JPH01291255A - 露光機における原板フィルム・感光部材密着方法及び原板フィルム・感光部材密着装置 - Google Patents

露光機における原板フィルム・感光部材密着方法及び原板フィルム・感光部材密着装置

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JPH01291255A
JPH01291255A JP63119270A JP11927088A JPH01291255A JP H01291255 A JPH01291255 A JP H01291255A JP 63119270 A JP63119270 A JP 63119270A JP 11927088 A JP11927088 A JP 11927088A JP H01291255 A JPH01291255 A JP H01291255A
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JP
Japan
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original film
plate
suction
photosensitive member
carrier head
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JP63119270A
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English (en)
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Kazunori Sasage
一徳 捧
Sadajiro Yamamoto
山本 定次郎
Ryoichi Umeda
良一 梅田
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Ono Sokki Co Ltd
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Ono Sokki Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • H05K3/0082Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the exposure method of radiation-sensitive masks

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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、露光機、例えばプリント基板に対する写真
製版用の自動露光機しこおいて原板フィルムと感光部材
とを自動的に密着させる原板フィルム・感光部材密着方
法及びその装置に関する。
〔従来の技術〕
露光機においでは、下方に光源があるガラス板−[に原
板フィル11が置かれ、更にその」−に感光部材が重ね
られて露光が行われる。この場合、現実には原板フィル
ム面での少量の散乱及び感光部材の表面での反射、更に
は光の回折等のため原板フィルムの像の十分な解像性が
得られない。
しかし・、この問題は、光源からの光線を平行光線にす
ると、多少は解消される。
更に、平行光線より寧ろ感光部材と原板フィルムとを密
着しておけば、十分な解像度を得ることができ、この場
合には、光線の平行性は余り問題とはならない。
そこで、従来の技術によれば、露光機において、光源か
らの光線を平行光線にするか、平行光線でなくとも次の
ようにして感光部材と原板フィルムとの密着性をよくす
るかして、JfAIffフィルムの像の十分な解像性を
得ようとしている。
密着性を高めるためには、第4図に示ずように感光部材
、例えばプリント払抜PのI−から更にプラスチックシ
ー1−sで覆い、ガラス板4とプラスチックシー1− 
Sとの間から真空ポンプで空気を吸引して、それにより
プラスチックシー1〜Sをもってプリン1へ基板l〕と
