JPS62294249A - 露光機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明はプリント配線基板の電子回路等のパターンの
焼付を行うための露光機に関するものである。

〔従来の技術〕

プリント配線基板の電子回路等のパターンの焼付を行う
ための露光機として、所望枚数のワークおよびマスクを
位置決めして積載するパレットと、上記ワークの上下両
面の露光を行うように、上下対称に設けられた光源とし
てのランプ、反射鏡、焼き枠体および透明板を有する両
面露光装置と、上記パレットを搬入位置に保持するとと
もに、パレットに収納されたワークおよび／またはマス
クを一定高さ位置に保持する搬入装置と、この搬入位置
から露光位置を通って搬出位置まで延びたレールに沿っ
て搬入位置および露光位置の間を往復移動する搬送装置
と、上記露光位置と搬出位置との間を往復移動する別の
搬送装置と、下面にワークおよび／またはマスクを吸着
保持する多数の吸着パッドを有し、上記搬送装置に水平
姿勢のまま昇降変位自在に取付けられた吸着装置とを備
えた露光機が提案されている（例えば特開昭６０−１６
８１４８号）。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の露光機においては、ワークおよびマ
スクを上下の透明板で挟持して露光を行うようになって
いるため、ワークおよびマスクの搬送スペースが小さく
なり、搬送が困難であるとともに、焦点調整には光源を
移動させる必要があるという問題点があった。このよう
な点を改善するために下面露光装置と上面露光装置を分
離するとワークおよびマスクの位置合せが困難であると
いう問題点があった。

この発明は上記問題点を解決するためのもので、下面露
光装置と上面露光装置を分離して、ワークおよびマスク
の搬送スペースを大きくし、これにより搬送を容易にす
るととに、焦点調整を容易にし、かつワ・−りおよびマ
スクの位置合せの際、ワークおよびマスクの浮上がりお
よび傾斜を防止して、位置合せを正確に行うことができ
る露光機を得ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の露光機は、ワークおよび／またはマスクを積
載したパレットを位置決めして所定の高さまで上昇させ
る搬入装置と、下部に光源を有しかつワークおよびマス
クを位置合せしてワーク下面の露光を行う下面露光装置
と、上部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合
せしてワーク上面の露光を行う上面露光装置と、露光済
みのワークを機外へ搬出する搬出装置と、ワークまたは
パレットを吸着して上記各装置間を移動し搬送を行う搬
送袋装置と、下面露光装置および上面露光装置に設けら
れた露光台と、この露光台にセットされたワークおよび
マスクの位置合せ穴に挿入されるように突出する位置合
せピンと、この位置合せピンの周囲のワークおよびマス
クを押付けて浮上がりおよび傾斜を防止する押付部材と
を設けたものである。

〔作　用〕

この発明の露光機においては、ワークおよび／またはマ
スクを積載したパレットを搬入装置において位置決めし
て所定の高さに上昇させ、搬送装置によってワークおよ
びマスクを下面露光装置および上面露光装置に搬送し、
それぞれの露光装置においてワークおよびマスクを位置
合せして密着させ露光を行う。位置合せに際しては露光
台から位置合せピンを突出させてワークおよびマスクの
同位置に設けられた位置合せ穴に挿入するとともに、押
付パッド等の押付部材により位置合せピン周囲のワーク
およびマスクを押付る。これによりワークおよびマスク
の浮上がりおよび傾斜が防止され、位置合せが正確に行
われる。ま゛た押付部材によりワークおよびマスクの浮
上がりが防止されるため、位置合せピンに対する位置合
せ穴の公差を小さくして、位置合せ精度を高くすること
ができる。露光を終ったワークは搬送装置により搬出装
置へ搬送し、搬出装置から機外へ搬出する。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を図面により具体的に説明する
。

第１図（ａ）はこの実施例の露光機の全体を示す正面図
、（ｂ）はその平面図であり、いずれも前面が切欠かれ
た状態を示している（以下間）。この露光機はプリント
基板の電子回路等のパターンの焼付を目的とし、露光す
べき多数のワークおよびマスクをストッカーに保管し、
これを自動的に引出して露光し、装置外のコンベア等へ
搬出するといういわゆる自動運転を行えるように構成さ
れている。そして一端部からストッカー（１）、搬入装
置（２）、下面露光装置（３）、上面露光装置（４）お
よび搬出装置（５）が隣接して配置され、各装置間にワ
ークおよびマスクを搬送する搬送装置（６）　、　（７
）　、　（８）が移動可能に設けられている。

ストッカー（１）はワークおよび／またはマスクが積載
されたパレットを多数保管するとともに、このパレット
を搬入装置（２）へ払出し、さらに空になったパレット
、または用済後のマスクを積載したパレットを内部へ引
入れて１次のパレットを払出すものである。搬入装置（
２）はストッカー（１）より払出されたパレットをスム
ーズに移動させて、定められた位置へセットし、その後
所定の高さまで上昇させるようになっている。下面露光
装置（３）は下部に光源を有し、ワークの下面から光を
照射して露光を行い、上面露光装置（４）は上部に設置
された光源により上面から照射を行うものである。

