름을 보유하는 하부틀과, 하부틀과 대향하며 설치되어 상원판 필름을 보유하는 상부틀과 양틀간에 배치된 기판의 양면에 양원판 필름을 거쳐서 노광 가능한 1쌍의 노광용 광원과 양틀의 상대 위치관계를 조정가능한 틀 위치 맞춤 수단과 하원판 필름을 거쳐서 기판을 하부틀에 고정적으로 흡착 보유하는 정전 흡착 수단을 지닌 것으로 정전 흡착 수단은 하부틀내의 투명판에 형성되어 하원판 필름을 거쳐서 기판과 대향하는 투명전극과 하원판 필름상에 설치된 전극판을 지니며 기판을 흡착 보유하기 위한 정전기를 발생시키는 전계가 투명 전극과 전극판 사이에 인가되도록 되어 있는 것이다.

정전 흡착 수단의 투명 전극은 투명한 보호막에 의해 덮여져 있다.

더우기 이 노광 장치에는 노광부에 인접하여 설치되어 노광이 않된 기판이 공급되는 기판 투입부와 노광부와 기판 투입부의 사이에 노광이 않된 기판을 반송 가능한 반송 수단을 포함하며, 반송 수단에는 노광이 않된 기판을 상부틀 및 하부틀에 대해서 위치 맞춤하는 기판 위치 맞춤 수단이 설치되어 있다.

[작용]

전극판과 투명전극 사이에는 전계를 가하게 되면 하원판 필름 및 보호 필름을 거쳐서 전극판에서 통하게 되는 기판의 동박과 투명 전극 사이에 전위차가 발생하게 된다. 이렇게 하여 발생하는 정전기에 의해 기판 및 하원판 필름이 투명전극(하부틀)에 고정적으로 흡착 보유된다. 틀 위치 맞춤 수단에 의해 상하의 원판 필름이 위치 맞춤되고 정전 흡착 수단에 전류가 통하게 되어 정전기가 발생한 상태에서 기판이 상하의 원판 필름간의 노광 위치에 세트되고 하원판 피름에 대해서 위치에서 벗어나지 않도록 정전기에 의해 흡착 보유된다.

[실시예]

이하 도면에 기초하여 본 발명의 한 실시예를 설명한다.

제1도는 본 발명의 한 실시예에 관한 노광 장치를 도시하고 있다. 이 노광 장치는 제1도 및 제2도에 도시한 바와같이 1쌍의 원판 필름(1, 2)을 기판(3)의 양면에 배치한 상태로 양 필름(1, 2)상의 패턴을 기판(3)의 양면에 동시 노광하는 노광부(4)와 이 노광부(4)에 인접하여 배치되고 노광이 않된 기판이 공급되는 기판 투입부(5)와 노광부(4)와 기판 투입부(5) 사이에서 기판(3)을 반송하는 반송 수단(6)을 구비하고 있다.

노광부(4)에는 기대(7)와, 기대(7)상에 배치되어 하원판 필름(1)을 보유하는 하부틀(8)과 하부틀(8)의 하방에 이와 대향하여 설치되며 상원판 필름(2)을 보유하는 상부틀(9)과 상부틀(9)에 대한 하부틀(8)의 위치를 조정하여 양 필름(1, 2)을 위치 맞춤하는 제1의 얼라이먼트 수단(틀 위치 맞춤 수단)(10)과 상부틀(9)을 상하 동작시키는 Z축 실린더(11)와 1쌍의 노광용 광원(12, 13)이 설치되어 있다.