原板フィルムFとを共にガラス板4に押圧してプリン1
へ基板1〕と原板フィルムFとを密着させている。。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の技術における平行光線による方式は、面倒でもあ
り、平行光線の形成において、光量の低下が大きく、光
効率が下る。又、感光部材と原板フィルムとの密着性を
高める減圧方式は、ガラス面が完全に平滑でないために
、密着は完全にはならず、気泡が残る。そ、こで、感光
部材と原板フィルムとの間に残った気泡を除去するべく
、作業者がプラスチックシートヒからへら状の道具1゛
でしごく手作業が必要である。また、露光機の完全自動
化をするためには、この手作業が支障となる。
〔課題を解決するための手段〕
この発明による露光機における原板フィルム・感光部材
密着方法は、露光機において、吸着面を有するキャリヤ
・\ラドのケーシング内を吸気装置により排気減圧して
、その吸着面に感光部材を保持し、排気減圧したままキ
ャリヤ・\ラドを原板フィルムが保持された透明保持板
に向って移動し。
キャリヤヘッドの吸着面と透明保持板の原板フィルム保
持面とを閉ループ状の弾性材パツキンの接触状態を介し
て近接対向させ、吸着面、弾性材パツキン及び原板フィ
ルム保持面で構成された密閉空間を吸着面を介して排気
減圧し続け、その減圧により透明保持板を原板フィルム
共々湾曲させ。
更に弾性材パツキンを圧縮するようにキャリヤヘッドを
透明保持板に押圧し、その押圧により透明保持板を再び
平坦に戻しながら感光部材に原板フィルムを密着させる
のである。
この発明による露光機における原板フィルム・感光部材
密着装置は、露光機において原板フィルム保持面が形成
された透明保持板と、感光部材を保持搬送し、少なくと
も原板フィルム保持面に向って進退されるキャリヤヘッ
ドとを具備し、キャリヤヘッドは、吸気小孔が分布穿設
された吸着面が形成され、且つ吸気装置に連通されたケ
ーシングから構成され、閉ループ状の弾性材パツキンが
透明保持板の原板フィルム保持面及びキャリヤヘッドの
吸気面に、又はそのいずれが一方に突縁状に設けられで
いる。
[作  用] 1−記の装置をヒ記の方法のように操作・作動させると
、原板フィルムは、透明保持板と共に中高に湾曲して、
感光部材に押圧されて平坦化する際、中高部より順次放
射方向に感光部材に密着される。
〔実 施 例〕
この発明の実施例を図面に従って説明する。
第2図には、プリント基板に刻する写真製版用の自動露
光機が示されており、自動露光機は、第2図において、
左側から順に搬入部・位置決め部A、露光部B及び搬出
部Cが配設されており、搬入部・位置決め部Aの一ヒ方
には、操作パネル部りが設置されている。
更に位置決め部A、露光部B及び搬出部Cの玉名間を往
復動し1.且つ三者にで1−下動するするキャリヤ族@
Eが設けられでいる。
搬入部・位置決め部Aにおいては、搬入用ベルトコンベ
ヤlが搬入端(第2図左端)から整合テーブル2Lへプ
リント基板l〕を搬送するように設けられている。整合
テーブル2は、直交2方向(X−2軸線方向)に移動自
在であると共に、直立軸線(y軸線)回りに回動自動で
あり、整合チーフル2−1−に画かれたプリン1へ基板
[]の所定の整合マークの座標をイメージセンサー3て
検出し、その検出信号に基づいて図示し、ない制御駆動
装置によりプリン1〜基板l]は、移動・回動され、所
定の位置・方向に位置決めされるようになっている(特
開昭61−120209号公報参照)。
露光部Bにおいては、整合子−フル2ど実質的に同一高
さに原板フィルム載置用のガラス板4か設置されており
、整合テーブル2とカラス板4どの間には、ト側外周面
が僅かに突出してクリーニングローラ5が設(づられて
いる3、そうして、更にガラス板zlのド方には、紫外
線ランプ6.6が4−方に向しづで投光するように設置
されている。
搬出部Cにおいては、露光部Bのカラス板4と実質的に
同一高さに搬出用ベル1−コンベヤ7が設けられている
露光機におけるプリン1へ基板の搬送装置であると共に
原板フーrルム・プリ刈へ基板密着装置も構成するキャ
リヤ装置Eは、キャリヤヘッド8が連結腕9の一端に、
