JPH0815867A - 精密両面露光装置および透光板の装着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】水平方向のフレームで精密露光が可能となり、
マスクの交換、位置合わせが容易で、マスクの形態に係
わりなく使用でき、大加重がかかるフレームでも透光板
が破損せず、装置の作動中の位置ズレの原因を防止で
き、かつ、大きな重量を有するフレームを操作性良く、
適切に作動させる露光装置を提供すること。 【構成】ワークを挟持する上下の透光板を着脱自在に備
える上下のフレームと、前記上下のフレームを真空吸着
するメイン吸着手段と、前記透光板の位置決めマークを
撮像する撮像手段と、前記下フレームの整合手段とから
なる露光装置において、前記上フレームは、水平方向に
突出した一方と他方の支持アームを備え、これら両支持
アームに、一方と他方の垂直作動機構を設け、かつ、前
記他方の支持アーム後方に前記他方の垂直作動機構を回
動支軸として上フレームを回動自在に作動させる回動作
動機構とを備えた精密両面露光装置として構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光化学反応を利用
し、ワークの一面あるいは両面を露光する露光装置に係
り、特に、精密な画像形成を必要とする、回路基板やケ
ミカルミーリングの露光に使用され、水平方向に上下の
フレームを配置した精密両面露光装置および透光板の装
着方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、光照射を行い精密なピッチの所
定パターンをワークに形成する露光装置は、マスクの位
置決め精度が重要な要素となる。したがって、露光作業
でマスクの撓みなどによる位置ズレが生じない構成にす
るため、一方と他方のフレームを縦方向に設置して露光
作業を行っているのが現状である。この場合のワーク
は、シート状に形成されており、一方のロールから他方
のロールに巻き取り搬送する、いわゆるロール、ツウ、
ロール方式で行われ大量処理されている。

【０００３】具体的には、縦型の露光装置は、一方と他
方のフレームが左右位置にあり、それらフレームのそれ
ぞれにガラス乾板に施した露光パターンを備えるマスク
が、支持爪により支持され取り付けられている。そし
て、それらマスクを挟持する左右のフレームは、露光精
度が数ミリミクロンの許容範囲にあるため、振動などに
影響されないように大重量で形成されている。さらに、
これらフレームを作動させる作動支持装置も大型化して
いる。

【０００４】一方、上記ほど精度を要求されないワーク
を露光する両面露光装置は、単体のワークが水平方向に
配設された上下のフレームで処理されている。この両面
露光装置の構成は、水平方向に設置した透光板を有する
上下のフレームと、これら上下のフレームから左右対称
に離間して設置した上下の反射鏡およびランプからなる
光源装置と、前記上下のフレームを水平方向に移動させ
る移動手段とからなる。

【０００５】したがって、この両面露光装置を使用する
場合は、移動手段により上下のフレームを引き出し、上
下のフレームの一辺側に設けた蝶番を回転軸として上フ
レームを回転方向に立ち上げ、上下の透光板を有するフ
レームを開口させる。そして、あらかじめマスクフィル
ムなどのマスクにワークを位置合わせした状態で挟持し
ておき、開口している上下のフレームの透光板にそのワ
ークをセットする。つぎに、上フレームを蝶番を回転軸
として回転方向に降下して上下のフレームを当接させ、
上下の透光板の間に、ワークをマスクごと保持する。そ
の後、真空吸引作業を行うことで、上下の透光板の間の
マスク及びワークを固定し、その状態で、移動手段によ
り露光位置に搬送して露光を行っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の露光装
置は、以下のような問題点を有していた。 マスクが垂直型の露光装置は、フレームが立て方向
に設置されているため、マスクの位置合わせが困難で、
マスクの種類を変更した場合、マスクの位置合わせに多
くの労力がかかり、長時間を費やしていた。また、一枚
ごとに形成されたワークの露光作業が極めて困難であ
り、多数枚を処理することは、ワーク搬送装置の改良な
どを必要とし、装置の複雑化、装置の大型化を伴った。

【０００７】 水平方向にフレームを設置する両面露
光装置は、あらかじめ、マスクとワークを位置合わせし
たものを上下のフレームに挟持させているため、ワーク
ごとにマスクが必要になり、露光装置以外に位置決め装
置が別に必要になった。また、ワークごとにマスクが必
要になることから、ワークに形成されるパターンの位置
ズレが発生した。さらに、回動状態にフレームが移動す
る場合、フレームにマスクが装着していたとしても、位
置合わせ作業が困難で正確な位置決めが達成できなかっ
た。

【０００８】 したがって、精密な位置合わせが要求
され、かつ、ワークの形態に囚われることなく操作性が
良く、また、ワークが単体（枚葉）の際、自動、手動の
操作が兼用できる露光装置が望まれていた。

【０００９】この発明は、上記の問題点に鑑み創案され
たものであり、水平方向のフレームとした両面露光装置
の構成でも精密露光が可能となり、マスクの交換、位置
合わせが容易で、マスクの形態に係わりなく使用するこ
とができ、さらに、大加重がかかるフレームであっても
透光板が破損することなく、装置の作動中の位置ズレの
原因を防止でき、かつ、大きな重量を有するフレームを
操作性良く、適切に作動させる露光装置を提供すること
をこの発明の目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、ワークを挟持する上下の透光板と、こ
れら上下の透光板を着脱自在に保持する上下の枠状のフ
レームと、これら上下のフレームを真空吸着するメイン
吸着手段と、前記透光板の所定位置に設けた位置決めマ
ークを撮像する撮像手段と、前記下フレーム側に設けた
移動位置決め用の整合手段とからなり、前記撮像手段に
より検出した位置決めマークのズレ量を、整合手段を作
動させ下フレームを整合し、前記ワークを紫外線照射し
て露光作業を行う画像形成用露光装置において、前記上
フレームは、水平方向に突出した一方と他方の支持アー
ムを備え、これら両支持アームに、一方と他方の垂直作
動機構を設け、かつ、前記他方の支持アーム後方に前記
他方の垂直作動機構を回動支軸として上フレームを回動
自在に作動させる回動作動機構とを備えたことを特徴と
する精密両面露光装置として構成した。

【００１１】また、前記下フレームは、その保持してい
る透光板の下部に密閉板を備え、前記透光板と、下フレ
ームの内側部分および密閉板で囲繞する空間内の気圧を
調整する調整機構を備えた構成としている。

【００１２】また、前記一方の垂直作動機構は、上フレ
ームの一方の支持アーム側に設けた凸部と、この凸部の
降下位置に設けた当接部と、この当接部の駆動部とから
構成され、前記他方の垂直作動手段は、他方の支持アー
ム側を回動自在に支持する回動支持部と、この回動支持
部を支持する押動ロッドと、この押動ロッドをガイドす
る支持ガイドと、前記押動ロッドを上下動させる駆動装
置とから構成した。

【００１３】なお、前記駆動装置は、押動ロッドを支持
するレバーアームと、このレバーアームを回動自在に支
持する回動支持脚と、前記レバーアームの他端を押動さ
せる押動シリンダとから構成したものでも構わない。

