JPS62294248A - 露光機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明はプリント配線基板の電子回路等のパターンの
焼付を行うための露光機に関するものである。

〔従来の技術〕

プリント配線基板の電子回路等のパターンの焼付を行う
ための露光機として、所望枚数のワークおよびマスクを
位置決めして積載するパレットと、上記ワークの上下両
面の露光を行うように、上下対称に設けられた光源とし
てのランプ、反射鏡、焼き枠体および透明板を有する両
面露光装置と、上記パレットを搬入位置に保持するとと
もに、パレットに収納されたワークおよび／またはマス
クを一定高さ位置に保持する搬入装置と、この搬入位置
から露光位置を通って搬出位置まで延びたレールに沿っ
て搬入位置および露光位置の間を往復移動する搬送装置
と、上記露光位置と搬出位置との間を往復移動する別の
搬送装置と、下面にワークおよび／またはマスクを吸着
保持する多数の吸着パッドを有し、上記搬送装置に水平
姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた吸着装置とを備
えた露光機が提案されている（例えば特開昭６０−１６
８１４８号）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の露光装置においては、搬送装置は吸
着パッドによりワークおよびマスクを吸着して搬送する
ようになっているが、それぞれ同一の吸着パッドにより
吸着しているため、マスクがアクリル樹脂板等のベース
により裏打されている場合でもマスクを直接吸着するこ
とになり、これによりマスクの位置ずれと汚れが発生す
るという問題点があった。

この発明は上記問題点を解決するためのもので、マスク
がベースにより裏打されている場合、ベースを吸着して
搬送し、マスクの位置すれと汚れの発生を防止できる露
光機を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の露光機は、ワークおよび／またはマスクを積
載したパレットを位置決めして所定の高さまで上昇させ
る搬入装置と、下部に光源を有しかつワークおよびマス
クを位置合せしてワーク下面の露光を行う下面露光装置
と、上部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合
せしてワーク上面の露光を行う上面露光装置と、露光済
みのワークを機外へ搬出する搬出装置と、ワークまたは
パレットを吸着して上記各装置間を移動し搬送を行う搬
送装置と、ワークを吸着して搬送するように上記搬送装
置に設けられたワーク吸着専用の吸着パッドと、マスク
が押付けられたベースの外周部を吸着して搬送するよう
に上記搬送装置に設けられたマスク吸着専用の吸着パッ
ドとを設けたものである。

〔作　用〕

この発明の露光機においては、ワークおよび／またはマ
スクを積載したパレットを搬入装置において位置決めし
て所定の高さに上昇させ、搬送装置によってワークおよ
びマスクを下面露光装置および上面露光装置に搬送する
。このとき搬送装置のワーク吸着専用の吸着パッドによ
りワークを吸着して搬送し、またマスク吸着専用の吸着
パッドにより、マスクが貼付けられたアクリル樹脂板等
のベースの外周部を吸着して搬送する。このためマスク
吸着専用の吸着パッドは、マスクが貼付けられた外周部
のベース部分を吸着し、マスクは直接吸着されないので
、マスクの位置ずれおよび汚れは発生しない。こうして
搬送したワークおよびマスクはそれぞれの露光装置にお
いて位置合せして密着させ露光を行う。露光を終ったワ
ークは搬送装置により搬出装置へ搬送し、搬出装置から
機外へ搬出する。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面により具体的に説明する
。

第１図（ａ）はこの実施例の露光機の全体を示す正面図
、（ｂ）はその平面図であり、いずれも前面が切欠かれ
た状態を示している（以下間）。この露光機はプリント
基板の電子回路等のパターンの焼付を目的とし、露光す
べき多数のワークおよびマスクをストッカーに保管し、
これを自動的に引出して露光し、装置外のコンベア等へ
搬出するといういわゆる自動運転を行えるように構成さ
れている。そして一端部からストッカー（１）、搬入装
置（２）、下面露光袋＠（３）、上面露光装置（４）お
よび搬出装置（５）が隣接して配置され、各装置間にワ
ークおよびマスクを搬送する搬送袋＠　（６）　、　（
７）　、　（８）が移動可能に設けられている６ ストッカー（１）はワークおよび／またはマスクが積載
されたパレットを多数保管するとともに、このパレット
を搬入袋＠（２）へ払出し、さらに空になったパレット
、または用済後のマスクを積載したパレットを内部へ引
入れて、次のパレットを払出すものである。搬入装置（
２）はストッカー（１）より払出されたパレットをスム
ーズに移動させて、定められた位置ヘセットし、その後
所定の高さまで上昇させるようになっている。下面露光
装置（３）は下部に光源を有し、ワークの下面から光を
照射して露光を行い、上面露光装置（４）は上部に設置
された光源により上面から照射を行うものである。

