CN111258189A - 一种双面自动对位曝光的设备及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种双面自动对位曝光的设备及方法，其设备在工件上下料区设置有一下晒框组件，在曝光区设置有上晒框组件与另一下晒框组件，上晒框组件包括上晒框与驱动上晒框进行平移调整对位的上对位机构，下晒框组件包括下晒框、工件定位销以及驱动工件定位销进行平移调整对位的下对位机构，其曝光区还设置有驱动上晒框组件升降的升降动力机构、位于上晒框组件上方的上对位CCD视觉组件以及位于下晒框组件下方的下对位CCD视觉组件，其工件上下料区与其工件曝光区之间还设置有驱动两下晒框组件之间进行交替换位的下晒框动力组件。本技术方案，其可有效解决现有双面自动对位曝光的方法中存在对位精度低、生产效率低、菲林使用成本高等技术问题。

Description

一种双面自动对位曝光的设备及方法
技术领域
本发明涉及印刷电路板加工技术领域，尤其涉及一种双面自动对位曝光的设备及方法。
背景技术
目前在印制电路图形转移制程中应用最广泛的双面自动对位又同时曝光的方法是：在上、下料工位，将工件(或PCB)放入由下晒框和上晒框组合成一体的晒框之中(上下晒框玻璃内分别贴附有上下菲林)；首先闭合上、下晒框，由机械定位销固定上下菲林的相对位置，再由CCD视觉系统控制安装在下晒框上的自动对位机构调节处于上、下菲林中间的工件来同时完成工件与上、下菲林的双面对位；然后才进入曝光工位完成双面同时曝光。
然而，在实际生产过程中，上述方法存在以下主要问题：1.由于上、下菲林固定，只是移动工件进行两面同时对位，导致基准不重合误差大，对位精度低。2.由于晒框开合，取放工件，双面对位都是在上、下料工位完成，造成与曝光工位的生产节奏相差较大，降低了生产效率。3.设备工作时，两套晒框在上、下料和曝光工位交替运行，需要四张菲林，使得菲林使用成本大大增高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种双面自动对位曝光的设备及方法，其旨在解决现有双面自动对位曝光的方法中存在对位精度低、生产效率低、菲林使用成本高等技术问题。
为实现上述目的，本发明提出一种双面自动对位曝光的设备，所述设备包括工件上下料区与工件曝光区，所述工件上下料区设置有一下晒框组件，所述曝光区设置有上下相对设置的上晒框组件与另一下晒框组件，所述上晒框组件包括上晒框与驱动所述上晒框进行平移调整对位的上对位机构，所述下晒框组件包括下晒框、设于所述下晒框上的工件定位销以及驱动所述工件定位销进行平移调整对位的下对位机构，所述曝光区还设置有驱动所述上晒框组件升降的升降动力机构、位于所述上晒框组件上方的上对位CCD视觉组件以及位于所述下晒框组件下方的下对位CCD视觉组件，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间还设置有驱动两所述下晒框组件之间进行交替换位的下晒框动力组件。
可选地，所述上晒框包括上晒框玻璃、环绕固定所述上晒框玻璃的上晒框边框以及对所述上晒框玻璃的下表面进行抽真空处理的若干第一真空气嘴，所述若干第一真空气嘴固设在所述上晒框玻璃上，所述下晒框包括下晒框玻璃、环绕固定所述下晒框玻璃的下晒框边框以及对所述下晒框玻璃的上表面进行抽真空处理的若干第二真空气嘴，所述若干第二真空气嘴固设在所述下晒框玻璃上。
可选地，所述工件上下料区还设置有用于将待曝光工件由上一工位转移到所述下晒框组件上的上料机械手以及用于将已曝光工件由所述下晒框组件上转移到下一工位的下料机械手；所述上料机械手包括上料吸附抓手、驱动所述上料吸附抓手升降的上料升降机构以及驱动所述上料吸附抓手在所述上一工位与所述下晒框组件之间平移的上料平移机构；所述下料机械手包括下料吸附抓手、驱动所述下料吸附抓手升降的下料升降动力电机以及驱动所述下料吸附抓手在所述下晒框组件与所述下一工位之间平移的下料平移机构。