【００１４】さらに、前記一方の垂直作動機構は、前記
上フレームの一方の支持アームに設けた凸部が、回転可
能な車輪で構成され、前記当接部は、傾斜面を備えるス
ライダ本体から構成され、前記スライダ本体を水平方向
に駆動する駆動部を有する構成としても構わない。

【００１５】また、前記上フレームは、水平方向の一方
側に離間してに突出する一対の位置決めアームを有し、
この位置決めアームの対応位置に各位置決めアームの受
取凹部を備え、前記位置決めアームは嵌合凸部を備え、
前記受取凹部は、前記位置決めアームの嵌合凸部を嵌合
支持する支持部を備える構成としても良い。

【００１６】前記上下のフレームは、それらフレームの
少なくとも一方で透光板周辺に設けた透光板の過剰加圧
防止手段を備え、前記過剰加圧防止手段は、上下の透光
板の厚みより高く、かつ、上下のフレームのメイン吸着
手段より低く設定した構成としている。

【００１７】なお、前記上フレームは、その外側面に透
光板の落下防止機構を備えた構成としても良く。その透
光板の落下防止機構は、透光板に当接離間自在に設けた
支持片と、この支持片を回動自在に保持する保持部と、
前記支持辺を作動させる作動アームと、この作動アーム
を駆動する駆動機構とからなる構成としている。

【００１８】また、上下のフレームは、それぞれの枠内
周側に設けた固定部と、この固定部に設けたスライド部
と、このスライド部に設けた吸着部と、この吸着部をそ
れぞれの透光板側に付勢する付勢部とから構成される補
助吸着機構を備える構成としても構わない。

【００１９】上下の透光板の装着方法としては、下フレ
ームの上に透光板を載置し、下フレームの保持手段によ
り透光板を保持し、その透光板の上に透明保護シートを
載置する第１工程と、前記透光板の位置決めマークに合
わせて、撮像手段の位置を移動させ、この撮像手段に設
けている平行光線照射手段から平行光を照射する第２工
程と、前記平行光線に上側の透光板の位置決めマークを
合わせ、透明保護シートを介して下側の透光板上に上側
の透光板を設置する第３工程と、上フレームを上側の透
光板に当接させ、上フレームの保持手段により上側の透
光板を保持する第４工程からなる。

【００２０】透光板の位置決め方法としては、メイン吸
着手段により真空吸着して当接させた上下の透光板の位
置決めマークを撮像手段により撮像し、位置決めマーク
の位置を撮像手段により検出し、位置ズレ量を演算する
第１工程と、上フレームを垂直上昇させ、上下の透光板
を離間させる第２工程と、前記下フレームを整合手段を
介して前記検出した位置ズレ量を整合する第３工程と、
前記垂直上昇させた上フレームを降下させ、上下のフレ
ームの各透光板をメイン吸着手段により真空吸着して当
接保持し、撮像手段により各透光板の位置決めマークの
位置ズレを検出する第４工程からなる。

【００２１】

【作用】この発明は上記のように構成したので以下のよ
うな作用を有している。 (1) 精密両面露光装置は、上フレームが一方と他方の垂
直作動機構により垂直方向に一旦上昇させられ、その
後、他方の垂直作動機構を回動支軸として回動作動機構
が作動すると、上フレームは回動して開放する。そのた
め、下フレームから上フレームを大きく離間させること
ができる。したがって、上下の透光板の位置決めマーク
を撮像手段により撮像し、下フレームの移動整合が必要
な場合は、垂直作動機構により一旦上フレームを垂直上
昇させその状態で、下フレームを移動整合機構を介して
下フレームを移動整合することができる。

【００２２】(2) 前記一方の垂直作動機構は、上フレー
ムの一方の支持アームの凸部に当接している当接部を、
駆動部の駆動により垂直方向に駆動させる。と共に、こ
の一方の垂直作動機構の作動と同期して他方の垂直作動
機構の駆動装置を作動させ、押動ロッドを支持ガイドに
沿って上昇させ、回動支持部が支持している上フレーム
の他方の支持アームを上昇させる。そのため、上フレー
ムは、垂直方向に上昇作動する。

【００２３】(3) 下フレームの下部側には、密閉板を備
え、この密閉板、透光板および下フレームの内側部分で
囲繞される気密室内の気圧を調整機構により調整するこ
とができる。そのため、下フレームに保持される透光板
が自重などで撓んでも、気密室内の気圧を調整すること
で透光板の撓みを回避することが可能となる。

【００２４】(4) 前記他方の垂直作動手段の駆動装置
は、その押動シリンダが、レバーアームの他端を押動す
ると、回動支持脚を支軸としてレバーアームが回動し、
レバーアームの一端に支持している押動ロッドを上昇さ
せる。なお、前記レバーアームは、回動支持されている
回動支持脚の位置を、押動ロッド側に近づけることで、
回動支持脚から押動ロッドまでの距離に反比例し、レバ
ーアームの押動力を少なくすることができる。

【００２５】(5) 前記一方の垂直作動手段は、支持アー
ムに設けた凸部を回転可能な車輪で構成し、この車輪に
当接する当接部を傾斜面を有するスライダ本体としてい
る。そのため、駆動部により水平方向に作動されたスラ
イダ本体は、その傾斜面で移動下端にある前記車輪を垂
直方向に押し上げる。 (6) 前記上フレームは、支持アームの他に、離間して一
対の位置決めアームを有し、上フレームの移動下端で、
前記位置決めアームの嵌合凸部が、受取凹部の支持部に
より嵌合支持される。そのため、位置決めアームは、常
に一定の位置に到来する。

【００２６】(7) 上下のフレームは透光板の周辺に、透
光板の過剰加圧防止手段を設け、この過剰加圧防止手段
を、上下の透光板の厚みより高く、かつ、上下のフレー
ムの吸着手段より低くなるように設けているため、上フ
レームの重量および、吸着手段による圧力が必要以上に
かかった場合、過剰加圧防止手段が、上下のフレーム間
に介在して、その圧力を支持する。 (8) 上フレームは、垂直上昇した後、下フレームから離
間するように回動作動すると、落下防止機構の駆動機構
が作動する。そのため、押動アームが押動して保持部に
保持されている支持片を回動させ、支持片を透光板の下
面縁部に沿って当接させる。

【００２７】(9) 上下のフレームは、その内側周面に、
設けた固定部にスライド部を介して補助吸着部を備えて
いる。そのため、それぞれのフレームが真空吸着してい
る透光板は、上下のフレームが真空吸着することで、離
間する方向に移動しても、前記補助吸着部が、スライド
部に沿って上下動することで、それぞれのフレームから
透光板が分離、位置ズレすることを防止している。な
お、前記吸着部は、付勢部により常に透光板側に付勢さ
れている。

【００２８】(10) 下フレームの上に下側の透光板を載
置し、下フレームの保持手段により透光板を保持した
後、透明保護シートをその透光板上に載置する。そし
て、透光板の位置決めマークに合わせて撮像手段の位置
を移動させ、この撮像手段にもうけている平行光照射手
段から平行光を照射する。次に、上側の透光板を透明保
護シートを介して下側の透光板上に載置し、前記平行光
の中心に上側透光板の位置決めマークの中心を合わせ
る。そして、上フレームを降下させ、上側の透光板を上
フレームに装着している。