また、搬出袋ｗ（５）は露光済みのワークをローラコン
ベアにより機外へ搬出するようになっている。

第２図（ａ）は全体の背面図、（ｂ）はその平面図、（
ｃ）は側面図であり、搬入装置！　（２）から下面露光
装置（３）および上面露光装置（４）を通過して搬出装
置（５）まで、水平方向に延びた２本のレール（９）に
。

搬入袋Ｗ！（２）と下面露光装置（３）の間を往復する
搬送装置（６）、下面露光装置（３）と上面露光装置！
（４）の間を往復する搬送装置！　（７）、ならびに上
面露光装置（４）と搬出装置（５）の間を往復する搬送
装置（８）がセットされ、それぞれシリンダー（９ａ）
　、　（９ｂ）　。

（９ｃ）により水平方向に駆動されるようになっている
。

第３図（ａ）はパレットの平面図、（ｂ）はその正面図
、（ｅ）は側面図、（ｄ）は位置決めピンの正面図、（
ｅ）はワークを積載したパレットの平面図、（ｆ）はマ
スクを積載したパレットの平面図である。パレット（１
０）はワーク（１３）および／またはマスク（１４）を
積載するためのもので、その−辺付近に２個の位置決め
ピン（１１）が取付けられている０位置決めピン（１１
）はワーク（１３）および／またはマスク（１４）の位
置決めを行うワーク／マスク位置決め部（ｌｌａ）と、
パレット（１０）の位置決めを行うパレット位置決め部
（ｌｌｂ）とが同軸に設けられており、ワーク／マスク
位置決め部（ｌｌａ）はワーク（１３）の位置決め穴（
１３ａ）またはマスク（１４）の位置決め穴（１４ｂ）
に挿入できるようにパレット（１０）の上部に突出して
おり、パレット位置決め部（ｌｌｂ）はパレット（１０
）の下部に突出している。ワーク（１３）は上下両面に
露光可能とされ、マスク（１４）はそれぞれに対応する
パターンを有するフィルムからなり、フィルムより面積
の大きい透明アクリル樹脂板製のベース（１４ａ）によ
り裏打されている。　（１３ｂ）、（１４ｃ）は位置合
せ穴、（１４ｄ）は貫通穴である。

第４図（ａ）はストッカー（１）の正面図、（ｂ）はそ
の平面図である。ストッカー（１）は露光機の一端部に
配置され、ワーク（１３）および／またはマスク（１４
）を位置決めピン（１１）で位置決めしたパレット（１
０）を多段に並べて保管し、工程順に収納されたパレッ
ト（１０）を移載機構（１ａ）により搬入装置（２）に
押出すように払出し、空になったパレット（１０）また
は用済後のマスク（１４）を積載したパレット（１０）
を戻し、次のパレット（１０）を払出すようになってい
るが、詳細については図示は省略されている。

第５図（ａ）は搬入装置！　（２）の正面図、（ｂ）は
その側面図、（ｃ）はそのテーブル上板の平面図である
。

搬入装置！！（２）はストッカー（１）下部の定められ
た位置から払出されたワーク（１３）および／またはマ
スク（１４）を積載したパレット（１０）をスムーズに
移動させて定められた位置に位置決め後保持し、規定の
高さまで上昇させるとともに、空になったパレット（１
０）または用済後のマスク（１４）が積載されたパレッ
ト（１０）を元の位置まで下降させてストッカー（１）
へ返納できるように構成されている。すなわち強固に組
立てられた枠体（２ａ）の中心部に取付けられたリニア
ドモータ（２ｂ）に噛み合うラック（２ｃ）を介し、テ
ーブル枠体（２ｄ）およびその上面にセットされたテー
ブル上板（２ｅ）からなるテーブルが枠体（２ａ）に支
持され、軸（２ｆ）をガイドに枠体（２ａ）に対してゆ
っくり昇降できるようになっている。

枠体（２ａ）には露光機の全体枠（１２）との間にシリ
ンダー（２ｊ）が結合され、軸受（２ｇ）とレール（２
ｈ）をガイドにして高速で昇降移動できるようになって
いる。

テーブル上板（２ｅ）の上面にはパレット（１０）がス
ムーズに移動できるようにボール受軸（２ｋ）が組込ま
れており、ストッカー（１）側から移載機構（１ａ）に
より、引込まれたパレット（１０）がこの面を摺動し、
ストッパー（２ρ）に当った時点で、移載機構（１ａ）
がストッカー（１）内に戻り、パレット（１０）が仮置
きされるようになっている。

