JPH0664345B2 - 露光機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はプリント配線基板の電子回路等のパターンの
焼付を行うための露光機に関するものである。

〔従来の技術〕

プリント配線基板の電子回路等のパターンの焼付を行う
ための露光機として、所望枚数のワークおよびマスクを
位置決めして積載するパレットと、上記ワークの上下両
面の露光を行うように、上下対称に設けられた光源とし
てのランプ、反射鏡、焼き枠体および透明板を有する両
面露光装置と、上記パレットを搬入位置に保持するとと
もに、パレットに収納されたワークおよび／またはマス
クを一定高さ位置に保持する搬入装置と、この搬入位置
から露光位置を通って搬出位置まで延びたレールに沿っ
て搬入位置および露光位置の間を往復移動する搬送装置
と、上記露光位置と搬出位置との間を往復移動する別の
搬送装置と、下面にワークおよび／またはマスクを吸着
保持する多数の吸着パッドを有し、上記搬送装置に水平
姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた吸着装置とを備
えた露光機が提案されている（例えば特開昭60-168148
号）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の露光機においては、ワークおよびマ
スクを上下の透明板で挟持して露光を行うようになって
いるため、ワークおよびマスクの搬送スペースが小さく
なり、搬送が困難であるとともに、焦点調整には光源を
移動させる必要があるという問題点があった。このよう
な天を改善するために下面露光装置と上面露光装置を分
離するとワークおよびマスクの位置合せが困難であると
いう問題点があった。

またワークおよびマスクの位置合せピン（基準ピン）は
ワークおいマスクの大きさの変化に対応するため独立し
て昇降できるようにされているので、各位置合せピンの
出方の差により位置ずれが生じ、位置合せ制度が低下す
るという問題点があった。

さらに露光を終ったワークおび用済後のマスクは搬送装
置によって搬送されるが、ワークおよびマスクは位置合
せピンに係合したまま搬送を行うとワークおよびマスク
の分離が困難であるとともに、ワークおよびマスクを傷
つけるなどの問題点があった。

この発明は上記問題点を解決するためのもので、下面露
光装置と上面露光装置を分離して、ワークおよびマスク
の搬送スペースを大ききし、これにより搬送を容易にす
るとともに、焦点調整を容易にし、かつワークおよびマ
スクの位置合の際、ワークおよびマスクの浮上がりおよ
び傾斜を防止して、位置合せを正確に行うことができ、
またワークおよびマスクの位置合せ精度を向上させるこ
とができ、さらに露光後のワークおよび用済後のマスク
を位置合せピンから解放し、搬送をスムーズに行うとと
もに、搬送時における損傷を防止することが可能な露光
機を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕 この発明の露光機は、ワークおよび／またはマスクを積
載したパレットを位置決めして所定の高さまで上昇させ
る搬入装置と、下部に光源を有しかつワークおよびマス
クを位置合せしてワーク下面の露光を行う下面露光装置
と、上部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合
せしてワーク上面の露光を行う上面露光装置と、露光済
みのワークを機外へ搬出する搬出装置と、ワークまたは
マスクを吸着して上記各装置間を移動し搬送を行う搬送
装置と、下面露光装置および上面露光装置に設けられた
露光台と、この露光台にセットされたワークおよびマス
クの対応位置に設けられた位置合せ穴に同時に挿入され
るように同期して突出する３個の位置合せピンと、この
位置合せピンの周囲のワークおよびマスクを押付けて浮
上がりを防止する押付部材と、マスクに設けられた貫通
穴を通してワークを押すように突出するワーク解放ピン
と、上記貫通穴と異なる部分においてマスクを押すよう
に突出するマスク解放ピンとを設けたものである。

〔作 用〕

この発明の露光機においては、ワークおよび／またはマ
スクを積載したパレットを搬入装置において位置決めし
て所定の高さに上昇させ、搬送装置によってワークおよ
びマスクを下面露光装置および上面露光装置に搬送し、
それぞれの露光装置においてワークおよびマスクを位置
合しせて密着させ露光を行う。位置合せに際しては露光
台から位置合せピンを突出させてワークおよびマスクの
同位置に設けられた位置合せ穴に挿入するとともに、押
付部材により位置合せピン周囲のワークおよびマスクを
押付ける。これによりワークおよびマスクの浮上がりお
よび傾斜が防止され、位置合せが正確に行われる。また
押付部材によりワークおよびマスクの浮上がりが防止さ
れるため、位置合せピンに対する位置合せ穴の公差を小
さくして、位置合せ精度を高くすることができる。

位置合せの際、露光台か３個の位置合せピンを同期して
突出させ、ワークおよびマスクの対応位置に設けられた
位置合せ穴に同時に挿入して位置合せを行う。こうして
平面を規定する３個のピンで位置合せを行うため、位置
合せすべき平面が限定され、また３個のピンが同期して
突出するため、ピンの出方の差によるワークおよびマス
クの位置ずれはなく、位置合せ精度はさらに向上する。