また、搬出装置（５）は露光済みのワークをローラコン
ベアにより機外へ搬出するようになっている。

第２図（ａ）は全体の背面図、（ｂ）はその平面図、（
ｃ）は側面図であり、搬入装置（２）から下面露光装置
（３）および上面露光装置（４）を通過して搬出装置（
５）まで、水平方向に延びた２本のレール（９）に、搬
入装置（２）と下面露光装置（３）の間を往復する搬送
装置（６）、下面露光装置（３）と上面露光装置（４）
の間を往復する搬送装置（７）、ならびに上面露光装置
（４）と搬出装置（５）の間を往復する搬送装置（８）
がセットされ、それぞれシリンダー（９ａ）　、　（９
ｂ）　。

（９ｃ）により水平方向に駆動されるようになっている
。

第３図（ａ）はパレットの平面図、（ｂ）はその正面図
、（Ｃ）は側面図、（ｄ）は位置決めピンの正面図、（
ｅ）はワークを積載したパレットの平面図、（ｆ）はマ
スクを積載したパレットの平面図である。パレット（１
０）はワーク（１３）および／またはマスク（１４）を
積載するためのもので、その−辺付近に２個の位置決め
ピン（１１）が取付けられている。位置決めピン（１１
）はワーク（１３）および／またはマスク（１４）の位
置決めを行うワーク／マスク位置決め部（ｌｌａ）と、
パレット（１０）の位置決めを行うパレット位置決め部
（ｌｌｂ）とが同軸に設けられており、ワーク／マスク
位置決め部（ｌｌａ）はワーク（１３）の位置決め穴（
１３ａ）またはマスク（１４）の位置決め穴（１４ｂ）
に挿入できるようにパレット（１０）の上部に突出して
おり、パレット位置決め部（ｌｌｂ）はパレット（１０
）の下部に突出している。ワーク（１３）は上下両面に
露光可能とされ、マスク（１４）はそれぞれに対応する
パターンを有するフィルムからなり、フィルムより面積
の大きい透明アクリル樹脂板製のベース（１４ａ）によ
り裏打されている。（１３ｂ）　、　（１４ｃ）は位置
合せ穴、（１４ｄ）は貫通穴である。

第４図（ａ）はストッカー（１）の正面図、（ｂ）はそ
の平面図である。ストッカー（１）は露光機の一端部に
配置され、ワーク（１３）および／またはマスク（１４
）を位置決めピン（１１）で位置決めしたパレット（１
０）を多段に並べて保管し、工程順に収納されたパレッ
ト（１０）を移載機構（１ａ）により搬入装置（２）に
押出すように払出し、空になったパレット（１０）また
は用済後のマスク（１４）を積載したパレット（１０）
を戻し、次のパレット（１０）を払出すようになってい
るが、詳細については図示は省略されている。

第５図（ａ）は搬入装置（２）の正面図、（ｂ）はその
側面図、（ｃ）はそのテーブル上板の平面図である。

搬入装置（２）はストッカー（１）下部の定められた位
置から払出されたワーク（１３）および／またはマスク
（１４）を積載したパレット（１０）をスムーズに移動
させて定められた位置に位置決め後保持し、規定の高さ
まで上昇させるとともに、空になったパレット（１０）
または用済後のマスク（１４）が積載されたパレット（
１０）を元の位置まで下降させてストッカー（１）へ返
納できるように構成されている。すなわち強固に組立て
られた枠体（２ａ）の中心部に取付けられたリニアドモ
ータ（２ｂ）に噛み合うラック（２ｃ）を介し、テーブ
ル枠体（２ｄ）およびその上面にセットされたテーブル
上板（２ｅ）からなるテーブルが枠体（２ａ）に支持さ
れ、軸（２ｆ）をガイドに枠体（２ａ）に対してゆっく
り昇降できるようになっている。

枠体（２ａ）には露光機の全体枠（１２）との間にシリ
ンダー（２ｊ）が結合され、軸受（２ｇ）とレール（２
ｈ）をガイドにして高速で昇降移動できるようになって
いる。

テーブル上板（２ｅ）の上面にはパレット（１０）がス
ムーズに移動できるようにボール受軸（２ｋ）力隻■込
まれており、ストッカー（１）側から移載機構（１ａ）
により、引込まれたパレット（ｌＯ）がこの面を１ｄ動
し、ストッパー（２ρ）に当った時点で、移載１％　Ｉ
Ｎ（１ａ）がストッカー（１）内に戻り、パレット（１
０）が仮置きされるようになっている。