テーブル上板（２ｅ）のストッパー（２１２）のある辺
に隣接する一方の辺には、さらに押付機構（２ｍ）が設
けられてシリンダー（２ｎ）に接続し、また反対側の辺
には位置決めガイド（２ｏ）が組込まれ５位置決めガイ
ド（２ｏ）にはＶ字状の切欠（２Ｐ）および台形状の切
欠（２ｑ）が形成されており、ストッパー（２Ｑ）の位
置に仮置されたパレット（１０）をシリンダー（２ｎ）
に連動した押付機構（２耐によりガイド（２０）側へ押
付けて、パレット（１０）の下部に突出する位置決めピ
ン（１１）の一方のパレット位置決め部（ｌｌｂ）と切
欠（２ｐ）の係合により押付方向と直角方向の位置めを
行い、他方のパレット位置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２
９）により押付方向の位置決めを行うようになっている
。テーブル上板（２ｅ）の下降位置にはガイド（２ｏ）
からパレット（１０）を解放する押出機構（２ｒ）が設
けられており、またテーブル上板（２ｅ）の最上昇位置
には搬送袋＠（６）が設けられている。

第６図（ａ）は搬送装置（６）の正面図、（ｂ）は側面
図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は吸着パッドおよび押付パ
ッドの正面図である６１１＠送装置（６）は搬入装置（
２）からパレット（１０）内のワーク（１３）またはマ
スク（１４）を吸着して下面露光装置（３）へ搬送して
セットし、逆に用済後のマスク（１４）を下面露光装置
（３）から搬入装置（２）のパレット（１０）へ搬送収
納するように構成されている。上下移動枠（６ａ）は水
平移動板（６ｂ）にシリンダー（６ｃ）によって懸垂さ
れ、上下移動枠（６ａ）の側面に取付けられた軸受（６
ｄ）とブラケット（６ｅ）に取付けられた軸（６ｆ）と
をガイドに上下方向に移動できるようになっている。水
平移動板（６ｂ）は第２図に示すシリンダー（９ａ）に
よってレール（９）上を搬入装置（２）から下面露光装
置（３）にわたって往復動するようになっている。

上下移動枠（６ａ）の下面にはゴム製の吸着パッド（６
ｇ）が第６図（ｃ）のＡ、Ｂ位置に装着され、押付パッ
ド（６ｈ）がＣの位置に装着されている。吸着パッド（
６ｇ）のうちＡ位置のものは真空発生装置（６ｉ）に配
管され、Ｂ配置のものは真空発生装置（６ｊ）に配管さ
れていて、内側のＡ位置の吸着パッド（６ｇ）はワーク
吸着専用に、外側のＢ位置の吸着パッド（６ｇ）はマス
ク吸着専用に設けられており、Ｂ位置の吸着パッド（６
ｇ）はマスク（１４）を直接吸着せず、マスク（１４）
が貼付けられているベース（１４ａ）のアクリル樹脂板
のマスク（１４）より外れた外周部を吸着し、これによ
ってマスク（１４）の位置すれと汚れを防止するように
なっている。吸着パッド（６ｇ）はバネ（６ｋ）を介し
て上下移動枠（６ａ）に装着されていて、上下方向にか
なり大きなフレキシビリティを有するが、押付パッド（
６ｈ）は下面のみゴム製で。

わずかのフレキシビリティを有しており、相互の位置関
係は第６図（ｄ）に示すように、通常は押付パッド（６
ｈ）の底面は吸着パッド（６ｇ）の底面よりわずかに上
位に位置しているが、下面露光装置（３）において枠（
６ａ）を必要位置まで下降させることにより、ワーク（
１３）またはマスク（１４）の位置合せピン（３ｄ）の
周囲に押付力を与えながら、ワーク（１３）またはマス
ク（１４）の位置合せの際の変位に追随できるように位
置合せピン（３ｄ）に対応する位置に装着されている。

第７図（ａ）は下面露光装置（３）の正面図、（ｂ）は
その側面図、（Ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図
。

（ｅ）はその一部の断面図、第８図（ａ）は位置合せピ
ンの平面図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面図、第
９図はワーク解放ピンの正面図である。下面露光装置（
３）は搬送装置（６）により搬入装置（２）から搬送さ
れてきたワーク（１３）とマスク（１４）とを位置合せ
して密着し、下方からの紫外線または可視光線の照射に
より、マスク（１４）の一方の面に焼付を行うように構
成されている。下面露光装置（３）の下部には露光台（
３ａ）が設けられ、その下方に反射鏡を含む光源（３ｂ
）が設置されている。露光台（３ａ）の上面にはワーク
（１３）およびマスク（１４）を積載する透明ガラス板
（３ｃ）が設けられ、その周囲の２辺にはそれぞれ別々
の個所に並べて設けられた位置合せピン（３ｄ）、ワー
ク解放ピン（３ｅ）およびマスク解放ピン（３ｆ）から
なるピン群が３個所に配置され、その外周にマスク（１
４）吸着用吸気孔（３ｇ）が、さらにその外周にはワー
ク（１３）およびマスク（１４）密着用吸気孔（３ｈ）
が設けられている。