露光を終ったワークはマスクの貫通穴を通してワーク解
放ピンを突出させ押すことにより、位置合せピンより外
し、搬送装置により搬送する。そして両面の露光を終っ
たワークは搬送装置により搬出送置へ搬送し、搬出装置
から機外へ搬出する。また用済後のマスクはマスク解放
ピンを突出させて押すことにより、位置合せピンから外
し、搬送装置により搬入装置に返還する。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面により具体的に説明す
る。

第１図（ａ）はこの実施例の露光機の全体を示す正面
図、（ｂ）はその平面図であり、いずれも前面が切欠か
れた状態を示している（以下同）。この露光機はプリン
ト基板の電子回路等のパターンの焼付を目的とし、露光
すべき多数のワークおよびマスクをストッカーに保管
し、これを自動的に引出して露光し、装置外のコンベア
等へ搬出するといういわゆる自動運転を行えるように構
成されている。そして一端部からストッカー（１）、搬
入装置（２）、下面露光装置（３）、上面露光装置
（４）および搬出装置（５）が隣接して配置され、各装
置間にワークおよびマスクを搬送する搬送装置（６），
（７），（８）が移動可能に設けられている。

ストッカー（１）はワークおよび／またはマスクが積載
されたパレットを多数保管するとともに、このパレット
を搬入装置（２）へ払出し、さらに空になったパレッ
ト、または用済後のマスクを積載したパレットを内部へ
引入れて、次のパレットを払出すものである。搬入装置
（２）はストッカー（１）より払出されたパレットをス
ムーズに移動させて、定められた位置へセットし、その
後所定の高さまで上昇させるようになっている。下面露
光装置（３）は下部に光源を有し、ワークの下面から光
を照射して露光を行い、上面露光装置（４）は上部に設
置された光源により上面から照射を行うものである。ま
た、搬出装置（５）は露光済みのワークをローラコンベ
アにより機外へ搬出するようになっている。

第２図（ａ）は全体の背面図、（ｂ）はその平面図、
（ｃ）は側面図であり、搬入装置（２）から下面露光装
置（３）および上面露光装置（４）を通過して搬出装置
（５）まで、水平方向に延びた２本のレール（９）に、
搬入装置（２）と下面露光装置（３）の間を往復する搬
送装置（６）、下面露光装置（３）と上面露光装置
（４）間を往復する搬送装置（７）、ならびに上面露光
装置（４）と搬出装置（５）の間を往復する搬送装置
（８）がセットされ、それぞれシリンダー（9a），（9
b），（9c）により水平方向に駆動されるようになって
いる。

第３図（ａ）はパレットの平面図、（ｂ）はその正面
図、（ｃ）は側面図、（ｄ）は位置決めピンの正面図、
（ｅ）はワークを積載したパレットの平面図、（ｆ）は
マスクを積載したパレットの平面図である。パレット
（10）はワーク（13）及び／またはマスク（14）を積載
するためのもので、その一辺付近に２個の位置決めピン
（11）が取付けられている。位置決めピン（11）はワー
ク（13）および／またはマスク（14）を位置決めを行う
ワーク／マスク位置決め部（11a）と、パレット（10）
の位置決めを行うパレット位置決め部（11b）とが同軸
に設けられており、ワーク／マスク位置決め部（11a）
はワーク（13）の位置決め穴（13a）またはマスク（1
4）の位置決め穴（14b）に挿入できるようにパレット
（10）の上部に突出しており、パレット位置決め部（11
b）はパレット（10）の下部に突出している。ワーク（1
3）は上下両面に露光可能とされ、マスク（14）はそれ
ぞれ対応するパターンを有するフィルムからなり、フィ
ルムより面積の大きい透明アクリル樹脂板製のベース
（14a）により裏打ちされている。（13b），（14c）は
位置合せ穴、（14d）は貫通穴である。

第４図（ａ）はストッカー（１）の正面図、（ｂ）はそ
の平面図である。ストッカー（１）は露光機の一端部に
配置され、ワーク（13）および／またはマスク（14）を
位置決めピン（11）で位置決めしたパレット（10）を多
段に並べて保管し、工程順に収納されたパレット（０）
を移載機構（1a）により搬入装置（２）に押出すように
払出し、空になったパレット（10）または用済後のマス
ク（14）を積載したパレット（10）を戻し、次のパレッ
ト（10）を払出すようになっているが、詳細については
図示は省略されている。