【００２９】(11) メイン吸着手段により真空吸着して
当接した透光板は、上下の透光板の位置決めマークの位
置が合っていない場合は、一旦、上側フレームを垂直作
動機構により垂直上昇させる。そして、下側フレームを
整合手段を介して位置ズレを整合し、再び、垂直上昇し
た上フレームを降下し上下の透光板をメイン吸着手段に
より真空吸着して当接することで、撮像手段で位置合わ
せの確認ができる。 (12) 下フレームの第１から第３の側壁に設けた回転輪
を押動機構の傾斜面押動部で押動し、転動支軸上の下フ
レームを水平方向に移動する。そのため、整合手段が、
下フレームの側壁側に設けられることで、ワーク両面の
露光が支障なく行える。

【００３０】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１は、精密両面露光装置の全体を表わす一部
断面を示す側面図、第２図は、上下のフレームを示す側
面図、図３は、下フレームの平面図、図４は、上フレー
ムを示す平面図、図５は、他方の垂直上昇機構の一部を
示す背面図である。

【００３１】図１で示すように、精密両面露光装置１
は、基台１０と、この基台１０上に支持した載置台１１
と、この載置台１１上に水平方向に移動自在に設けた下
フレーム３と、この下フレーム３に当接離間自在に設け
た上フレーム２とを備えている。さらに、前記上フレー
ム２は、一方と他方の垂直作動機構４、５により一端上
昇させられ、その上昇移動端から回動作動機構１２によ
り大きく回動離間させられる構成としている。

【００３２】図２および図３で示すように、前記下フレ
ーム３は、中央側が開口した枠状に形成されており、上
下のフレーム２、３のメイン吸着手段と、下透光板３ｇ
の過剰加圧防止手段３ｂと、下透光板３ｇの吸着手段
と、下透光板３ｇの載置手段３ｃなどを備えている。図
２および図３で示すように、前記メイン吸着手段は、下
フレーム３の周縁にシールゴム３ａを周設し、そのシー
ルゴム３ａの内側に吸着用穴３ｊを複数設けている。そ
して、前記過剰加圧防止手段３ｂは、シールゴム３ａの
内側に沿って点在して複数設けられている。この過剰加
圧防止手段３ｂは、上下のフレーム２、３に着脱自在に
取り付けられる上下の透光板２ｇ，３ｇの設置高さより
高く、かつ、前記シールゴム３ａの高さ寸法より低くな
るように設定されている。

【００３３】したがって、上フレーム２が下フレーム３
と当接し、かつ、真空吸引されて、大きな圧力がかかっ
ても、その負荷を過剰加圧防止手段３ｂが支えるため、
一定以上の圧力がかかることが無く、上下の透光板２
ｇ，３ｇは、破壊を防止することができる。さらに、上
下のフレーム２、３が当接離間を繰り返しても、シール
ゴム３ａが、圧力により潰れて早期劣化することはな
い。

【００３４】図２および図３で示すように、過剰加圧防
止手段３ｂの内側位置には、下透光板３ｇの載置手段３
ｃが設けられている。この載置手段３ｃは、段状に形成
した支持部に下透光板３ｇを載置支持し、この支持部が
上下動自在に作動するように構成されている。また、前
記載置手段３ｃの内側位置には、下透光板３ｇの吸着手
段である透光板用吸着ゴム３ｄ、３ｄおよび、真空吸引
用溝３ｅとが設けられている。

【００３５】したがって、下透光板３ｇを下フレーム３
に装着する場合は、はじめに、すべての載置手段３ｃの
支持部を上昇させておき、この支持部に下透光板３ｇを
載せる。そして、支持部を降下させることで、下フレー
ム３上に下透光板３ｇを載置する。その後、吸着手段に
より下フレーム３に下透光板３ｇを真空吸着する。前記
載置手段３ｃは、この載置手段３ｃが無い場合と比較す
ると、常に機械的に下透光板３ｇを適正な設置位置近傍
に載置できるため、下透光板３ｇを下フレーム３に載置
した後の作業能率を高めることができる。また、手指で
載置する場合に比べ、下透光板３ｇを誤って落下させる
要因を減少できる。

【００３６】さらに、図３で示すように、下フレーム３
の三方の側壁（第１ないし第３側壁）には、回転輪３ｆ
が設けられており、この回転輪３ｆは、回転軸を垂直に
設けて回転輪３ｆが水平方向に回動できるように構成さ
れている。そして、これら回転輪３ｆは、少なくともそ
の一部が下フレーム３の側壁面より突出するように設け
られている。なお、下フレーム３の重量は上フレーム２
との兼ね合いにもよるが、１００キログラムを越える重
量に構成され、とりわけ、１２０〜１４０キログラムの
範囲で構成されると都合が良い。

【００３７】上記した構成の下フレーム３は、図２で示
すように、その底面側を載置台１１上に設けられた複数
の転動支持脚３ｈに支持されている。この転動支持脚３
ｈは、球状部材が固定脚部に転動自在に取り付けられて
おり、下フレーム３が、その転動支持脚３ｈ上を水平方
向に移動できるように構成されている。

【００３８】また、図３で示すように、下フレーム３の
各回転輪３ｆに対応する位置で、各回転輪３ｆを押動す
る押動機構７、７、７が載置台１１に設けられている。
そして、これら押動機構７、７、７の反押動方向に下フ
レームを付勢する弾性部材としてのスプリング部材７ａ
を固定手段を介して載置台１１に設けている。したがっ
て、押動機構７、７、７が回転方向に下フレーム３を付
勢し、スプリング部材７ａが反回転方向に下フレーム３
を付勢することで、下フレーム３を制御し所定位置に停
止維持する構成としている。もちろん、それぞれの押動
機構７を作動することで、下フレーム３を所望位置に移
動できる構成としている。

【００３９】図３で示すように、前記押動機構７の構成
は、駆動モータ７ｂと、この駆動モータ７ｂの駆動力を
減速機構などを介して伝達するスクリューシャフト７ｃ
と、このスクリューシャフト７ｃの回転により駆動する
傾斜面を有する傾斜面押動部７ｄと、各センサ（原点セ
ンサ、原点センサ用遮光板・リニア原点センサ、右限セ
ンサ、左限センサ、など）７ｅ，７ｅなどとからなる。
したがって、押動機構７は、傾斜面押動部７ｄの微小送
りが可能となり、回転輪３ｆを押動方向に微小に（数μ
ｍ単位）押し動かすことで下フレーム３を微小に移動す
ることが可能である。

【００４０】また、図３で示すように、載置台１１で、
下フレーム３の前部側の両端側位置には、受取凹部６、
６が設けられ、これら受取凹部６、６の間には、一方の
垂直作動機構５の駆動部５ａなどが設けられている。前
記受取凹部６、６は、それぞれ３ヵ所に回転ローラ６ａ
を備えており、この回転ローラ６ａの位置は、円の中心
点に向かって等角度（１２０度）位置になるように、回
転方向を向けて設置している。なお、前記受取凹部６、
６は、後述する上フレーム２の位置決めアーム２ｂ₁ 、
２ｂ₁ に設けた嵌合凸部２ｈ，２ｈの対応する位置に設
けられている。