ピン（３ｄ）は第８図に示すカム機構を有するとともに
、軸（３１）により３本のピン（３ｄ）が機械的に連結
され、１個のシリンダー（３ｊ）の駆動により３本が同
期して昇降して、ワーク（１３）および／またはマスク
（１４）の同位置に設けられた位置合せ穴（１３ｂ）、
（１４ｃ）　ヘ挿入され、各ピン（３ｄ）の出方の差に
よる位置ずれが防止されるようになっている。

このときの挿入を容易に行うため、ビン（３ｄ）は先端
がテーパー加工されている。なおピン（３ｄ）はワーク
解放ピン（３ｅ）とマスク解放ピン（３ｆ）の中間に位
置するが、スペースの都合上第７図（ａ）〜（ｃ）では
省略されている。

位置合せ精度を高めるため、ビン（３ｄ）に対するワー
ク（１３）またはマスク（１４）の位置合せ穴（１３ｂ
）　。

（１４ｃ）の径の公差はかなり小さくなっていて、ビン
（３ｄ）を挿入するに当りある程度の抑圧が必要なため
、前述のように搬送装置（６）にはワーク（１３）また
はマスゲ（１４）のピン（３ｄ）の周囲を押すための押
付パッド（６ｈ）が装着され、ビン（３ｄ）は押付パッ
ド（６ｈ）を貫通するようになっている。

ワーク解放ピン（３ｅ）およびマスク解放ビン（３ｆ）
はワーク（１３）またはマスク（１４）をピン（３ｄ）
から外すためのもので、第９図はワーク解放ピン（３ｅ
）を示し、ビン（３ｅ）はシリンダー（３ｋ）によりガ
イド（３ｆｉ″）を介して昇降し、マスク（１４）の貫
通穴（１４ｄ）を通してワーク（１３）を押上げるよう
になっている。

マスク解放ビン（３ｆ）も図示は省略したが、はぼ同様
の構成となっており、直接マスク（１４）を押上げるよ
うになっている。吸気孔（３ｇ）　、　（３ｈ）には真
空引ノズル（３ｍ）　、　（３ｎ）が開口している。　
（３ｏ）は露光台（３ａ）の外周に設けられたパツキン
、（３ｐ）は換気用ファンである。

第１０図（ａ）は搬送装置！（７）の側面図、（ｂ）、
（ｃ）はそれぞれその一部の断面図である。搬送装置（
７）は下面露光装置（３）のワーク（１３）またはマス
ク（１４）を上面露光装＠（４）に搬送するとともに、
下面露光装置！（３）のワーク（１３）およびマスク（
１４）を密着させるように構成されている。　（７ａ）
は上下移動枠、（７ｂ）は水平移動板、（７ｃ）はシリ
ンダー、（７ｄ）は軸受、（７ｅ）はブラケット、（７
ｆ）は軸、（７ｇ）は吸着パッド、（７ｋ）はばねであ
り、搬送装置（６）と同様の水平移動機構および上下移
動機構を形成している。

（７Ｉｌ）は吸着部で、軸（７ｍ）およびばね（７ｎ）
によって上下移動枠（７ａ）から懸垂され、軸（７ｍ）
は軸（７ｏ）内を摺動し、これによって吸着部（７ρ）
はフレキシブルに動くようになっている。また吸着部（
７Ｑ）はゴムシート（７ｐ）間に内蔵された吸着パッド
（７ｇ）により、穴（７９）を介してバキューム作用に
よってワーク（１３）またはマスク（１４）を吸着する
とともに、下面露光時は第７図（ａ）に示すように下面
露光面にセットされたワーク（１３）およびマスク（１
４）を被い、真空保持のためのパッドとして働くように
なっている。

第１１図（ａ）は上面露光装置（４）の正面図、（ｂ）
はその側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面
図、（ｅ）はそのｅ−ｅ断面図、（ｆ）はｆ−ｆ断面図
である。上面露光装置（４）は下面露光装置（３）で焼
付されたワーク（１３）の他方の面を、上部に設置した
光源によって上方から焼付ける装置で、露光面までワー
ク（１３）およびマスク（１４）を上昇させ、押圧して
セットするとともに、ワーク（１３）とマスク（１４）
を被い、それらを密着するための真空パッドとしての役
目も兼ねる上下テーブルと露光部とから構成されている
。

露光部は露光台（４ａ）、光源（４ｂ）、透明ガラス板
（４ｃ）、位置合せピン（４ｄ）、ワーク解放ピン（４
ｅ）　。

マスク解放ピン（４ｆ）、・・・軸（４１）、・・・換
気用ファン（４ρ）などが下面露光装置（３）と上下逆
に設けられ、はぼ同様の構造を有するため説明を省略す
る。

上下テーブルは強固に組立てられた枠体（４ｑ）と、そ
の上部に設けられたテーブル（４ｒ）と、シリンダー（
４ｇ）を介してこれらを支持する枠体（４ｔ）と、枠体
（４９）の側面に取付けた軸受（４ｕ）と、露光機の全
体枠（１２）に取付けられたレール（４ｖ）とから成り
、軸受（４ｕ）およびレール（４ｖ）をガイドとしてシ
リンダー（４ｓ）の駆動により、露光面まで昇降するよ
うに構成されている。