기대(7)상에는 XYθ 테이블(16)이 고정적으로 배치되어 있고 그 상면에 하부틀(8)이 놓여져 있다. 이 XYθ 테이블(16)은 모터(16a, 16b, 16c)(제2도 참조)의 작동에 의해 하부틀(8)을 XYθ 방향으로 위치 조절 가능하다. 하부틀(8) 내에는 유리로 생긴 투명판(14)이 보유되어 있으며 투명판(14)이 상기 기대(7)의 개구부(7a)와 대향하도록 배치되어 있다. 투명판(14)의 상면에 ITO(indium.tin.oxide)에서 이루어지는 투명전극(15)이 형성되어 있고, 투명전극(15)에는 일부의 절결부(15a)가 설치되어 있음과 동시에 도시하지 않은 외부 전원의 한쪽 전극과 접속되는 인출부(15b)가 설치되어 있다. 투명전극(15)상에는 하원판 필름(1)이 배치되어 있으며 또 하원판 필름(1) 상에 있어서 절취부(15a)와 대향하는 위치에 전극판(22)이 배치된다. 전극판(22)은 하원판 필름(1)상에 설치되어 있는 접속판(22a) 상에 일부가 겹쳐져 있으며 이 접속판(22a)이 도시하지 않은 외부 전원의 다른쪽 전극과 접속된다. 따라서 전극판(22)과 투명판(15) 사이에는 전위차가 생기고 정전기가 발생한다. 이 투명전극(15) 및 전극판(22)이 발생하는 정전기에 의해 하원판 필름(1)을 거쳐서 기판(3)을 투명판(14)의 상면에 흡착 보유하기 위한 흡착 보유 수단으로써 작용한다.

상부틀(9)내에는 아크릴 수지로 생긴 투명판(9a)이 보유되어 있고 투명판(9a)에 상원판 필름(2)이 부착되어 있다(제1도 참조).

제1의 얼라이먼트 수단(10)은 XYθ 테이블(16)과 1쌍의 CCD 카메라(17)와 얼라이먼트용 광원(18)에서 구성되어 있다. CCD 카메라(17)는 기대(7)내에 있어서 제1도에 도시한 얼라이먼트 위치와 이 위치에서 좌우로 퇴피한 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 배치되어 있다. 그리고 얼라이먼트용 광원(18)으로부터 조명광을 CCD 카메라(17)에서 수광하여 얻어진 영상 신호에 XYθ 테이블(16)을 작동함으로써 하원판 필름(1)의 얼라이먼트 마크가 상원판 필름(2)의 얼라이먼트 마크와 합치하도록 상부틀(9)에 대한 하부틀(8)의 위치를 조절 가능하게 된다.

노광용 광원(12)은 상부틀(9)의 상방에 노광용 광원(13)은 하부틀(8)의 하방에 각각 배치되어 있다.

상기 기판 투입부(5)에는 노광이 않된 기판(3)이 투입될 때에 대략적인 위치 결정을 행하기 위한 기판 외형 위치 맞춤 수단(20)이 설치되어 있다. 이 기판 외형 위치 맞춤 수단(20)은 기판(3)을 후술하는 반송 수단(6)의 흡착판(30)에 의해 확실하게 보유 가능하고 반송 수단(5)에 설치된 XYθ 테이블(31)에 의한 약간의 조정에 의해 노광부에 있는 정확한 얼라이먼트가 가능하게 되는 정도에 위치 맞춤하여 두기 위한 것이다. 본 실시예에서는 기준 위치(하원판 필름(1)에 대향하는 기준의 위치로 이 위치에서 기판을 일정량 평행 이동할 때에 기판이 하원판 필름(1)에 대해서 정확하게 위치되는 위치)에서 오차가 ±1㎜ 정도되도록 조절된다.

이 기판 외형 위치 맞춤 수단(30)은 기대(7)상에 배치된 X 방향으로 치우친 핀(23)과 Y 방향으로 치우친 핀(24) 및 롤러 컨베어(25)에서 구성되고 있다. 미리 판명되어 있는 기판(3)의 치수에 따라 선단부(제1도, 제2도의 우측)의 기준 위치를 결정하고 그 위치로 치우친 핀(23)을 위치시킨다. 그래서 기판(3)이 투입되면 롤러 컨베어(25)가 회전함으로써 기판(3)을 전진하게 하고 핀(23)에 접촉한 시점에서 기판(3)을 정지시켜 X 방향의 위치 결정을 한다. 다음에 Y 방향의 핀(24)을 동시에 기판(3)에 대향하여 이동시키고 기판(3)의 양단부(제23도의 상단 또는 하단)의 어느한쪽이 핀(24)에 접촉한 시점에서 핀(24)에 의해 기판을 가압 전진하고 기판(3)의 다른쪽 단부가 핀(24)에 접촉한 시점에서 정지한다. 즉 기판의 양단부(제2의 상단과 하단)가 모두 핀(24)에 접촉하는 위치에서 정지하고 Y 방향의 위치 결정을 행한다.

