JPH03132759A - 基板自動露光機の除塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、感光性を付与（プレセンシタイジング）した
プリント配線゛基板などの基板に対して所定の透過画像
パターンが形成されている写真原版フィルムを密着して
パターン露光するための基板自動露光機において、基板
及び写真原版フィルム面に付着している塵、ゴミなどを
除去するための装置に関する。

（従来の技術） 基板自動露光機は、感光性を付与された基板を仮位置決
めする基板供給ステージと、ＣＣＤカメラと微調整装置
を用いて基板をパターン露光用原版フィルムに対して正
しく位置決めする基板位置出しステージと、位置出しさ
れた基板を予めプレセンシタイズされている原版フィル
ムを載置して、その上に移送して重ね合わせ、下方より
紫外線露光する露光ステージと該ステージにて露光済の
基板を搬出する搬出ステージを順次配置しである。

そして、供給ステージから搬出ステージまで各ステージ
に順に基板を、そのステージに対する相対位置を変動せ
ずに、平行移動式に移送する基板支持部を備えるトラバ
ーサ（キャリア手段）を有する。

ところで、プレセンシタイズされたプリント配線基板の
感光性表面や、該表面にパターン露光するための原版フ
ィルム表面には、空気中の微細な塵、ごみが付着し易く
、露光ムラや、ピンホールの発生の原因となるため、従
来は、エアー吸引装置を用いて手作業により１枚毎除去
していた。

（発明の目的） 本発明は、基板露光機により自動的に基板に対して所定
のパターンを露光するとともに、基板、原版フィルム表
面に付着している目に見えないような微細な塵、ゴミを
自動的に且つ能率的に除去することを目的とするもので
ある。

（発明の構成） 本発明は、基板供給ステージと、基板位置出しステージ
と、基板露光ステージと、基板搬出ステージとをこの順
に併設し、該ステージ群の上側に該ステージの間を水平
に移動するトラバーサを備え、該トラバーサは基板供給
ステージと基板位置出しイ　　　　　　　　　　　　　
　　　　　ステージ、基板位置出しステージと基板露光
ステージ、基板露光ステージと基板搬出ステージの各々
上側に対向する位置に一体に平行移動するそれぞれ第１
支持部と第２支持部とを備え、第１支持部と第２支持部
との間、又はその近傍には露光ステージ上で下向きに動
作する除塵手段を前記位置出しステージと露光ステージ
との中間、又はその近傍には上向きに動作する除塵手段
をもうけたことを特徴とする基板自動露光機の除塵装置
である。

また、 本発明は、基板供給ステージと、基板位置出しステージ
と、基板露光ステージと、基板搬出ステージとをこの順
に併設し、該ステージ群の上側に、該ステージの間を水
平に移動するトラバーサを備え、該トラバーサは、基板
供給ステージと露光ステージ、位置出しステージと搬出
ステージのそれぞれ上側に対向する位置に一体に平行移
動するそれぞれ第１支持部と第２支持部とを備え、第２
支持部の進行方向末端には、露光ステージ上で下向きに
動作する除塵手段を、基板位置出しステージと露光ステ
ージとの間、又はその近傍には上向きに動作する除塵手
段を備えたことを特徴とする基板自動露光機の除塵装置
である。

（発明の作用） 零発゛明によれば、基板を支持部によって吸着保持し、
位置出しステージから、予め、原版フィルムをセントし
た露光ステージ上に移送するときに、その移送動作中に
同時に基板下面のセンシタイズされた表面を除塵手段に
よって除塵操作することができ、また、それと同時に露
光ステージ上に、予め載置されている原版フィルム表面
に対して除塵手段によって除塵操作を行うことができる
。

従って、基板の移送と同時に露光前の基板及び原版フィ
ルムの両方の除塵操作を能率的に実施できるものである
。

（実施例） 本発明の一実施例をすめん第１図および第２図に従って
詳細に説明すれば、第１図、Ａはベルトコンベアなど適
宜基板搬入手段により送り込まれた基板ｌを前当部９に
より所定供給位置に停止させて供給する基板供給ステー
ジ、Ｂは、位置出し用の位置確認ＣＣＤカメラ４、位置
出し微調整移動定盤３などを備える基板位置出しステー
ジ、Ｃは、下部に紫外線露光用光源５を備え、原版フィ
ルム２を載置する透明板６をその上に配置する基仮置光
ステージ、Ｄは、露光の終了した基板を排出して外方に
搬出するための基板搬出ステージである。Ｅは、レール
Ｆに沿って移動可能なトラバーサである。該トラバーサ
Ｅは、基板位置出しステージＢ上側に相対してもうける
第１支持部Ｅ１と、露光ステージＣの上側に相対して設
ける第２支持部Ｅ２を備える。そして、第１支持部Ｅ１
および第２支持部Ｅ２は、それぞれ下向きにエアー吸引
装置など基板吸着手段ｅｌ、ｅ２を備え、該支持部Ｅｌ
、Ｅ２はそれぞれのステージ上に下降動作、及び上昇復
帰動作が可能である。前記支持部Ｅ１とＥ２との間、又
はその近傍のＥｌ側又はＥ２側に下向きに突出する原版
フィルム２表面除塵用の除塵手段７を設ける。除塵手段
７は、露光ステージＣ上の原版フィルム２表面に接する
又は近接する例えば粘着剤を表面に施したローラーある
いはエアー吸引機構を備えた吸引ダクト、ノズル、ロー
ラー、ブラシなどである。該手段７は、弾力的に露光ス
テージ面に適宜弾力にて押圧接触させるようにしてもよ
く、又、エアーシリンダー１０などによって下降押圧動
作と上昇復帰動作させるようにしてもよい。