テーブル上板（２ｅ）のストッパー（２Ｎ）のある辺に
隣接する一方の辺には、さらに押付機構（２ｍ）が設け
られてシリンダー（２ｎ）に接続し、また反対側の辺に
は位置決めガイド（２ｏ）が組込まれ、位置決めガイド
（２ｏ）にはＶ字状の切欠（２Ｐ）および台形状の切欠
（２９）が形成されており、ストッパー（２Ｑ）の位置
に仮置されたパレット（１０）をシリンダー（２ｎ）に
連動した押付機構（２ｍ）によりガイド（２ｏ）側へ押
付けて、パレット（１０）の下部に突出する位置決めピ
ン（１１）の一方のパレット位置決め部（ｌｌｂ）と切
欠（２Ｐ）の係合により押付方向と直角方向の位置めを
行い、他方のパレット位置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２
つ）により押付方向の位置決めを行うようになっている
。テーブル上板（２ｅ）の下降位置にはガイド（２ｏ）
からパレット（１０）を解放する押出機構（２ｒ）が設
けられており、またテーブル上板（２ｅ）の最上昇位置
には搬送装置（６）が設けられている。

第６図（ａ）は搬送装置（６）の正面図、（ｂ）は側面
図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は吸着パッドおよび押付パ
ッドの正面図である６搬送装置（６）は搬入装置（２）
からパレット（１０）内のワーク（１３）またはマスク
（１４）を吸着して下面露光装置（３）へ搬送してセッ
トし、逆に用済後のマスク（１４）を下面露光装置（３
）から搬入装置（２）のパレット（１０）へ搬送収納す
るように構成されている。上下移動枠（６ａ）は水平移
動板（６ｂ）にシリンダー（６ｃ）によって懸垂され、
上下移動枠（６ａ）の側面に取付けられた軸受（６ｄ）
とブラケット（６ｅ）に取付けられた軸（６ｆ）とをガ
イドに上下方向に移動できるようになっている。水平移
動板（６ｂ）は第２図に示すシリンダー（９ａ）によっ
てレール（９）上を搬入装置（２）から下面露光装置（
３）にわたって往復動するようになっている。

上下移動枠（６ａ）の下面にはゴム製の吸着パッド（６
ｇ）が第６図（ｅ）のＡ、Ｂ位置に装着され、押付パッ
ド（６ｈ）がＣの位置に装着されている。吸着パッド（
６ｇ）のうちＡ位置のものは真空発生装置（６１）に配
管され、Ｂ配置のものは真空発生装置（６ｊ）に配管さ
れていて、内側のＡ位置の吸着パッド（６ｇ）はワーク
吸着専用に、外側のＢ位置の吸着パッド（６ｇ）はマス
ク吸着専用に設けられており、Ｂ位置の吸着パッド（６
ｇ）はマスク（１４）を直接吸着せず、マスク（１４）
が貼付けられているベース（１４ａ）のアクリル樹脂板
のマスク（１４）より外れた外周部を吸着し、これによ
ってマスク（１４）の位置すれと汚れを防止するように
なっている。吸着パッド（６ｇ）はバネ（６ｋ）を介し
て上下移動枠（６ａ）に装着されていて、上下方向にか
なり大きなフレキシビリティを有するが、押付パッド（
６ｈ）は下面のみゴム製で、わずかのフレキシビリティ
を有しており、相互の位置関係は第６図（ｄ）に示すよ
うに、通常は押付パッド（６ｈ）の底面は吸着パッド（
６ｇ）の底面よりわずかに上位に位置しているが、下面
露光装置（３）において枠（６ａ）を必要位置まで下降
させることにより、ワーク（１３）またはマスク（１４
）の位置合せピン（３ｄ）の周囲に押付力を与えながら
、ワーク（１３）またはマスク（１４）の位置合せの際
の変位に追随できるように位置合せピン（３ｄ）に対応
する位置に装着されている。

第７図（ａ）は下面露光装置（３）の正面図、（ｂ）は
その側面図、（Ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図
。

（ｅ）はその一部の断面図、第８図（ａ）は位置合せピ
ンの平面図、（ｂ）はその正面図、（ｃ）は側面図、第
９図はワーク解放ピンの正面図である。下面露光装置（
３）は搬送装置（６）により搬入装置（２）から搬送さ
れてきたワーク（１３）とマスク（１４）とを位置合せ
して密着し、下方からの紫外線または可視光線の照射に
より、マスク（１４）の一方の面に焼付を行うように構
成されている。下面露光装置（３）の下部には露光台（
３ａ）が設けられ、その下方に反射荒を含む光源（３ｂ
）が設置されている。露光台（３ａ）の上面にはワーク
（１３）およびマスク（工４〕を積載する透明ガラス板
（３ｃ）が設けられ、その周囲の２辺にはそれぞれ別々
の個所に並べて設けられた位置合せピン（３ｄ）、ワー
ク解放ピン（３ｅ）およびマスク解放ピン（３ｆ）から
なるピン群が３個所に配置され、その外周にマスク（１
４）吸着用吸気孔（３ｇ）が、さらにその外周にはワー
ク（１３）およびマスク（１４）密着用吸気孔（３ｈ）
が設けられている。