【００４１】一方、図３で示すように、前記一方の垂直
作動機構５の駆動部分は、駆動モータ５ａと、この駆動
モータ５ａからの駆動力を伝達するシャフト５ｂと、こ
のシャフト５ｂの作動により前後に移動する傾斜面を上
向きに有するスライド本体５ｃと、このスライダ本体５
ｃのスライドガイド５ｄとから構成されている。なお、
前記垂直作動機構５の駆動部分は、上フレーム２の一方
の支持アーム２ｂに設けた車輪２ｄの移動下端が位置
（図８参照）に対応して設けられている。

【００４２】また、図２で示す符号１４は、下透光板３
ｇが撓むことを防ぐために、気密室１７を形成する透光
部材で形成された密閉板である。この気密室１７は、下
透光板３ｇ，下フレーム３および密閉板１４で囲繞され
る空間で構成されている。そして、この気密室１７内の
気圧は、コンプレッサなどの気圧調整手段１８（図１０
参照）を適宜調整させることで可変できる構成としてい
る。

【００４３】つぎに、図２および図４に基づいて上フレ
ーム２の構成を説明する。上フレーム２は、図４で示す
ように、中央側が開口した枠状に形成され、水平方向に
突出する一方の支持アーム２ｂおよび、他方の支持アー
ム２ｃ、２ｃと、前記一方の支持アーム２ｂ側に突出す
る位置決めアーム２ｂ₁ ，２ｂ₁ とを備えている。そし
て、図２で示すように、上フレーム２の内側平面部分に
は、上側透光板２ｇの真空吸着手段としてのシールゴム
２ｆ、２ｆおよび真空用溝２ｅを周設している。また、
上フレーム２の周側面部には、透光板２ｇの落下防止機
構２ａを複数（図面では３ヵ所）備えている。なお、上
フレーム２の重量は、１００キログラムを越える重量に
構成され、下フレーム３の重量にもよるが、１１５〜１
３５キログラムの範囲が望ましく、下フレーム３を１３
０キログラムにした場合、１２５キログラムにすると都
合がよい。

【００４４】図２および図４で示すように、前記支持ア
ーム２ｂは、上フレーム２の前方側中央から水平方向に
突出するように設けられており、この支持アーム２ｂ
は、その支持アーム２ｂから下方に向かって設けた回転
車輪２ｄを設けている。そして、前記回転車輪２ｄは、
垂直方向に正逆回転自在に支持されている。図２および
図４で示すように、前記位置決めアーム２ｂ₁ 、２ｂ₁
は、上フレーム２の前方両端部に水平方向に突出して設
けられており、それぞれ嵌合凸部２ｈ，２ｈを備えてい
る。この嵌合凸部２ｈは、前記した受取凹部６に着脱自
在に支持される構成としている。なお、前記嵌合凸部２
ｈは、受取凹部６の回転ローラ６ａ、６ａ，６ａに嵌合
される部分が、円筒形をしているが、平面であってもよ
い（この場合は三角柱になる）。

【００４５】一方、図２および図４で示すように、上側
の透光板２ｇの落下防止機構２ａは、上フレームの周側
面に設けられており、透光板２ｇに当接離間可能に設け
た支持片２ａ₁ と、この支持片２ａ₁ を透光板２ｇに当
接する方向に回転支持する保持部２ａ₂ と、前記支持片
２ａ₁ を保持部２ａ₂ に沿って移動させる作動アーム２
ａ₃ と、この作動アーム２ａ₃ を押動するシリンダなど
の駆動機構２ａ₄ とから構成されている。そして、前記
落下防止機構２ａは、上フレーム２が所定距離下フレー
ム３から離間すると、作動する構成としている。したが
って、落下防止機構２ａが作動すると、図４の仮想線の
位置から破線の位置に、支持片２ａ₁ が移動して、上透
光板２ｇの周端部側を支持する構成としている。

【００４６】つぎに、上フレーム２を作動させる他方の
垂直作動機構４の構成について説明する。図５で示すよ
うに、上フレーム２の他方の垂直作動装置４は、前記上
フレーム２の他方の支持アーム２ｃ，２ｃの後方近傍に
回動自在に支持するリニア軸受４ａ、４ａと、このリニ
ア軸受４ａ，４ａを上下方向に押動する押動ロッド４
ｃ，４ｃを備えるリニアガイド４ｂ，４ｂと、このリニ
アガイド４ｂ、４ｂの押動ロッド４ｃ，４ｃの一端を支
持するレバーアーム４ｄ，４ｄと、このレバーアーム４
ｄ，４ｄを回動支持する回動支持脚４ｅ，４ｅと、前記
レバーアーム４ｄ，４ｄの一端側を回動自在に支持し押
動する支持押動部４ｆと、前記支持押動部４ｆを上下動
させる押動シリンダ４ｇから構成されている。なお、前
記リニア軸受４ａは、図５で示すように、外輪側を支持
アーム２ｃに固定し、回動する内側輪に設けた固定軸を
コ字形の支持部材４ｊに支持している。また、前記レバ
ーアーム４ｄ，４ｄは、その作動の振動などを吸収する
バランサー４ｈ、４ｈを備えている。

【００４７】したがって、支持押動部４ｆがレバーアー
ム４ｄの一端を押動させると、レバーアーム４ｄは、支
持脚４ｅの回動支軸を支点として回動する。そのため、
レバーアーム４ｄの他端に支持されているリニアガイド
４ｂの押動ロッド４ｃを押し上げ、リニア軸受４ａ，４
ａに支持されている他方の支持アーム２ｃ，２ｃを上昇
させ後方側で上フレーム２を垂直上昇させる。

【００４８】一方、前記他方の垂直作動機構４の作動と
同期して前記載置台１１に設けた一方の垂直作動機構５
の駆動部５ａを作動させている。そのため、スライダ本
体５ｃは、スライドガイド５ｄに沿って水平方向に移動
し、上フレーム２に設けた車輪２ｄを垂直方向に上昇さ
せる（図８参照）。これら一方と他方の垂直作動機構
４、５の両方を同期して作動させることで、上フレーム
２を一旦垂直方向に平行に上昇作動させている。なお、
図２や、図８（ｂ）では、分かりやすいように、上昇幅
を極端に大きく記載している。この上フレームの上昇幅
は、下透光板３ｇが、移動する際に、上透光板２ｇに接
触して、露光パターンを破壊しないだけの上昇幅が有れ
ば十分である。

【００４９】そして、上フレーム２は、一旦垂直上昇し
た後は、前記リニア軸受け４ａを回動支点として、回動
作動機構１２により、回動方向に移動できる構成として
いる。前記回動作動機構１２は、シリンダ装置を使用
し、基台１０の後部に所定角度に傾斜してシリンダ筒１
２ｂが固定されており、前記上フレーム２の他方の支持
アーム２ｃの後部に、ピストンロッド１２ａ先端を回動
自在に取り付けている。