枠体（４９）の上部のテーブル（４ｒ）は軸（４１ａ）
、ばね（４１ｂ）および軸受（４１ｃ）によりフレキシ
ブルな動きができるように組立てられていて、その上面
にはゴムシート（４１ｄ）が接合部（４１ｅ）　、　（
４１ｆ）によって張られている。またテーブル（４ｒ）
の中央部には押付板（４１ｇ）が軸（４１ｈ）、軸受（
４１ｉ）、ばね（４１ｊ）を介して組付けられ、ゴムシ
ート（４１ｄ）を上に押付けるようになっている。

搬送装置（８）は上面露光装＠（４）において露光され
た後、上下テーブルへ置かれたワーク（１３）を吸着し
、搬出部のコンベア上へ搬送するように構成されたもの
で、搬送装置（６）から押付パッド（６ｈ）を除いたも
のと同一構造であるので、細部についての図示は省略さ
れている。

第１２図（ａ）は搬出装置（５）の正面図、（ｂ）はそ
の側面図、（ｃ）はその搬出部の平面図、（ｄ）はその
正面図、（ｅ）は側面図である。搬出装置（５）は搬送
装置（８）により、上面露光装置（４）から搬送された
ワーク（１３）を装置外のコンベアなどへ搬出するため
の装置で、ローラ（５ａ）がはめ込まれた軸（５ｂ）が
軸受（５ｃ）を介して枠組（５ｄ）により支持され、ベ
ルト（５ｅ）を介して電動機（５ｆ）に接続し、ローラ
（５ａ）外周に張ったゴムベルト（５ｇ）によりワーク
（１３）を搬出するようになっており、枠組（５ｄ）が
露光機の全体枠（１２）に取付けられている。　（ｓｈ
）はゴムベルト（５ｇ）の張力調整装置である。

上記のように構成された露光機においては、ワーク（１
３）および／またはマスク（１４）を第３図に示すパレ
ット（１０）に積載して搬入する。ワーク（１３）およ
び／またはマスク（１４）をパレット（１０）に積載す
る場合、ワーク（１３）および／またはマスク（１４）
に設けられた位置決め穴（１３ａ）　、　（１４ｂ）に
位置決めピン（１１）のワーク／マスク位置決め部（ｌ
ｌａ）　を挿入して積載すると、ワーク（１３）および
／またはマスク（１４）はパレット（１０）に対して正
確に位置決めされる。

このようにワーク（１３）および／またはマスク（１４
）を積載したパレット（１０）はストッカー（１）に保
管され、特定のパレット（１０）が第４図および第５図
に示すようにストッカー（１）から移載機構（１ａ）に
より搬入装置（２）のテーブル上板（２ｅ）上に払出さ
れる。そしてパレット（１０）がボール軸受（２ｋ）上
を摺動し、ストッパー（２ρ）に当った時点で、移載機
構（１ａ）がストッカー（１）内に戻り、パレット（１
０）が仮置きされる。この状態からパレット（１０）は
シリンダー（２ｎ）に連動した押付機構（２ｆｆｉ）に
よりガイド（２０）側へ押付けられ、パレット（１０）
の下部に突出する位置決めピン（１１）の一方のパレッ
ト位置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２９）の係合により押
付方向と直角方向の位置決めが行われ、他方のパレット
位置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２Ｐ）により押付方向の
位置決めが行われる。

位置決めピン（１１）はワーク／マスク位置決め部（ｌ
ｌａ）とパレット位置決め部（ｌｌｂ）が一体に形成さ
れているため、両者の位置関係は常に一定であ餐、この
ためワーク／マスク位置決め部（ｌｌａ）によりパレッ
ト（１０）に対して位置決めされたワーク（１３）およ
び／またはマスク（１４）はパレット位置決め部（ｌｌ
ｂ）によってパレット（１０）が位置決めされることに
より、搬入位置において正確に位置決めされ、パレット
（１０）の寸法のバラツキに拘らず、正確な位置決めが
行われる。この場合ワーク（１３）および／またはマス
ク（１４）の位置は位置決めピン（１１）のワーク／マ
スク位置決め部（ｌｌａ）とパレット位置決め部（ｌｌ
ｂ）の位置関係によって決まるため、位置決めピン（１
１）の寸法精度を上げればよく、パレット（１０）の寸
法精度は低くてもよい１位置決めピン（１１）は一体的
に形成されているため、寸法精度を高くするのは容易で
あり、パレット（１０）は低コスト化される。