可选地，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间的相接处上方设置有下菲林清洁滚筒，以对所述下晒框组件上的下菲林进行滚涂清洁。
可选地，一所述下晒框组件的所述下晒框边框的一侧还设置有上菲林清洁滚筒，以对所述上晒框组件上的上菲林进行滚涂清洁。
此外，为实现上述目的，本发明还提出一种双面自动对位曝光的设备，所述设备包括工件上下料区与工件曝光区，所述工件上下料区设置有一下晒框组件，所述曝光区设置有上下相对设置的上晒框组件与另一下晒框组件，所述上晒框组件包括上晒框与驱动所述上晒框进行平移调整对位的上对位机构，所述下晒框组件包括下晒框以及设于所述下晒框上的工件定位销，所述工件上下料区还设置有用于将待曝光工件由上一工位准确转移到所述下晒框组件上的带下对位CCD视觉组件的上料机械手，所述曝光区还设置有驱动所述上晒框组件升降的升降动力机构以及位于所述上晒框组件上方的上对位CCD视觉组件，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间还设置有驱动两所述下晒框组件之间进行交替换位的下晒框动力组件。
可选地，所述上晒框包括上晒框玻璃、环绕固定所述上晒框玻璃的上晒框边框以及对所述上晒框玻璃的下表面进行抽真空处理的若干第一真空气嘴，所述若干第一真空气嘴固设在所述上晒框玻璃上，所述下晒框包括下晒框玻璃、环绕固定所述下晒框玻璃的下晒框边框以及对所述下晒框玻璃的上表面进行抽真空处理的若干第二真空气嘴，所述若干第二真空气嘴固设在所述下晒框玻璃上。
可选地，所述工件上下料区还设置有用于将已曝光工件由所述下晒框组件转移到下一工位的下料机械手；所述上料机械手还包括上料吸附抓手、驱动所述上料吸附抓手与所述下对位CCD视觉组件一起升降的上料升降机构以及驱动所述上料吸附抓手与所述下对位CCD视觉组件一起在所述上一工位与所述下晒框组件之间平移的上料平移机构；所述下料机械手包括下料吸附抓手、驱动所述下料吸附抓手升降的下料升降动力电机以及驱动所述下料吸附抓手在所述下晒框组件与所述下一工位之间平移的下料平移机构。
可选地，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间的相接处上方设置有下菲林清洁滚筒，以对所述下晒框组件上的下菲林进行滚涂清洁；一所述下晒框组件的所述下晒框边框的一侧还设置有上菲林清洁滚筒，以对所述上晒框组件上的上菲林进行滚涂清洁。
此外，为实现上述目的，本发明还提出一种双面自动对位曝光的方法，所述方法包括以下步骤：通过一上晒框组件吸附固定一上菲林，通过两下晒框组件分别吸附固定一下菲林；通过下晒框动力组件驱动两所述下晒框组件在工件上下料区与工件曝光区之间进行交替换位，以交替完成工件曝光前后的上下料操作及轮流与所述上晒框组件配合完成工件的双面对位曝光操作；所述工件的双面对位曝光操作包括以下步骤：通过下对位CCD视觉组件与下对位机构或上料机械手配合完成所述工件与所述下菲林之间的对位操作；通过上对位CCD视觉组件与上对位机构配合完成所述上菲林与所述工件或所述下菲林之间的对位操作；通过升降动力机构驱动所述上晒框组件降落到所述下晒框组件处，以实现所述上菲林、所述工件与所述下菲林三者之间的真空贴合，并完成所述工件的双面曝光操作。