搬出ヘッドioが同じく他端に大々両名の下側の吸着面
が実質的に同一高さになるように取11けられで構成さ
J5 両I\ツ1〜8,1oが一体とな−って図示しな
い案内駆動装置によって搬送方向に往復移動され、且つ
1−下動されるようになっている。
ギヤリヤ・\ラド8と搬出・\ツ1〜ioとの間隔は。
−1゛度、整合チーフル2とガラス板4との間隔及びカ
ラス板4と搬出用ベル1−コンベヤ7との間隔と実質的
に同一である。即ちキャリヤヘッド7が整合テーブル2
(カラス板4)]−に位置するとき、搬出八ツ1−8カ
カラス仮’1(tllQ出用ヘル)〜コンベヤ7)にに
位1面する。
第1図に示すように、ギヤリヤ・\ラド8は、真空ポン
プ11に吸気管12を介し、て連通された偏平方形の吸
気ケーシング13で構成さ、1シでおり、その下面には
弾性材、例えはゴム、合成樹脂等の吸気板14か固着さ
れでいると共に、吸気Fi、14の周縁部に沿、って同
じく弾性材、例えばゴ111合成樹脂等のパツキン15
が閉ループ状に固着されている。パツキンI5の下縁は
、吸気板14の吸着面である下面よりプリント基板I)
の厚さと原板フィルムFの厚さとの和より高く突出して
いる。そうして、吸気板14には吸気ケーシング13の
土壁を通し、て貫通した吸気小孔1.6.16・・・が
分布穿設され、その分布範囲は、プリン1〜基板1〕の
面積より広くなっている。
搬出・\ツFlnには、プリン1へ基板I)を吸着する
吸盤17,1.7・・・・が搬出八ツ+<10白休に刺
し・で独立して例えば流体圧シリンダ等の駆動手段によ
り1−不動され得るように下向きに設けられている。
1;記の実施例においては、パツキン15が吸気ケーシ
ング1′、3のF面に設けられているが、パツキン15
に替えで同様のパツキン15’をカラス板4の表面に設
けてもよい1.或は、吸気ケーシング13の−F面のパ
ツキンI5とガラスFi4のパツキン15′との両方を
設けてもよく、この場合には両方のパツキン15.Il
l’の突出呈の和がプリン1一基板!】の厚さと原板フ
ィルムFの厚さとの和、J、り人き(つればよい1、更
に、両パツキン15..1.5’を設けた場合には、吸
気ろ−シンク13の下面のバッキング15が少なくとも
吸気Fj、+ 4の吸着面より突出しないようにすると
、プリン1〜基板l〕の整合テーブル2がらの吸着に都
合かよい。また、パツキン15は7閉ループ状の単独の
ものを圧扁ニジ、ガラス板4トに載置すればよい1. 1−記の自動露光機の操作・作動についで述べる。
未焼イ;トづのプリン1〜基板Pは、第2図の左側から
搬入用ヘルトコンベ=■1によって整合テーブル21−
/\搬送され、整合テーブル2上に載置されたプリント
基板■〕の整合マークがイメージセンサ−3で検出され
、その検出信号に基づいて整合テーブル2のX−Z軸線
方向の8動とYIlllIl線回りの回動とが行われ、
プリン1−1ル板I)の位置決めがされる。プリント基
板))は、この位置決めによって露光部Bの原板フィル
ムFに対するプリント基板「゛の所定の相対位置か決ま
るので2後述のよ−うにキャリヤ装置Eにより搬送され
たどき、原板フィルムFトの所定位置に置か4しる。
キャリヤ装置Eは、第2図において、図示されない案内
駆動装置によってキャリヤ・\ツ1(8が整合テーブル
2のh方に位置する所定の位置まで左行する。吸気ケー
シング13は、真空ポンプ11の作動により吸気管12
を介して排気減圧される。
パツキン15が整合テーブル2に接する状態となり、吸
着板14が整合テーブル21−のプリン1一基板l)に
接近し、ているので、整合テーブル2にの所定位置に位
置決めされたプリント基板Pは、吸気小孔16.16・
・・を介して吸気ケーシング13の吸着板1/1の下面
に吸着保持される。なお、整合テーブル2のヒ面にパツ
キン15の内外両側に通じる通気溝が刻設されているの
で、パツキン15の密着状態で吸気されていても、後述
のようなキャリヤ装置Eの移動に支障はきたさない。或
は、パツキン15が整合テーブル2に接し、ない程度の
高さで、吸着板14が整合テーブル2F二のプリント基
板Pに接近させでも、プリン1〜u+Jit+”の吸着
保持は可能である。