第５図（ａ）は搬入装置（２）の正面図、（ｂ）はその
側面図、（ｃ）はそのテーブル上板の平面図である。搬
入装置（２）はストンカー（１）下部の定められた位置
から払出されたワーク（13）および／またはマスク（1
4）を積載したパレット（10）をスムーズに移動させて
定められた位置に位置決め後保持し、規定の高さまで上
昇させるとともに、空になったパレット（10）または用
済後のマスク（14）が積載されたパレット（10）を元の
位置まで下降させてストッカー（１）へ返納できるよう
に構成されている。すなわち強固に組立てられた枠体
（2a）の中心部に取付けられたリニアドモータ（2b）に
噛み合うラック（2c）を介し、テーブル枠体（2d）およ
びその上面にセツトされたテーブル上板（2e）からなる
テーブルが枠体（2a）に指示され、軸（2f）をガイドに
枠体（2a）に対してゆっくり昇降できるようになってい
る。

枠体（2a）には露光機の全体枠（12）との間にシリンダ
ー（2j）が結合され、軸受（2g）とレール（2h）をガイ
ドにして高速で昇降移動できるようになっている。

テーブル上板（2e）の上面にはパレツト（10）がスムー
ズに移動できるようにボール搬送具（2k）が組込まれて
おり、ストッカー（１）側から移載機構（1a）により、
引込まれたパレツト（10）がこの面を摺動し、ストツパ
ー（2l）に当った時点で、移載機構（1a）がストッカー
（１）内に戻り、パレット（10）が仮置きされるように
なっている。

テーブル上板（2e）のストッパー（2l）のある辺に隣接
する一方の辺には、さらに押付機構（2m）が設けられて
シリンダー（2h）に隣接し、また反対側の辺には位置決
めガイド（2o）が組込まれ、位置決めガイド（2o）には
Ｖ字状の切欠（2p）および台形状の切欠（2q）が形成さ
れており、ストッパー（2l）の位置に仮置きされたパレ
ット（10）をシリンダー（2n）に連動した置付機構（2
m）によりガイド（2o）側へ押付けて、パレット（10）
の下部に突出する位置決めピン（11）の一方のパレット
位置決め部（11b）と切欠（2p）の係合により押付方向
の直角方向の位置決めを行い、他方のパレット位置決め
部（11b）と切欠（2q）により押付方向の位置決めを行
うようになっている。テーブル上板（2e）の下降位置に
はガイド（2o）からパレット（10）を解放する押出機構
（2r）が設けられており、またテーブル上板（2e）の最
上昇位置には搬送装置（６）が設けられている。

第６図（ａ）は搬送装置（６）の正面図、（ｂ）は側面
図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は吸着パッドおよび押付パ
ッドの正面図である。搬送装置（６）は搬入装置（２）
からパレット（10）内のワーク（13）またはマスク（1
4）を吸着して下面露光装置（３）は搬送してセット
し、逆に用済後のマスク（14）を下面露光装置（３）か
ら搬入装置（２）のパレット（10）へ搬送収納するよう
に構成されている。上下移動枠（6a）は水平移動板（6
b）にシンリダー（6c）によって懸垂され、上下移動枠
（6a）の側面に取付けられた軸受（6d）とブラケット
（6e）に取付けられた軸（6f）とをガイドに上下方向に
移動できるようになっている。水平移動板（6b）は第２
図に示すシリンダー（9a）によってレール（９）上を搬
入装置（２）から下面露光装置（３）にわたって往復動
するようになっている。

上下移動枠（6a）の下面にはゴム製の吸着パッド（6g）
が第６図（ｃ）のＡ、Ｂ位置に装着され、押付パッド
（6h）がＣの位置に装着されている。吸着パッド（6g）
のうちＡ位置のものは真空発生装置（6i）に配管され、
Ｂ配置のものは真空発生装置（6j）に配管されていて、
内側のＡ位置の吸着パッド（6g）はワーク吸着専用に、
外側のＢ位置の吸着パッド（6g）はマスク吸着専用に設
けられており、Ｂ位置の吸着パッド（6g）はマスク（1
4）を直接吸着せず、マスク（14）が貼付けられている
ベース（14a）のアクリル樹脂板のマスク（14）より外
れた外周部を吸着し、これによってマスク（14）の位置
ずれと汚れを防止するようになっている。吸着パッド
（6g）はバネ（6k）を介して上下移動枠（6a）に装着さ
れていて、上下方向にかなりいきなフレキシビリティを
有するが、押付パッド（6h）は下面のみゴム製で、わず
かのフレキシビリティを有しており、相互の位置関係は
第６図（ｄ）に示すように、通常は押付パッド（6h）の
底面は吸着パッド（6g）の底面よりわずかに上位に位置
しているが、下面露光装置（３）において枠（6a）を必
要位置まで下降させることにより、ワーク（13）または
マスク（14）の位置合せピン（3d）の周囲に押付力を与
えながら、ワーク（13）またはマスク（14）の位置合せ
の際の変位に追随できるように位置合せピン（3d）に対
応する位置に装着されている。