ピン（３ｄ）は第８図に示すカム機構を有するとともに
、軸（３１）により３本のピン（３ｄ）が機械的に連結
され、１個のシリンダー（３ｊ）の駆動により３本が同
期して昇降して、ワーク（１３）および／またはマスク
（１４）の同位置に設けられた位置合せ穴（１３ｂ）、
（１４ｃ）　ヘ挿入され、各ピン（３ｄ）の出方の差に
よる位置ずれが防止されるようになっている。

このときの挿入を容易に行うため、ピン（３ｄ）は先端
がテーパー加工されている。なおピン（３ｄ）はワーク
解放ピン（３ｅ）とマスク解放ピン（３ｆ）の中間に位
置するが、スペースの都合上第７図（ａ）〜（ｃ）では
省略されている。

位置合せ精度を高めるため、ピン（３ｄ）に対するワー
ク（１３）またはマスク（１４）の位置合せ穴（１３ｂ
）。

（１４ｃ）の径の公差はかなり小さくなっていて、ピン
（３ｄ）を挿入するに当りある程度の押圧が必要なため
、前述のように搬送装置（６）にはワーク（１３）また
はマスク（１４）のピン（３ｄ）の周囲を押すための押
付パッド（６ｈ）が装着され、ピン（３ｄ）は押付パッ
ド（６ｈ）を貫通するようになっている。

ワーク解放ピン（３ｅ）およびマスク解放ピン（３ｆ）
はワーク（１３）またはマスク（１４）をピン（３ｄ）
から外すためのもので、第９図はワーク解放ピン（３ｅ
）を示し、ピン（３ｅ）はシリンダー（３ｋ）によりガ
イド（３ρ）を介して昇降し、マスク（１４）の貫通穴
（１４ｄ）を通してワーク（１３）を押上げるようにな
っている。

マスク解放ピン（３ｆ）も図示は省略したが、はぼ同様
の構成となっており、直接マスク（１４）を押上げるよ
うになっている。吸気孔（３ｇ）　、　（３ｈ）には真
空引ノズル（３ｍ）　、（３ｎ）が開口している。　（
３ｏ）は露光台（３ａ）の外周に設けられたパツキン、
　（３ｐ）は換気用ファンである。

第１０図（ａ）は搬送装置（７）の側面図、（ｂ）　、
　（ｃ）はそれぞれその一部の断面図である。搬送装置
（７）は下面露光装置（３）のワーク（１３）またはマ
スク（１４）を上面露光装置（４）に搬送するとともに
、下面露光装置（３）のワーク（１３）およびマスク（
１４）を密着させるように構成されている。　（７ａ）
は上下移動枠、（７ｂ）は水平移動板、（７ｃ）はシリ
ンダー、（７ｄ）は軸受、　（７ｅ）はブラケット、　
（７ｆ）は軸、（７ｇ）は吸着パッド、（７ｋ）はばね
であり、搬送装置（６）と同様の水平移動機構および上
下移動機構を形成している。

（７Ω）は吸着部で、軸（７ｍ）およびばね（７ｎ）に
よって上下移動枠（７ａ）から懸垂され、軸（７ａｍ）
は軸（７０）内を摺動し、これによって吸着部（７Ｑ）
はフレキシブルに動くようになっている。また吸着部（
７Ｑ）はゴムシート（７ρ）間に内蔵された吸着パッド
（７ｇ）により、穴（７９）を介してバキューム作用に
よってワーク（１３）またはマスク（１４）を吸着する
とともに、下面露光時は第７図（ｅ）に示すように下面
露光面にセットされたワーク（１３）およびマスク（１
４）を被い。

真空保持のためのパッドとして働くようになっている。

第１１図（ａ）は上面露光装置（４）の正面図、（ｂ）
はその側面図、（Ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面
図、（ｅ）はそのｅ−ｅ断面図、（ｆ）はｆ−ｆ断面図
である。上面露光装置（４）は下面露光装置（３）で焼
付されたワーク（１３）の他方の面を、上部に設置した
光源によって上方から焼付ける装置で、露光面までワー
ク（１３）およびマスク（１４）を上昇させ、押圧して
セットするとともに、ワーク（１３）とマスク（１４）
を被い、それらを密着するための真空パッドとしての役
目も兼ねる上下テーブルと露光部とから構成されている
。

露光部は露光台（４ａ）、光源（４ｂ）、透明ガラス板
（４ｃ）、位置合せピン（４ｄ）、ワーク解放ピン（４
ｅ）、マスク解放ピン（４ｆ）、・・・軸（４１）、・
・・換気用ファン（４ｐ）などが下面露光装置（３）と
上下逆に設けられ、はぼ同様の構造を有するため説明を
省略する。

上下テーブルは強固に組立てられた枠体（４９）と、そ
の上部に設けられたテーブル（４ｒ）と、シリンダー（
４ｇ）を介してこれらを支持する枠体（４ｔ）と、枠体
（４９）の側面に取付けた軸受（４ｕ）と、露光機の全
体枠（１２）に取付けられたレール（４ｖ）とから成り
、軸受（４ｕ）およびレール（４ｖ）をガイドとしてシ
リンダー（４ｓ）の駆動により、露光面まで昇降するよ
うに構成されている。