【００５０】したがって、上フレーム２を回動方向に作
動させる場合は、一方と他方の垂直作動機構４、５で一
旦上フレーム２を垂直方向に上昇させた後、回動作動機
構１２のピストンロッド１２、１２をシリンダ筒１２
ｂ、１２ｂ内に埋没する方向に作動させると、他方の垂
直作動機構４のリニア軸受け４ａ、４ａが、他方の支持
アーム２ｃ，２ｃに回動自在に支持されているため、こ
のリニア軸受け４ａ、４ａを回動軸として、開口する方
向に作動する。

【００５１】つぎに、図１で示すように、上下の透光板
２ｇ、３ｇの位置合わせ作業を行う撮像手段９は、画像
撮像用のＣＣＤカメラ９ａと、このＣＣＤカメラ９ａを
水平方向の一方に移動させるＸ駆動部９ｂと、このＸ駆
動部９ｂの駆動方向に直交する方向に前記ＣＣＤカメラ
９ａを移動させるＹ駆動部９ｃと、前記ＣＣＤカメラ９
ａを垂直軸線方向に移動するＺ駆動部９ｄとから構成さ
れている。そして、前記ＣＣＤカメラ９ａには、レーザ
ー光発振装置が内蔵されており、ＣＣＤカメラ９ａから
平行光としてのレーザー光が照射される構成としてい
る。

【００５２】なお、図１０で示すように、撮像手段９、
９で撮像した画像は、ＴＶモニタカメラ１６、１６に写
し出されると共に、送られてきた位置決め情報を制御機
構１５に送り処理している。この制御機構１５の構成
は、位置決め情報の画像処理部１５ｃと、この画像処理
部１５ｃで処理した情報を受け取りパルスの発生を制御
するパルス発生制御部１５ｂと、このパルス発生制御部
１５ｂから送られてくる信号を受け取り、各押動機構を
作動させるモータ駆動部１５ａとからなる。

【００５３】なお、図１で示すように、ワークＷから上
下対称位置に設置されている光源装置８、８は、紫外線
照射ランプおよび反射鏡を備えており、上側の光源装置
８は、必要に応じてスライドして移動できる構成として
いる。なお、図面では、上下に光源装置８，８を配置し
た構成としているが、図４で示す回動作動手段１２、１
２の間位置に一方のみの光源装置を配置して、平面反射
鏡、凹面鏡（放物面、楕円面、円に近い楕円）を必要に
応じて複数設置することで、光源からの光を反射して導
き、ワークの両面を露光する構成としても構わない。

【００５４】また、上下の透光板２ｇ，３ｇは、上下の
フレーム２、３との吸着状態を確実にするため、図９で
示すように、補助吸着機構１３を取り付ける構成とする
ことで、さらに上下の透光板２ｇ、３ｇの位置決めを状
態を正確に維持することができるものである。この補助
吸着機構１３は、各フレーム２、３の内周縁部に設けた
固定部１３ａと、この固定部１３ａの一端に設けたスラ
イド部１３ｃと、このスライド部１３ｃに設けた吸着部
１３ｂと、この吸着部１３ｂを透光板２ｇ（３ｇ）側に
付勢する付勢部１３ｅとから構成され、前記吸着部１３
ｂは、真空吸着用の吸着溝１３ｄを形成している。

【００５５】つぎに、上下のフレーム２、３に、上下の
透光板２ｇ，３ｇを装着する装着作業に付いて説明す
る。図６（ａ）で示すように、露光パターンが形成され
たマスクである下透光板３ｇを下フレーム３の上に載置
する。下透光板３ｇの所定位置には、位置決めマーク３
０ａ、３０ａが設けられている。この位置決めマーク３
０ａ、３０ａは、中抜きの十字型に形成されている。な
お、下透光板３ｇを下フレーム３に載置する場合、図２
で示すように、下透光板３ｇの透光板載置手段３ｃの載
置部分を上昇させて置き、この載置部分に下透光板３ｇ
を乗せ、載置部分を降下することで、下透光板３ｇを下
フレーム３に載置し、吸着手段（３ｄ，３ｅ）により、
下フレーム上に真空吸着保持する。

【００５６】つぎに、図６（ａ）で示すように、ＣＣＤ
カメラ９ａの中央が、下透光板３ｇの位置決めマーク３
０ａ、３０ａの中心になるように、各駆動部９ｂ，９
ｃ、９ｄなどを駆動させ撮像手段９を移動してＣＣＤカ
メラ９ａ，９ａの位置合わせを行う。図６（ｂ）で示す
ように、透明保護シート２５を下透光板３ｇの上に載置
する。この透明保護シート２５は、上下の透光板２ｇ，
３ｇに形成された露光パターンが破壊されないための保
護手段であり、下透光板３ｇの位置決めマーク３０ａ，
３０ａの周辺は切り抜かれるか、保護シート２５が介在
しない状態に構成されている。その後、露光パターンが
形成されたマスクである上透光板２ｇを、下透光板３ｇ
上に重ねて置く。この時、撮像手段９、９に設けられて
いる平行光線照射手段から平行光としてのレーザ光線を
照射する。

【００５７】一方、図６（ｂ）で示すように、上透光板
２ｇは、所定位置に位置決めマーク２０ａ，２０ａが設
けられている。そして、この位置決めマーク２０ａ，２
０ａは、下透光板３ｇの位置決めマークである中抜き十
字型内に収まる十字型をしている。そのため、前記レー
ザー光を目印に、位置決めマーク２０ａ、２０ａの中心
が、レーザー光の位置になるように手指で上フレーム２
を移動して仮位置決めしながら上フレーム２を下透光板
３ｇ上に設置する。このとき、位置決めマークの合わせ
は、ＴＶモニタカメラ１６、１６（図１０参照）に拡大
して写し出された映像を見て行う。

【００５８】そして、回動作動機構１２および一方と他
方の垂直作動機構４、５の駆動により上フレーム２を降
下させ、上フレーム２に当接させると共に、上フレーム
２側の真空吸着手段（２ｅ，２ｆ）により上透光板２ｇ
を真空吸着する（図６（ｃ））。その後、一方と他方の
垂直作動機構４、５おびよび回動作動機構１２などを作
動させ、上フレーム２を上昇させる。そして、上下の透
光板２ｇ，３ｇ間に挟まっていた透明保護シート２５を
取り除くことで、上下の透光板２ｇ、３ｇの装着作業を
終了する（図６（ｄ））。

【００５９】なお、上記した位置決めマーク２０ａ、３
０ａは、中抜きと、その中抜き内におさまる相似形状と
して構成すれば、正確な位置合わせができることから、
多角形の中抜き形および、その多角形の中抜き形内に収
まる相似形とすることや、星型などの中抜きおよび、そ
の中抜きに収まる形状としても構わない。