第７図（ａ）は下面露光装置（３）の正面図、（ｂ）は
その側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面
図、（ｅ）はその一部の断面図、第８図（ａ）は位置合
せピンの平面図、（ｄ）はその正面図、（ｃ）は側面
図、第９図はワーク解放ピンの正面図である。下面露光
装置（３）は搬送装置（６）により搬入装置（２）から
搬送されてきたワーク（13）とマスク（14）とを位置合
せして密着し、下方からの紫外線または可視光線の照射
により、マスク（14）の一方の面に焼付を行うように構
成されている。下面露光装置（３）の下部には露光台
（3a）が設けられ、その下方に反射鏡を含む光源（3d）
が設置されている。露光台（3a）の上面にはワーク（1
3）およびマスク（14）を積載する透明ガラス板（3c）
が設けられ、その周囲の２辺にはそれぞれ別々の個所に
並べて設けられた位置合せピン（3d）、ワーク解放ピン
（3e）およびマスク解放ピン（3f）からなるピン群が３
個所に配置され、その外周にマスク（14）吸着用吸気孔
（3g）が、さらにその外周にはワーク（13）およびマス
ク（14）密着用吸気孔（3h）が設けられている。

ピン（3d）は第８図に示すリンク機構を有するととも
に、軸（3i）により３本のピン（3d）が機械的に連結さ
れ、１個のシリンダー（3j）の駆動により３本が同期し
て昇降して、ワーク（13）および／またはワーク（14）
の同位置に設けられた位置合せ穴（13b），（14c）へ挿
入され、各ピン（3d）の出方の差による位置ずれが防止
されるようになっている。このときの挿入を容易に行う
ため、ピン（3d）は先端がテーパー加工されている。な
おピン（3d）はワーク解放ピン（3e）とマスク解放ピン
（3f）の中間に位置するが、スペースの都合上第７図
（ａ）〜（ｃ）では省略されている。

位置合せ精度を高めるため、ピン（3d）に対するワーク
（13）またはマスク（14）の位置合せ穴（13d），（14
c）の径の公差はかなり小さくなっていて、ピン（3d）
を挿入するに当りある程度の押圧が必要なため、前述の
ように搬送装置（６）にはワーク（13）またはマスク
（14）のピン（3d）の周囲を押すための押付パッド（6
h）が装着され、ピン（3d）は押付パッド（6h）を貫通
するようになっている。

ワーク解放ピン（3e）およびマスク解放ピン（3f）はワ
ーク（13）またはマスク（14）をピン（3d）から外すた
めのもので、第９図はワーク解放ピン（3e）を示し、ピ
ン（3e）はシリンダー（3k）によりガイド（3l）を介し
て昇降し、マスク（14）の貫通穴（14d）を通してワー
ク（13）を押上げるようになっている。マスク解放ピン
（3f）も図示は省略したが、ほぼ同様の構成となってお
り、直接マスク（14）を押上げるようになっている。吸
気孔（3g），（3h）には真空引ノズル（3m），（3n）が
開口している。（3o）は露光台（3a）の外周に設けられ
たパッキン、（3p）は換気用ファンである。

第10図（ａ）は搬送装置（７）の側面図、（ｂ），
（ｃ）はそれぞれその一部の断面図である。搬送装置
（７）は下面露光装置（３）のワーク（13）またはマス
ク（14）を上面露光装置（４）に搬送するともに、下面
露光装置（３）のワーク（13）およびマスク（14）を密
着させるように構成されている。（7a）は上下移動枠、
（7b）は水平移動板、（7c）はシリンダー、（7d）は軸
受、（7e）はブラケット、（7f）は軸、（7g）は吸着パ
ッド、（7k）はばねであり、搬送装置（６）と同様の水
平移動機構および上下移動機構を形成している。（7l）
は吸着部で、軸（7m）およびばね（7n）によって上下移
動枠（7a）から懸垂され、軸（7m）は軸（7o）内を摺動
し、これによって吸着部（7l）はフレキシブルに動くよ
うになっている。また吸着部（7l）はゴムシート（7p）
間に内蔵された吸着パッド（7g）により、穴（7q）を介
してバキューム作用によってワーク（13）またはマス
（14）を吸着するとともに、下面露光時は第７図（ｅ）
に示すように下面露光面にセットされたワーク（13）お
よびマスク（14）を被い、真空保持のためのパッドとし
て働くようになっている。

第11図（ａ）は上面露光装置（４）の正面図、（ｂ）は
その側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面
図、（ｅ）はそのｅ−ｅ断面図、（ｆ）はｆ−ｆ断面図
である。上面露光装置（４）は下面露光装置（３）で焼
付されたワーク（13）の他方の面を、上部に設置した光
源によって上方から焼付ける装置で、露光面までワーク
（13）およびマスク（14）を上昇させ、押圧してセット
するとともに、ワーク（13）とマスク（14）を被い、そ
れらを密着するための真空パッドとしての役目を兼ねる
上下テーブルと露光部とから構成されている。