パレット（１０）が位置決めされたあと、枠体（２ａ）
はシリンダー（２ｊ）によって高速で所定位置まで上昇
し、その後モータ（２ｂ）によって、テーブル枠体（２
ｄ）およびテーブル上板（２ｅ）がゆっくりと所定位置
まで上昇し、微調整が行われる。ワーク（１３）および
／またはマスク（１４）が搬送されて空になったパレッ
ト（１０）、または用済後の返還されたマスク（１４）
の収納されたパレット（１０）は、シリンダー（２ｊ）
により高速で、またモータ（２ｂ）によってゆっくりと
所定位置まで下降し、押出機構（２ｒ）によリガイド（
２ｏ）から解放され、移載機構（１ａ）によってストッ
カー（１）に収納される。シリンダー（２ｊ）およびモ
ータ（２ｂ）により２段階に昇降させることにより、パ
レット（１０）を高速かつ高精度で所定位置に昇降させ
ることができる。

パレット（１０）を位置決めしたテーブル上板（２ｅ）
が所定位置に上昇すると、搬送装置（６）が搬入装置（
２）の」二部から下降し、まずＢ位置の吸着パッド（６
ｇ）がパレット（１０）内に積載された上面露光用のマ
スク（１４）をバキュウム作用により吸着する。

そしてシリンダー（６ｃ）によって上昇した後、シリン
ダー（９ａ）によって下面露光装置（３）へ移動し、さ
らにシリンダー（６ｃ）によって下降し、マスク（１４
）を下面露光袋＠（３）の露光台（３ａ）の透明ガラス
板（３ｃ）上にセットする。このとき吸着パッド（６ｇ
）はＢ位置のものがマスク（１４）を真打しているベー
スのアクリル樹脂板の外周部のみを吸着し、その内側に
位置するマスク（フィルム）は吸着しないで搬送する。

そして下面露光装置（３）上にセットする際、シリンダ
ー（３ｊ）により３本の位置合せピン（３ｄ）を同時に
押上げてマスク（１４）の位置合せ穴（１４ｃ）に位置
合せピン（３ｄ）を挿入し、このとき押付パッド（６ｈ
）の押付力によりマスク（１４）の浮上がりを防止する
。

上面露光用のマスク（１４）のセット後、搬送装置（６
）は上昇して搬入袋Ｗ（２）へ移動し、下降してパレッ
ト（１０）から下面露光用のマスク（１４）を吸着し、
同様の動作で下面露光装置（３）の露光台（３ａ）にセ
ットする。その間に、上面露光用のマスク（１４）は搬
送装置（７）により下面露光装置（３）から上面露光装
置（４）へ搬送されている。マスク（１４）がセットさ
れたあと、同様の動作によって対応ワーク（１３）が順
に搬送され、セットされる。このときＡ位置の吸着パッ
ド（６ｇ）がワーク（１３）を吸着して搬送を行い、位
置合せピン（３ｄ）をワーク（１３）の位置合せ穴（１
３ｂ）に挿入し、押付パッド（６ｈ）によりワーク（１
３）の浮上がりおよび傾斜を防止する。対応ワーク（１
３）が全数搬送されると、下面露光用のマスク（１４）
および下面露光袋ｆｉ！　（３）に戻された上面露光用
のマスク（１４）は搬送袋ｗ（６）により搬入装置（２
）の空のパレット（１０）へ返納される。

下面露光装置（３）の露光台（３ａ）にセットされたマ
スク（１４）は、その周囲を吸気孔（３ｇ）を通して真
空引ノズル（３ｍ）により真空引きすることにより、露
光台（３ａ）のガラス板（３ｃ）に密着し、保持される
。

そしてマスク（１４）の上部にワーク（１３）がセット
された後、搬送袋＠（６）が上昇して、搬入袋＠（２）
側へ移動し、これに代って搬送装置（７）が上面露光装
置（４）側から移動してきて下降し、その下部のゴムシ
ート（７ρ）によりマスク（１４）とワーク（１３）が
被われると、露光台（３ａ）の外周部の吸気孔（３ｈ）
から、真空引ノズル（３ｎ）により真空引きされ、露光
が行われる。

露光が終了すると真空ノズル（３ｎ）の真空引が解除さ
れ、ワーク解放ピン（３ｅ）がマスク（１４）の貫通穴
（１４ｄ）を通してワーク（１３）を押上げ１位置合せ
ピン（３ｄ）からワーク（１３）を解放し、続いて搬送
装置（７）の吸着パッド（７ｇ）によりワーク（１３）
を吸着して上面露光装置（４）に搬送し、この間に搬送
装置（６）により次のワーク（１３）を下面露光装置（
３）に搬送してセットし、前記と同様にして露光が繰返
えされる。所定枚数の露光が終了し、用済みとなったマ
スク（１４）はマスク解放ピン（３ｆ）に押されて位置
合せピン（３ｄ）から解放され、搬送袋＠（６）により
前記と逆の動作で搬入袋＠（２）に返還される。