【００６０】つぎに、上下の透光板２ｇ、３ｇの整合作
業（アライメント作業）を説明する。図７（ａ）（ｂ）
（ｃ）で示すように、下フレーム３に装着された下透光
板３ｇは、自重で撓むため、その撓みを矯正する必要が
ある。したがって、あらかじめ、気密室１７内の圧力を
加圧しておき、下透光板３ｇの撓みを矯正している。こ
の圧力の加圧量は、上下の透光板２ｇ，３ｇを真空密着
した状態で、上フレームにストレッチャーを載せ、デプ
スゲージで下透光板３ｇの中央と周辺の深さの値が一致
する圧力を気密室１７内に封入し、その圧力を前記撓み
矯正圧力として測定している。そのため、気密室１７の
圧力を調整して下透光板３ｇが水平状態になるようにで
きるものである。なお、露光によるマスクの伸びの原因
でマスクの撓みに対しては、マスクに冷風を順次吹き付
けるなどの手段をとることで、表面温度を常に一定に保
ち解決することが可能となる。

【００６１】気密室１７の圧力調整の後、図７（ａ）で
示すように、メイン吸着手段（３ａ，３ｊ）により真空
吸着することで、上下の透光板２ｇ，３ｇを当接し、撮
像手段９で両位置決めマーク２０ａ、３０ａを撮像し、
両マークの整合距離を判断する。このとき、図６（ｂ）
で示す各位置決めマーク２０ａ，３０ａのスペースｓｐ
が、あらかじめ一定でない場合は（図７（ａ））、位置
決め作業を行う。

【００６２】図７（ｂ）で示すように、位置決め作業は
一方と他方の垂直作動機構４、５を作動させ、上フレー
ム２を垂直上昇させた状態で行う。下フレーム３は、転
動支持脚３ｈの上に載っているため、各押動機構７の傾
斜面押動部７ｄを作動させることで、下フレーム３のス
ライダ用回転輪３ｆを押動し、スプリング部７ａの付勢
力に抗して所望位置に下フレーム３を移動させることが
できる。

【００６３】この整合作業は、図１０で示すように、上
下のフレーム２、３のメイン吸着手段（３ａ，３ｊ）に
より真空吸着して当接した上下の透光板２ｇ、３ｇは、
その位置決めマーク２０ａ，３０ａが撮像手段９、９で
撮像され、その位置決めマーク２０ａ，３０ａの位置情
報が、制御機構１５の画像処理部１５ｃで処理され、位
置ズレ量が算出される。そして、各押動機構７の傾斜面
押動部７ｄの適切移動量が演算され、パルス発生制御部
１５ｂからモータ駆動部１５ａを介して、押動機構７の
駆動モータ７ｂを作動させ、下フレーム３を移動して整
合作業を行っている。なお、下フレーム３を移動整合す
る場合は、上下のフレーム２、３の真空吸着が解除さ
れ、一方と他方の垂直作動機構４、５により上フレーム
２が、垂直上昇した状態で行われる。整合作業を行った
後に、メイン吸着手段（３ａ，３ｊ）により上下の透光
板２ｇ，３ｇを再び真空吸着して当接した状態で、撮像
手段９により確認し、整合作業を終了する。ここで位置
ズレが有る場合は、上記作業を再び繰り返すことにな
る。

【００６４】つぎに、精密両面露光装置１の使用手順を
図面に基づいて説明する。はじめに、上記したように、
ワークに合わせて所定パターンが施された上下の透光板
２ｇ，３ｇを上下のフレームに装着する。そして、上下
の透光板２ｇ，３ｇの各位置決めマーク２０ａ，２０
ａ、３０ａ，３０ａの位置合わせを撮像手段９、９およ
び整合手段７等を介して行う。

【００６５】その後、ワークＷの露光作業を行うことに
なる。はじめに、ワークＷが、一枚ごとの単体である場
合は、図８（ａ）の仮想線で示すように上フレームを開
放した状態で、ワークＷを下透光板３ｇの所定位置に載
置する。そして、上フレーム２を回動作動機構１２を駆
動して仮想線から実線の位置まで降下させ、回動作動機
構１２の移動下端である上下のフレーム２、３（透光板
２ｇ，３ｇ）の水平平行位置にする。

【００６６】図８（ｂ）で示すように、水平平行位置に
ある上下のフレーム２、３は、一方と他方の垂直作動機
構４、５の作動により、上フレーム２が降下し、上下の
透光板２ｇ，３ｇがワークＷに当接する（仮想線の位置
から実線の位置）。そして、下フレーム３に備えている
シールゴム３ａから内側を、吸引用穴３ｊから真空吸引
することで、上下の透光板２ｇ，３ｇにワークＷを真空
吸着させる。ワークＷが固定されると、上下の光源装置
８、８（図１参照）から紫外線が照射され、ワークＷが
露光される。なお、上フレーム２は、垂直状態から垂直
降下して下フレーム３に当接する際、上フレーム２は重
量があるため、自重で垂直降下する構成としても構わな
い。自重で垂直降下する場合は、他方の垂直作動機構４
のリニアガイド４ｂに沿って降下する構成とする。

【００６７】図８（ｃ）で示すように、紫外線露光が終
了すると、上下のフレーム２、３の真空吸引を解除し、
一方と他方の垂直作動機構４、５の作動により、上フレ
ーム２を垂直上昇させる（仮想線で示す）と共に、回動
作動機構１２の作動により、他方の垂直作動機構４のリ
ニア軸受４ａを回動支軸として回動方向に開放する。そ
して、ワークＷを取り出し、再び次のワークＷを設置し
て露光作業を繰り返す。上フレーム２が上方に回動する
場合は、図１で示すように、上側の光源装置８は、スラ
イドして移動するように構成されている。

【００６８】なお、上記した図８（ｂ）で示すように、
上下のフレーム２、３がメイン真空吸着すると、上下の
フレーム２、３が吸引保持している上下の透光板２ｇ，
３ｇの吸引力が負けて透光板２ｇ，３ｇが、上下のフレ
ーム２、３から離間する方向に引っ張られる場合があ
る。そのため、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）で示すように、
上下のフレーム２、３の内周側位置に補助吸引機構１３
をそれぞれ備える構成とすることが望ましい。

【００６９】前記補助吸着機構１３は、図９で示すよう
に、上下のフレーム２、３の内周側にネジなどで固定し
た固定支持部１３ａと、この固定支持部１３ａの一端側
にスライド部材１３ｃを介して上下動自在に設けた吸着
部１３ｂと、この吸着部１３ｂを常に透光板２ｇ，３ｇ
に付勢するスプリング１３ｆおよびブラケット１３ｅと
からなる付勢部とから構成されている。そして、前記吸
着部１３ｂは、その一端側に透光板２ｇ（３ｇ）を真空
吸着するための吸着溝１３ｄが形成されている。

【００７０】したがって、図９のように、メイン真空吸
着が行われ、上下のフレーム２、３の透光板２ｇ，３ｇ
が離間する方向に移動しても、補助吸着機構１３の吸着
部１３ｂがスライド部材１３ｃを介して上下動できるた
め、透光板２ｇ，３ｇを確実に保持することができる。
なお、この補助吸着機構１３を設けた場合は、下透光板
３ｇの撓みを矯正する気密室１７を形成する密閉板は、
図７で示すように、下フレーム３の下方に飛び出して形
成する構成としても構わない。