露光部は露光台（4a）、光源（4b）、透明ガラス板（4
c）、位置合せピン（4d）、ワーク解放ピン（4e）、マ
スク解放ピン（4f）、…軸（4i）、…換気用ファン（4
p）などが下面露光装置（３）と上下逆に設けられ、ほ
ぼ同様の構造を有するため説明を省略する。

上下テーブルは強固に組立てられた枠対（4q）と、その
上部に設けられたテーブル（4r）と、シリンダー（4s）
を介してこれらを支持する枠対（4t）と、枠体（4q）の
側面に取付けた軸受（4u）と、露光機の全体枠（12）に
取付けられたレール（4v）とから成り、軸受（4u）およ
びレール（4v）をガイドとしてシリンダー（4s）の駆動
により、露光面まで昇降するように構成されている。

枠対（4q）の上部のテーブル（4r）は軸（41a）、ばね
（41b）および軸受（41c）によりフレキシブルな動きが
できるように組立てられていて、その上面にはゴムシー
ト（41d）が張られ、接合部（41e），（41f）によって
固着されている。またテーブル（4r）の中央部には押付
板（41g）が軸（41h）、軸受（41i）、ばね（41j）を介
して組付けられ、ゴムシート（41d）を上に押付けるよ
うになっている。

搬送装置（８）は上面露光装置（４）において露光され
た後、上下テーブルへ置かれたワーク（13）を吸着し、
搬出部のコンベア上へ搬送するように構成されたもの
で、搬送装置（６）から押付パッド（6h）を除いたもの
と同一構造であるので、細部についての図示は省略され
ている。

第12図（ａ）は搬出装置（５）の正面図、（ｂ）はその
側面図、（ｃ）はその搬出部の平面図、（ｄ）はその正
面図、（ｅ）は側面図である。搬出装置（５）は搬送装
置（８）により、上面露光装置（４）から搬送されたワ
ーク（13）を装置外のコンベアなどへ搬出するための装
置で、ローラ（5a）がはめ込まれた軸（5b）が軸受（5
c）を介して（5d）により支持され、ベルト（5e）を介
して電動機（5f）に接続し、ローラ（5a）を外周に張っ
たゴムベルト（5g）によりワーク（13）を搬出するよう
になっており、枠組（5d）が露光機の全体枠（12）に取
付けられている。（5h）はゴムベルト（5g）の張力調整
装置である。

上記のように構成された露光機においては、ワーク（1
3）および／またはマスク（14）を第３図に示すパレッ
ト（10）に積載して搬入する。ワーク（13）および／ま
たはマスク（14）をパレット（10）に積載する場合、ワ
ーク（13）および／またはマスク（14）に設けられた位
置決め穴（13a），（14b）に位置決めピン（11）のワー
ク／マスク位置決め部（11a）を挿入して積載すると、
ワーク（13）および／またはマスク（14）はパレット
（10）に対して正確に位置決めされる。

このようにワーク（13）および／またはマスク（14）を
積載したパレット（10）はストッカー（１）に保管さ
れ、特定のパレット（10）が第４図および第５図に示す
ようにストッカー（１）から移載機構（1a）により搬入
装置（２）のテーブル上板（2e）上に払出される。そし
てパレット（10）がボール搬送具（2k）上を摺動し、ス
トッパー（2l）に当った時点で、移載機構（1a）がスト
ッカー（１）内に戻り、パレット（10）が仮置きされ
る。この状態からパレット（10）はシリンダー（2n）に
連動した押付機構（2m）によりガイド（2o）側へ押付け
られ、パレット（10）の下部に突出する位置決めピン
（11）の一方のパレット位置決め部（11b）と切欠（2
q）の係合により押付方向と直角方向の位置決めが行わ
れ、他方のパレット位置決め部（11b）と切欠（2p）に
より押付方向の位置決めが行われる。

位置決めピン（11）はワーク／マスク位置決め部（11
a）とパレット位置決め部（11b）が一体に形成されてい
るため、両者の位置関係は常に一定であり、このためワ
ーク／マスク位置決め部（11a）によりパレット（10）
に対して位置決めされたワーク（13）および／またはマ
スク（14）はパレット位置決め部（11b）によってパレ
ット（10）が位置決めされることにより、搬入位置にお
いて正確に位置決めされ、パレット（10）の寸法のバラ
ツキに拘らず、正確な位置決めが行われる。この場合ワ
ーク（13）および／またはマスク（14）の位置は位置決
めピン（11）のワーク／マスク位置決め部（11a）とパ
レット位置決め部（11b）の位置関係によって決まるた
め、位置決めピン（11）の寸法精度を上げればよく、パ
レット（10）の寸法精度は低くてもよい。位置決めピン
（11）は一体的に形成されているため、寸法精度を高く
するのは容易であり、パレット（10）は低コスト化され
る。