上面露光用のマスク（１４）を下面露光装置（３）から
上面露光装置（４）へ搬送する場合もマスク解放ピン（
３ｆ）により解放される。

搬送装置（７）によるマスク（１４）の搬送は次の通り
行われる。すなわち搬送装置（７）は搬送装置（６）と
同様の動作により、下面露光装置（３）の上部から下降
し、露光台（３ａ）に位置決めセットされた上面露光用
のマスク（１４）を吸着し、上面露光装置（４）へ移動
して下降する。搬送袋Ｗ（７）が上面露光装置（４）内
の上下テーブルのテーブル（４ｒ）の上面と吸着された
マスクが接触するまで下降すると、搬送装置（７）は停
止し、吸着パッド（７ｇ）の電磁バルブが閉じられてマ
スク（１４）はテーブル（４ｒ）上面のゴムシート（４
１ｄ）上へ置かれる。このあと搬送装置（７）は上昇し
、下面露光装置（３）側へ移動後下降して、前述のよう
に露光台（３ａ）に位置決めセットされたワーク（１３
）とマスク（１４）を吸着部（７Ｑ）のゴムシート（７
Ｐ）で被い、露光中この状態を保持する。露光が完了す
ると、ワーク解放ピン（３ｅ）により解放されたワーク
（１３）のみ前述のマスク（１４）と同様の動作で上面
露光装置（４）の上下テーブルへ搬送する。

上面露光装置（４）では、搬送装置（７）の吸着部（７
Ｑ）により吸着されて搬送されてきたワーク（１４）が
下降し、テーブル（４ｒ）上のゴムシート（４１ｄ）に
接触した後吸着部（７Ｑ）から解放されてゴムシート（
４１ｄ）上に置かれる。その後シリンダー（４ｓ）によ
り枠体（４９）が上昇し、ワーク（１３）およびマスク
（１４）は露光台（４ａ）の位置決めピン（４ｄ）にセ
ットされるが、この時の押圧力はテーブル（４ｒ）の中
央部に組付けられた押付板（４１ｇ）により支えられる
。

このとき位置合せピン（４ｄ）が突出し、ゴムシート（
４１ｄ）によって押付けられてワーク（１３）およびマ
スク（１４）の浮上がりおよび傾斜が防止され、位置合
せが行われる。位置合せピン（４ｄ）はゴムシート（４
１ｄ）を貫通するようになっている。こうしてセットさ
れたワーク（１３）とマスク（１４）はそのままゴムシ
ート（４１ｄ）によって被われ、下面露光装置（３）の
場合と同様に、真空引ノズル（４ｍ）　、　（４ｎ）　
（図示省略）によって真空密着され、光源（４ｂ）によ
り露光される。

その後下面露光装置（３）と同一構造の解放ピン（３ｅ
）　、　（３ｆ）により露光台（３ａ）より解放され、
再びテーブル（４ｒ）のゴムシート（４１ｄ）上に置か
れる。

この状態で上下テーブルが所定の位置まで下降すると、
搬送装置（８）が搬送装置（６）　、　（７）と同様の
動作でゴムシート（４１ｄ）上のワーク（１３）を吸着
して搬出袋＠（５）に搬送し、ゴムベルト（５ｇ）上に
置かれると、電動機（５ｆ）によって回転するローラ（
５ａ）によりゴムベルト（５ｇ）が回転して、ワーク（
１３）が装置外のコンベアなどに搬出される。上面露光
装置（４）において所定枚数のワーク（１３）の露光を
行い、用済みとなったマスク（１４）は前記と逆の動作
で搬送袋＠（７）および（６）により、下面露光装置（
３）を経て搬入袋＠（２）のパレット（１０）へ返還さ
れる。

上記の露光機では、下面露光袋＠（３）および上面露光
装置（４）においてワーク（１３）およびマスク（１４
）の位置合せを行う場合、３本の位置合せピン（３ｄ）
、（４ｄ）が１個のシリンダーにより同期して昇降する
ため、各ピン（３ｄ）　、　（４ｄ）の出方の差による
位置ずれが防止され、各ピン（３ｄ）　、　（４ｄ）は
先端がテーパー加工されているため、容易に位置合せ穴
（１３ｂ）　、　（１４ｃ）に挿入され、このとき押付
部材としての押付パッド（６ｈ）およびゴムシート（４
１ｄ）によリワーク（１３）およびマスク（工４）の浮
上がりおよび傾斜が防止される。このほか３個所に設け
られた１本のピン（３ｄ）　、　（４ｄ）をワーク（１
３）およびマスク（１４）の同位置に設けられた位置合
せ穴（１３ｂ）　、　（１４ｃ）に挿入して同時に位置
合せを行うため、位置合せ精度が高くなる。