本发明提供的双面自动对位曝光的设备及方法，其先后通过下对位CCD视觉组件完成待曝光工件与下菲林的对位工作及通过上对位CCD视觉组件完成上菲林与待曝光工件(或下菲林)的对位工作，避免了上、下菲林基准不重合导致的随机误差，提高了对位精度。同时，其通过下晒框动力组件来驱动两下晒框组件在工件上下料区与工件曝光区之间进行交替换位，由于只是下晒框组件交替传送工件，没有晒架的开合及等待，提高了上、下料的工作效率，并可将上、下面的自动对位工作合理分配在上、下料和曝光工位上，使它们的工作节奏匹配更好，提高了生产效率。且相比传统的双面自动对位曝光使用四张菲林(上、下固定套配)的方法，本设备只需使用三张菲林(两张下菲林与一张上菲林轮流配合)，即可在确保整体工作效率不下降的同时完成待曝光工件的双面自动对位曝光操作，减少了菲林使用成本。可见，本技术方案，其可有效解决现有双面自动对位曝光的方法中存在对位精度低、生产效率低、菲林使用成本高等技术问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一中双面自动对位曝光的设备的结构示意图。
图2为图1所示双面自动对位曝光的设备的工作状态示意图。
图3为本发明实施例三中双面自动对位曝光的方法的流程框图。
图4为图3所示双面自动对位曝光的方法的步骤S120的具体流程框图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
实施例一
如图1及图2所示，本发明实施例一提供一种双面自动对位曝光的设备100，该设备100包括工件上下料区与工件曝光区，工件上下料区设置有一下晒框组件110，曝光区设置有上下相对设置的上晒框组件120与另一下晒框组件110，上晒框组件120包括上晒框121与驱动上晒框121进行平移调整对位的上对位机构122，下晒框组件110包括下晒框111、设于下晒框111上方的工件定位销(图中未标示)以及驱动工件定位销进行平移调整对位的下对位机构112，曝光区还设置有驱动上晒框组件120升降的升降动力机构130、位于上晒框组件120上方的上对位CCD视觉组件141以及位于下晒框组件110下方的下对位CCD视觉组件142，工件上下料区与工件曝光区之间还设置有驱动两下晒框组件110之间进行交替换位的下晒框动力组件150。
在本实施例中，如图1及图2所示，下晒框动力组件150通过电机与双层传动皮带的配合驱动两下晒框组件110之间进行交替换位。上晒框121包括上晒框玻璃、环绕固定上晒框玻璃的上晒框边框以及对上晒框玻璃的下表面进行抽真空处理的若干第一真空气嘴，若干第一真空气嘴固设在上晒框玻璃上。由于上晒框玻璃的尺寸大于工件或上菲林图形区的尺寸，因而，若干第一真空气嘴具体设置在上晒框玻璃的边沿位置，以便影响上晒框玻璃的有效透光范围。下晒框111包括下晒框玻璃、环绕固定下晒框玻璃的下晒框边框以及对下晒框玻璃的上表面进行抽真空处理的若干第二真空气嘴，若干第二真空气嘴固设在下晒框玻璃上。由于下晒框玻璃的尺寸大于工件或下菲林图形区的尺寸，因而，若干第二真空气嘴具体设置在下晒框玻璃的边沿位置，以便影响下晒框玻璃的有效透光范围。若干第一真空气嘴与若干第二真空气嘴均与同一真空泵10连通，由于若干第一真空气嘴对上晒框玻璃的下表面进行抽真空处理，当上菲林置于上晒框玻璃的下表面上时，其会在真空吸附作用下，紧紧贴附在上晒框玻璃的下表面上实现固定，同理，若干第二真空气嘴对下晒框玻璃的上表面进行抽真空处理，当下菲林置于下晒框玻璃的上表面上时，其会在真空吸附作用下，紧紧贴附在下晒框玻璃的上表面上实现固定。
如图1所示，工件上下料区还设置有用于将待曝光工件由上一工位转移到下晒框组件110上的上料机械手160以及用于将已曝光工件由下晒框组件110上转移到下一工位的下料机械手170。具体地，上料机械手160包括上料吸附抓手、驱动上料吸附抓手升降的上料升降机构以及驱动上料吸附抓手在上一工位与下晒框组件110之间平移的上料平移机构。下料机械手170包括下料吸附抓手、驱动下料吸附抓手升降的下料升降动力电机以及驱动下料吸附抓手在下晒框组件110与下一工位之间平移的下料平移机构。