パレット（10）が位置決めされたあと、枠体（2a）はシ
リンダー（2j）によって高速で所定位置まで上昇し、そ
の後モータ（2b）によって、テーブル枠体（2d）および
テーブル上板（2e）がゆっくりと所定位置まで上昇し、
微調整が行われる。ワーク（13）および／またはマスク
（14）が搬送されて空になったパレット（10）、または
用済後の返還されたマスク（14）の収納されたパレット
（10）は、シリンダー（2j）により高速で、またモータ
（2b）によってゆっくりと所定位置まで下降し、押出機
構（2r）によりガイド（2o）から解放され、移載機構
（1a）によってストッカー（１）に収納される。シンリ
ダー（2j）およびモータ（2b）により２段階に昇降させ
ることにより、パレット（10）を高速かつ高精度で所定
位置に昇降させることができる。

パレット（10）を位置決めしたテーブル上板（2e）が所
定位置に上昇すると、搬送装置（６）が搬入装置（２）
の上部から下降し、まずＢ位置の吸着パッド（6g）がパ
レット（10）内に積載された上面露光用のマスク（14）
をバキュウム作用により吸着する。そしてシンリダー
（6c）によって上昇した後、シリンダー（9a）によって
下面露光装置（３）へ移動し、さらにシンリダー（6c）
によって下降し、マスク（14）を下面露光装置（３）の
露光台（3a）の透明ガラス板（3c）上にセットする。こ
のとき吸着パッド（6g）はＢ位置のものがマスク（14）
を裏打しているベースのアクリル樹脂板の外周部のみを
吸着し、その内側に位置するマスク（フィルム）は吸着
しないで搬送する。そして下面露光装置（３）上にセッ
トする際、シンリダー（3j）により３本の位置合せピン
（3d）を同時に押上げてマスク（14）の位置合せ穴（14
c）に位置合せピン（3d）を挿入し、このとき押付パッ
ド（6h）の押付力によりマスク（14）の浮上がりを防止
する。

上面露光用のマスク（14）のセット後、搬送装置（６）
は上昇して搬入装置（２）へ移動し、下降してパレット
（10）から下面露光用のマスク（14）を吸着し、同様の
動作で下面露光装置（３）の露光台（3a）にセットす
る。その間に、上面露光用のマスク（14）は搬送装置
（７）により下面露光装置（３）から上面露光装置
（４）へ搬送されている。マスク（14）がセットされた
あと、同様の動作によって対応ワーク（13）が順に搬送
され、セットされる。このときＡ位置の吸着パッド（6
g）がワーク（13）を吸着して搬送を行い、位置合せピ
ン（3d）をワーク（13）の位置合せ穴（13b）に挿入
し、押付パッド（6h）によりワーク（13）の浮上がりお
よび傾斜を防止する。対応ワーク（13）が全数搬送され
ると、下面露光用のマスク（14）および下面露光装置
（３）に戻された上面露光用のマスク（14）は搬送装置
（６）により搬入装置（２）の空のパレット（10）へ返
納される。

下面露光装置（３）の露光台（3a）にセットされたマス
ク（14）は、その周囲を吸気孔（3g）を通して真空引ノ
ズル（3m）により真空引きすることにより、露光台（3
a）のガラス板（3c）に密着し、保持される。そしてマ
スク（14）の上部にワーク（13）がセットされた後、搬
送装置（６）が上昇して、搬入装置（２）側へ移動し、
これに代って搬送装置（７）が上面露光装置（４）側か
ら移動してきて下降し、その下部のゴムシート（7p）に
よりマスク（14）のワーク（13）が被われると、露光台
（3a）の外周部の吸気孔（3h）から、真空引ノズル（3
n）により真空引きされ、露光が行われる。

露光が終了すると真空ノズル（3n）の真空引が解除さ
れ、ワーク解放ピン（3e）がマスク（14）の貫通穴（14
d）を通してワーク（13）を押上げ、位置合せピン（3
d）からワーク（13）を解放し、続いて搬送装置（７）
の吸着パッド（7g）によりワーク（13）を吸着して上面
露光装置（４）に搬送し、この間に搬送装置（６）によ
り次のワーク（13）を下面露光装置（３）に搬送してセ
ットし、前記と同様にして露光が繰返えされる。所定枚
数の露光が終了し、用済みとなったマスク（14）はマス
ク解放ピン（3f）に押されて位置合せピン（3d）から解
放され、搬送装置（６）により前記と逆の動作で搬入装
置（２）に返還される。上面露光用のマスク（14）を下
面露光装置（３）から上面露光装置（４）へ搬送する場
合もマスク解放ピン（3f）により解放される。