【００７１】一方、露光作業は、上フレーム２が両垂直
作動機構４、５により一端垂直上昇した後、回動作動機
構１２により下フレーム３から大きく離間開放するた
め、手動によるワークの設置および、自動によるワーク
の設置を可能とする。なお、自動でワークを下フレーム
に設置する場合は、ハンドラを使用するが、このときハ
ンドラの構成は、ハンドラの真空吸着部分を支持するア
ームが、伸縮自在になる構成としている。すなわち、ア
ームの径を異ならせ各アームが径の大きなアーム側に出
没するか、アームとアームが摺動自在に設けられること
でアームが伸縮する構成としている。そのため、このハ
ンドラを使用すると、搬送装置からハンドラが降下して
ワークを真空吸着し、上昇してアームを伸長させ、ワー
クを下フレームの透光板上に再び降下して載置する構成
とすることで、自動的にワークを設置できる構成として
いる。さらに、ワークがロール、ツウ、ロールで搬送さ
れるシート状部材であっても、シート状部材を間欠送り
することで、ワークの形状に囚われることなく露光作業
を行うことができる。

【００７２】この発明は前述の実施例にのみ限定される
ものではなく、透光板に直接所望パターンを施したマス
クとして使用するものに限らず、マスクフィルムを透光
板に取り付けて使用する構成としても構わない。また、
補助吸引機構は、単体で複数設ける構成としても、上下
のフレームの内周方向に周設する構成としても構わな
い。また、一方の垂直作動機構は、上フレームの水平方
向に設けた支持アームに回転車輪を設けた構成としてい
るが、この回転車輪の代わりに凸部を設け、この凸部を
載置台上に設けた当接部が当接する構成とし、前記当接
部を上下方向に駆動するシリンダ装置を設け、前記シリ
ンダ装置を、他方の垂直作動機構と同期させる構成とし
ても構わない。

【００７３】また、他方の垂直作動機構は、回動支持部
を支持している押動ロッドの下端に直接シリンダ装置を
設け、このシリンダ装置の作動により押動ロッドを上下
動する構成としても構わない。

【００７４】

【発明の効果】以上に述べたごとく本発明は次の優れた
効果を発揮する。 精密両面露光装置は、上フレームを一対の垂直作動
機構により一旦、垂直方向に上昇させた後、一方の垂直
作動機構を回動支軸として回動作動手段の作動により上
フレームを回動方向に移動させる。このように、二段階
に分けて上フレームを作動させることで、上下の透光板
の装着と、基準位置決め作業を簡単にし、かつ、下フレ
ームの整合作業を容易にすると共に、μｍ単位の正確で
精密な位置決めを可能としている。

【００７５】 上フレームが一対の垂直作動機構およ
び回動作動手段により、一旦垂直方向に上昇した後、回
動方向に開放するため、透光板を必要に応じて取り替え
る場合の作業性に優れている。また、取り替え後の位置
合わせも容易にできる。

【００７６】 前記他方の垂直作動手段の駆動部は、
その押動シリンダで、押動ロッドを一端で支持している
レバーアームの他端を押動して上昇させる。そのため、
回動支持脚から押動ロッドまでの距離に反比例して、レ
バーアームを押動させる押動シリンダの押動力は少なく
て済むことになり、小さな押動力で大重量な上フレーム
を作動することができ、操作性に優れている。

【００７７】 前記一方の垂直作動手段は、支持アー
ムに設けた凸部を回転可能な車輪で構成し、この車輪に
当接する当接部を傾斜面を有するスライダ本体としてい
る。そのため、このスライダ本体を駆動部により水平方
向に作動させ、移動下端にある前記車輪を回転させなが
ら、スライダ本体の傾斜面で垂直方向に押し上げる構成
としているため、スムーズな垂直上昇が可能となる。 前記上フレームは、支持アームの他に、一方側に離
間して一対の位置決めアームを有し、上フレームの移動
下端で、前記位置決めアームの嵌合凸部が、受取凹部の
支持部により嵌合支持される。そのため、位置決めアー
ムは、常に一定の位置に到来することになり、上フレー
ムの透光板の位置ズレが防止できる。

【００７８】 上下のフレームは透光板の周辺に、過
剰加圧防止手段を設け、この過剰加圧防止手段を、上下
の透光板の厚みより高く、かつ、上下のフレームの吸着
手段より低くなるように設けているため、上フレームの
重量および、吸着手段による圧力が必要以上にかかるこ
とはなく、透光板の破損の原因を解消できる。 上フレームは、その外側面に透光板落下防止手段を
備え、この落下防止手段の支持片が、保持部に沿って、
透光板に当接離間するため、上フレームが回動作動手段
により所定角度に傾斜しても、この支持片により支持さ
れる。したがって、透光板は、上フレームによる吸引手
段が解除されても落下して破損することはない。

【００７９】 上下のフレームは、その内側周面に、
補助吸着手段を備えているため、上下のフレームが真空
吸着をおこなった場合、上下のフレームが保持する上下
の透光板は、離間する方向に移動しても、補助吸着手段
が上下にスライドして透光板を保持する。そして、補助
吸着手段が上下にスライドして透光板を保持しているこ
とから、透光板は、位置決めした状態を維持することが
でき、μｍ単位の位置合わせ精度を可能としている。 下フレームを移動して行う整合作業は、各押動機構
の付勢方向と均衡を保つ反対の付勢方向の弾性部材に抗
し、各押動機構の傾斜面押動部を作動させ、下フレーム
の第１ないし第３の側壁に設けた回転輪を押動する構成
としているため、ワークの両面の露光作業が支障なく行
い得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の精密両面露光装置の全体を示す一部
断面にした側面図である。

【図２】この発明の上下のフレームを示す側面図であ
る。

【図３】この発明の下フレームを示す平面図である。

【図４】この発明の上フレームを示す平面図である。

【図５】この発明の上フレームの他方の垂直作動機構を
示す一部断面を示す背面図である。

【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、この発明の透光板の装
着手順を示す原理図である。

【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、この発明の透光板の位
置合わせ手順を示すフレーム部分の側断面図である。

【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）は、この発明の上フレーム
の作動状態を示す側断面図である。