当上料吸附抓手在上料平移机构的驱动下平移到上一工位的上方后，其上料升降机构会驱动其缓缓下降，直至其吸附起一待曝光工件后，再将其缓缓升起，最后在上料平移机构的驱动下平移到工件上下料区的下晒框组件110上方，并通过上料升降机构驱动其缓缓下降，直至待曝光工件固定在下晒框组件110的工件定位销上后复位，进而完成一个待曝光工件的上料操作。同理，当下料吸附抓手在下料平移机构的驱动下平移到工件上下料区的下晒框组件110上方后，其上料升降机构会驱动其缓缓下降，直至其吸附起一已曝光工件后，再将其缓缓升起，最后在下料平移机构的驱动下平移到下一工位的上方，并通过下料升降动力电机驱动其缓缓下降，直至已曝光工件置于下一工位上后复位，进而完成一个已曝光工件的下料操作。
如图1及图2所示，工件上下料区与工件曝光区之间的相接处上方设置有下菲林清洁滚筒181，以对下晒框组件110上的下菲林300进行滚涂清洁。一下晒框组件110的下晒框边框的一侧还设置有上菲林清洁滚筒182，以对上晒框组件120上的上菲林200进行滚涂清洁。具体地，下菲林清洁滚筒181与上菲林清洁滚筒182均为黏尘辊，这样一来，当某一下晒框组件110上的下菲林300需要清洁时，只需将该下晒框组件110上放置的工件取下后，通过设置在工件上下料区的双气缸推动下菲林清洁滚筒181，滚动经过在下晒框组件110上的下菲林300表面就能将其上的污染物粘走，以实现下菲林300的自动滚涂清洁。而当上晒框组件120上的上菲林200需要清洁时，可通过下晒框动力组件150驱动设置有上菲林清洁滚筒182的下晒框组件110由工件上下料区替换到工件曝光区，在此过程中，该上菲林清洁滚筒182会从该上菲林200的左侧一直滚动经过该上菲林200表面到右侧，进而通过上菲林清洁滚筒182将上菲林200上的污染物粘走，以实现上菲林200的自动滚涂清洁。
另外，如图1及图2所示，曝光区还设置有位于上晒框组件120上方的上曝光灯191以及位于下晒框组件110下方的下曝光灯192，上曝光灯191通过上菲林200可实现待曝光工件400的上表面曝光操作，下曝光灯192通过下菲林300可实现待曝光工件400的下表面曝光操作。
工作时，如图2所示，上晒框121的上晒框玻璃下面吸附有上菲林200，每一下晒框111的下晒框玻璃上面吸附有一下菲林300，当一下晒框组件110在工件上下料区对已曝光工件进行下料操作及对待曝光工件400进行上料操作时，另一下晒框组件110载着待曝光工件400进入曝光区并同步进行工件的双面对位曝光操作，该工件的双面对位曝光操作具体为：先通过下对位CCD视觉组件142计算该下晒框组件110上的下菲林300与待曝光工件400之间的位置偏差，并控制下对位机构112驱动待曝光工件400(由于待曝光工件400固定在工件定位销上，当下对位机构112驱动工件定位销进行前后左右平移调整时，其可带动待曝光工件400进行前后左右平移调整对位)进行平移调整对位，以实现下菲林300与待曝光工件400之间的对位，同时，通过上对位CCD视觉组件141计算该上晒框组件120上的上菲林200与待曝光工件400(或下菲林300)之间的位置偏差，并控制上对位机构122驱动上菲林200(由于上菲林200固定在上晒架121上，当上对位机构122驱动进行上晒架121前后左右平移调整时，其可带动上菲林200进行前后左右平移调整对位)进行平移调整对位，以实现上菲林200与待曝光工件400(或下菲林300)之间的对位，最后，通过升降动力机构130驱动该上晒框组件120降落到该下晒框组件110处，以实现上菲林200、待曝光工件400与下菲林300三者之间的真空贴合，同时上曝光灯191与下曝光灯192分别对待曝光工件400进行双面曝光。曝光完毕后，通过升降动力机构130驱动上晒框组件120上升，使上菲林200与已曝光工件脱离，再通过下晒框动力组件150驱动两下晒框组件110之间进行交替换位，以进行下一待曝光工件400的曝光操作。