搬送装置（７）によるマスク（14）の搬送は次の通り行
われる。すなわち搬送装置（７）は搬送装置（６）と同
様の動作により、下面露光装置（３）の上部から下降
し、露光台（3a）に位置決めセットされた上面露光用の
マスク（14）を吸着し、上面露光装置（４）へ移動して
下降する。搬送装置（７）が上面露光装置（４）内の上
下テーブルのテーブル（4r）の上面と吸着されたマスク
が接触するまで下降すると、搬送装置（７）は停止し、
吸着パッド（7g）の電磁バルブが閉じられてマスク（1
4）はテーブル（4r）上面のゴムシート（41d）上へ置か
れる。このあと搬送装置（７）は上昇し、下面露光装置
（３）側へ移動後下降して、前述のように露光台（3a）
に位置決めセットされたワーク（13）とマスク（14）を
吸着部（7l）のゴムシート（7p）で被い、露光中にこの
状態を保持する。露光が完了すると、ワーク解放ピン
（3e）により解放されアワーク（13）のみ前述のマスク
（14）と同様の動作で上面露光装置（４）の上下テーブ
ルへ搬送する。

上面露光装置（４）では、搬送装置（７）の吸着部（7
l）により吸着されて搬送されてきたワーク（14）が下
降し、テーブル（4r）上のゴムシート（41d）に接触し
た後空部（7l）から解放されてゴムシート（41d）上に
置かれる。その後シリンダー（4s）により枠体（4q）が
上昇し、ワーク（13）およびマスク（14）は露光台（4
a）の位置決めピン（4d）にセットされるが、この時の
押圧力はテーブル（4r）の中央部に組付けられた押付板
（41g）により支えられる。このとき位置合せピン（4
d）が突出し、ゴムシート（41d）によって押付けられて
ワーク（13）およびマスク（14）の浮上がりおよび傾斜
が防止され、位置合せが行われる。位置合せピン（4d）
はゴムシート（41d）を貫通するようになっている。こ
うしてセットされたワーク（13）とマスク（14）はその
ままゴムシート（41d）によって被われ、下面露光装置
（３）の場合と同様に、真空引ノズル（4m），（4n）
（図示省略）によって真空密着され、光源（4b）により
露光される。

その後下面露光装置（３）と同一構造の解放ピン（3
e），（3f）により露光台（3a）より解放され、再びテ
ーブル（4r）のゴムシート（41d）上に置かれる。この
状態で上下テーブルが所定の位置まで下降すると、搬送
装置（８）が搬送装置（６），（７）と同様の動作でゴ
ムシート（41d）上のワーク（13）を吸着して搬出装置
（５）に搬送し、ゴムベルト（5g）上に置かれると、電
動機（5f）によって回転するローラ（5a）によりゴムベ
ルト（5g）が回転して、ワーク（13）が装置外のコンベ
アなどに搬出される。上面露光装置（４）において所定
枚数のワーク（13）の露光を行い、用済みとなったマス
ク（14）は前記と逆の動作で搬送装置（７）および
（６）により、下面露光装置（３）を経て搬入装置
（２）のパレット（10）へ返還される。

上記の露光機では、下面露光装置（３）および上面露光
装置（４）においてワーク（13）およびマスク（14）の
位置合せを行う場合、３本の位置合せピン（3d），（4
d）が１個のシリンダーにより同期して昇降するため、
各ピン（3d），（4d）の出方の差による位置ずれが防止
され、各ピン（3d），（4d）は先端がテーパー加工され
ているため、容易に位置合せ穴（13b），（14c）に挿入
され、このとき押付部材としての押付パッド（6h）およ
びゴムシート（41d）によりワーク（13）およびマスク
（14）の浮上がりおよび傾斜が防止される。このほか３
個所に設けられた１本のピン（3d），（4d）をワーク
（13）およびマスク（14）の同位置に設けられた位置合
せ穴（13b），（14c）に挿入して同時に位置合せを行う
ため、位置合せ精度が高くなる。

また下面露光装置（３）および上面露光装置（４）で
は、別々に設けたワーク解放ピン（3e），（4e）および
マスク解放ピン（3f），（4f）によりワーク（13）およ
びマスク（14）を別々に解放することができるので、同
一のマスク（14）を使用して複数のワーク（13）を露光
するときのワーク（13）の交換を容易かつ高速度で行う
ことできる。

さらに搬送装置（６），（８）では吸着パッド（6g），
（7g）が内側のＡ位置および外側のＢ位置に配置され独
立した真空発生装置（6j）に接続して、それぞれワーク
専用およびマスク専用となっているので、マスク（14）
を搬送する場合ベース（14a）のアクリル樹脂板の外周
を保持して、内側に固定されたマスク（フィルム）（1
4）の位置ずれと汚れを防止することができる。

上記の露光機では下面露光装置（３）と上面露光装置
（４）が別の装置となっているため、従来の両面露光装
置に比べて搬送スペースを大きくとることができ、これ
によりワーク（13）およびマスクの搬送を容易に行うこ
とができるとともに、焦点合せもワーク（13）を動かせ
ばよいので容易である。