また、基板位置出しステージＢと露光ステージＣとの間
、又はその近傍の位置出しステージＢ側、又は露光ステ
ージＣ側に上向きに突出する基板１下側表面除塵用の除
塵手段８を設ける。該手段８は、上方の第１支持部Ｅ１
の吸着手段ｅ１に吸着した基ｌｉｔの下側表面に接する
、又は近接する例えば、粘着剤を表面に施したローラー
　あるいはエアー吸引機構を備えたエアー吸引ダクト、
ノズル、ローラー、ブラシなどである。該手段８は、弾
力的に吸着された基板ｌ下側表面に適宜弾力にて押圧接
触させるようにしてもよく、又はエアーシリンダー１０
などによって上昇押圧動作と下降復帰動作させるように
してもよい。

次に上記本発明装置の動作を説明する。第１図、一方の
除塵手段７を上昇復帰させ、他方の除塵手段８を下降復
帰させた状態で、トラバーサＥをレールＦに沿って図面
左方向（点線個所）に移動させ、該トラバーサに備える
第１支持部Ｅ１を供給ステージＡ上側に相対させ、該支
持部Ｅ１の吸着手段ｅ１を、供給ステージＡに供給され
て前当部９にて停止している基板１に下降動作させ、該
手段ｅ１を上昇させ、続いて、レールＦに沿ってトラバ
ーサＥを右方向に移動させ、位置出しステージＢ上側の
相対位置に吸着基板１を停止させた後、第１支持部Ｅｌ
の吸着手段ｅ１に吸着されている基板１を下降させ、吸
着を停止して位置出しステージＢ上に基板１を載置する
。そして、支持部Ｅ１の吸着手段ｅｌ、ｅ２を上昇復帰
動作させる。

続いて、位置出しステージＢのＸ−Ｙ　（水平）方向、
及び水平面内での回転角度θ方向への移動調整が可能な
定盤３、ＣＯＤカメラ４によって基板１の位置出しを行
い、その間、露光ステージＣの透明板６上には原版フィ
ルム２を位置決め載置する。このように原版フィルム２
と基板ｌの位置決めが終了した後、第２図に示すように
、支持部Ｅｌの吸着手段ｅ１をステージＢに下降動作さ
せ、基板位置出しステージＢ上の基板１を第１支持部Ｅ
１の吸着手段ｅ１によって吸着して上昇動作させる０次
に除塵手段７及び除塵手段８を突出動作させ、それぞれ
手段の先端部（図面では粘着材を施したローラー）を原
版フィルム２表面に接する位置、及び基板１下側表面に
接する位置まで伸出させた後、トラバーサＥをレールＦ
に沿って図面右方向に徐々に移動させながら、一方の除
塵手段７の先端部の粘着材ローラーは原版フィルム２表
面に、他方の除塵手段８の先端部の粘着材ローラーは、
基板ｌの下側表面（プレセンシクイズされた面）に周接
回転して、ローラー粘着面にフィルム面、基板面の塵、
ゴミを付着させ除塵することができる。基板１を吸着保
持した第１支持部Ｅｌが露光ステージＣ上側に相対した
位置でトラバーサＥを停止させ、除塵手段７．８を復帰
動作させる。続いて、第１支持部Ｅ１の基板ｌを保持し
た吸着手段ｅ１を露光”ステージＣの原版フィルム２に
下降させ、該基板ｌを原版フィルム２表面に密着させた
後、吸着手段ｅ１の吸引を停止させ、基板ｌの保持を解
消し、手段ｅ１を上昇させ、トラバーサＥをレールＦに
沿って左方向に復帰動作させる、続いて、露光ステージ
Ｃ上方にあるバキューム板１１を下降動作させ、重ね合
わされている基板１と原版フィルム２上側より押圧しな
がら、バキューム吸引にて真空吸引して基板ｌと原版フ
ィルム２との密着を確実にした後、露光用光源５を下側
より照射してパターン露光を終了する。