实施例二
本发明实施例二提供一种双面自动对位曝光的设备，该设备与实施例一提供的双面自动对位曝光的设备相比，区别仅在于，本实施例中的设备的下晒框组件包括下晒框以及设于下晒框上方的工件定位销，同时，本实施例中的设备的上料机械手上设置有下对位CCD视觉组件，其可用于将待曝光工件由上一工位准确转移到该下晒框组件上，即在上料机械手将待曝光工件由上一工位转移到该下晒框组件上时，便可通过该下对位CCD视觉组件提前完成待曝光工件与下菲林的对位工作，使得待曝光工件由上一工位准确转移到该下晒框组件上。具体地，该上料机械手包括上料吸附抓手、驱动上料吸附抓手与下对位CCD视觉组件一起升降的上料升降机构以及驱动上料吸附抓手与下对位CCD视觉组件一起在上一工位与下晒框组件之间平移的上料平移机构。
可见，不同于实施例一中的双面自动对位曝光的设备，本实施例中的设备的下晒框组件减少了驱动工件定位销进行平移调整对位的下对位机构，同时，将工件曝光区下方的下对位CCD视觉组件移设到上料机械手上，以便在上料机械手将待曝光工件由上一工位转移到该下晒框组件上时，便可提前完成待曝光工件与下菲林的对位工作。即当上料吸附抓手在上料平移机构的驱动下平移到上一工位的上方后，其上料升降机构会驱动其缓缓下降，直至其吸附起一待曝光工件后，再将其缓缓升起，最后在上料平移机构的驱动下平移到工件上下料区的下晒框组件上方，此时，下对位CCD视觉组件开始工作，计算该下晒框组件上的下菲林与待曝光工件之间的位置偏差，并通过控制上料机械手的动作(包括上料平移机构的平移调整与上料升降机构的升降调整)，使得待曝光工件400准确放于下菲林300的上方，并通过工件定位销进行固定。
实施例三
本发明实施例三提供一种双面自动对位曝光的方法，该方法包括以下步骤：
步骤S110：通过一上晒框组件吸附固定一上菲林，通过两下晒框组件分别吸附固定一下菲林。
具体地，如图1及图2所示，该设备100包括工件上下料区与工件曝光区，工件上下料区设置有一下晒框组件110，曝光区设置有上下相对设置的上晒框组件120与另一下晒框组件110，工作时，上晒框组件120的上晒框玻璃下面吸附有上菲林200，每一下晒框组件110的下晒框玻璃上面吸附有下菲林300。
步骤S120：通过下晒框动力组件驱动两下晒框组件在工件上下料区与工件曝光区之间进行交替换位，以交替完成工件曝光前后的上下料操作及轮流与上晒框组件配合完成工件的双面对位曝光操作。
具体地，如图1及图2所示，位于工件上下料区的一下晒框组件110可进行工件曝光前后的上下料操作，位于工件曝光区的另一下晒框组件110可进行工件的双面对位曝光操作。通过下晒框动力组件150驱动两下晒框组件110在工件上下料区与工件曝光区之间进行交替换位的，可交替完成工件曝光前后的上下料操作与工件的双面对位曝光操作。如图4所示，工件的双面对位曝光操作的具体过程如下：
步骤S121：通过下对位CCD视觉组件与下对位机构或上料机械手配合完成工件与下菲林之间的对位操作。
步骤S122：通过上对位CCD视觉组件与上对位机构配合完成上菲林与工件或下菲林之间的对位操作。
步骤S123：通过升降动力机构驱动上晒框组件降落到下晒框组件处，以实现上菲林、工件与下菲林三者之间的真空贴合，并完成工件的双面曝光操作。