なお、以上の説明において、位置合せピン（3d），（4
d）、ワーク解放ピン（3e），（4e）、マスク解放ピン
（3f），（4f）等の構造、配置等は図示のものに限定さ
れず、変更可能である。また押付部材としては、押付パ
ッド（6h）およびゴムシート（41d）があるが、他の手
段であってもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、露光装置において位置合せピンにより
ワークおよびマスクの位置合せを行うとともに、押付部
材により位置合せピンの周囲を押付けるようにしたの
で、下面露光装置と上面露光装置を分離して、ワークお
よびマスクの搬送スペースを大きくし、これにより搬送
を容易にするとともに、焦点調整を容易にし、かつワー
クおよびマスクの位置合せの際、ワークおよびマスクの
浮上がりおよび傾斜を防止して正確に位置合せを行うこ
とができ、かつ位置合せ精度を高くすることができる。
また露光装置におけるワークおよびマスクの位置合せピ
ンを３個設け、それぞれ同期して突出するようにしたの
で、ピンの出方の差によるワークおよびマスクの位置ず
れを防止し、位置合せ精度をさらに向上させることがで
きる。またワーク解放ピンおよびマスク解放ピンを設け
たので、露光後のラークおよび用済後のマスクを位置合
せピンから解放し、搬送をスムースに行うとともに、搬
送時における損傷を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は実施例の露光機の全体を示す正面図、
（ｂ）はその平面図、第２図（ａ）は全体の背面図、
（ｂ）はその平面図、（ｃ）は側面図、第３図（ａ）は
パレットの平面図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面
図、（ｄ）は位置決めピンの正面図、（ｅ），（ｆ）は
それぞれパレットの使用状態を示す平面図、第４図
（ａ）はストッカーの正面図、（ｂ）はその平面図、第
５図（ａ）は搬入装置の正面図、（ｂ）はその側面図、
（ｃ）はそのテーブル上板の平面図、第６図（ａ）は搬
出装置の正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図、
（ｄ）は吸着パッドおよび押付パッドの正面図、第７図
（ａ）は下面露光装置の正面図、（ｂ）はその側面図、
（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（ｅ）はそ
の一部の断面図、第８図（ａ）は位置合せピンの平面
図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面図、第９図はワ
ーク解放ピンの正面図、第10図（ａ）は搬送装置の側面
図、（ｂ），（ｃ）はそれぞれその一部の断面図、第11
図（ａ）は上面露光装置の正面図、（ｂ）はその側面
図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（ｅ）
はそのe-e断面図、（ｆ）はf-f断面図、第12図（ａ）は
搬出装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（ｃ）はその
搬出部の平面図、（ｄ）はその正面図、（ｅ）は側面図
である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、（１）はストッカ
ー、（２）は搬入装置、（2o）は位置決めガイド、
（３）は下面露光装置、（3a），（4a）は露光台、（3
b），（4b）は光源、（3d），（4d）は位置合せピン、
（3e），（4e）はワーク解放ピン、（3f），（4f）はマ
スク解放ピン、（４）は上面露光装置、（4r）はテーブ
ル、（41d）はゴムシート、（５）は搬出装置、
（６），（７），（８）は搬送装置、（6g），（7g）は
吸着パッド、（6h）は押付パッド、（10）はパレット、
（11）は位置決めピン、（11a）はワーク／マスク位置
決め部、（11b）はパレット位置決め部、（13）はワー
ク、（14）はマスク、（14a）はベースである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−116458（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−145949（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−63892（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−168148（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−25349（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭52−7766（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークおよび／またはマスクを積載したパ
   レットを位置決めして所定の高さまで上昇させる搬入装
   置と、下部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置
   合せしてワーク下面の露光を行う下面露光装置と、上部
   に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合せしてワ
   ーク上面の露光を行う上面露光装置と、露光済みのワー
   クを機外へ搬出する搬出装置と、ワークまたはマスクを
   吸着して上記各装置間を移動し搬送を行う搬送装置と、
   下面露光装置および上面露光装置に設けられた露光台
   と、この露光台にセットされたワークおよびマスクの対
   応位置に設けられた位置合せ穴に同時に挿入されるよう
   に同期して突出する３個の位置合せピンと、この位置合
   せピンの周囲のワークおよびマスクを押付けて浮上がり
   を防止する押付部材と、マスクに設けられた貫通穴を通
   してワークを押すように突出するワーク解放ピンと、上
   記貫通穴と異なる部分においてマスクを押すように突出
   するマスク解放ピンとを備えたことを特徴とする露光
   機。
2. 【請求項２】位置合せピンは押付部材を貫通するように
   なったことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露
   光機。
3. 【請求項３】位置合せピンは先端がテーパー状となった
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
   載の露光機。
4. 【請求項４】ワーク解放ピンとマスク解放ピンは露光台
   の別の位置に配置されたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の露光機。