다음으로 기판을 반송하는 반송 수단(6)에 대해서 제1도 및 제2도를 참조하여 설명한다. 도시하지 않은 모터에 의해 회전 구동되는 풀리(28)와 또 하나의 풀리(29)에 타이밍 벨트(29)가 걸려져 있다. 이 타이밍 벨트(39)의 일부에 슬라이더(36)가 부착되어 있다. 슬라이더(36)에는 가이드부(36a)가 설치되어 있고, 이 가이드부(36a)는 레일(38)을 활주 가능하다. 풀리(28, 29), 레일(38)은 본체 프레임에 고정적으로 지지되어 있다. 슬라이더(36)에는 실린더(37)가 부착되어 있으며 이 실린더(37)의 구동축에 소형의 XYθ 테이블(31)이 설치되어 있다. XYθ 테이블(31)에는 기판(3)의 상면을 흡착하기 위한 다수의 흡착 구멍부(도시하지 않음)을 지닌 흡착판(30)이 설치되어 있다. 또 흡착판(30)의 하면에는 기판 흡착을 방해하지 않도록 EL(electroluminescen) 소자(26)가 고정되어 있다.

이와같은 구성이기 때문에 풀리(28)를 회전 구동함으로써 슬라이더(33)는 제1도 좌우 방향으로 이동 가능하며 실린더(37)의 작동에 따라 슬라이더(36)에 대해 XYθ 테이블(31)을 상하 동작 가능하고 XYθ 테이블(31)의 작동에 의해 흡착판(30)을 X.Y.θ 방향으로 위치 조절 가능하다. EL 소자(26), XYθ 테이블(31), 1쌍의 CCD 카메라(17)가 기판(3)을 하부틀(8)에 대하여 위치 맞춤하는 제2의 얼라이먼트 수단(기판 위치 맞춤 수단)(19)을 구성하고 있다.

상기 구성의 노광 장치의 노광 대상이 되는 기판(3)의 일반적인 구성에 대하여 설명한다. 이 기판(3)은 에폭시 수지등에서 이루어지는 기판 본체의 겉과 속 양면에 전면적으로 동박이 형성되어 있고 이 동박을 덮은 얇은 수지제의 드라이 필름이 부착되고 또 이 양면에 폴리에스텔 등에서 이루어진 보호 필름(34)이 부착되어 있다. 보호 필름(34)은 기판(3) 전체를 덮는 것이 아니고 기판(3)의 외주 각 둘레로부터 각각 5㎜ 정도 간격을 두고 부착되어 있다. 또, 도면에서는 기판 본체와 동박과 드라이 필름을 일체적으로 도시하고 있지만 이 드라이필름이 감광성을 지닌 포토레지스트로서의 작용을 한다.

다음으로 상기 구성을 지닌 실시예의 작동을 설명한다.

우선, 상하부틀(8, 9)을 노광 장치에 설치하기 전에 하원판 필름(1)을 하부틀(8)의 투명판(14)상에 하원판 필름(2)을 상부틀(9)의 투명판(9a) 상에 각각 부착 테이블 등에서 부착한다. 다음에 하원판 필름(1)의 위에 전극판(22)을 부착한다. 이 부착 위치는 기판(3)의 하나의 외연부에 대하여 2~3㎜ 정도 안쪽으로 들어가도록 세트한다. 즉 상술한 바와같이 기판(3)의 외주부에는 5㎜ 정도 드라이 필름면이 노출하여 있기 때문에 거기에 전극판(22)이 접촉하도록 하기 위한 것이다.