この場合は、整合テーブル2の[−面の通気溝は不要と
なる。
前記のようにパツキン15′がガラス板4の表面に設け
られた場合及び両パツキン15.15’が設けられ、バ
ッキングI5が少なくとも吸着板■4の吸着面より突出
し、ない場合には、吸着板14が一層接近した位置をと
り得るので、吸着板14による吸着保持作動が行われ易
い7 それから、同じく案内駆動装置によってキャリヤ装置E
が移動(右行)され、その途中において、回転するタリ
ーニングローラ5の外周面によりキャリヤヘッド8のパ
ツキン15の下縁及びプリン1へ基板l〕の下面が払拭
される。
そうし、て、キャリヤI\ツド8は、図示されない案内
駆動装置によっで霧光部Bのガラス板4の」〕方に置か
れて[第3図(d)]からパツキン15がガラス板4の
4−面に当接するまで下降する。
なお、パツキン15″の場合は、吸着板14の下面に当
接するまで、又は両パツキンL5.15’併設の場合は
、両バッキング1J15’が互に当接するまでキャリヤ
・\シト8か下降する。
ガラス板4のL面には、原板フィルムFが載置され、例
えば接着テープ等で固定されでいる。そうし・て、下降
するキャリヤヘッド8に吸着されているプリン1〜基板
Pとガラス板4ヒの原板フィルムFとは互に整合する位
置関係にある[第3図(b)]。
パツキン■5がガラス板4のL面に当接した状態(パツ
キン15′が吸気ケーシング13の下面に当接した状態
、 又は両パツキン15,1.5’が互に当接した状j
aiりでガラス板4と吸着板14との間の密閉空間は、
プリント基板Pで閉塞されていない残余の吸気小孔16
. In・・から吸気ケーシング13及び吸気管12を
介して排気減圧される。すると、ガラス板4は。
原板フィルムF共々中央部が盛ヒるように湾曲変形する
[第3図(c)]、この間、キャリヤヘッド8の下降は
パツキン15を圧縮しながら続行され、プリント・基板
Pの下面は、湾曲変形した原板フィルムFの頂面に接す
る[第3図(d)]。
更にガラス板4と吸着板14との間の密閉空間からの排
気減圧が続行されながら、パツキン15(パツキン15
′7  又は両パツキン15.15″)を圧縮しながら
のキャリヤヘッド8の下降も続行さ、1シると、原板フ
ィルムF共々ガラス板4は、プリント基板l〕を介して
吸着板14により押圧され、湾曲頂面から順次放射方向
にプリント基板1〕の下面に密着されながら平坦に復帰
し、ついにはプリント基板Pの下面は、全面的に原板フ
ィルムFに完全に密着される[第3図(e)コ。
L記の実施例においては、プリント基板■】は、感光フ
ィルムが貼若さ]したものであり、プリント基板■〕の
範囲の吸着板14の吸気小孔1.6.16・・は閉塞さ
れるが1、液状レジストが塗布されたものである場合に
は、プリント基板自体が通気可能となるから、プリント
基板自体が吸着板どし、て働き、原板フィルムFの密着
が一層よくなる。
プリン!・基板11と原板フィルムFとの密着状態にお
いて、紫外線ランプ6.6からの紫外線により原板フィ
ルムFの像がプリン1一基板Pに焼イ4け1゛〕れる3
、焼付けが完了すると、真空ポンプ11の作動は停止さ
れ、焼伺は済のプリント捨板1〕は、吸着板13から解
放される。そうして、キャリヤ装置1Σは、プリント抜
4反1】をガラス板4に残したまま図示されない案内駆
動%Nによ−)で元の高さまで1−昇する。そうして、
1−記のように再び後退(左行)移動さ4しると、キャ
リコ′・\ソ1−8が整合テーブル2のL方に位置する
と共に、搬出・\シト10かガラス板41−に載置され
た(&Ii 1=i )′、I済のプリン1へ基板I〕
の1一方に位置する1、 ここで、搬出・\ソトIOの
吸盤17は、流体圧シリ二ノダ等により焼伺は済のプI
lン1へ基板P E当接するまで下降する。その結果、
焼イ;1け済のプリン1〜J&板1)は、搬出ヘラFI
Oの吸盤[7に吸着保持さ扛、吸盤17の1−昇により
引にげられるど共に、既述のプリン1一基板Pに続いて
同様に既に搬入用ヘル1〜コンベヤ1により整合テーブ
ル2にに搬入され、更に整合チーフル2に3Lり位置決
めされた次の未焼付はプリン1〜J板[]′がキャリヤ
ヘッド8に吸着保持される1、なお、次のプリント基t