如图1及图2所示，下对位CCD视觉组件142的设置位置即可如实施例一所示设于工件曝光区的下方亦可如实施例二所示设于上料机械手上，对工件进行双面对位曝光操作时，先通过下对位CCD视觉组件142计算该下晒框组件110上的下菲林300与工件(即待曝光工件400)之间的位置偏差后，控制下对位机构112(实施例一)或上料机械手(实施例二)的动作来调整工件的位置，使之与下菲林300对齐，进而完成工件与下菲林300之间的对位操作。再通过上对位CCD视觉组件141计算该上晒框组件120上的上菲林200与工件(或下菲林300)之间的位置偏差后，控制上对位机构122的动作来调整上菲林200的位置，使之与工件(或下菲林300)对齐，进而完成上菲林200与工件(或下菲林300)之间的对位操作。最后，通过升降动力机构130驱动上晒框组件120降落到下晒框组件110处，以实现上菲林200、工件与下菲林300三者之间的真空贴合，并完成工件的双面曝光操作。
本发明提供的双面自动对位曝光的设备及方法，其先后通过下对位CCD视觉组件完成待曝光工件与下菲林的对位工作及通过上对位CCD视觉组件完成上菲林与待曝光工件(或下菲林)的对位工作，避免了上、下菲林基准不重合导致的随机误差，提高了对位精度。同时，其通过下晒框动力组件来驱动两下晒框组件在工件上下料区与工件曝光区之间进行交替换位，由于只是下晒框组件交替传送工件，没有晒架的开合及等待，提高了上、下料的工作效率，并可将上、下面的自动对位工作合理分配在上、下料和曝光工位上，使它们的工作节奏匹配更好，提高了生产效率。且相比传统的双面自动对位曝光使用四张菲林(上、下固定套配)的方法，本设备只需使用三张菲林(两张下菲林与一张上菲林轮流配合)，即可在确保整体工作效率不下降的同时完成待曝光工件的双面自动对位曝光操作，减少了菲林使用成本。可见，本技术方案，其可有效解决现有双面自动对位曝光的方法中存在对位精度低、生产效率低、菲林使用成本高等技术问题。
以上结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但本发明不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本发明原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种双面自动对位曝光的设备，其特征在于，所述设备包括工件上下料区与工件曝光区，所述工件上下料区设置有一下晒框组件，所述曝光区设置有上下相对设置的上晒框组件与另一下晒框组件，所述上晒框组件包括上晒框与驱动所述上晒框进行平移调整对位的上对位机构，所述下晒框组件包括下晒框、设于所述下晒框上的工件定位销以及驱动所述工件定位销进行平移调整对位的下对位机构，所述曝光区还设置有驱动所述上晒框组件升降的升降动力机构、位于所述上晒框组件上方的上对位CCD视觉组件以及位于所述下晒框组件下方的下对位CCD视觉组件，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间还设置有驱动两所述下晒框组件之间进行交替换位的下晒框动力组件。
2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述上晒框包括上晒框玻璃、环绕固定所述上晒框玻璃的上晒框边框以及对所述上晒框玻璃的下表面进行抽真空处理的若干第一真空气嘴，所述若干第一真空气嘴固设在所述上晒框玻璃上，所述下晒框包括下晒框玻璃、环绕固定所述下晒框玻璃的下晒框边框以及对所述下晒框玻璃的上表面进行抽真空处理的若干第二真空气嘴，所述若干第二真空气嘴固设在所述下晒框玻璃上。
3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述工件上下料区还设置有用于将待曝光工件由上一工位转移到所述下晒框组件上的上料机械手以及用于将已曝光工件由所述下晒框组件上转移到下一工位的下料机械手；所述上料机械手包括上料吸附抓手、驱动所述上料吸附抓手升降的上料升降机构以及驱动所述上料吸附抓手在所述上一工位与所述下晒框组件之间平移的上料平移机构；所述下料机械手包括下料吸附抓手、驱动所述下料吸附抓手升降的下料升降动力电机以及驱动所述下料吸附抓手在所述下晒框组件与所述下一工位之间平移的下料平移机构。