다음으로 하부틀(8)을 XYθ 테이블(16)상에 설치하여 고정함과 동시에 상부틀(9)을 상부틀 보유 수단(27)에 설치한다.

이 설치후 제1의 얼라이먼트 수단(10)에 의해 상부틀(9)과 하부틀(8)의 위치 맞춤을 행한다. 즉 CCD 카메라(17)를 제1도에 도시한 얼라이먼트 위치에 위치시킨 상태로 얼라이먼트용 광원(18)을 점등하고 얼라이먼트용 광원(18)으로부터 조명광을 CCD 카메라(17)에서 수광하여 얻어진 화상 신호에 기초하여 하원판 필름(1)의 얼라이먼트 마크가 상원판 필름(2)의 얼라이먼트 마크와 합치하도록 XYθ 테이블(16)을 구동함으로써 상부틀(9)에 대한 하부틀(8)의 위치를 조절한다.

이 조절후 Z축 실린더(11)에 의해 상부틀(9)을 상방으로 이동시킴으로써 상하의 원판 필름(1, 2)간에 흡착판(30), 슬라이더(36), 실린더(37)가 통과 가능한 공간을 확보한다. 이 상태에 있어서 투명전극(15) 및 전극판(22)에 전류를 통하여 정전기를 발생시킨다. 이 정전기에 의해 우선 하원판 필름(1)은 하부틀(8)의 투명판(14)상에 흡착 보유한다.

한편, 기판 투입부(5)에 공급된 노광이 않된 기판(3)을 기판 외형 위치 맞춤 수단(20)에 의해 대략적인 위치 맞춤을 행한다. 전술한 바와같이 기판(3)을 (23)에 접촉할 때까지 전진시켜 X 방향의 위치결정을 함과 동시에 기판(3)의 양단부에 접촉하도록 (24)을 이동시켜 Y 방향의 위치 결정을 행한다.

이렇게 하여 기판(3)의 외형 위치 맞춤이 완료하면 흡착판(30)에 의해 기판(3)을 진공 흡착하고 그 상태에서 도시하지 않은 모터를 구동하여 슬라이더(36)를 소정량 평행 이동하여 양 원판 필름(1, 2) 사이에 위치시킨다. 그리고, 실린더(37)를 작동하여 XYθ 테이블(31)을 하강하게 하고 기판(3)과 하원판 필름(1)의 공간을 1㎜ 이하로 한다. 이 상태로 제2의 얼라이먼트 수단(19)을 사용하고 기판(3)과 하원판 필름(1)을 위치 맞춤한다. 즉 EL 소자(26)을 발광시켜 기판(3)의 마크와 하원판 필름(1)의 마크를 CCD 카메라(17)에서 인식하여 이들이 합치하도록 XYθ 테이블(31)에 의해 기판(3)의 위치를 조절한다.

제2의 얼라이먼트 수단(19)에 의해 기판(3)과 하원판 필름(1)의 위치 맞춤을 행한 후 또 기판(3)을 하강하게 하여 하원판 필름(1)에 밀착시킨다. 상기와 같이 투명전극(15)과 전극판(22)간에 전위차가 발생하므로 정전기가 발생한다. 구체적으로는 전극판(22)은 기판(3)의 드라이 필름면에 접해 있고, 이 드라이 필름은 극히 얇은 것으로 절연성이 비교적 약하기 때문에 전극판(22)에서 동박으로 통하게 된다. 그래서 이 전극판에 통하게 된 동박에서 보호 필름(34), 하원판 필름(1)을 거쳐서 투명전극(15)에 도달한 경로의 정전기가 발생한다. 이 정전기에 의해 기판(3) 및 하원판 필름(1)은 투명전극(15), 즉 하부틀(8)에 흡착 보유된다. 따라서 기판(3)이 위치에서 벗어날 우려는 없다.