枠体（４ｑ）の上部のテーブル（４ｒ）は軸（４１ａ）
、ばね（４１ｂ）および軸受（４１ｃ）によりフレキシ
ブルな動きができるように組立てられていて、その上面
にはゴムシート（４１ｄ）が接合部（４１ｅ）　、　（
４１ｆ）によって張られている。またテーブル（４ｒ）
の中央部には押付板（４１ｇ）が軸（４］、ｈ）、軸受
（４１ｉ）、ばね（４Ｆ）を介して組付けられ、ゴムシ
ート（４Ｌｄ）を上に押付けるようになっている。

搬送装置（８）は上面露光装置（４）において露光され
た後、上下テーブルへ置かれたワーク（１３）を吸着し
、搬出部のコンベア上へ搬送するように構成されたもの
で、搬送装置（６）から押付パッド（６ｈ）を除いたも
のと同一構造であるので、細部についての図示は省略さ
れている。

第１２図（ａ）は搬出装置（５）の正面図、（ｂ）はそ
の側面図、（ｃ）はその搬出部の平面図、（ｄ）はその
正面図、（ｅ）は側面図である。搬出装置（５）は搬送
装置（８）により、上面露光装置（４）から搬送された
ワーク（１３）を装置外のコンベアなどへ搬出するため
の装置で、ローラ（５ａ）がはめ込まれた軸（５ｂ）が
軸受（５ｃ）を介して枠組（５ｄ）により支持され、ベ
ルト（５ｅ）を介して電動機（５ｆ）に接続し、ローラ
（５ａ）外周に張ったゴムベルト（５ｇ）によりワーク
（１３）を搬出するようになっており、枠組（５ｄ）が
露光機の全体枠（１２）に取付けられている。（５ｈ）
はゴムベルト（５ｇ）の張力調整装置である。

上記のように構成された露光機においては、ワーク（１
３）および／またはマスク（１４）を第３図に示すパレ
ット（１０）に積載して搬入する。ワーク（１３）およ
び／またはマスク（１４）をパレット（１０）に積載す
る場合、ワーク（１３）および／またはマスク（１４）
に設けられた位置決め穴（１３ａ）　、　（１４ｂ）に
位置決めピン（１１）のワーク／マスク位置決め部（ｌ
ｌａ）　を挿入して積載すると、ワーク（１３）および
／またはマスク（１４）はパレット（１０）に対して正
確に位置決めされる。

このようにワーク（１３）および／またはマスク（１４
）をｖＬｔＩｌシたパレット（１０）はストッカー（１
）に保管され、特定のパレット（１０）が第４図および
第５図に示すようにストッカー（１）から移載機構（１
ａ）により搬入装置（２）のテーブル上板（２ｅ）上に
払出される。そしてパレット（１０）がボール軸受（２
ｋ）上を摺動し、ストッパー（２Ｑ）に当った時点で、
移載機構（１ａ）がストッカー（１）内に戻り、パレッ
ト（１０）が仮置きされる。この状態からパレット（１
０）はシリンダー（２ｎ）に連動した押付機構（２ｍ）
によりガイド（２ｏ）側へ押付けられ、パレット（１０
）の下部に突出する位置決めピン（１１）の一方のパレ
ット位置決め部（ｌｌｂ）と切欠（２ｑ）の係合により
押付方向と直角方向の位置決めが行われ、他方のパレッ
ト位置決め部（ｉ　＋、　ｂ　）と切欠（２ρ）により
押付方向の位置決めが行われる。

位置決めピン（１１）はワーク／マスク位置決め部（ｌ
ｌａ）とパレット位置決め部（ｌｌｂ）が一体に形成さ
れているため、両者の位置関係は常に一定であり、この
ためワーク／マスク位置決め部（ｌｌａ）によりパレッ
ト（１０）に対して位置決めされたワーク（１３）およ
び／またはマスク（１４）はパレット位置決め部（ｌｌ
ｂ）によってパレット（１０）が位置決めされることに
より、搬入位置において正確に位置決めされ、パレット
（１０）の寸法のバラツキに拘らず、正確な位置決めが
行われる。この場合ワーク（１３）および／またはマス
ク（Ｉ４）の位はは位置決めピン（１１）のワーク／マ
スク位置決め部（ｌｌａ）とパレット位置決め部（ｌｌ
ｂ）の位置関係によって決まるため、位置決めピン（１
１）の寸法精度を上げればよく、パレット（１０）の寸
法精度は低くてもよい。位置決めピン（１１）は一体的
に形成されているため、寸法精度を高くするのは容易で
あり、パレット（１０）は低コスト化される。