【図９】この発明の上下の透光板の補助吸着手段を示す
断面図である。

【図１０】この発明の整合作業の制御機構を示す原理図
である。

【符号の説明】

１ 精密両面露光装置 ２ 上フレーム ２ａ 透光板の落下防止機構 ２ａ₁ 支持片 ２ａ₂ 保持部 ２ａ₃ 作動アーム ２ａ₄ 駆動機構 ２ｂ₁ 位置決めアーム ２ｂ 一方の支持アーム ２ｃ 他方の支持アーム ２ｄ 車輪（凸部） ２ｇ 上透光板 ２ｈ 嵌合凸部 ３ 下フレーム ３ａ シールゴム ３ｂ 過剰加圧防止手段 ３ｇ 下透光板 ３ｈ 転動支持脚 ４ 他方の垂直作動機構 ４ａ リニア軸受 （回動支持部） ４ｂ リニアガイド （支持ガイド） ４ｃ 押動ロッド ４ｄ レバーアーム ４ｅ 回動支持脚 ４ｆ 支持押動部 ４ｇ 押動シリンダ ５ 一方の垂直作動機構 ５ａ 駆動モータ（駆動部） ５ｂ シャフト ５ｃ スライダ本体（当接部） ５ｄ スライドガイド ６ 受取凹部 ６ａ 回転ローラ（支持部） ７ 押動機構（整合手段） ７ａ 弾性部材（整合手段） ７ｂ 駆動モータ ７ｃ スクリューシャフト ７ｄ 傾斜面押動部 ７ｅ センサ ８ 光源装置 ９ 撮像手段 １２ 回動作動機構 １３ 補助吸着機構 １３ａ 固定部 １３ｂ 吸着部 １３ｃ スライド部 １３ｄ 吸着溝 １３ｅ 付勢部 １４ 密閉板 １５ 制御機構 １６ ＴＶモニタカメラ １７ 気密室 １８ 気圧調整手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡 部 國 輝 東京都調布市調布ケ丘３丁目34番１号 株 式会社オーク製作所内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークを挟持する上下の透光板と、これら
   上下の透光板を着脱自在に保持する上下の枠状のフレー
   ムと、これら上下のフレームを真空吸着するメイン吸着
   手段と、前記透光板の所定位置に設けた位置決めマーク
   を撮像する撮像手段と、前記下フレームを移動させ位置
   決めする整合手段とからなり、前記撮像手段により検出
   した位置決めマークのズレ量を、前記整合手段を介して
   下フレームを整合し、前記ワークを紫外線照射して露光
   作業を行う画像形成用露光装置において、 前記上フレームは、水平方向に突出した一方と他方の支
   持アームを備え、これら両支持アームに、一方と他方の
   垂直作動機構を設け、かつ、前記他方の支持アーム後方
   に前記他方の垂直作動機構を回動支軸として上フレーム
   を回動自在に作動させる回動作動機構とを備えたことを
   特徴とする精密両面露光装置。
2. 【請求項２】前記下フレームは、その保持している透光
   板の下部に密閉板を備え、前記透光板と、下フレームの
   内側部分および、密閉板で囲繞する気密室内の気圧を調
   整する調整機構を備える請求項１に記載の精密両面露光
   装置。
3. 【請求項３】前記一方の垂直作動機構は、上フレームの
   一方の支持アーム側に設けた凸部と、この凸部の降下位
   置に設けた当接部と、この当接部の駆動部とから構成さ
   れ、 前記他方の垂直作動機構は、他方の支持アーム側を回動
   自在に支持する回動支持部と、この回動支持部を支持す
   る押動ロッドと、この押動ロッドをガイドする支持ガイ
   ドと、前記押動ロッドを支持ガイドに沿って上下動させ
   る駆動装置とから構成された請求項１に記載の精密両面
   露光装置。
4. 【請求項４】前記駆動装置は、押動ロッドを支持するレ
   バーアームと、このレバーアームを回動自在に支持する
   回動支持脚と、前記レバーアームの他端を押動させる押
   動シリンダとからなる請求項３に記載の精密両面露光装
   置。
5. 【請求項５】前記一方の垂直作動機構は、前記上フレー
   ムの一方の支持アームに設けた凸部が、回転可能な車輪
   で構成され、前記当接部は、傾斜面を備えるスライダ本
   体から構成され、前記駆動部は、前記スライダ本体を水
   平駆動する請求項３に記載の精密両面露光装置。
6. 【請求項６】前記上フレームは、水平方向に離間して突
   出する一対の位置決めアームを有し、この位置決めアー
   ムの到来位置に各位置決めアームの受取凹部を備え、前
   記位置決めアームは嵌合凸部を備え、前記受取凹部は、
   前記位置決めアームの嵌合凸部を嵌合支持する支持部を
   備える請求項１、２、３または５に記載の精密両面露光
   装置。
7. 【請求項７】前記上下のフレームは、各フレームの少な
   くとも一方で透光板周辺に設けた透光板の過剰加圧防止
   手段を備え、前記過剰加圧防止手段は、上下の透光板の
   厚みより高く、かつ、上下のフレームのメイン吸着手段
   より低く設定した請求項１、２、３、５または６に記載
   の精密両面露光装置。
8. 【請求項８】前記下フレームの整合手段は、下フレーム
   を水平方向に移動自在に支持する転動支持脚と、前記下
   フレームの第１ないし第３側壁に設けた回転輪と、前記
   下フレームの第１側壁の回転輪に当接し、水平方向の一
   方に下フレームを押動する第１押動機構と、前記下フレ
   ームの第２側壁の回転輪に当接し、前記第１押動機構に
   直交する方向に下フレームを押動する第２押動機構と、
   下フレームの第３側壁の回転輪に当接し、前記第１押動
   機構と対向する方向で、第１押動機構と作用軸心を異な
   らせて下フレームを押動する第３押動機構とを備え、か
   つ、前記第１ないし第３の側壁には、各駆動手段の押動
   方向と反対方向に付勢する弾性部材を、それぞれ設け、 前記各押動機構は、回転輪に当接する傾斜面押動部とこ
   の傾斜面押動部をスクリューガイドを介して前後に作動
   させる駆動モータとを備えることを特徴とする請求項１
   に記載の精密両面露光装置。
9. 【請求項９】露光装置の上フレームは、その外側面に設
   けた透光板に当接離間する支持片と、この支持片を回動
   自在に保持する保持部と、前記支持片を作動させる作動
   アームと、この押動アームを駆動する駆動機構とから構
   成されることを特徴とする落下防止機構。
10. 【請求項１０】露光装置に使用する透光板を、着脱自在
    に保持する上下の枠状フレームは、それぞれの枠内周側
    位置に設けた固定部と、この固定部に設けたスライド部
    と、このスライド部に設けた吸着部と、この吸着部を透
    光板側に付勢する付勢部とから構成されることを特徴と
    する補助吸着機構。
11. 【請求項１１】下フレームの上に透光板を載置し、下フ
    レームの保持手段により透光板を保持し、その透光板の
    上に透明保護シートを載置する第１工程と、 前記透光板の位置決めマークに合わせて、撮像手段の位
    置を移動させ、この撮像手段に設けている平行光線照射
    手段から平行光を照射する第２工程と、 前記平行光線に上側の透光板の位置決めマークを合わ
    せ、下側の透光板上に上側の透光板を設置する第３工程
    と、 上フレームを上側の透光板に当接させ、上フレームの保
    持手段により上側の透光板を保持する第４工程からなる
    透光板の装着方法。
12. 【請求項１２】上下のフレームの各透光板をメイン吸着
    手段により真空吸着して当接させ、上下の透光板の位置
    決めマークを撮像手段により撮像すると共に、位置決め
    マークの位置を検出し、位置ズレ量を演算する第１工程
    と、 上フレームを垂直上昇させ、上下の透光板を離間させる
    第２工程と、 前記下フレームを整合手段を介して移動させ、前記検出
    した位置ズレ量を整合する第３工程と、 前記垂直上昇させた上フレームを降下させ、上下のフレ
    ームの各透光板をメイン吸着手段により真空吸着して当
    接させ、撮像手段により各透光板の位置決めマークの位
    置ズレの有無を確認する第４工程からなる上下の透光板
    の位置決め方法。