그래서 도시하지 않은 모터를 구동하여 흡착판(30)을 기판 투입부(5)로 되돌아오게 하고 그 후에 Z 축 실린더(11)에 의해 상부틀(9)를 하강하게 하여 상원판 필름(2)를 기판(3)의 상면에 밀착시킨다. 이렇게 하여 하원판 필름(1)을 기판(3)의 하면에 상원판 필름(2)을 기판(3)의 상면에 각각 밀착시킨 상태로 노광부(4)의 CCD 카메라(17)를 제1도에 도시한 얼라이먼트 위치에서 좌우로 회피시킨다.

이 상태로 상하의 노광용 광원(12, 13)을 점등함으로써 양원판 필름(1, 2)의 패턴을 기판(3)의 양면에 동시로 노광한다.

그 후, 노광장치에서 기판(3)을 빼내어 열을 가해 건조한 후 보호 필름(34)을 분리하여 에칭액에 담그면 노광부의 드라이 필름 및 동박이 제거된다. 또 드라이 필름의 종류에 따라서는 노광부 이외의 부분 드라이 필름 및 동박이 제거되는 경우도 있다. 이렇게 하여 동박 패턴을 형성한다. 그 후 드라이 필름을 완전히 분리하고 나서 동박 패턴 중의 전기부품이 마운트되거나 단자로서 이용되는 부분을 제외하고 보호막(도시하지 않음)이 피복되어 프린트 기판이 완성된다. 다층기판을 제조하는 경우에는 동박 패턴 형성후 드라이 필름을 분리한 기판을 복수장 겹차게 하여 고정하고 나서 상하 양면에 보호막을 부착하게 된다.

또, 상술하지 않았지만 기판(3)을 노광부(4)에 반송한 시점에서 다음에 노광해야 하는 기판(3)이 기판 투입부(5)에 공급되도록 설정하고 대량의 기판을 차례로 노광하는 구성으로 되어 있다.

종래 하원판 필름(1)상에 기판(3)을 배치할 때에 양자의 틈에 개재하는 공기의 영향등에 의해 기판(3)은 하원판 필름(1) 상에서 미끄러지기 쉬운 위치에서 벗어나는 일이 생겼지만 본 발명에 있어서는 정전기에 의해 기판(3)을 흡착하는 힘이 작동하기 때문에 기판(3)이 활주하지 않고 위치 벗어남도 생기지 않는다. 가령, 전극판(22)을 설치하는 것이 아니고 하부틀(7)의 투명판(14)상에 1쌍의 투명전극을 설치하고, 이 1쌍의 투명 전극간에 전계를 가하는 구성으로 하면 투명판(14)상에서 평면적으로 전위차가 생겨 기판(3)의 하방에 정전기가 발생하지만 이것으로는 기판(3)에 대한 정전기의 작용이 작고 충분한 흡착력을 얻을 수 없다. 이에 대해서 본 발명의 구성에서는 기판(3)의 드라이 필름면에 접하는 전극판(22)과 하원판 필름(1)을 거쳐서 기판(3)의 하방에 위치하는 투명전극(15)에 전계가 가해지고 기판(3)의 동박 및 하원판 필름(1)을 투과하는 경로에서 정전기가 발생하므로 기판(3) 및 하원판 필름(1)에 대해 충분한 정전 흡착력을 미칠 수 있다.

본 발명에서는 정전기를 이용하고 있기 때문에 메이커적으로 보유하는 것은 어렵고 극히 얇은 기판(예를 들면 두께 0.4㎜의 기판 등)도 용이하게 보유 가능하다. 또 투명 전극(15)으로부터 전류가 통하는 ON·OFF에 의해 기판(3)의 흡착 이탈이 용이하게 행하여지기 때문에 노광후의 기판 반송등도 용이하다.

또, 양원판 필름(1, 2)과 기판(3)의 밀착성을 높이기 위해 노광시에 이들을 진공으로 흡인하는 구성으로 한 경우에도 위치벗어남이 발생할 우려는 없다.