M P″に関しては、以下のキャリヤ装置1Σの作動に
より同時にF記のプリン1〜基板1′と同様に取扱われ
ることは容易に理解されよう。
そこで、キヤIlヤ装@13が図示し、ない案内駆動装
置によ−ノで前進(右行)移動され、搬出ヘットtOは
、搬出用ベル1〜:1ンベヤ7のに方に置かれ、下降す
る3、そうして、搬出ヘット[0の吸盤1.7.17・
・・は、焼イー1(づ済のプリント基板1′を解放し、
焼伺い済のプリン1へ基板1’)は、搬出用ヘルドコン
ベヤ7−Lに解放載置さh、第2図において右側ノ\搬
出される。キャリヤ装置Eは、再度[−昇して原位置に
復する。
以1−の作動のシーがンスは、操作パネル部りによjい
てセラ1〜されたプロクラ15に基づいて周知の制御装
置でfjわれる。
〔発明の効果〕
この発明による露光機における原板フィル11・感光部
材密着方法及びその装置によれば、高解像性に最も有効
な原板フィルム・感光部材密着が行わ]し、し、かも空
気溜りを排除し、での完全な密着が人手を要さずに確実
に行わわ、る。また、これにより高解像性の露光機の完
全な自動化も可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図ば、この発明の実施例における原板フイルlドブ
リント 第2図は,この発明の実施例におけるプリン1一基板に
対する写真製版用の自動露光機の側面図。 第3図(、)〜(e)は、第1図の原板フィルム・プリ
ント基板密着装置の作動説明図、 第4図は、従来の技術における原板フィルl、どプリン
ト基板との密着操作の説明図。 第5図(a)(+3)は、パツキン取イ]けの変形例の
概略構成図である。 A:搬入部・位置決め部 トル:露光部C:搬出部  
  D=操作パネル部 E:キャリヤ装置  F:原板フィル11p,p’ニブ
リント基板

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)露光機において、吸着面を有するキャリヤヘッド
    のケーシング内を吸気装置により排気減圧して、その吸
    着面に感光部材を保持し、排気減圧したままキャリヤヘ
    ッドを原板フィルムが保持された透明保持板に向って移
    動し、キャリヤヘッドの吸着面と透明保持板の原板フィ
    ルム保持面とを閉ループ状の弾性材パッキンの接触状態
    を介して近接対向させ、吸着面、弾性材パッキン及び原
    板フィルム保持面で構成された密閉空間を排気減圧し続
    け、その減圧により透明保持板を原板フィルム共々湾曲
    させ、更に弾性材パッキンを圧縮するようにキャリヤヘ
    ッドを透明保持板に押圧し、その押圧により透明保持板
    を再び平坦に戻しながら感光部材に原板フィルムを密着
    させる露光機における原板フィルム・感光部材密着方法
  2. (2)露光機において原板フィルム保持面が形成された
    透明保持板と、感光部材を保持搬送し、少なくとも原板
    フィルム保持面に向って進退されるキャリヤヘッドとを
    具備し、キャリヤヘッドは、吸気小孔が分布穿設された
    吸着面が形成され、且つ吸気装置に連通されたケーシン
    グから構成され、閉ループ状の弾性材パッキンが透明保
    持板の原板フィルム保持面及びキャリヤヘッドの吸気面
    に、又はそのいずれか一方に突縁状に設けられている露
    光機における原板フィルム・感光部材密着装置
JP63119270A 1988-05-18 1988-05-18 露光機における原板フィルム・感光部材密着方法及び原板フィルム・感光部材密着装置 Pending JPH01291255A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0448541U (ja) * 1990-08-29 1992-04-24
WO2008075749A1 (ja) * 2006-12-21 2008-06-26 Nikon Corporation 露光方法及び装置、並びに基板保持装置

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