パレット（１０）が位置決めされたあと、枠体（２ａ）
はシリンダー（２ｊ）によって高速で所定位置まで上昇
し、その後モータ（２ｂ）によって、テーブル枠体（２
ｄ）およびテーブル上板（２ｅ）がゆっくりと所定位置
まで上昇し、微調整が行われる。ワーク（１３）および
／またはマスク（１４）が搬送されて空になったパレッ
ト（１０）　、または用済後の返還されたマスク（１４
）の収納されたパレット（１０）は、シリンダー（２ｊ
）により高速で、またモータ（２ｂ）によってゆっくり
と所定位置まで下降し、押出機構（２ｊ）によりガイド
（２ｏ）から解放され、移載機構（ｌａ）によってスト
ッカー（１）に収納される。シリンダー（２ｊ）および
モータ（２ｂ）により２段階に昇降させることにより、
パレット（１０）を高速かつ高精度で所定位置に昇降さ
せることができる。

パレット（１０）を位置決めしたテーブル上板（２ｅ）
が所定位置に上昇すると、搬送装置（６）が搬入装置（
２）の上部から下降し、まずＢ位置の吸着パッド（６ｇ
）がパレット（１０）内に積載された上面露光用のマス
ク（１４）をバキュウム作用により吸着する。

そしてシリンダー（６ｃ）によって上昇した後、シリン
ダー（９ａ）によって下面露光装置（３）へ移動し、さ
らにシリンダー（６ｃ）によって下降し、マスク（１４
）を下面露光装置（３）の露光台（３ａ）の透明ガラス
板（３ｃ）上にセットする。このとき吸着パッド（６ｇ
）はＢ位置のものがマスク（１４）を裏打しているベー
スのアクリル樹脂板の外周部のみを吸着し、その内側に
位置するマスク（フィルム）は吸着しないで搬送する。

そして下面露光装置（３）上にセットする際、シリンダ
ー（３ｊ）により３本の位置合せピン（３ｄ）を同時に
押上げてマスク（１４）の位置合せ穴（１４ｃ）に位置
合せピン（３ｄ）を挿入し、このとき押付パッド（６ｈ
）の押付力によりマスク（１４）の浮上がりを防止する
。

上面露光用のマスク（１４）のセット後、搬送装置（６
）は上昇して搬入装＠（２）へ移動し、下降してパレッ
ト（１０）から下面露光用のマスク（１４）を吸着し、
同様の動作で下面露光装置（３）の露光台（３ａ）にセ
ットする。その間に、上面露光用のマスク（１４）は搬
送装置（７）により下面露光装置（３）から上面露光装
置（４）へ搬送されている。マスク（１４）がセットさ
れたあと、同様の動作によって対応ワーク（１３）が順
に搬送され、セットされる。このときＡ位置の吸着パッ
ド（６ｇ）がワーク（１３）を吸着して搬送を行い、位
置合せピン（３ｄ）をワーク（１３）の位置合せ穴（１
３ｂ）に挿入し、押付パッド（６ｈ）によりワーク（１
３）の浮上がりおよび傾斜を防止する。対応ワーク（１
３）が全数搬送されると、下面露光用のマスク（１４）
および下面露光装置（３）に戻された上面露光用のマス
ク（１４）は搬送装置（６）により搬入装置（２）の空
のパレット（１０）へ返納される。

下面露光装置（３）の露光台（３ａ）にセットされたマ
スク（１４）は、その周囲を吸気孔（３ｇ）を通して真
空引ノズル（３ｍ）により真空引きすることにより、露
光台（３ａ）のガラス板（３Ｃ）に密着し、保持される
。

そしてマスク（１４）の上部にワーク（１３）がセット
された後、搬送装置（６）が上昇して、搬入装置（２）
側へ移動し、これに代って搬送装置（７）が上面露光装
置（４）側から移動してきて下降し、その下部のゴムシ
ート（７Ｐ）によりマスク（１４）とワーク（１３）が
被われると、露光台（３ａ）の外周部の吸気孔（３ｈ）
から、真空引ノズル（３ｎ）により真空引きされ、露光
が行われる。

露光が終了すると真空ノズル（３ｎ）の真空引が解除さ
れ、ワーク解放ピン（３ｅ）がマスク（１４）の貫通穴
（１４ｄ）を通してワーク（１３）を押上げ、位置合せ
ピン（３ｄ）からワーク（１３）を解放し、続いて搬送
装置（７）の吸着パッド（７ｇ）によりワーク（１３）
を吸着して上面露光装置（４）に搬送し、この間に搬送
装置（６）により次のワーク（１３）を下面露光装置（
３）に搬送してセットし、前記と同様にして露光が繰返
えされる。所定枚数の露光が終了し、用済みとなったマ
スク（１４）はマスク解放ピン（３ｆ）に押されて位置
合せピン（３ｄ）から解放され、搬送装置（６）により
前記と逆の動作で搬入装置（２）に返還される。