4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间的相接处上方设置有下菲林清洁滚筒，以对所述下晒框组件上的下菲林进行滚涂清洁。
5.如权利要求2所述的设备，其特征在于，一所述下晒框组件的所述下晒框边框的一侧还设置有上菲林清洁滚筒，以对所述上晒框组件上的上菲林进行滚涂清洁。
6.一种双面自动对位曝光的设备，其特征在于，所述设备包括工件上下料区与工件曝光区，所述工件上下料区设置有一下晒框组件，所述曝光区设置有上下相对设置的上晒框组件与另一下晒框组件，所述上晒框组件包括上晒框与驱动所述上晒框进行平移调整对位的上对位机构，所述下晒框组件包括下晒框以及设于所述下晒框上的工件定位销，所述工件上下料区还设置有用于将待曝光工件由上一工位准确转移到所述下晒框组件上的带下对位CCD视觉组件的上料机械手，所述曝光区还设置有驱动所述上晒框组件升降的升降动力机构以及位于所述上晒框组件上方的上对位CCD视觉组件，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间还设置有驱动两所述下晒框组件之间进行交替换位的下晒框动力组件。
7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述上晒框包括上晒框玻璃、环绕固定所述上晒框玻璃的上晒框边框以及对所述上晒框玻璃的下表面进行抽真空处理的若干第一真空气嘴，所述若干第一真空气嘴固设在所述上晒框玻璃上，所述下晒框包括下晒框玻璃、环绕固定所述下晒框玻璃的下晒框边框以及对所述下晒框玻璃的上表面进行抽真空处理的若干第二真空气嘴，所述若干第二真空气嘴固设在所述下晒框玻璃上。
8.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述工件上下料区还设置有用于将已曝光工件由所述下晒框组件上转移到下一工位的下料机械手；所述上料机械手还包括上料吸附抓手、驱动所述上料吸附抓手与所述下对位CCD视觉组件一起升降的上料升降机构以及驱动所述上料吸附抓手与所述下对位CCD视觉组件一起在所述上一工位与所述下晒框组件之间平移的上料平移机构；所述下料机械手包括下料吸附抓手、驱动所述下料吸附抓手升降的下料升降动力电机以及驱动所述下料吸附抓手在所述下晒框组件与所述下一工位之间平移的下料平移机构。
9.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述工件上下料区与所述工件曝光区之间的相接处上方设置有下菲林清洁滚筒，以对所述下晒框组件上的下菲林进行滚涂清洁；一所述下晒框组件的所述下晒框边框的一侧还设置有上菲林清洁滚筒，以对所述上晒框组件上的上菲林进行滚涂清洁。
10.一种双面自动对位曝光的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
通过一上晒框组件吸附固定一上菲林，通过两下晒框组件分别吸附固定一下菲林；
通过下晒框动力组件驱动两所述下晒框组件在工件上下料区与工件曝光区之间进行交替换位，以交替完成工件曝光前后的上下料操作及轮流与所述上晒框组件配合完成工件的双面对位曝光操作；
所述工件的双面对位曝光操作包括以下步骤：通过下对位CCD视觉组件与下对位机构或上料机械手配合完成所述工件与所述下菲林之间的对位操作；通过上对位CCD视觉组件与上对位机构配合完成所述上菲林与所述工件或所述下菲林之间的对位操作；通过升降动力机构驱动所述上晒框组件降落到所述下晒框组件处，以实现所述上菲林、所述工件与所述下菲林三者之间的真空贴合，并完成所述工件的双面曝光操作。
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