제5도는 본 발명의 제2실시예를 도시하고 있다. 또, 제1의 실시예와 공통 부분에 대해서는 설명을 생략한다.

제2의 실시예에 있어서는 투명판(14)상에 ITO에서 이루어지는 투명전극(15)이 형성되고 또 그 위에 SiO₂의 스패터링에 의해 보호막(35)이 형성되어 있다. SiO₂에서 이루어진 보호막(35)은 투명전극(15)이 설치된 투명판(14)상 전면에 덮여 있다.

이 실시예에 의하면 하원판 필름(1)을 거쳐서 기판(3)을 정전 흡착하기 위해 투명전극(15)에 고전압(500~2020V)을 인가해도 보호막(35)에 차단되어 사용자에게 고전압이 전해지지 않고 안전하게 작업이 행하여진다.

보호막(35)은 노광용 광원(13)으로부터 빛을 투과 가능하고, 투명전극(15)에 전압을 인가할 때에 기판(3)을 흡착 가능하도록 하원판 필름(1)상에 정전기를 발생할 수 있음과 동시에 인체에 영향을 주지않는 정도로 절연작용을 지니는 것으로 SiO₂막 이외에도 ITO를 증착한 투명한 수지 필름들이 사용가능하다.

[발명의 효과]

이상 상술한 바와 같이 본 발명에 관한 노광장치에 의하면 전극판 및 투명전극에 전계가 인가하면 기판하면의 동박과 하부틀 상면의 투명전극 사이에 정전기가 발생함에 따라 기판이 하부틀에 확실하게 또 강고하게 흡착 보유된다. 따라서 1쌍의 원판 필름간의 위치 정밀도가 좋고 기판을 끼워 넣을 수 있으며 기판의 양면에 동시로 정확한 패턴을 노광할 수 있다.

또 이 투명전극상에 보호막을 설치하면 기판의 정전 흡착을 가능하게 함과 동시에 고전압에 의한 인체의 영향을 방지할 수 있는 작업의 안정성을 확보할 수 있다.

기판을 노광부에 반송하는 반송수단에 기판위치 맞춤 수단을 설치하면, 기판을 반송한 후 실제로 노광을 행하는 노광부에 있어서 기판을 양원판 필름에 대해 위치 맞춤 가능하므로 반송시 오차의 영향을 받을 수 없고 정밀도가 향상한다.

Claims (3)

1쌍의 원판 필름을 기판의 상하에 배치한 상태로 상기 기판의 양면에 동시 노광 가능한 노광부를 포함하고, 상기 노광부는 하원판 필름을 보유하는 하부틀과 상기 하부틀과 대향하여 설치되어 상원판 필름을 보유하는 상부틀과, 상기 양틀간에 배치된 상기 기판의 양면에 상기 양원판 필름을 거쳐서 노광 가능한 1쌍의 노광용 광원과, 상기 양틀의 상대 위치 관계를 조정가능한 틀 위치 맞춤 수단과, 상기 하원판 필름을 거쳐서 상기 기판을 상기 하부틀에 고정적으로 흡착 보유하는 정전 흡착 수단을 지니고 있으며, 상기 정전 흡착수단은 상기 하부틀내의 투명판에 형성되고 상기 하원판 필름을 거쳐서 상기 기판과 대향하는 투명전극과 상기 하원판 필름상에 설치된 전극판을 지니며, 상기 기판을 흡착 보유하기 위한 정전기를 발생시키는 전계가 상기 투명전극과 상기 전극판 사이에 인가되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 노광 장치.

제1항에 있어서, 상기 정전 흡착수단의 상기 투명 전극은 투명한 보호막에 의해 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 노광부에 인접하여 설치되며 노광이 않된 기판이 공급되는 기판 투입부와 상기 노광부와 상기 기판 투입부 사이에서 상기 노광이 않된 기판을 반송가능한 반송수단을 포함하고, 상기 반송수단에는 상기 노광이 않된 기판을 상기 상부틀 및 상기 하부틀에 대해 위치 맞춤하는 기판 위치 맞춤 수단이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.