また下面露光装置（３）および上面露光袋＠（４）では
、別々に設けたワーク解放ピン（３ｅ）　、　（４ｅ）
およびマスク解放ピン（３ｆ）　、　（４ｆ）によりワ
ーク（１３）およびマスク（１４）を別々に解放するこ
とができるので、同一のマスク（１４）を使用して複数
のワーク（１３）を露光するときのワーク（１３）の交
換を容易かつ高速度で行うことができる。

さらに搬送装置（６）、（８）では吸着パッド（６ｇ）
　。

（７ｇ）が内側のＡ位置および外側のＢ位置に配置され
独立した真空発生袋＠（６ｊ）に接続して、それぞれワ
ーク専用およびマスク専用となっているので、マスク（
１４）を搬送する場合ベース（１４ａ）のアクリル樹脂
板の外周を保持して、内側に固定されたマスク（フィル
ム）（１４）の位置すれと汚れを防止することができる
。

上記の露光機では下面露光装置（３）と上面露光袋＠（
４）が別の装置となっているため、従来の両面露光装置
に比べて搬送スペースを大きくとることができ、これに
よりワーク（１３）およびマスク（１４）の搬送を容易
に行うことができるとともに、焦点合せもワーク（１３
）を動かせばよいので容易である。

なお、上記の説明において、各吸着パッド（６ｇ）の構
造および配置等は図示のものに限定されず。

変更可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ワーク吸着専用の吸着パッドとは別に
、マスクを貼付けたベースの外周部を吸着するマスク吸
着専用の吸着パッドを設けたので、ペースに貼付けられ
たマスクの位置ずれおよび汚れを防止でき、効率よくワ
ークおよびマスクを搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は実施例の露光機の全体を示す正面図、（
ｂ）はその平面図、第２図（ａ）は全体の背面図、（ｂ
）はその平面図、（ｃ）は側面図、第３図（ａ）はパレ
ットの平面図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面図、
（ｄ）は位置決めピンの正面図、（ｅ）　、　（ｆ）は
それぞれパレットの使用状態を示す平面図、第４図（ａ
）はストッカーの正面図、（ｂ）はその平面図、第５図
（ａ）は搬入装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（ｃ
）はそのテーブル上板の平面図、第６図（ａ）は搬出装
置の正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）
は吸着パッドおよび押付パッドの正面図、第７図（ａ）
は下面露光装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（ｃ）
は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（ｅ）はその一部
の断面図、第８図（ａ）は位置合せピンの平面図、（ｂ
）はその正面図、（ｃ）は側面図、第９図はワーク解放
ピンの正面図、第１０図（ａ）は搬送装置の側面図、（
ｂ）、（Ｃ）はそれぞれその一部の断面図、第１１図（
ａ）は上面露光装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（
Ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（ｅ）はその
ｅ−ｅ断面図、（ｆ）はｆ−ｆ断面図、第１２図（ａ）
は搬出装置の正面図、（ｂ）はその側面図、（ｃ）はそ
の搬出部の平面図、（ｄ）はその正面図、（ｅ）は側面
図である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、（１）はストッカ
ー、（２）は搬入装置、　（２ｏ）は位置決めガイド、
（３）は下面露光装置、（３ａ）　、　（４ａ）は露光
台、（３ｂ）、　（４ｂ）は光源、（３ｄ）、　（４ｄ
）は位置合せピン、（３ｅ）　、　（４ｅ）はワーク解
放ピン、　（３ｆ）、（４ｆ）はマスク解放ピン、（４
）は上面露光装置、（４ｒ）はテーブル。 （４１ｄ）はゴムシート、（５）は搬出装置、（６）　
、　（７）　、　（８）は搬送装置、（６ｇ）　、　（
７ｇ）は吸着パッド、（６ｈ）は押付パッド、（１０）
はパレット、（１１）は位置決めピン、（ｌｌａ）はワ
ーク／マスク位置決め部、（ｌｌｂ）はパレット位置決
め部、（１３）はワーク、（１４）はマスク、（１４ａ
）はベースである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワークおよび／またはマスクを積載したパレット
   を位置決めして所定の高さまで上昇させる搬入装置と、
   下部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合せし
   てワーク下面の露光を行う下面露光装置と、上部に光源
   を有しかつワークおよびマスクを位置合せしてワーク上
   面の露光を行う上面露光装置と、露光済みのワークを機
   外へ搬出する搬出装置と、ワークまたはパレットを吸着
   して上記各装置間を移動し搬送を行う搬送装置と、ワー
   クを吸着して搬送するように上記搬送装置に設けられた
   ワーク吸着専用の吸着パッドと、マスクが貼付けられた
   ベースの外周部を吸着して搬送するように上記搬送装置
   に設けられたマスク吸着専用の吸着パッドとを備えたこ
   とを特徴とする露光機。
2. （２）マスク吸着専用の吸着パッドがワーク吸着専用の
   吸着パッドの外側に配置されたことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の露光機。