上面露光用のマスク（１４）を下面露光装置（３）から
上面露光装置（４）へ搬送する場合もマスク解放ピン（
３ｆ）により解放される。

搬送装置（７）によるマスク（１４）の搬送は次の通り
行われる。すなわち搬送装置（７）は搬送装置（６）と
同様の動作により、下面露光装置（３）の上部から下降
し、露光台（３ａ）に８位置決めセットされた上面露光
用のマスク（１４）を吸着し、上面露光装置（４）へ移
動して下降する。搬送装置（７）が上面露光装置（４）
内の上下テーブルのテーブル（４ｒ）の上面と吸着され
たマスクが接触するまで下降すると、搬送装置（７）は
停止し、吸着パッド（７ｇ）の電磁バルブが閉じられて
マスク（１４）はテーブル（４ｒ）上面のゴムシート（
４１ｄ）上へ置かれる。このあと搬送袋！！ｉ　（７）
は上昇し、下面露光装置（３）側へ移動後下降して、前
述のように露光台（３ａ）に位置決めセットされたワー
ク（１３）とマスク（１４）を吸着部（７Ｑ）のゴムシ
ート（７Ｐ）で被い、露光中この状態を保持する。露光
が完了すると、ワーク解放ピン（３ｅ）により解放され
たワーク（１３）のみ前述のマスク（１４）と同様の動
作で上面露光装置（４）の上下テーブルへ搬送する。

上面露光装置（４）では、搬送装置（７）の吸着部（７
ρ）により吸着されて搬送されてきたワーク（１４）が
下降し、テーブル（４ｒ）上のゴムシート（４１ｄ）に
接触した後吸着部（７Ｑ）から解放されてゴムシート（
４１ｄ）上に置かれる。その後シリンダー（４ｓ）によ
り枠体（４９）が上昇し、ワーク（１３）およびマスク
（Ｉ４）は露光台（４ａ）の位置決めピン（４ｄ）にセ
ットされるが、この時の押圧力はテーブル（４ｒ）の中
央部に組付けられた押付板（４１ｇ）により支えられる
。

このとき位置合せピン（４ｄ）が突出し、ゴムシート（
４１ｄ）によって押付けられてワーク（１３）およびマ
スク（１４）の浮上がりおよび傾斜が防止され、位置合
せが行われる。位置合せピン（４ｄ）はゴムシート（４
１ｄ）を貫通するようになっている。こうしてセットさ
れたワーク（１３）とマスク（１４）はそのままゴムシ
ート（４１ｄ）によって被われ、下面露光装置（３）の
場合と同様に、真空引ノズル（４ｍ）　、　（４ｎ）　
（図示省略）によって真空密着され、光源（４ｂ）によ
り露光される。

その後下面露光装置（３）と同一構造の解放ピン（３ｅ
）　、　（３ｆ）により露光台（３ａ）より解放され、
再びテーブル（４ｒ）のゴムシート（４１ｄ）上に置か
れる。

この状態で上下テーブルが所定の位置まで下降すると、
搬送装置（８）が搬送装置（６）　、　（７）と同様の
動作でゴムシート（４１ｄ）上のワーク（１３）を吸着
して搬出装置（５）に搬送し、ゴムベルト（５ｇ）上に
置かれると、電動機（５ｆ）によって回転するローラ（
５ａ）によりゴムベルト（５ｇ）が回転して、ワーク（
１３）が装置外のコンベアなどに搬出される。上面露光
装置（４）において所定枚数のワーク（１３）の露光を
行い、用済みとなったマスク（１４）は前記と逆の動作
で搬送装置（７）および（６）により、下面露光装置（
３）を経て搬入装置（２）のパレット（１０）へ返還さ
れる。

上記の露光機では、下面露光装置（３）および上面露光
装置（４）においてワーク（１３）およびマスク（Ｉ４
）の位置合せを行う場合、３本の位置合せピン（３ｄ）
、（４ｄ）が１個のシリンダーにより同期して昇降する
ため、各ピン（３ｄ）　、　（４ｄ）の出方の差による
位置ずれが防止され、各ピン（３ｄ）、　（４ｄ）は先
端がテーパー加工されているため、容易に位置合せ穴（
１３ｂ）　、　（１４ｃ）に挿入され、このとき押付部
材としての押付パッド（６ｈ）およびゴムシート（４１
ｄ）によりワーク（１３）およびマスク（１４）の浮上
がりおよび傾斜が防止される。このほか３個所に設けら
れた１本のピン（３ｄ）　、　（＋ｄ）をワーク（１３
）およびマスク（１４）の同位置に設けられた位置合せ
穴（１３ｂ）　、　（１４ｃ）に挿入して同時に位置合
せを行うため、位置合せ精度が高くなる。

また下面露光装置（３）および上面露光装置（４）では
、別々に設けたワーク解放ピン（３ｅ）　、　（４ｅ）
およびマスク解放ピン（３ｆ）　、　（４ｆ）によりワ
ーク（１３）およびマスク（１４）を別々に解放するこ
とができるので、同一のマスク（１４）を使用して複数
のワーク（１３）を露光するときのワーク（１３）の交
換を容易かつ高速度で行うことができる。