終了後は、バキューム板１１を上昇復帰させ、図面左方
向二復帰しているトラバーサＥの第１支持部Ｅ１によっ
て、基板供給ステージＡより次の基板１を吸着保持して
ステージＢに移送する。そして、ステージＢ上では基板
１の位置出し動作を行い、位置出し終了後は、第１支持
部Ｅ１及び第２支持部Ｅ２のそれぞれ吸着手段ｅｌ、ｅ
２をそれぞれステージＢ、Ｃに下降動作して、位置出し
された基［１を一方の第１支持部Ｅ１によって、又、先
にパターン露光の終了した基板ｌを他方の第２支持部Ｅ
２によってそれぞれ吸着して上昇動作し、トラバーサＥ
をレールＦに沿って図面右方向に移動させ、第１支持部
Ｅ１をステージＣ上に、第２支持部Ｅ２を搬出ステージ
Ｄ上に相対させた後、吸着手段ｅ１及びｅ２を下降動作
させて、吸着動作を停止させ、それぞれ露光前の一方の
基板１を露光ステージＣ上に、露光後の他方の基板１を
搬出ステージＤ上にそれぞれ載置するものである。搬出
ステージＤに載置された基板１は、適宜排出ベルトなど
排出手段によって外方に排出される０以上の動作を繰り
返し行うことによって、同一原版フィルム２によるプリ
センシタイズされたプリント配ｖＡ基板１に順次パター
ン露光を行うものである。なお、原版フィルム２の露光
ステージＣへの固定は、セロファン接着テープ、バキュ
ーム吸引など適宜実施可能である。

本発明の他の実施例としては、第３図に示すように、ト
ラバーサＥの進行方向相当の露光ステージＣの輻り相当
の空隙部を設けて、その空隙部の前後にそれぞれ第１支
持部、第２支持部を設けるようにしてもよい、この場合
は、一方の除塵手段７は、第２支持部Ｅ２の末端部側に
設け、他方の除塵手段８は、基板位置出しステージＢと
露光ステージＣとの間、又はその近傍のステージ部側又
はステージＣ側に設けるものである。

（発明の効果） 本発明によれば、プリント配線用基板など感光性を付与
した基板に対して原版フィルムのパターンを露光して、
プリント配線板にフォトレジストパターンなどを施す場
合、露光前の基板表面及び原版フィルムに付着している
塵、ゴミなどを自動的に除去しながら、能率的に露光処
理でき、基板への配線パターンの製造能率の向上、及び
品質の向上に顕著な効果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の側面図、第２図は本発明の
動作説明図、第３図は本発明の他の実施例の側面図であ
る。 １　・・・基板　２　・・・原版フィルム　３微調整定
盤　４　・・・ＣＣＤカメラ　５　・・・光源　６　・
・・透明板　７，８　　・・・除塵手段　９・前当部　
１０・・・エアーシリンダー　１１・・バキューム板　
Ａ・・・基板供給ステージ　Ｂ・位置出しステージ　Ｃ
・・・露光ステージＤ　・ ・搬出ステージ　Ｅ・ トラバーサ ・第１支持部　Ｅ２ ・第２支持部 ・レール 特　　許　　出　　願　　人 凸版印刷株式会社 代表者　鈴　木　和　夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板供給ステージと、基板位置出しステージと、基
   板露光ステージと、基板搬出ステージとをこの順に併設
   し、該ステージ群の上側に該ステージの間を水平に移動
   するトラバーサを備え、該トラバーサは基板供給ステー
   ジと基板位置出しステージ、基板位置出しステージと基
   板露光ステージ、基板露光ステージと基板搬出ステージ
   の各々上側に対向する位置に一体に平行移動するそれぞ
   れ第１支持部と第２支持部とを備え、第１支持部と第２
   支持部との間、又はその近傍には露光ステージ上で下向
   きに動作する除塵手段を前記位置出しステージと露光ス
   テージとの中間、又はその近傍には上向きに動作する除
   塵手段をもうけたことを特徴とする基板自動露光機の除
   塵装置。 ２）基板供給ステージと、基板位置出しステージと、基
   板露光ステージと、基板搬出ステージとをこの順に併設
   し、該ステージ群の上側に、該ステージの間を水平に移
   動するトラバーサを備え、該トラバーサは、基板供給ス
   テージと露光ステージ、位置出しステージと搬出ステー
   ジのそれぞれ上側に対向する位置に一体に平行移動する
   それぞれ第１支持部と第２支持部とを備え、第２支持部
   の進行方向末端には、露光ステージ上で下向きに動作す
   る除塵手段を、基板位置出しステージと露光ステージと
   の間、又はその近傍には上向きに動作する除塵手段を備
   えたことを特徴とする基板自動露光機の除塵装置。