さらに搬送装置（６）、（８）では吸着パッド（６ｇ）
　＋（７ｇ）が内側のＡ位置および外側のＢ位置に配置
され独立した真空発生装置（６ｊ）に接続して、それぞ
れワーク専用およびマスク専用となっているので。

マスク（１４）を搬送する場合ベース（１４ａ）のアク
リル摺脂板の外周を保持して、内側に固定されたマスク
（フィルム）（１４）の位置すれと汚れを防止すること
ができる。

上記の露光機では下面露光装置（３）と上面露光装置（
４）が別の装置となっているため、従来の両面露光装置
に比べて搬送スペースを大きくとることができ、これに
よりワーク（１３）およびマスク（１４）の搬送を容易
に行うことができるとともに、焦点合せもワーク（１３
）を動かせばよいので容易である。

なお１以上の説明において、押付部材としては。

押付パッド（６ｈ）、およびゴムシート（４１ｄ）があ
るが、他の手段であってもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、露光装置において位置合せピンにより
ワークおよびマスクの位置合せを行うとともに、押付部
材により位置合せピンの周囲を押付けるようにしたので
、下面露光装置と上面露光装置を分離して、ワークおよ
びマスクの搬送スペースを大きくし、これにより搬送を
容易にするとともに、焦点調整を容易にし、かつワーク
およびマスクの位置合せの際ワークおよびマスクの浮上
がりおよび傾斜を防止して正確に位置合せを行うことが
でき、かつ位置合せ精度を高くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は実施例の露光機の全体を示す正面図、（
ｂ）はその平面図、第２図（ａ）は全体の背面図。 （ｂ）はその平面図、（ｅ）は側面図、第３図（ａ）は
パレットの平面図、（ｂ）はその正面図、（Ｃ）は側面
図、（ｄ）は位置決めピンの正面図、（ｅ）　、　（ｆ
）はそれぞれパレットの使用状態を示す平面図、第４図
（ａ）はストッカーの正面図、（ｂ）はその平面図、第
５図（ａ）は搬入装置の正面図、（ｂ）はその側面図、
（Ｃ）はそのテーブル上板の平面図、第６図（ａ）は搬
出装置の正面図、（ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図、（
ｄ）は吸着パッドおよび押付パッドの正面図、第７図（
ａ）は下面露光装置の正面図、（ｂ）はその側面図。 （ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（ｅ）はそ
の一部の断面図、第８図（ａ）は位置合せピンの平面図
、（ｂ）はその正面図、（Ｃ）は側面図、第９図はワー
ク解放ピンの正面図、第１０図（ａ・）は搬送装置の側
面図、　（ｂ）、（ｃ）はそれぞれその一部の断面図、
第１１図（ａ）は上面露光装置の正面図、（ｂ）はその
側面図、（Ｃ）は平面図、（ｄ）は露光台の平面図、（
ｅ）はそのｅ−ｅ断面図、（ｆ）はｆ−ｆ断面図、第１
２図（ａ）は搬出装置の正面図、（ｂ）はその側面図、
（ｃ）はその搬出部の平面図、（ｄ）はその正面図、（
ｅ）は側面図である。 各図中、同一符号は同一部分を示し、（１）はストッカ
ー、（２）は搬入装置、（２ｏ）は位置決めガイド、（
３）は下面露光装置、（３ａ）　、　（４ａ）は露光台
、（３ｂ）、　（４ｂ）は光源、（３ｄ）　、　（４ｄ
）は位置合せピン、（３ｅ）　、　（４ｅ）はワーク解
放ピン、（３ｆ）　、　（４ｆ）はマスク解放ピン、（
４）は上面露光装置、　（４ｒ）はテーブル、（４１ｄ
）はゴムシート、（５）は搬出装置、（６）　、　＜７
）　、　（８）は搬送装置−（６ｇ）、（７ｇ）は吸着
パッド、（６ｈ）は押付パッド、（１０）はパレット、
　（１１）は位置決めピン、（ｌｌａ）はワーク／マス
ク位置決め部、（ｌｌｂ）はパレット位置決め部、（１
３）はワーク、　（１４）はマスク、（１４ａ）はベー
スである。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワークおよび／またはマスクを積載したパレット
   を位置決めして所定の高さまで上昇させる搬入装置と、
   下部に光源を有しかつワークおよびマスクを位置合せし
   てワーク下面の露光を行う下面露光装置と、上部に光源
   を有しかつワークおよびマスクを位置合せしてワーク上
   面の露光を行う上面露光装置と、露光済みのワークを機
   外へ搬出する搬出装置と、ワークまたはパレットを吸着
   して上記各装置間を移動し搬送を行う搬送装置と、下面
   露光装置および上面露光装置に設けられた露光台と、こ
   の露光台にセットされたワークおよびマスクの位置合せ
   穴に挿入されるように突出する位置合せピンと、この位
   置合せピンの周囲のワークおよびマスクを押付けて浮上
   がりおよび傾斜を防止する押付部材とを備えたことを特
   徴とする露光機。
2. （２）位置合せピンは押付部材を貫通するようになった
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の露光機。